107年度判字第471號｜行政：發明專利舉發｜裁判日期：107 年 08 月 16 日

最　高　行　政　法　院　判　決 107年度判字第471號上訴人　弘塑科技股份有限公司代　表　人　張鴻泰訴訟代理人　王鳳儀　律師上訴人　經濟部智慧財產局代　表　人　洪淑敏被上訴人　辛耘企業股份有限公司代　表　人　謝宏亮訴訟代理人　陳啟桐　律師吳信璋　律師上列當事人間發明專利舉發事件，上訴人對於中華民國106年8月31日智慧財產法院106年度行專訴字第11號行政判決，提起上訴，本院判決如下：主文上訴駁回。上訴審訴訟費用由上訴人負擔。理由一、緣上訴人弘塑科技股份有限公司（下稱弘塑公司）於民國92年4月10日以「單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置」向上訴人經濟部智慧財產局（下稱智慧局）申請發明專利（申請專利範圍共7項，第1項為獨立項，其餘為附屬項），經上訴人智慧局編為第092108322號審查後，於93年3月24日核准專利，並於93年4月21日公告發給第200871號專利證書（下稱系爭專利）。嗣被上訴人於104年8月21日以系爭專利有違90年10月24日修正公布、90年10月26日施行之專利法（下稱核准時專利法）第20條第1項第1款、第2項規定，對之提起舉發，上訴人弘塑公司旋於104年12月18日提出申請專利範圍更正本，經上訴人智慧局審查，於105年7月20日以(105)智專三(二)04169字第10520889780號專利舉發審定書為「104年12月18日之更正事項，准予更正。請求項1至7舉發不成立」之處分（下稱原處分）。被上訴人不服其中關於「請求項1至7舉發不成立」部分之處分，提起訴願，經決定駁回，被上訴人仍未甘服，遂向智慧財產法院（下稱原審）提起行政訴訟。經原審依職權命上訴人弘塑公司獨立參加本件上訴人智慧局之訴訟，判決撤銷訴願決定及原處分關於「請求項1至7舉發不成立」部分，並命上訴人智慧局應就系爭專利舉發事件作成「請求項1至7舉發成立，應予撤銷」之處分，上訴人弘塑公司不服，遂提起本件上訴。二、被上訴人起訴主張：㈠證據2確實已揭示「旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」等技術特徵，故證據2 已揭露系爭專利請求項1。系爭專利請求項2至7之所有附加技術特徵皆已為證據2所揭露，且證據2與系爭專利同為具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置，屬於同一技術領域，故證據2足證系爭專利請求項1至7不具新穎性。㈡系爭專利所有技術特徵已為證據2揭露，且系爭專利之先前技術已闡明如何收集及回收利用半導體蝕刻過程產生的廢液，並繪示先前技術的流體收集裝置具有一蝕刻槽91，及與3個收集管95 1、952、953之流體洩出口分別相對位置關係，故熟習該項技術者為防止有毒液體飛濺，有動機在證據2的晶圓保持部 10a及迴轉軸20外設置一上槽壁，故證據2與系爭專利之先前技術之組合足證系爭專利請求項1至7不具進步性。㈢系爭專利請求項1至7之所有技術特徵既已為證據2、3所揭露，且證據2、3與系爭專利同屬具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置技術領域，故系爭專利請求項1至7為通常知識者所能輕易完成而不具進步性。㈣系爭專利請求項1至6之技術特徵已為證據4揭露，故證據4可證明系爭專利請求項1至6不具新穎性、進步性。又證據2揭露系爭專利請求項1至7所有技術特徵，且證據4、2與系爭專利所要解決之技術問題均屬相同，證據4、2之發明目的、功效及特點與系爭專利所欲解決之問題高度相關，故證據4、2之組合可證明系爭專利請求項1至7不具進步性。㈤證據4之圓筒部51與旋轉部11即已對應旋轉蝕刻槽之技術特徵，且圓筒部51和旋轉部11間具有間隙，使藥液由此流出，即相當於系爭專利請求項1記載之「流體洩出口」。證據5所揭露的腔體蓋43及拖盤本體61對應旋轉蝕刻清洗槽之上下槽壁，且其間空隙對應流體洩出口，故證據4 、5之組合可證明系爭專利請求項1至6不具進步性。㈥證據2、4、5均屬晶圓蝕刻之廢液（流體）回收領域，與系爭專利所欲解決之問題高度相關，故熟習該項技術者自有動機結合以完成系爭專利，故證據2、4、5之組合可證明系爭專利請求項1至7不具進步性等語，求為判決：⒈訴願決定及原處分關於請求項1至7舉發不成立部分，均撤銷。⒉上訴人智慧局就系爭專利舉發事件，應作成請求項1至7舉發成立之審定。三、上訴人智慧局則以：㈠系爭專利請求項1之記載為「……該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」，意即流體洩出口11是由旋轉蝕刻槽10來界定的技術特徵。