107年度重上字第776號｜民事：返還訂金｜裁判日期：109 年 06 月 10 日

臺灣高等法院民事判決 107年度重上字第776號上訴人光陽光電股份有限公司法定代理人葉勝發訴訟代理人姜宜君律師被上訴人友上科技股份有限公司法定代理人羅文保訴訟代理人林世勳律師上列當事人間請求返還訂金事件，上訴人對於中華民國107年7月16日臺灣新竹地方法院105年度訴字第47號第一審判決提起上訴，本院於109年5月13日言詞辯論終結，判決如下：主文上訴駁回。第二審訴訟費用由上訴人負擔。事實及理由壹、程序部分：按當事人於第二審不得提出新攻擊或防禦方法，但對於在第一審已提出之攻擊或防禦方法為補充者、如不許其提出顯失公平者，不在此限，民事訴訟法第447條第1項第3款、第6款定有明文。查上訴人於本院始以其依訂購單（下稱系爭契約）之訂購基本合約第2條B款約定，對被上訴人有遲延交貨罰款新臺幣（下同）77萬8,050元債權、依民法第227條第2項規定對被上訴人有不完全給付之損害賠償債權（包含損壞載盤造成之損失39萬9,000元及減少產量短差1,282萬245元），與被上訴人反訴得請求之價款為抵銷，固屬於第二審提出新攻擊防禦方法，然審酌上開抗辯攸關反訴部分上訴人是否應向被上訴人給付剩餘價款，如不許上訴人在第二審為上開抗辯，實屬顯失公平，自應准許上訴人於本院提出。另上訴人於原審已提出裝機測試表、機台Uptime統計表等件主張其向被上訴人訂購之品名：「R&R PECVD用L/UL automation」機器設備（下稱系爭設備）存有瑕疵，且未達約定之驗收條件，並以此為由解除系爭契約（見原審卷一第6-7頁、第22-28頁），其於本院復提出系爭設備有如附表所示瑕疵之抗辯部分，核屬對於在第一審已提出之攻擊防禦方法為補充，且系爭設備如確有附表所示之瑕疵，而不許其於第二審提出，亦將造成顯失公平，依前揭規定，應予准許。貳、實體部分：一、本訴部分：㈠上訴人主張：伊為生產太陽能晶片，於民國102年11月21日向被上訴人訂購系爭設備一台，並簽立系爭契約，雙方約定總價金為997萬5,000元（含稅），伊已依約支付30%之訂金即299萬2,500元予被上訴人收受。兩造並於103年6月11日簽訂補充協議書（下稱系爭補充協議），明確規範系爭設備應達共通規格書（下稱系爭共通規格書）之規格及驗收標準，而依系爭共通規格書所載之驗收條件，系爭設備需達到破片率小於0.5%、uptime（即稼動率）大於97%、Throughput（即產速）達每小時2,800片。被上訴人將系爭設備交予伊後，伊於103年4月21日開始初步試產，發現系爭設備無法達到驗收標準，並有如附表所示多項異常狀況未排除，嗣經兩造派員於103年5月21日、22日就系爭設備連續24小時測試結果（下稱系爭2日測試結果），系爭設備之稼動率僅有94.03%，未達97%之標準。兩造於103年5月28日開會討論後，被上訴人於103年6月3日開始派員至伊公司駐廠進行系爭設備之修繕，並達成於103年7月14日至7月18日間進行第二次驗收之合意，然系爭設備迄至103年6月30日仍有異常狀況未修復，且於103年6月30日突然發生完全當機而無法運作及密碼license key鎖住之重大瑕疵。又依系爭設備103年4月13日至同年6月30日之生產日報表計算結果，系爭設備之產速亦未達每小時2,800片之驗收標準。伊乃於103年7月1日以電子郵件限被上訴人於同年7月2日12時前將系爭設備改善至符合規格，否則將於同年7月3日移置機台，詎被上訴人竟未進場修補瑕疵，反要求伊應先給付交機款及裝機款，伊因而移置機台，系爭設備顯有因可歸責於被上訴人之事由，而有不完全給付且無從補正之給付不能情形。伊業於103年7月21日依民法第227條第1項、第226條、第256條規定及系爭補充協議第1 條A、C二款約定解除系爭契約，並經被上訴人於103年7月22日收受解約之意思表示。爰依民法第259條第2款規定，求為命被上訴人返還其自伊處所受領之訂金299萬2,500元，並加計自起訴狀繕本送達翌日起算之法定遲延利息等語。（原審就本訴部分為上訴人敗訴之判決，上訴人不服，提起上訴）。並於本院聲明：⒈原判決關於本訴部分廢棄。⒉被上訴人應給付上訴人299萬2,500元，及自起訴狀繕本送達翌日起至清償日止，按週年利率百分之5計算之利息。⒊願供擔保請准宣告假執行。