108年度訴字第742號｜民事：損害賠償｜裁判日期：112 年 09 月 15 日

臺灣新竹地方法院民事判決 108年度訴字第742號原告盧森堡商達爾國際股份有限公司新竹分公司 DIODES TAIWAN S.A.R.L.,HSINCHU BRANCH 法定代理人 KUO-TING TSONG 訴訟代理人苗繼業律師吳世敏律師被告邦杰材料科技股份有限公司法定代理人鍾尚浩訴訟代理人張婉娟律師陳新佳律師上列當事人間請求損害賠償事件，本院於民國112年7月14日言詞辯論終結，判決如下：主文原告之訴及其假執行之聲請均駁回。訴訟費用新臺幣柒萬貳仟參佰捌拾貳元由原告負擔。事實及理由一、法人因合併而消滅者，訴訟程序在因合併而設立或合併後存續之法人，承受其訴訟以前當然停止；第169條所定之承受訴訟人，於得為承受訴訟時，應即為承受之聲明，民事訴訟法第169條第1項、第175條第1項定有明文。查，敦南科技股份有限公司（簡稱敦南公司）因經濟部民國112年5月10日經授商字第11230076140號函核准與外國公司合併解散登記、同時為廢止登記，有國家科學及技術委員會新竹科學園區管理局112年5月18日竹商字第1120016134號覆函正本1件在卷可稽（見卷三第31～33頁），暨據敦南公司新竹分公司訴訟代理人於本院112年5月5日指定之言詞辯論期日當庭陳明在卷，嗣該外國公司即盧森堡商達爾國際股份有限公司新竹分公司業已聲明於本件訴訟為原告敦南公司新竹分公司之承受訴訟人，並據盧森堡商達爾國際股份有限公司新竹分公司（本判決於論述時即簡稱該外國公司為原告）提出聲明承受訴訟狀及設立登記表與經濟部函等件（見卷三第43～55頁），核與前揭規定相符，應予准許。二、敦南公司新竹分公司起訴主張如下，聲明：被告應給付原告新臺幣（下同）417萬8,743元及自起訴狀繕本送達翌日即108年10月2日起至清償日止，按年息5％計算之利息，並願供擔保請准宣告假執行：（一）被告為半導體製程濺鍍靶材供應商，前經敦南公司新竹分公司認列為合格供應商，於103年間向被告訂購批號P0000000靶材（下稱：NiV-1靶材），已運用於敦南公司新竹分公司生產線製作晶圓，107年間敦南公司新竹分公司再次向被告訂購批號P0000000-0靶材（下稱：NiV-2靶材），規格同前次NiV-1靶材，亦即鎳Ni、釩V比例仍應為93：7 、純度仍應為99.95wt％，然被告交付之NiV-2靶材經運用於敦南公司新竹分公司生產線製作晶圓，卻發生矽化物過於沉積而生電阻異常，於排除其他材料、製程、機器設備等等因素，並替換前次訂購之NiV-1靶材後，即無前述異常狀況，經敦南公司新竹分公司尋得專業即訴外人臺灣檢驗科技股份有限公司（SGS Taiwan Ltd.，下稱SGS公司) ，進行專業分析結果，得悉本次NiV-2靶材之鎳釩比例，非為交易約定之93：7，而是94.06：5.94，請參看原證3 ，經敦南公司新竹分公司通知如上，雖被告否認NiV-2靶材存有瑕疵，然被告對於NiV-2靶材之鎳釩比例並不是93 ：7這件事，並未加以爭執。（二）被告本次提供不符鎳釩比例93：7約定之靶材，導致敦南公司新竹分公司產出之晶圓，其中593片有電阻異常狀況，無法使用，必須報廢，當時敦南公司新竹分公司線上生產之晶圓片售價約為3,157元，依敦南公司新竹分公司107年度財報所示晶圓毛利10％，可知每片成本為2,841元（3, 15790％），敦南公司新竹分公司所受損害168萬4,713元（2,841元/片593片），被告依民法第227條規定應予賠償；且就所失利益部分，敦南公司新竹分公司本次使用到被告交付具有瑕疵之NiV-2靶材，依據標準作業流程必須停止生產，確認問題所在後，才能重新啓動產線生產，敦南公司新竹分公司生產線因此被迫於107年12月4日～108年 1月14日期間，停工共42天，於是客戶轉單至其他同業，因此損失7,900片訂單，每片晶圓依據當時敦南公司新竹分公司向客戶報價每片為3,157元，晶圓毛利為10％左右，敦南公司新竹分公司受有預期利益損失249萬4,030元（3,157元/片7,900片10％），被告依民法第227條、第360條前段規定應予賠償。