證據2第12圖為蝕刻清洗機台操作至載置或移除晶圓時之示意圖，除完全不見頂蓋設置，流體洩出口亦隨著機台的任何操作步驟而消失，故證據2並無頂蓋與流體洩出口之固定存在構件，證據2的旋轉蝕刻槽並未揭露系爭專利請求項1旋轉蝕刻槽之所有限制條件，證據2無法證明系爭專利請求項1至7不具新穎性。㈡系爭專利的先前技術及證據2與系爭專利請求項1的移動部位與不動部位均相反，故系爭專利的先前技術、系爭專利之請求項1與證據2三者存在硬體結構上先天的不相容，故證據2 與系爭專利的先前技術之組合無法證明系爭專利請求項1至7不具進步性。㈢證據3並未找到可比對為槽壁之構件，且元件符號104與118所組成之單一收集單元，亦難稱為設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，元件符號118所對應的開口方向顯難稱為徑向開口，排液口116亦難與設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣的徑向開口相通，故證據3並未正確揭露「複數個收集單元」之技術特徵，也因徑向開口位置與系爭專利請求項1不同，排液口116無法與設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣的徑向開口相通，無法完成排液口的所有限制條件，故證據2、3之組合無法證明系爭專利請求項1至7不具進步性。㈣證據4並未說明「槽」究竟所指為何元件，流體洩出口亦非由旋轉蝕刻槽可單獨界定的技術特徵，證據4無法完成系爭專利請求項1中所有具有槽與流體洩出口之技術特徵，故證據4無法證明系爭專利請求項1至6不具新穎性。㈤系爭專利的「槽」及流體洩出口等技術內容，並非所屬技術領域中具有通常知識者參酌證據4後所能輕易完成，故證據4無法證明系爭專利請求項1至6不具進步性。㈥證據4、2均欠缺系爭專利請求項1「槽」及「流體洩出口」技術特徵，即便熟習該項技術者組合證據2、4所揭露的內容，仍無法證實組合後可完成上開技術特徵，故證據4、2之組合無法證明系爭專利請求項1至7不具進步性。㈦系爭專利支撐晶圓之構件21與槽10、槽壁11分屬不同構件，故被上訴人將證據5拖盤本體61、證據2晶圓保持部10a及證據4均以支撐晶圓之構件的水平或垂直部位比對為槽壁的一部分，並不恰當，故證據4、5之組合無法證明系爭專利請求項1至6不具進步性。㈧被上訴人指摘之證據2、4、5 的元件比對系爭專利請求項1的方式並不恰當，故證據2、4 、5之組合無法證明系爭專利請求項1不具進步性，亦無法證明系爭專利請求項2至7不具進步性等語，資為抗辯，求為判決駁回被上訴人之訴。四、上訴人弘塑公司則以：㈠證據2未揭露系爭專利之旋轉蝕刻槽及其槽壁，證據3未揭露系爭專利之旋轉蝕刻槽及徑向開口，證據4未揭露系爭專利之旋轉蝕刻槽、收集單元及槽壁，證據5未揭露系爭專利之旋轉蝕刻槽，故上開證據及證據組合，均無法證明系爭專利不具新穎性、進步性。㈡證據4 未揭露系爭專利的旋轉蝕刻槽及收集單元，且證據4未完全揭露請求項2至6之特徵，故系爭專利請求項1至6相較於證據4具有新穎性。系爭專利及證據4係利用全然不同的機構來達成其各自欲達成的功能，所屬技術領域中具有通常知識者無法參酌證據4所揭露之技術內容輕易完成系爭專利請求項1至6之技術特徵，是系爭專利請求項1至6相較於證據4具有進步性。㈢證據2未揭露系爭專利的旋轉蝕刻槽其槽壁，且證據4、2之組合對系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者並非顯見的結合，故系爭專利請求項1至7相較於證據4、2之組合具有進步性。㈣證據4、5結合亦無法獲得系爭專利請求項1 之發明，系爭專利請求項2至6之特徵亦未見於證據4、5，故系爭專利請求項1至6相較於證據4、5之組合具有進步性。㈤證據4及證據2、5之組合對系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者並非顯見的結合，故系爭專利請求項1至7相較於證據2、4、5之組合具有進步性等語，資為抗辯，求為判決駁回被上訴人之訴。五、原審斟酌全辯論意旨及調查證據之結果，以：㈠系爭專利請求項1與證據2比對，證據2已揭露系爭專利請求項1「一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體」、「可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，及一流體洩出口」、「複數個收集單元，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」、「一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體」之技術特徵。