㈡被上訴人則以：伊於103年3月31日將系爭設備交付上訴人並安裝完成，上訴人本應依約給付交機款及安裝款，迄今仍未支付。兩造雖於103年5月21日、22日進行第一次測試，然系爭2日測試結果之「雙方代表簽證」欄未經雙方簽名確認，且該次測試結果之數據並非正確，亦與系爭共通規格書約定以「運行壹週」來計算數值之驗收條件不符，因兩造就系爭2日測試結果認知歧異，其後兩造於103年6月11日簽訂系爭補充協議，於103年6月25日合意於103年7月14日至18日進行第二次驗收，由第二次驗收測試取代系爭2日測試結果，可見上訴人以系爭2日測試結果主張伊給付之系爭設備未符合系爭共通規格書之驗收條件，要無理由。另就產速部分，上訴人提出之生產日報表之時間非兩造約定驗收之時間，且證人黃承照所證述以平時生產情形計算產速，亦不符系爭共通規格書之驗收條件約定以「壹週」時間長度為計算之約定。伊並先告知上訴人因license key即將於103年6月30日到期，請上訴人先給付交機款及安裝款，license key係指系爭設備中之軟體，在測試階段基於安全考量避免超時使用，於軟體中設有使用期限，期限屆至後，只要經登錄設備軟體延長期限後即可繼續使用，license key之存在並非瑕疵，更與是否完全履行給付義務無關，然上訴人均未繳款，嗣系爭設備於103年6月30日因license key到期停止運轉後，伊當日即派員至上訴人公司欲將license key解鎖延長使用日期以恢復系爭設備運轉，惟經上訴人拒絕伊入廠解鎖，則license key到期停止運轉，未能立即延長期限，顯非可歸責於伊。且兩造已另行合意系爭設備之驗收日為103年7月14日至18日，系爭設備只要在該驗收日期達驗收標準即可，在該給付期限之前，縱使系爭設備停止運轉，亦非屬不完全給付。縱認有不完全給付之情，惟系爭設備之稼動率、產速及如附表所示之瑕疵，均屬得修補之瑕疵，無給付不能之情事。至license key到期客觀上只要延長期限即可補正，上訴人於103年7月1日以電子郵件要求伊於翌日12時前改善，顯非合理之補正期限，其並逕行於103年7月3日將系爭設備斷電及移動，迨至約定之驗收日即103年7月14日，上訴人仍拒絕驗收，明白拒絕履行給付買賣價款之義務，是上訴人逕於103年7月21日以存證信函解除契約，並非合法。縱認上訴人解除契約有理由，則雙方應互負回復原狀義務，上訴人即應返還並回復系爭設備至訂約時之狀態，惟因上訴人於103年7月3日未經伊同意自行拆卸系爭設備，未予通電保護，致其中元件資料遺失，軟體程式、參數設定均逸失，且未為任何防護致零件老化、氧化，系爭設備已無法回復至移機時之狀態，依民法第262條規定，系爭設備因可歸責於上訴人之事由毀損，上訴人解除權應歸於消滅。縱上訴人之解除權未消滅，得請求伊返還299萬2,500元，然系爭設備業因上訴人於解除契約前拆除而毀損，伊亦得依民法第259條第6款規定請求上訴人償還系爭設備之價額380萬56元，並以此價額為抵銷等語，資為抗辯。並於本院聲明：⒈上訴駁回。⒉如受不利判決，願供擔保請准宣告免為假執行。二、反訴部分：㈠被上訴人反訴主張：上訴人向伊購買系爭設備，兩造已於系爭契約約明總價金997萬5,000元，付款條件為訂金支付總價金30%，交機前支付總價金25%，安裝完成時支付總價金25% ，驗收後支付總價金20%。上訴人已給付30%訂金即299萬2,500元，伊則已於103年3月31日交付系爭設備並完成安裝作業，上訴人自應給付交機款及安裝款，然上訴人拒絕支付，且於雙方約定之驗收日期即103年7月14日前逕自將系爭設備拆卸，拒絕進行驗收測試，以此方式阻止驗收款之付款條件成就，並於103年7月21日以存證信函單方解除系爭契約，伊已於103年7月21日以存證信函要求上訴人立即依約支付剩餘價款，卻未獲置理。上訴人不願於雙方約定之驗收日即103年7月14日至18日進行驗收，卻提前於103年7月3日逕自行將系爭設備拆卸，係因其早於兩造103年5月21日第一次驗收前，即已於103年5月14日向訴外人均豪精密工業股份有限公司（下稱均豪公司）採購與系爭設備類似之「PECVD用Load/Unload automation機台設備」（下稱新機器設備），且均豪公司亦有轉投資上訴人公司，兩公司之負責人均為葉勝發，上訴人公司之監察人亦為均豪公司之法人代表，足見上訴人早已無驗收系爭設備之意，其故意阻止付款條件成就，目的乃在於另與其母公司或投資人交易。