（三）前述鎳釩靶材交易資料，從未記載被告自創之容許值云云，反而始終一致要求鎳釩比例為93：7，且純度必須達99.95wt％，至於被告提出鎳銅合金、鋁靶材其它不等資料，金屬元素成份均與本件鎳釩靶材不同，自無法比附援引，倘若交易實務上容許所謂之偏差值，理應得到權威單位確認，又敦南公司新竹分公司當初交易時，即要求被告必須提供產品分析報告書，保證被告提供之鎳釩靶材，合乎約定之純度及在鎳釩元素上之重量比例，且因被告提供之鎳釩靶材其鎳釩比例是必須透過專業儀器分析，才能得知具體比例數值，因此敦南公司新竹分公司於運用生產過程當中，若沒有發生類似本次電性異常之情況下，敦南公司新竹分公司自是懵懂地相信被告，發生問題之後，被告卻突然自創所謂容許誤差值云云乙詞，欠缺根據。（四）本件涉及生產晶圓片出現電性異常之問題，確實係因被告提供之NiV-2靶材，其中鎳、釩元素比例不符約定，且原證3調查報告乃敦南公司新竹分公司為了追查原因，方委請專業之SGS公司，針對前述先後交易之NiV-1、NiV-2靶材，進行比對分析其成份，再經敦南公司新竹分公司廠內專業人員共同確認後所得之結果，並據證人即敦南公司新竹分公司員工黃學義，於本院指定之110年11月19日言詞辯論期日，在庭具結關於其所負責之工廠良率改善即線上異常之處置經過情形在卷，又原證3已清楚分析於敦南公司新竹分公司同一機台（SP-7B)之相同製程下，使用被告提供之NiV-2靶材靶材運於晶圓生產製造，所產出之晶圓有明顯電性異常，並透過掃描式電子顯微鏡（SEM)，觀察NiV-1、NiV-2靶材用同一濺鍍機台（SP-7B)，分別產生沉積厚度與矽化物厚度，發現明顯有異，而晶圓矽化物之厚與薄，影響於晶圓電阻，進而影響晶圓電性，亦即使用NiV-2靶材於敦南公司新竹分公司生產線，會產生晶圓電性異常之問題，原因則係NiV-2靶材之鎳釩比例不對，非為約定之93：7，如此造成矽化物過於沉積而影響晶圓電阻。（五）被告先前以伊公司能夠提供訴外人有研億金新材料股份有限公司（下稱有研億金公司、大陸地區公司）製作之鎳釩靶材，且經檢驗程序後，確認符合敦南公司新竹分公司之製程需求，但是敦南公司新竹分公司使用本次NiV-2靶材於生產線，卻發生晶圓電性異常之問題，經敦南公司新竹分公司與有研公司接觸瞭解，才知道被告向有研億金公司訂購之鎳釩靶材，根本就不是有研億金公司製作，後續才會發生因為靶材鎳釩成份重量百分比不對，導致敦南公司新竹分公司生產之晶圓片報廢及被迫將已有訂單轉單於同業。三、被告則以下開情詞資為抗辯，爰答辯聲明如主文所示，並陳明如受不利判決，願供擔保請准宣告免為假執行：（一）NiV-2靶材為合金製品，因物理極限，即便以科學方法亦無法精準表示各項元素之比例，故業界就各該合金成份比例有相當範圍之規範並容許偏差值之存在，例如鎳基合金718、鎳合金400、304不鏽鋼、壓鑄鋁合金等等，因此靶材報價單或產品分析報告書，提到鎳釩比例為93：7，這當然不表示靶材主成份必須完全等於93：7，而不必受其它物質元素所影響，又SGS公司檢測方法來自於靶材已鍍膜後進行檢測，並非對於靶材成份比例檢測，自無法真實反映實際數據，況且敦南公司新竹分公司送驗NiV-1靶材，其鎳釩比例據稱為92.51：7.49，此與NiV-2靶材鎳釩比例據稱之94.06：5.94，兩者都不是93：7，但敦南公司新竹分公司對於前次交易之NiV-1靶材品質沒有爭議，卻獨獨對本次NiV-2靶材認為有瑕疵，這樣不合理。