惟證據2 並未揭露一具有槽壁之旋轉蝕刻槽，是證據2未揭露系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故證據2無法證明系爭專利請求項1至7 不具新穎性。㈡證據3雖已揭露系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」之技術特徵，惟未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故證據2、3均未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，自無法達成系爭專利請求項1各個收集槽之間及收集槽與蝕刻槽的壁面之間可緊密接觸，使化學品不易滲漏至其他收集槽，避免交叉污染之功效，故證據2、3之組合尚無法證明系爭專利請求項1不具進步性，亦無法證明系爭專利請求項2至7不具進步性。㈢證據4已揭露系爭專利請求項1「一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體」、「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」、「1個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」、「一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體」之技術特徵，惟證據4未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」的技術特徵，尚無法證明系爭專利請求項1至6不具新穎性、進步性。㈣證據2 及系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項1至7不具進步性：⒈系爭專利第1圖之傳統單晶圓旋轉蝕刻機台的流體收集裝置已揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951-953設於該蝕刻槽壁之外緣的技術特徵，相當於前開證據2未揭露之系爭專利請求項1技術特徵，故系爭專利先前技術已揭露前開證據2未揭露之系爭專利請求項1技術特徵。證據2與系爭專利先前技術均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域，證據2所欲解決問題及所產生功效包括：解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，而提高生產效率，而系爭專利先前技術之所欲解決問題及所產生功效包括：解決將清洗晶圓之廢液集中流入特定收集管之問題，亦可提高生產效率，兩者所欲解決的問題具有共通性，所產生的功效相同，故該所屬技術領域中具有通常知識者欲解決系爭專利可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的問題時，參酌證據2揭示單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，可將清洗晶圓之各廢液連續且有效地分離回收，以及系爭專利先前技術揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951-953設於該蝕刻槽壁外緣之技術內容，自有將證據2與系爭專利先前技術加以組合的合理動機，而輕易完成系爭專利請求項1之發明，且證據2與系爭專利先前技術之組合亦可達到系爭專利請求項1之可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的功效，並未產生無法預期之功效，故證據2與系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項1不具進步性。⒉系爭專利請求項2為直接依附於請求項1之附屬項，並進一步界定「該收集單元之第一收集單元係環狀」，依證據2說明書揭示環狀廢液回收導管64、66、68，即相當於系爭專利請求項2之第一收集單元係環狀，故證據2及系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項2不具進步性。