上訴人故意使付款條件不成就，已構成權利濫用，依民法第101條第1項規定，應視為付款條件均已成就。爰依系爭契約約定，求為命上訴人給付剩餘價金698萬2,500元（含稅），並加計自反訴起狀繕本送達翌日起算之法定遲延利息等語。（原審就反訴部分為上訴人敗訴之判決，上訴人不服，提起上訴）。並於本院聲明：上訴駁回。㈡上訴人則以：被上訴人交付之系爭設備存有瑕疵，無法達到驗收標準，伊已依法解除系爭契約，被上訴人自無從再依系爭契約請求伊給付剩餘之價金。縱系爭契約仍存在，然於被上訴人提供無瑕疵之給付前，伊依民法第264條規定得行使同時履行抗辯權，拒絕給付剩餘之買賣價金。又系爭設備於103年6月30日無法運轉，伊通知被上訴人前來處理，被上訴人置之不理，伊僅得依法解除契約，並無以不正當方法刻意阻止驗收工作之事。至伊於103年5月14日向均豪公司下單採購之新機器設備，係為將來導入高效率產品PERC製程所新增的PECVD設備而準備，並非用以取代系爭設備，與伊解除系爭契約無關。倘被上訴人得請求伊給付剩餘價金，伊得以下列款項與被上訴人得請求之金額為抵銷：⒈遲延交貨罰款77萬8,050元：兩造約定系爭設備應於103年3月13日交貨，然被上訴人延遲至103年4月21日開始放量測試，計延遲39天，依系爭契約之訂購基本合約第2條B款「遲延交貨罰款，遲延一天訂單總金額0.2%」之約定，被上訴人應給付罰款77萬8,050元。⒉因系爭設備瑕疵致損壞伊之載盤，損失39萬9,000元：系爭設備於103年5月13日發生重大機況，造成伊之載盤損壞，該載盤價值39萬9,000元，伊自得依民法第227條第2 項規定請求被上訴人賠償。⒊因系爭設備瑕疵致伊減少產量短差1,282萬245元：因系爭設備瑕疵，致伊減少402萬1,659片產量短差，以伊於103年4月21日開始試量產至103年8月17日第三人的機台試量產期間，伊出售6吋多晶太陽能電池片區間價格平均每片美金1.5元計算，損失以毛利7%計算，伊受有美金42萬3,509元損失，匯率以30.36計，相當於新臺幣1,282萬245元，伊自得依民法第227條第2項規定請求被上訴人賠償，以上共計1,399萬7,295元等語，資為抗辯。並於本院聲明： ⒈原判決關於反訴部分廢棄。⒉被上訴人在第一審之反訴及假執行之聲請均駁回。三、兩造不爭執事項：㈠上訴人於102年11月21日向被上訴人訂購系爭設備，雙方約定總價金為997萬5,000元（含稅），上訴人已支付30%訂金即299萬2,500元，上訴人另應於交機前支付25％價金、安裝完成支付25%價金、驗收後支付20%價金。被上訴人於103年3月31日交付系爭設備予上訴人。有訂購單、補充協議書、共通規格書在卷可稽（見原審卷一第9-20頁）。㈡上訴人於103年5月15日寄送電子郵件予被上訴人表示「系爭設備於103年3月30日進廠安裝後，於103年4月21日開始放量測試機臺功能，認無法達到標準，從103年5月16日開始停用機臺並請被上訴人配合移機。」。經被上訴人於103年5月15日以電子郵件表示將修正，上訴人即於103年5月16日以電子郵件表示再提供一次修正機會，無法改善將解除契約。有上開電子郵件可證（見原審卷一第72-76頁）。㈢兩造於103年5月21日、22日有就系爭設備進行連續24小時測試。上訴人於103年5月22日寄送電子郵件表示系爭設備未通過測試，被上訴人於103年5月23日以電子郵件回覆「該測試係因R&R 無法跟上速度所致，數據並不正確」等語。有上開電子郵件可證（見原審卷一第70-72頁）。㈣兩造於103 年6 月11日簽立系爭補充協議，約定依共通規格書，系爭設備於安裝完成後一個月內實施驗收測試，設備安裝完成後需立即運行一週來計算有無達到驗收條件，驗收條件為破片率小於0.5%、稼動率（uptime）大於97%、產速（throughput ）達到每小時2800片。有系爭補充協議、共通規格書在卷可稽（見原審卷一第10-20頁）。㈤上訴人於103年6月19日寄送電子郵件予被上訴人，表示將有關UPH算法，再明確定義每盤cycle time計算起點及終點，釐清雙方歧異，改善事項應於結束駐廠前完成，並在103年6月27日前選定一天連續測試24小時來驗證駐廠期間改善成果。