甚至，被告對外於靶材交易上，從未自限於有研億金公司製作之靶材，被告亦未曾向敦南公司新竹分公司擔保靶材之來源，舉凡被告之報價單及敦南公司新竹分公司之採購單，也都沒有指定靶材來源，自不能以敦南公司新竹分公司內部評估或曾提及NiV-2靶材來源為有研億金公司云云，即以此劃設作為本件之交易條件。（二）NiV-2靶材在SP8-2機台濺鍍，NiV-1靶材則在SP-7B機台濺鍍，不同機台因使用期限、保養維護差異等等變因，自然會存在相當之差異，又電性偏高其成因眾多，敦南公司新竹分公司未確實調查機台參數並檢核製程問題，率爾將產品良率與否，逕予歸咎於被告本次提供之NiV-2靶材其鎳釩比例如何又如何！被告針對敦南公司新竹分公司通知，當時即已向敦南公司新竹分公司表示必須先為釐清關於製程及操作等等事項，例如：有無任意變更操作條件（鍍膜時間）、機台保養維護是否確實、更換靶材後有無執行靶材預熱（Burn-in)、鍍膜機台是否不穩定（飄移達50%)，並要求敦南公司新竹分公司提供詳細之製程資料以供查核，再由被告協助共同解決問題，然而敦南公司新竹分公司卻均虛應以對，致使被告無從介入協助，故被告就敦南公司新竹分公司起訴所稱之受損、所失云云，皆為否認。四、第按，當事人主張有利於己之事實者，就其事實有舉證之責任，民事訴訟法第277條前段定有明文。原告主張權利者，應先由原告負舉證之責，若原告先不能舉證，以證實自己主張之事實為真正，則被告就其抗辯事實即令不能舉證或其所舉證據尚有疵累，亦應駁回原告之請求。經查：（一）對於原告方面上開主張內容，經本院檢視卷證結果，不論是被告出具之報價單、產品分析報告，及敦南公司新竹分公司之採購訂單，均有NiV-2靶材之鎳、釩比例為93：7之記載（見卷一第22～28頁證物編號原證2資料）；又經敦南公司新竹分公司實際使用NiV-2靶材於生產線，發生異常情形，此節業經證人黃學義到庭結證稱：「是在（西元）2018年底的時候，線上發生一個產品，產品名稱叫○○○○，那個○○○○在2018年底有發生線上異常，造成低良率，低良率就沒有辦法出貨。所以，那時候，可能線上有去分析，2018年11月底時，有好幾個BUG，線上有低良率，之後我們就開始做分析，分析後來得到結果，跟邦杰第二個靶材有關，因為那時候我們先將邦杰第二個靶材，先把它停下來，那時候發生整個線停掉，因為12月份11月底產出減少，12月也沒有辦法出貨，因為工廠這個產品線都不能出貨，造成客制，那時候就定了有研（億金）靶材，因為怕有研（億金）靶材不確定他是否OK，所以那時候有研（億金）靶材進來時候，我們有做驗證，那驗證的話，有經過一連串的驗證，先開始找他們驗證，然後再找稍微大的驗證，後來那個驗證的話，良率跟可靠度都受配，所以那時候差不多從2019年1月底的時候才整個線把他，那也算我那時候的回憶。」等語在卷（見本院110年11月19日筆錄，卷二第40頁，該名證人捨棄日旅費），並有敦南公司新竹分公司送交SGS公司進行成份分析，NiV-1靶材之鎳、釩比例為92.51：7.49，NiV-2靶材之鎳、釩比例則為94.06：5.94（見卷一第16頁NiV-1靶材訂單、第30～43頁產品異常報告、第44～54頁SGS檢驗報告，證物編號原證1、3、4），固非屬無據。（二）惟敦南公司新竹分公司既以前開情詞主張NiV-2靶材具有瑕疵（專指鎳釩比例不正確，非為約定93：7），並據此求為被告應對敦南公司新竹分公司所受損害、所失利益負損害賠償責任，經核除了所失利益乙項，經主張權利之一方一併引用買賣瑕疵擔保責任，起訴所為之全部請求乃引用不完全給付之規定（見卷一第10～12頁起訴狀），然依民法第227條規定「因可歸責於債務人之事由，致為不完全給付者，債權人得依關於給付遲延或給付不能之規定行使其權利。