電子工程 102 年半導體工程考古題(共 6 題) 資料來源:考選部歷屆試題|法律人 LawPlayer 整理 https://lawplayer.com/exam/electronic-engineering/102-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94%E5%B7%A5%E7%A8%8B 第 1 題 請繪出正三角形晶格(Lattice)之維格納-塞茨晶胞(Unit cell)。(10 分) 第 2 題 半導體材料中的載子濃度(no)和溫度倒數(1000/T)的關係如圖所示。今有某n 型半導體材料,其摻雜元素能階在導帶下方0.05 eV,若將摻雜元素更換為能階在 導帶下方0.1 eV 的元素,請問㈠高溫本質區(Intrinsic)的濃度是否改變?㈡雜質區 (Extrinsic)轉換為游離區(Ionization)的溫度是否改變?請說明理由。(20 分) 第 3 題 假設影響載子遷移率的散射因素只有三種,各單獨因素造成的載子遷移率分別為 1000, 500, 200 cm2/V-sec,請計算實際的載子遷移率。(10 分) 第 4 題 某半導體之能隙為1 eV,p 型費米能階在價帶上方0.3 eV,n 型費米能階在導帶下 方0.1 eV,請畫出結合成p-n 接面後的能帶圖,並標示接面處的電場方向。又內建 電位差(Build-in potential)是多少?(20 分) 第 5 題 請說明金氧半場效電晶體(MOSFET)的汲極電流-汲極電壓特性的線性區和飽和區 的形成原因。(10 分) 六、光學微影製程的解析度和焦距深度都和數值孔徑(Numerical aperture)有關,請以 圖示說明當數值孔徑增大時,解析度變好但是焦距深度變差的原因。(20 分) 七、電子束蒸鍍(E-beam evaporation)和濺鍍(Sputter deposition)的階梯覆蓋能力,何 者較佳?為甚麼?(10 分) ni 0 2 4 第 6 題 8 10 12 Extrinsic Intrinsic Ionization 1000/T (K)-1 no (cm-3) 題目為考試當年公告版本,實務標準請以現行規範為準。