有上開電子郵件可證（見原審卷一第81頁）。㈥上訴人於103年6月25日寄送電子郵件予被上訴人，表示希望在103年7月21日至25日為期一週進行驗收測試，被上訴人於同日以電子郵件回覆，表示希望驗收日期安排在103年7月14日至18日，且請上訴人在103年6月30日前提供匯款水單，因為需要索取license key。有上開電子郵件可證（見原審卷一第93、98頁）。㈦系爭設備自103年6月30日24時起無法運作，上訴人於103年7月1日寄送電子郵件予被上訴人，要求被上訴人在103年7月2日改善至符合機台規格，否則將於同年7月3日移動機台。被上訴人則於103年7月7日以電子郵件表示6月30日有派員到廠遭阻止進入。有上開電子郵件可證（見原審卷一第102-104 頁）。㈧上訴人於103年7月21日寄送存證信函予被上訴人，為解除契約之意思表示，該存證信函經被上訴人於103年7月22日收受。有湖口新工郵局第92號存證信函及回執可證（見原審卷三第59-62頁）。㈨被上訴人於103年7月21日寄送存證信函予上訴人，請上訴人支付698萬2,500元，該存證信函經上訴人於103年7月22日收受。有新市○○○區○○○000號存證信函及回執可證（見原審卷一第107-110頁、卷三第70頁）。四、本訴部分：上訴人主張其向被上訴人購買之系爭設備有瑕疵，且未達系爭共通規格書約定之驗收標準，有不完全給付而無法補正之給付不能之情，伊已合法解除契約，自得依民法第259條第2款規定請求被上訴人返還其已付訂金299萬2,500元等語，惟為被上訴人所否認，並以前詞置辯。經查：㈠系爭設備是否因可歸責於被上訴人之事由，而有不完全給付（適用給付不能）之情形？上訴人依民法第227條第1項、第226條、第256條規定，及補充協議第1條A、C二款約定，解除系爭契約是否合法？ ⒈按因可歸責於債務人之事由，致為不完全給付者，債權人得依關於給付遲延或給付不能之規定行使其權利，民法第227 條第1項定有明文。次按因可歸責於債務人之事由，致給付不能者，債權人得請求賠償損害；債權人於有第226條之情形時，得解除契約，民法第226條第1項、第256條亦有明定，則債權人主張因可歸責債務人之事由未依債之本旨為給付，如其不完全給付之情形可能補正者，依給付遲延之法則行使權利，不完全給付之情形不能補正者，依給付不能之法則行使權利。又依系爭補充協議第1條約定：「甲方（即被上訴人）有下列事由之一，且不可歸責於乙方（即上訴人）者，乙方得以書面限期改善，逾期未改善者乙方得逕自書面通知甲方解除本協議書：A.甲方交機安裝後未達共通規格書約定之驗收標準或原機台具重大瑕疵而導致無法生產者....C.除不可抗力外，甲方有給付不能、拒絕給付、遲延給付、不完全給付等債務不履行或違反本協議之違約情事發生，乙方可要求甲方限期改善，同時乙方得依民法暨本約相關規定主張一部或全部解除或終止契約並請求損害賠償，或得請求減少價金。」（見原審卷一第10頁）。又系爭共通規格書約定之驗收條件為：設備於安裝完成後一個月內實施驗收測試，設備於安裝完成後需立即運行一週來計算有無達到破片率≦0 .5%、uptime（即稼動率）≧97%、Throughput（即產速）280 0WPH（每小時2,800片）（見原審卷一第17頁）。足見系爭設備於安裝完成後須運行一週以驗收是否達稼動率97%、產速每小時2,800片之標準，倘驗收結果未達系爭共通規格書所載之驗收標準或機台有重大瑕疵致無法生產，經書面通知限期改善逾期仍未改善後，且不可歸責於上訴人時，上訴人始得解除系爭契約。 ⒉系爭設備是否符合共通規格書之驗收標準有關稼動率大於97% 、產速達到每小時2,800片？ ⑴上訴人主張兩造派員於103年5月21日、22日就系爭設備連續24小時測試結果，系爭設備之稼動率僅有94.03%，未達97%之標準云云，固據提出裝機測試表、機台uptime統計表為證（見原審卷一第21-28頁）。然依系爭共通規格書之驗收標準所載，系爭設備於安裝完成後須「運行一週」以驗收是否達稼動率97%，有系爭共通規格書在卷可稽（見原審卷一第17頁）。