因不完全給付而生前項以外之損害者，債權人並得請求賠償」，可知債務人負有依債務本旨為給付之義務，違背債務之本旨為給付，即屬不完全給付，債權人於受領給付後，以債務人給付不完全為由，請求債務人損害賠償，關於給付不完全之點，則應由債權人負舉證責任。另就買賣瑕疵擔保責任，依民法第354條規定：「物之出賣人對於買受人，應擔保其物依第373條之規定危險移轉於買受人時無滅失或減少其價值之瑕疵，亦無滅失或減少其通常效用或契約預定效用之瑕疵。但減少之程度，無關重要者，不得視為瑕疵。出賣人並應擔保其物於危險移轉時，具有其所保證之品質」，可見物之瑕疵擔保責任之成立，首應具備價值瑕疵、效用瑕疵或品質瑕疵，於符合要件時，始能主張瑕疵擔保法律效果。是本件無論於不完全給付或物之瑕疵擔保云云各節，應由原告就與本次交易標的標的NiV-2靶材之關連性，負說明及舉證責任，倘若依原告方面之說明及舉證程度，依經驗法則及論理法則，尚不足使法院形成相當之確信時，則被告對該待證事實之相反事實，並無負有提出證據反駁、反證之義務，此為舉證責任分配之原則，亦即此時若仍處於事實真偽不明之狀態，應由主張利己事實之該方，承擔此一訴訟不利益之後果。五、經本院聽取兩造陳詞暨囑託辦理鑑定後，結果如下：（一）本院於108年9月12日收案後即指定第1次108年10月23日言詞辯論期日開始審理，並經聽取兩造意見且經敦南公司新竹分公司建議囑託國立清華大學材料科學工程學系、國立交通大學材料科學工程學系；被告則建議囑託國立中央大學化學工程與材料工程學系、國立台灣科技大學機械工程學系（見卷一第171～174頁兩造陳報狀），方由本院針對後開A～C點之爭議事項，可否獲得鑑定結論及所需資料、預計流程、預計鑑定費用等事項，就先決之A點，分別函請各國立大學出具相關意見到院：（見次一期日108年10 月23日筆錄，卷一第143～144頁） A、兩造交易之NiV-1、NiV-2、NiV-3有或無約定鎳釩比例，又於實務交易上有無容許偏差值（容許範圍）？ B、倘若，被告交付的NiV-2未達約定比例或不在容許偏差值範圍內，則原告因此已實際發生之損失，其項目及數額（新臺幣）？ C、倘若，被告交付的NiV-2未達約定比例或不在容許偏差值範圍內，則原告因此合理預期之利益損失？其項目及數額（新臺幣）？（二）各國立大學回覆情形暨本院後續辦理情形則如下：1、國立大學清華大學108年11月26日清材字第1089007735 號函覆本院以：「經本校材料系專業教授審酌，該爭議事項（如有否容許偏差及其所致影響或損失）實難明確斷定，尚請貴院另委其他專業並具經驗之單位審慎評估。」（見卷一第183頁）。 2、國立交通大學109年1月2日交大工材字第1080022106號函覆本院以：「貴院提請本校材料科學與工程學系予以協助鑑定之事項，因不符本系專業，歉難同意。」（見卷一第191頁）。 3、國立台灣科技大學機械工程系109年1月17日109年1月17日機字第109011701號函覆本院以：「貴院來函詢問本系有關鑑定事宜，本系並無提供上述之服務。」（見卷一第194頁）。 4、國立中央大學109年2月19日中大工化字第1099900489號函覆本院以：「本校化學工程與材料工程學系評估此案後，暫無適合辦理此案之教授，故無法出具意見書。」（見卷一第205頁）。 5、於109年2月14日言詞辯論期日，由本院再向兩造確認並於庭後辦理轉函財團法人金屬工業研究發展中心，請該中心出具意見書，對於「兩造交易之NiV-1、NiV-2、NiV-3所約定的鎳釩比例，在實務上有無容許偏差值（容許範圍）？」