⒊ 系爭專利請求項3為直接依附於請求項1之附屬項，並進一步界定「該收集單元更包括一第二收集單元，設於該第一收集單元之外緣，其亦具有一徑向開口，該第二收集單元並連設於一升降機制，使該第二收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升，且當該第一收集單元之徑向開口之頂部下降至該流體洩出口之底部時，可使該第二收集單元之徑向開口與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」，證據2已揭示收集單元包括具有一徑向開口、設於環狀廢液回收導管68外緣並連設於一升降機制之環狀廢液回收導管66，其徑向開口之頂部可自該開口部66a之底部上升，且當環狀廢液回收導管68之徑向開口之頂部下降至該開口部68a之底部時，可使其徑向開口與該開口部66a相通，以收集由該開口部66a流出之流體。其中環狀廢液回收導管66、68、開口部66a、68a，相當於系爭專利請求項3之第二收集單元、第一收集單元、流體洩出口，故證據2、系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項3不具進步性。⒋系爭專利請求項4為直接依附於請求項3之附屬項，並進一步界定「該第二收集單元係環狀」，依證據2說明書揭示之環狀廢液回收導管64、66、68，相當於系爭專利請求項4之該第二收集單元係環狀，證據2已揭露系爭專利請求項4 上開附屬技術特徵，故證據2、系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項4不具進步性。⒌系爭專利請求項5為直接依附於請求項3之附屬項，並進一步界定「該第二收集單元徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，於該第一收集單元及該第二收集單元同時位於上升或下降位置時，與該第一收集單元之徑向開口之頂部緊密接觸」，證據2已揭示環狀廢液回收導管66徑向開口頂部延伸設置於環狀廢液回收導管68徑向開口之頂部上方，於二者同時位於上升或下降位置時，與該環狀廢液回收導管68徑向開口之頂部緊密接觸，證據2已揭露系爭專利請求項5上開附屬技術特徵，故證據2、系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項5不具進步性。⒍系爭專利請求項6為直接依附於請求項3之附屬項，並進一步界定「該第二收集單元之徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，並與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸」，證據2揭示環狀廢液回收導管66徑向開口之頂部延伸設置於環狀廢液回收導管68徑向開口之頂部上方，且系爭專利先前技術揭示收集管951-953與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸，證據2已揭露系爭專利請求項6上開附屬技術特徵，故證據2、系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項6不具進步性。⒎系爭專利請求項7為直接依附於請求項3之附屬項，並進一步界定「該收集單元可多於2個」，證據2說明書揭示「形成外側環狀廢液回收導管64。藉由該中間斜面部件56、中間角筒部58、內側斜面部件60及內側角筒部62的外壁之一部份，形成中間環狀廢液回收導管66。以該內側斜面部件60及內側角筒部62，形成內側環狀廢液回收導管68。」其中環狀廢液回收導管64、66、68，相當於系爭專利請求項7之該收集單元可多於2個，證據2已揭露系爭專利請求項7上開附屬技術特徵，故證據2、系爭專利先前技術之組合足證系爭專利請求項7不具進步性。㈤證據2及4之組合足以證明系爭專利請求項1至7不具進步性：⒈證據2揭示3個環狀廢液回收導管64、66、68設於晶圓迴轉保持裝置10外緣，並具有徑向開口，可收集由該流體洩出口流出之流體，故證據2已揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，證據4、2之組合已揭露系爭專利請求項1整體技術內容。證據4所欲解決問題及所產生功效包括：解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，以增加藥液的回收率，證據2所欲解決問題及所產生功效包括：欲解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，而提高生產效率，證據4與證據2均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性且兩者所產生的功效相同，故該熟習該項技術者有合理動機將證據4與證據2作結合，故證據4與證據2之組合足證系爭專利請求項1不具進步性。⒉證據4、2之組合已揭露系爭專利請求項2至7之附屬技術特徵，系爭專利請求項2至7可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4、2之組合所能輕易完成，故足證系爭專利請求項2至7不具進步性。