而觀上開裝機測試表、機台uptime統計表，雖記載測試日期103年5月21日、22日共計1,440 分鐘，103年5月21日14時至17時45分load時停機32分鐘、unload時停機13分鐘（註記：重開程式10m-流通異常3m）、同日18時至18時30分unload時停機30分鐘（註記：手臂吸盤斷裂）、同日21時18分至21時29分load時停機11分鐘（註記：載盤取樣異常），共計停機86分鐘，故稼動率為94.03%〔計算式：（1,440－86）÷1,440＝0.94027〕等節（見原審卷一第21-22頁、第25頁、第27頁），惟上訴人僅接連測試二日，此與兩造於系爭共通規格書約定「運行一週」之驗收方式不符。參以被上訴人收受上訴人以電子郵件寄送之上開裝機測試表、統計表後，旋於105年5月23日回覆上訴人表示：「該數據並不正確，停機32分鐘部分係因上訴人公司R&R機台無法跟上系爭設備速度，被上訴人需要調整加以配合；停機43分鐘係因調整後跑貨時手臂點位錯誤所致，實際停機時間僅為31分鐘；停機11分鐘係因上訴人公司人員操作錯誤，不應計入」等情，有電子郵件在卷可稽（見本院卷一第123頁），其後兩造並合意於103年7月14日至18日進行第二次驗收。足見兩造對於上開測試結果之系爭設備當機時間及原因均尚有爭執，兩造對於該數據之認知不同，稼動率測試結果未達97%之數據僅為上訴人單方詮釋，故兩造約定由被上訴人繼續進廠修正機台後，於103年7月14日至18日再度就系爭設備進行驗收測試。準此，自不能僅以上開由上訴人單方製作裝機測試表、機台uptime統計表所計算之數據，即遽認系爭設備之稼動率未達97%。 ⑵上訴人又主張依系爭設備驗收條件之產速每小時2,800片，換算每日產速至少應達6萬7,200片/日，扣除交換班時間，縱以每日運轉18小時計算，每日產速亦需達5萬0,400片，惟其自103年4月13日起至同年6月30日止，依系爭設備生產日報表計算系爭設備產速，期間每日最高平均產速為3萬5,253片/日，最低產速為1萬2,631片/日，系爭設備之產速並未達驗收條件之每小時2,800片云云，固據提出系爭設備之投產數量資料、103年4月至6月之生產日報表為證（見本院卷一第111-118頁、第271-408頁）。然查： ①系爭設備於安裝完成後須運行一週以驗收是否達產速每小時2,800片之標準，且兩造業已合意於103年7月14日至18日進行第二次驗收等節，已如前述，上訴人雖提出系爭設備之投產數量資料、生產日報表為證，惟此並非兩造依系爭共通規格書約定就系爭設備所為之測試，自難僅以上訴人自行計算之產量，作為系爭設備未達系爭共通規格書約定驗收條件之依據。 ②雖證人即上訴人公司之廠長黃承照於本院證稱：生產日報表之制作流程為產線24小時連續運作，人員有分4 個班，一天有兩個班，早上7點半到晚上7點半為日班，晚上7點半到隔天早上7點半為夜班，每班上班會帶生產日報表，每班做紀錄，紀錄進出生產數量、良品數、不良品數、機台狀況時間（停機時間、機台異常狀況），因為有紀錄進出產出的數量，以此數量作計算，可以計算系爭設備之產速等語（見本院卷二第18-20頁）。惟觀被上訴人於103年6月17日寄送予上訴人之電子郵件內容：「就剛剛開會內容所討論，我司的Unloader UPH照我司UPH算法已經達到UPH2800，實因R&R Unloader Buffer段的速度無法提升而會導致整體速度無法拉升，此為R&R的瓶頸部分。故貴司希望在驗證UPH部分，等我司提出再加一個流道之後，評估整體加一個流道設計所需的時間後，再來進行驗證UPH部分，此部分我司會盡快提出設計概念與評估整體時程後，再跟貴司提出。」、上訴人於103年6月19日寄送予被上訴人之電子郵件記載：「於mail時提到的UPH算法，我將再更明確定義每盤cycle time的計算起點與終點並會列入此次要簽訂的協議書中的規格附件，釐清雙方在此點的歧異。由於下週五將結束駐廠，會議中提及的所有改善事項，均必須在結束駐廠前完成，並在6/27前選定一天連續測機24小時，來驗證駐廠期間改進的成果，做法與上一次的方式相同，雙方派員記錄期間的破片率與uptime，以驗證機台的改善成效。」、「貴司修訂過之補充協議書内容，經我司確認後，同意以貴司修訂後之内容作為此雙方協議書之正式版本，惟原規格書訂立之機台產速(Throughput)計算方式，未有嚴謹之明確定義，致貴司現場駐廠人員與我方發生多所爭執，致使機台改善作業無法順利遂行。依此我司認定有明確定義此一項目之必要，並依此補充協議書内容之第五項..。」等語（見原審卷一第81-82頁、第85頁）。