之爭議事項，可否獲得鑑定結論、所需資料、預計流程、預計鑑定費用，表示意見到院（見卷一第200～201頁是日言詞辯論筆錄），經財團法人金屬工業研究發展中心109年4月16日金企字第1090001595號函覆本院以：「本案鍍膜製程屬特殊電性應用，非本中心專業領域，故無法承接本鑑定案。」（見卷一第242頁），經敦南公司新竹分公司具狀向本院稱該中心可承接鑑定任務（見卷二第175頁敦南公司新竹分公司111年7 月29日陳報狀），然該中心於111年9月22日金企字第1110005691號函覆本院以：「因本中心現有之檢測能量相對於靶材純度之要求，檢測經度恐有所不足，故無法承接本案。」（見卷二第219頁），再於111年10月19日金企字第1111004282號函覆本院仍以：「本案無法承辦。」（見卷二第235頁）。 6、於109年5月20日言詞辯論期日，由本院當庭確認前開財團法人金屬工業研究發展中心檢還本院文件，以相同文件作為附件，改囑託財團法人工業技術研究院材料化學所辦理，提問則進一步具體設為：「㈠本件NiV-1：Niv第一顆鎳釩靶材（P0000000）實際之鎳釩比例為何？又，上開比例的計算，有無效度或信度的限制？且其中鎳的比例假設低於93.5％、釩比例假設超過6.5％，為何本件原告敦南公司新竹分公司在晶圓製程上未受阻礙而造成報廢晶圓的後果？㈡本件NiV-2：Niv第二顆鎳釩靶材（P0000000-0）實際鎳釩比例為何？又上開比例的計算有無效度或信度的限制？且其中鎳的比例假設高於93.5％、釩比例假設低於6.5％，為何本件原告敦南公司新竹分公司在晶圓製程上有受到阻礙而造成報廢晶圓的後果？㈢本件原告敦南公司新竹分公司在晶圓製程上有受到阻礙而造成報廢晶圓的後果，與鎳釩靶材之鎳釩比例之間因果關係的描述為何？（是否因鎳釩比例異常而導致敦南產品變性異常而受有報廢，及兩者間之相當因果關係）。以上鑑定費用由本件原告敦南公司新竹分公司預付，列為訴訟費用之一部。」（見109年5月20日筆錄，卷一第256～257頁），經財團法人工業技術研究院109年 7月13日工研轉字第1090012503號函覆本院以：「本院與當事人存在業務關係」「為保持鑑定之客觀性與中立性，本院歉難接受本囑託鑑定案」（見卷一第279頁）。 7、109年8月5日言詞辯論期日，復由本院當庭徵詢兩造意見後，改送財團法人臺灣經濟科技發展研究院（見是日筆錄，卷一第286頁），又據當事人建議送國家研究院台灣半導體研究中心材料分析組（見卷一第336頁敦南公司新竹分公司陳報五狀、第338頁被告陳報三狀），暨依照109年8月5日言詞辯論期日筆錄記載之囑託鑑定事項，與敦南公司新竹分公司聲請鑑定之事項（見卷一第276～277頁109年7月2日陳報四狀），經本院分別向財團法人臺灣經濟科技發展研究院、國家研究院台灣半導體研究中心材料分析組辦理結果（見卷一第342、344頁本院109年12月1日函稿），財團法人國家實驗研究院110年5月10日國研授半導體材字第1101300594號函覆本院以：「本案所列被告邦杰材料公司為國家實驗研究院台灣半導體研究中心（以下簡稱本中心）材料供應商、原告敦南科技公司則為本中心客戶，故不建議由本中心作為鑑定資料提供者，亦不適合訪談兩造承辦。」（見卷一第359頁）；財團法人臺灣經濟科技發展研究院部分，則先收取第1階段3萬元費用（見卷二第34頁110年11 月1日（110）經研良字第11001號函），經敦南公司新竹分公司預繳（見卷二第36頁匯款申請書、143頁收據），並歷經110年12月10日、111年1月21日2次訪談（見卷二第63、75頁110年12月1日（110）經研良110年12月1日（110）經研良字第12001號、110年12月29日（110 ）經研良字第12047號函），仍無法直接認定責任歸屬（見卷二第147頁111年5月16日（111）經研良字第05018號函）。 