又證據4、2既足證系爭專利請求項1至7不具進步性，故證據4、2、5之組合自足證系爭專利請求項1至7不具進步性。㈥證據4未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，證據5亦未揭示上開技術特徵，且該技術特徵非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據4、5之組合所能輕易完成，故證據4、5之組合尚無法證明系爭專利請求項1不具進步性，亦無法證明系爭專利請求項2至6不具進步性等語，故系爭專利違反核准時專利法第20條第2項規定，具有應撤銷之事由，因將訴願決定及原處分關於「請求項1至7舉發不成立」部分均予撤銷，並命上訴人智慧局作成系爭專利請求項1至7舉發成立，應予撤銷之處分。六、本院按：㈠本件上訴人弘塑公司係原審依行政訴訟法第42條規定參加訴訟之獨立參加人，因不服原審所為對其不利之判決，提起上訴，其利害關係與原審被告即智慧局一致，依本院97年5月份第2次庭長法官聯席會議決議意旨，本件應併列智慧局為上訴人。㈡按「發明專利權得提起舉發之情事，依其核准審定時之規定。」為專利法第71條第3項本文所明定。查系爭專利申請日為92年4月10日，經上訴人智慧局於93年3月24日核准專利，並於93年4月21日公告。嗣被上訴人於104年8月21日提出舉發，經上訴人智慧局審查，於105年7月20日作成原處分，故系爭專利有無撤銷之原因，應以核准審定時所適用之90年10月24日修正公布、90年10月26日施行之專利法（即核准時專利法）規定為斷。次按，凡利用自然法則之技術思想之高度創作，而可供產業上利用，且無申請前已見於刊物或已公開使用等情形者，得依法申請取得發明專利。但發明係運用申請前既有之技術或知識，而為熟習該項技術者所能輕易完成時，仍不得依法申請取得發明專利，核准時專利法第19條、第20條第1項、第2項定有明文。而對於獲准專利權之發明，任何人認有違反前揭專利法之規定者，得檢附證據，向專利專責機關提起舉發，倘舉發人所附之證據足以證明系爭專利有違上開專利法之規定，自應為舉發成立之處分。㈢本件關於證據2及系爭專利先前技術之組合，或證據4、2之組合，均足以證明系爭專利更正後請求項1至7不具進步性等情，業據原審依調查證據之辯論結果，詳細敘明其得心證之理由，經核其認事用法並無違經驗或論理法則，原判決所適用之法規與該案應適用之法規並無違背，與解釋判例亦無牴觸，並無判決違背法令之情形。㈣查證據2第13至15圖揭示一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之廢液回收機構50，用於收集蝕刻廢液，主要包括：一晶圓迴轉保持裝置10及一迴轉軸20，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該迴轉保持裝置10周圍設有開口部64a、66a、68a；環狀廢液回收導管64、66、68，具有一徑向開口，可與該開口部64a、66a、68a相通，以收集由該開口部64a、66a、68a流出之廢液；一升降機制（即64、66、68之升降動作），連設於每一環狀廢液回收導管64、66、68 ，使該環狀廢液回收導管64、66、68之徑向開口頂部可自該開口部64a、66a、68a之底部上升以收集特定廢液，其中，環狀廢液回收導管64、66、68係相當於系爭專利之複數個收集單元，且係設於晶圓迴轉保持裝置10之外緣，是證據2之晶圓迴轉保持裝置10並未具有相當於系爭專利之槽壁結構，而未揭露具有槽壁之「旋轉蝕刻槽」，故證據2並未揭露系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵等情，為原判決確定之事實。至原判決於比對系爭專利與證據4、2之組合時，雖認定「證據2已揭露系爭專利請求項1『複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣』之技術特徵。」等情（見原判決五、㈥⑴⒈段理由），惟該部分理由係說明證據4僅揭露1個收集單元20 '設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，而與系爭專利「複數個收集單元」技術特徵不同，然證據2已揭露「複數個收集單元」（即廢液回收導管64、66、68），是原判決係認定證據4揭露系爭專利請求項1「收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」、證據2則揭露「複數個收集單元」，而以證據2、4所揭露關於收集單元之技術特徵，據以認定證據2、4之組合已揭露「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵。又原判決認定證據2之晶圓迴轉保持裝置周圍設有開口部（64a、66a、68a），已揭露系爭專利請求項1之流體洩出口的技術特徵（見原判決五、㈠⑴⒊理由）乙節，經查，參酌系爭專利之說明書第8頁至9頁之記載「……旋轉蝕刻槽10之周緣槽壁設有流體洩出口11，洩出口11的底部不高於載盤21，並與載盤21間以導流板23銜接，使流體可沿著導流板23直接由洩出口11流出。……第一收集槽40設於旋轉蝕刻槽10的槽壁外側，並具有一徑向開口，可與旋轉蝕刻槽10的流體洩出口11相通，以收集由洩出口11流出之流體……」，可得知系爭專利之「流體洩出口」係設於旋轉蝕刻槽10之周緣槽壁，其可與徑向開口相通，以導引流體自旋轉蝕刻槽10流出，至「徑向開口」則係設於收集單元，並能夠與流體洩出口11相連通，其用於使流體流入收集槽，則「徑向開口」與「流體洩出口」相互連通時，該徑向開口與該流體洩出口係位於相同位置，方能達成導引流體自旋轉蝕刻槽流出，並流入收集槽之功效，是「流體洩出口」與「徑向開口」係屬不同技術特徵，然二者須相互連通，方可使流體自旋轉蝕刻槽流至收集單元。至證據2之環狀廢液回收導管（64、66、68），係相當於系爭專利請求項1之「複數個收集單元」，且開口部（64a、66a、68a）係設於環狀廢液回收導管，並為徑向開口，即應相當於系爭專利請求項1之「徑向開口」，是原判決認定證據2之開口部（64a、66a、68a）已揭露系爭專利請求項1之「流體洩出口」，固非妥適。然原判決於認定證據2及系爭專利先前技術之組合或證據4、2之組合，足以證明系爭專利更正後請求項1不具進步性時，已分別論明： ⑴系爭專利第1圖之傳統單晶圓旋轉蝕刻機台的流體收集裝置已揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951至953設於該蝕刻槽壁之外緣的技術特徵，而相當於系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故系爭專利先前技術已揭露系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，是證據2與系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項1整體技術內容；⑵證據4已揭露一具有槽壁之旋轉蝕刻槽，且證據4圓筒部51及旋轉部11之間的空隙形成一流體洩出口，該流體洩出口設置於該旋轉蝕刻槽之周緣，已揭露系爭專利請求項1「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」的技術特徵，且系爭專利請求項1與證據4之差異僅為：證據4未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4僅揭露1個收集單元20 '設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」之技術特徵。而證據2第13至15圖揭示3個環狀廢液回收導管（64、66、68）設於晶圓迴轉保持裝置（10）外緣，即相當於系爭專利請求項1之「複數個收集單元」，是證據4、2之組合已揭露系爭專利請求項1整體技術內容。從而，原判決已說明證據2及系爭專利先前技術之組合或證據4、2之組合，均已揭露系爭專利請求項1整體技術內容之理由，復已詳細敘明所屬技術領域中熟習該項技術者，組合上開證據之動機及輕易完成系爭專利請求項1之發明之理由，系爭專利請求項1仍難認具有進步性。上訴意旨以：原判決就證據2是否揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽之外緣」之技術特徵，前後認定自相矛盾，且證據2並未揭露「旋轉蝕刻槽」，故原判決認定證據2之元件64a、66a、68a已揭露系爭專利請求項1之「流體洩出口」，並以證據2與證據4 結合，而謂系爭專利請求項1不具進步性，即有判決理由矛盾及不備理由之違法云云，即非可採。㈤依系爭專利請求項1記載「……一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口；複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體……」可知，系爭專利之「旋轉蝕刻槽」具有槽壁，其周緣設有一流體洩出口，功能係包括固定及旋轉晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，至於「收集單元」，則係設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，其功能在於收集由旋轉蝕刻槽之流體洩出口流出之流體。