可知迄至103年6月19日，兩造就產速之計算方式仍在討論如何驗證及明確定義，以避免雙方再產生歧異，並約定於駐廠結束將應改善事項完成改善後，於103年6月27日前先擇一日驗證被上訴人駐廠期間改進之結果，兩造並合意於103年7月14日至18日間為期連續一週之驗收測試，則兩造就產速驗收之計算方式既仍在討論確定中，並約定於應改善事項完成後，再於103年7月14日至18日為驗收測試，上訴人自不得逕以其自行製作之系爭設備投產數量資料、生產日報表，作為被上訴人未達系爭共通規格書約定驗收條件之依據。是上訴人主張系爭設備之產速並未達驗收條件之每小時2,800片云云，委不足採。 ⒊系爭設備於103年6月30日開始無法運轉及被上訴人未解開lic ense key，是否屬重大瑕疵？ ⑴上訴人主張系爭設備於103年6月30日無法運轉及未解鎖，屬導致無法生產之重大瑕疵云云。然上訴人於103年6月19日以電子郵件告知被上訴人，表示將系爭補充協議定稿以電子郵件寄給被上訴人用印，並主動告知將於收到契約紙本用印完成一週後支付交機與安裝款予被上訴人；又上訴人於103年6月25日寄送電子郵件予被上訴人，表示希望在103年7月21日至25日為期一週進行驗收測試；被上訴人則於同日以電子郵件回覆，表示希望驗收日期安排在103年7月14日至18日，且請上訴人在103年6月30日前提供匯款水單，因為需向購買機器手臂之美國廠商Adept索取解鎖之license key等情，有上開電子郵件在卷可稽（見原審卷一第85頁、第93頁、第98頁）。其後上訴人於103年7月1日寄送電子郵件告知被上訴人系爭設備於103年6月30日無法運作之事，被上訴人隨即於同日以電子郵件告知上訴人，其於103年6月30日有派員進廠要將license key解鎖，卻遭上訴人拒絕進入，且會將機台解鎖恢復，也希望上訴人能依約付款等情，有上開電子郵件附卷可憑（見原審卷一第102至103頁）。依上開電子郵件內容觀之，顯見上訴人先於103年6月19日表示將於簽署系爭補充協議紙本一週後支付交機款與安裝款，被上訴人始於103年6月25日請上訴人先支付該部分款項，用以在103年6月30日到期前向購買設備之廠商索取license key，且被上訴人於103年6月30 日即有試圖進廠解鎖，惟遭上訴人拒絕，被上訴人於103 年7月1日電子郵件雖有詢問上訴人為何不依先前承諾支付交機與安裝完成款，惟亦表示會讓系爭設備恢復。堪認被上訴人於103年6月30日前即已告知上訴人系爭設備於103 年6月30日因使用期限到期，必須登入軟體將license key解鎖方能運轉之事，上訴人尚未支付交機款與安裝完成款，被上訴人仍願意為上訴人解除license key，僅係因遭上訴人拒絕而不得其門而入，系爭設備於103年6月30日無法運轉，並非因系爭設備本身有何重大瑕疵所致。則上訴人主張系爭設備係因被上訴人拒絕解鎖而迄今無法恢復，洵非足取。被上訴人辯稱系爭設備自103年6月30日起無法運轉，係因上訴人拒絕其進廠將license key解鎖延長使用期限，並非瑕疵，應屬可採。 ⑵上訴人雖主張系爭設備license key鎖住後，被上訴人並未於103年6月30日前來其公司，僅曾指派傅志偉於103年7月1日晚間9時至10時39分間，以復機為由進入其公司，然並未執行復機程序，其並無拒絕被上訴人進廠將license key解鎖延長使用期限之情事云云，並提出安全管理訪客進出登記表為證（見本院卷一第119頁）。然查，依被上訴人於103年7月1日回覆上訴人之電子郵件內容略以：「敝公司客服工程師昨日（即103年6月30日）要進廠去將這個LICENSE的日期改掉卻不被允許進入而導致此等情況發生，對此感到遺憾。」，及其於103年7月7日寄送予上訴人之電子郵件內容略以：「6月30日本公司客服人員有到場要進行維修，卻遭貴公司人員阻止入廠，導致機台不知因何緣故無法作動運行，對此我們深感遺憾。」等語，有上開電子郵件附卷可憑（見原審卷一第102-104頁），堪認被上訴人於103年6月30日確曾派員至上訴人公司處理license key解鎖之事，惟遭上訴人拒絕入廠。上訴人提出之上開安全管理訪客進出登記表上固未見103年6月30日有被上訴人人員進入之登記資料，僅載有被上訴人員工傅志偉於103年7月2日以「復機」為由進入上訴人公司之記載（見本院卷一第119頁），然上訴人既於103年6月30日拒絶被上訴人人員入廠，其安全管理訪客進出登記表上該日本即不會有被上訴人人員進廠之紀錄，此與常情並無不符。