8、及至今（112）年5月5日言詞辯論期日，依敦南公司新竹分公司之請求（見卷三第14頁），最後送交閎康科技股份有限公司鑑定：「1.本件NiV1及NiV2靶材之純度（Purity）為何？2.本件NiV1及NiV2靶材內，所含鎳釩成分之重量百分比（WT%）各為何？」（見卷三第17頁本院115年5月9日函稿），經該公司112年5月22日回覆對於NiV1及NiV2靶材之純度與其鎳釩成分的重量百分比乙事：「本公司現有設備無法提供此分析。」（見卷三第59頁閎康科技股份有限公司112年5月22日閎康字第0000000號回函）。（三）原告盧森堡商達爾國際股份有限公司新竹分公司訴訟代理人對於無法藉由鑑定以釐清爭議，於最後言詞辯論期日稱：「111年12月9日民事言詞辯論意旨狀第二頁第三點，有做相關說明，並檢附相關證據方法，第四頁第七點也有針對鎳釩比例不對，會導致漏電流急速增加，產生○○○○○異常，此部分是因為鎳比例不對，也有提供證據方法，即原證18，請鈞院參酌，此部分因果關係存在，鎳釩比例不對，導致產生電性異常。」（見卷三第68頁最後期日筆錄），本院鑑於被告既始終爭執：「敦南公司新竹分公司於起訴前，自行送驗靶材至SGS公司檢測，檢測方法未能反映真實反映實際鎳釩比例，且按照SGS公司檢測數值，無論NiV-1靶材或NiV-2靶材之鎳釩比例，均無一為93：7，為何未見他造對於NiV-1靶材提出爭議，卻對NiV-2靶材提出爭議？」，則於本件爭議，究竟實際上被告交付之NiV-2靶材其鎳釩真實比例為何？又是否客觀上難以達到特定比例，而存在容許偏差值可能？即令第2次交易之靶材有鎳增、釩減情形，惟財團法人工業技術研究院109年7月13日工研轉字第1090012503號函說明第二點亦據指出：「二、經本院相關技術單位審慎評估，因晶圓製程有無受到阻礙而造成報廢晶圓後果之原因眾多，而晶圓報廢與否，與各公司之標準及規格有關。」等語（見卷一第279頁覆函），綜此各情，本件不能為有利於原告之認定。六、從而，本件原告依不完全給付及買賣瑕疵擔保法律關係，請求被告負損害賠償責任，給付417萬8,743元及自起訴狀繕本送達翌日即108年10月2日起至清償日止，按年息5％計算之利息，其訴為無理由，應予駁回，其訴既經全部駁回，假執行之聲請失所附麗，併予駁回，爰判決如主文第1項所示。七、本件事證已臻明確，兩造其餘攻擊防禦方法、訴訟資料，經本院斟酌後，認為均不足影響判決之結果，自無逐一詳予論、駁之必要，併此敘明。八、訴訟費用之負擔：本件第一審起訴裁判費4萬2,382元，已由敦南公司新竹分公司預納（見卷一第6頁、綠聯），再因訴訟過程中發生囑託鑑定事項第1階段費用3萬元，亦由敦南公司新竹分公司預納如上，以上合計本件訴訟費用7萬2,382元，依民事訴訟法第78條規定，命敗訴之原告負擔，如主文第2項所示。中　　華　　民　　國　　112 　年　　9 　　月　　15　　日民事庭法　官　周美玲以上正本係照原本作成。原告如對本判決上訴，須於判決送達後20日內向本院提出上訴狀，應添具繕本1件，暨一併繳納上訴審裁判費新臺幣6萬3,573元（按上訴利益新臺幣417萬8,743元計徵）。如委任律師辦理上訴，務必同時按照不服程度依法繳納上訴審裁判費，若未同時繳納上訴費用，依民事訴訟法施行法第9條規定，其上訴不合程式，第一審法院得不行裁定命補繳裁判費之程序，而逕行駁回上訴，請具律師資格代理人特別注意。中　　華　　民　　國　　112 　年　　9 　　月　　15　　日書記官　徐佩鈴

臺灣新竹地方法院108年度訴字第742號

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