參酌證據4說明書第【0026 】段之記載「旋轉機構10具有將基板1水平支撐之旋轉部11 ，及其驅動部12。杯體20為廢液回收。杯體20為圓筒形狀固定式，有2重的周壁21。周壁21的外側，為回收藥液，故設置一體的環狀的回收部20 '」，以及第【0034】段記載「環狀的飛濺防止遮蓋50設置在旋轉機構10的上方同心圓處，和一個從圓筒部51的上端部向內突出的凸緣部52。圓筒部51和旋轉部11保持著讓基板置入、重置在旋轉部11上之間隙」等內容可知，證據4之杯體20係用於回收廢液，回收部20 '係用於回收藥液，應係相當於系爭專利用於收集旋轉蝕刻槽流體之收集單元，因此，原判決認證據4之圓筒部51及具有周壁21之杯體20可構成一旋轉蝕刻槽，而已揭露系爭專利請求項1之旋轉蝕刻槽，固非妥適。惟證據4之基板1係放置於旋轉機構10之旋轉部11，其可固定及旋轉基板1，至圓筒部51 與旋轉部11所形成之間隙即相當於系爭專利請求項1之流體洩出口，是證據4之圓筒部51即具有系爭專利請求項1旋轉蝕刻槽之「槽壁」功能，而證據4圓筒部51及旋轉部11所形成之槽狀空間即相當於系爭專利請求項1之「旋轉蝕刻槽」，故證據4確已揭露系爭專利請求項1之「旋轉蝕刻槽」，且證據4、2之組合，均已揭露系爭專利請求項1整體技術內容之理由，原判決復已詳細敘明所屬技術領域中熟習該項技術者，組合上開證據之動機及輕易完成系爭專利請求項1之發明之理由，系爭專利請求項1仍難認具有進步性。㈥所謂判決不備理由係指判決全然未記載理由，或雖有判決理由，但其所載理由不明瞭或不完備，不足使人知其主文所由成立之依據。系爭專利說明書第6頁第12至16行之先前技術係記載「……於蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口，當轉軸93高速旋轉時，可將廢液離心拋向收集管951-953，隔離板961-963則可使欲收集的廢液集中流入特定之收集管。藉由調整台座92高度，可將不同廢液經由不同高度之液體洩出口送出。」是先前技術係欲解決晶圓旋轉蝕刻機台於蝕刻過程所產生不同廢液之收集或回收問題，而藉由調整台座92高度，將不同廢液經由不同高度之液體洩出口送出，以達到將清洗晶圓廢液集中流入特定之收集管之功效，原判決就此已詳予敘明，上訴意旨以：系爭專利說明書僅在說明先前技術之結構和作動，未提及該先前技術所要解決的問題及要產生的功效，顯有判決不備理由之違法云云，要無足採。㈦事實認定乃事實審法院之職權，茍其事實之認定符合證據法則，縱其證據之取捨與當事人所希冀者不同，致其事實之認定亦異於該當事人之主張者，亦不得謂為判決有違背法令之情形。經查，證據4與系爭專利請求項1比對後，已揭露「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」之技術特徵，且系爭專利請求項1與證據4之差異僅為：證據4未揭露系爭專利請求項1「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4僅揭露1個收集單元20 '設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」之技術特徵等情，為原判決所確定之事實，其理由說明雖未盡妥適，惟結論並無不同，已如前述。上訴意旨仍以：原判決認定證據4之圓筒部51和旋轉部11之間的空隙為系爭專利請求項1之流體洩出口，無法為證據4所揭示的內容支持云云，無非係就原審取捨證據、認定事實之職權行使，指摘其為不當或違背法則，或就原審所為論斷或駁斥其主張之理由，泛言其論斷不適用法規、違背法則，難認有據。㈧按「反向教示」係指相關引證中已明確記載或實質隱含有關排除申請專利之發明的教示或建議，包含引證中已揭露申請專利之發明的相關技術特徵係無法結合者，或基於引證所揭露之技術內容，該發明所屬技術領域中具有通常知識者將被勸阻而不會依循該等技術內容所採的途徑者。查系爭專利之先前技術係藉由調整晶圓台座之高度，將不同廢液經由不同高度之液體洩出口送出，證據2則係藉由廢液回收機構50整體相對該晶圓迴轉保持裝置10上下移動，而將廢液導引至不同之回收導管，證據4亦可藉由連設於收集單元20 '之上段液體導引部30及下段液體導引部40，相對旋轉部11上下移動，而將液體分別導引至回收部20 '或杯體20。因此，系爭專利之先前技術、證據2、4皆係利用固定及旋轉晶圓機構與收集單元之徑向開口之相對位置移動，達到將不同廢液分離回收之功效，其作動所產生之相對關係以及所達成之功效並無不同，二者間之差異僅是熟習該項技術者根據需求而能輕易調整者，且系爭專利之先前技術及證據2，抑或證據2及4，皆無互相排除相對元件不能移動之教示或建議，故上開證據間並不存在反向教示，無技術不相容之情事。