另縱上訴人同意被上訴人員工傅志偉於103年7月2日晚間9時（上訴人稱此應係103年7月1日之誤載）進入工廠，惟觀上訴人於103年7月1日寄予被上訴人之電子郵件所載內容，係限被上訴人於103年7月2日中午12時前限期改善系爭設備至符合機台規格，有該電子郵件在卷可稽（見原審卷一第102頁），則被上訴人人員於該日進入工廠後，顯已逾上訴人限期改善之時間，實際上上訴人究有無允許被上訴人人員就系爭設備為復機之處理，尚難僅以該安全管理訪客進出登記表之記載即為認定，是上訴人據此主張其並無拒絕被上訴人進廠將license key解鎖延長使用期限，且上訴人未能執行復機程序，致系爭設備無法運作云云，委不足取。 ⒋系爭設備是否有如附表所示（即上證4-1紅色標示部分）之瑕疵？是否屬重大瑕疵？上訴人雖主張系爭設備有如附表所示瑕疵未排除，且屬重大瑕疵，因系爭設備有如附表所示之瑕疵，致其產速於103年4月平均每日為1萬2,631片、103年5月平均每日為1萬9,890片、103年6月平均每日為3萬5,253片，系爭設備顯無法達到共通規格書之驗收條件產速每小時2,800片云云。而依證人張友謙於本院證述：上証4-1紅色標示處是尚未排除之異常狀況，於系爭設備license key在103年6月30日遭鎖住時仍存有各該異常狀況，對於系爭設備的稼動率或產速會有影響等語（見本院卷二第102-104頁），固可認系爭設備於103年6 月30日時確存有如附表所示之異常狀況。然該等異常狀況依上訴人記錄如附表所載之異常處理過程（見本院卷一第241-246頁），尚非不得予以排除，而兩造業已合意於107年7月14日至18日間為驗收，則於驗收之前，尚難以系爭設備因存有附表所示異常狀況而認未達系爭共通規格書之驗收條件。被上訴人103年5月23日寄送予上訴人之電子郵件記載「因為R&R無法跟上我們的速度，所以我方（即被上訴人）需要降慢速度來配合,這不是和貴公司之前指控差距甚遠嗎？」等語（見原審卷一第70頁）；及兩造103年5月21日會議記錄記載「速度需搭配R&R產出速度」等語（見原審卷一第161頁）；被上訴人提出之調整機台匯整統計表亦記載103年4月2日「另R&R今日還無法進行交握測試」、4月4日「Elr、Will有與R&R工程師討論I/O，R&R工程師現場測試也有發現些許問題，故交握部分目前仍無法進行測試」、4月5日「..R&R部分有些許問題」、4月6日「由於R&R本日無人到場，R&R的軟體無法順利開啟..」、4月9日「今日R&R仍無法進行Tray傳送測試..」、4月10日「..但需視R&R軟體修改情況而定」、4月11日「..且平時須配合R&R測試無法進行大量測試」、4 月19日「..早上因昨日R&R機故尚未完全排除..」、4月22日「..明日早上因R&R需改管線..」等情（見本院卷一第437-450頁），足認系爭設備尚須與R&R機台配合及調整，R&R機台亦有諸多問題尚待處理，R&R機台亦為影響系爭設備產速、稼動率之原因。是尚難僅以證人張友謙上開證述情詞即遽認系爭設備存在之各該異常狀況，對於系爭設備的稼動率或產速有影響。況依上訴人提出之投產數量資料所載（見本院卷一第111-114頁），可知系爭設備縱有瑕疵，然仍得生產運作，且自103年4月中旬至6月30日間，其產量係呈逐步增加狀態，足認系爭設備如附表所示之瑕疵尚非屬重大，且並未導致無法生產。㈡上訴人於103年7月22日解除系爭契約，是否合法？上訴人依民法第259條第2款規定，請求被上訴人返還299萬2,500元，有無理由？承前所述，上訴人就系爭設備存有如附表所示之異常狀況，致影響系爭設備之產速、稼動率，及系爭設備未達系爭共通規格書之驗收標準、或機台具重大瑕疵而導致無法生產等情，均未能舉證以實，且被上訴人就上訴人主張之異常狀況亦均進行修正改善，該等異常狀況顯非客觀上無法修補，自無適用給付不能之法則可言，況兩造業已合意於103年7月14日至18日為驗收，於驗收前亦難認被上訴人有何不完全給付之情，則上訴人依民法第227條第1項、第226條、第256條規定，及補充協議第1條A、C二款規定，於103年7月21日以存證信函解除系爭契約，並不合法。