原判決復已論明：證據2與系爭專利先前技術均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性、所產生功效相同，故熟習該項技術者有合理動機將證據2與系爭專利先前技術作結合；證據4與證據2均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性、兩者所產生的功效相同，故該熟習該項技術者有合理動機將證據4與證據2作結合等情，核與卷附證據相符，其認事用法，亦無違誤。上訴意旨以：證據2及系爭專利先前技術所要達到的功效並不相關、技術手段亦非相似，二者彼此間為反向教示，證據4揭示其收集單元為固定的，而反向教示以證據2可下、上移動之收集單元，技術本質不相容，上開證據無組合動機，原判決違反核准時專利法第20條規定云云，核無足採。㈨系爭專利說明書第11頁記載：「各個收集槽之間及收集槽與蝕刻槽的壁面之間可緊密接觸，使化學品不易滲漏至其他收集槽，避免交叉污染。」故系爭專利係透過收集單元徑向開口之頂部與旋轉蝕刻槽之外緣緊密接觸，達成避免廢液交叉污染之功效。原判決已敘明：證據2說明書第6頁記載「其目的又在提供一種具有廢液回收機構之晶圓表面處理裝置，其可因應處理液及洗淨液之種類將各廢液，特別是3種以上之廢液連續且有效的分離回收。」此外，證據4說明書第【0052】段則記載「發明是旋轉式基板處理裝置，是由在旋轉機構的周圍設置杯體，獨立（原判決誤載為「讀利」）升降可能的上下2段液體導引部所組合而成，可以避免液體的混合及確保藥液的高回收率。」足徵證據2、4均可達成將廢液有效的分離回收，而解決廢液滲漏混合造成交叉汙染之問題。至原判決認證據2、4、5之組合足以證明系爭專利請求項1至7不具進步性，係因證據2、4之組合已足以證明系爭專利請求項1至7不具進步性，而非就證據5所揭露內容再進一步加以組合，故實質上仍係證據2、4之組合，經核並無違反進步性判斷原則。上訴意旨以：證據2、4均未提出任何解決回收液體交叉污染問題之手段，故熟習系爭專利技術者並無動機組合證據2、4，又組合所需文獻數量愈多，通常視為非能輕易完成，原判決認證據2、4、5之組合足以證明系爭專利不具進步性，不符合進步性判斷方式，故原判決違反核准時專利法第20條規定云云，均非可採。㈩審判長或受命法官就事件之法律關係，應向當事人曉諭爭點，並得適時表明其法律上見解及適度開示心證，固為智慧財產案件審理法第8條第2項所明定，且依同法第34條第1項規定，於有關智慧財產權之行政訴訟，準用之。惟上開規定之立法目的係在於避免突襲性裁判及平衡保護訴訟當事人之實體利益及程序利益，如當事人於行政訴訟程序中所提出之新證據，已使當事人有充分辯論之機會，而不致對於當事人造成突襲，自無違反上開規定。經查，被上訴人於106年5月19日提出新證據後，原審先後於106年5月23日及同年6月20日進行準備程序，並於同年6月23日整理爭點通知當事人表示意見，且上訴人弘塑公司、智慧局亦分別提出陳述意見狀㈠、㈡及簡報資料，就系爭專利與證據2、4及系爭專利之先前技術有何差異，彼此間所欲解決之技術問題、解決問題之技術手段及所達成之功效，以及上開證據之組合對於該發明所屬技術領域中具有通常知識者是否明顯等判斷進步性相關之事項充分辯論。原審依據上開辯論之結果作為裁判基礎，即不致對於當事人造成突襲，自無違反智慧財產案件審理法第34條第1項準用第8條規定。上訴意旨以：原判決將系爭專利之先前技術及證據2或證據2、4予以組合，有不適用智慧財產案件審理法第34條第1項準用第8條規定之違背法令云云，非有理由。 綜上所述，原判決以系爭專利請求項1至7有不具進步性之情事，違反核准時專利法第20條第2項之規定，而撤銷訴願決定及原處分關於「請求項1至7舉發不成立」部分，並命上訴人智慧局應就系爭專利為舉發成立應予撤銷之處分，並無違誤。原判決就新證據對應於系爭專利之技術特徵部分，理由雖有不當，惟尚不影響系爭專利權應予撤銷之結論，而不影響判決結果，不得據以廢棄原判決（行政訴訟法第258條）。上訴論旨，指摘原判決違背法令，求予廢棄，為無理由，應予駁回。七、據上論結，本件上訴為無理由，依智慧財產案件審理法第1條及行政訴訟法第255條第1項、第98條第1項前段、第104條，民事訴訟法第85條第1項前段，判決如主文。中　　華　　民　　國　　107　年　　8　　月　　16　　日最高行政法院第三庭審判長法官　吳　明　鴻法官　林文舟法官　黃　淑　玲法官　姜　素　娥法官　林　欣　蓉以上正本證明與原本無異中　　華　　民　　國　　107　年　　8　　月　　16　　日書記官　劉　柏　君

最高行政法院(含改制前行政法院)107年度判字第471號

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