上訴人解除系爭契約既不合法，其依民法第259條2款規定請求返還已支付之訂金299萬2,500元及利息，應屬無據。五、反訴部分：被上訴人主張其已於103年3月31日交付系爭設備並完成安裝作業，上訴人自應給付總價金25%之交機款及25%之安裝款，且上訴人於兩造約定之驗收日期即103年7月14日前逕自將系爭設備拆卸，拒絕進行驗收測試，以阻止驗收款之付款條件成就，依系爭契約約定之付款條件、民法第101條第1項規定，驗收款之付款條件視為已成就，其自得請求上訴人給付698萬2,500元等語，惟為上訴人所否認，並執前詞為辯。經查：㈠被上訴人依系爭契約約定之付款條件、民法第101條第1項規定，請求上訴人給付698萬2,500元，有無理由？ ⒈按附停止條件之法律行為，於條件成就時，發生效力；因條件成就而受不利益之當事人，如以不正當行為阻其條件之成就者，視為條件已成就，民法第99條第1項、第101條第1項分別定有明文。次按民法所謂條件，係當事人以將來客觀上不確定事實之成就或不成就，決定法律行為效力之發生或消滅之一種附款；茍當事人非以法律行為效力之發生繫於將來不確定之事實，而僅以其履行繫於不確定之事實之到來者，則非條件，應解釋為於其事實之到來時，為權利行使期限之屆至；在此情形，若該事實之到來確定不發生，應認其期限已屆至。倘債務人以不正當行為阻止該事實之發生，類推適用民法第101條第1項規定，應視為清償期已屆至；當事人預期不確定事實之發生，以該事實發生時為債務之清償期者，應認該事實發生時或其發生已不能時，為清償期屆至之時（最高法院87年台上字第1205號判例、28年上字第1740號判例意旨參照）。又所謂不正當行為，不僅限於作為，不作為亦屬之，祇須依客觀事實足認受不利益之當事人，有阻止條件成就之故意，不論係積極的作為防止條件成就，或消極的不作為使條件無法成就均屬之（最高法院86年度台上字第22號、86年度台上字第2280號裁判意旨參照）。查依系爭契約備註欄所載付款期程為：「30%訂金、25%交機前、25%安裝完成、20%驗收後」，可知上開各期款之支付時點履行繫於不確定之事實之到來，即以交機、安裝完成、驗收後為權利行使期限之屆至，倘上訴人以不正當行為阻止該事實之發生，應類推適用民法第101條第1項規定，視為清償期已屆至。 ⒉關於交機款及安裝完成款部分： ⑴被上訴人主張上訴人於102年11月21日向其訂購系爭設備，雙方約定總價金為997萬5,000元（含稅），上訴人已支付30%訂金即299萬2,500元，上訴人另應於交機前支付25％價金、安裝完成支付25%價金、驗收後支付20%價金，其已於103年3月31日交付系爭設備予上訴人等情，為兩造所不爭執，並有系爭契約書在卷可稽（見原審卷一第9頁），堪可信實。被上訴人又主張系爭設備業經其於103年3月31日交付並進廠安裝完成乙節，此觀103年5月15日上訴人寄送予被上訴人之電子郵件所載「系爭設備於103年3月30日進廠安裝後，於103年4月21日開始放量測試機臺功能」等語自明（見原審卷一第76頁），堪認系爭設備於103年3月31日已交付上訴人並安裝完成。系爭設備既已交付並安裝完成，被上訴人依系爭契約之付款條件約定，請求上訴人給付交機款及安裝完成款，自屬有據。 ⑵上訴人雖抗辯安裝完成是指系爭設備必須達到約定之功效，故系爭設備尚未安裝完成，安裝完成款之清償期尚未屆至云云（見原審卷三第10頁）。然依系爭契約所載付款期程區分為交機款、安裝完成款及驗收款，及系爭補充協議第1條A款約定，系爭設備於交機安裝後必須達到共通規格書所載之驗收標準，可知系爭設備必須安裝完成後始能進行驗收，故安裝完成與驗收係分屬不同階段之付款期程，自不容上訴人將之混為一談。且上訴人於103年6月19日寄予被上訴人之電子郵件中表示，將於兩造簽署系爭補充協議紙本一週後支付交機款與安裝款等語，有該電子郵件在卷可稽（見原審卷一第85頁），益證系爭設備當時確實已安裝完成，上訴人據此辯稱系爭設備安裝未完成，顯不足採。 ⑶上訴人又辯稱系爭契約業經其解除，被上訴人自不得據以請求其付款，且因系爭設備有瑕疵，其得行使同時履行抗辯權，拒絕給付交機款與安裝款云云。然上訴人並無法舉證證明系爭設備確實有無法通過驗收標準之瑕疵存在，且系爭設備於103年6月30日無法運轉，係因上訴人拒絕被上訴人進廠解鎖所致，尚非系爭設備本身有重大瑕疵，上訴人解除契約並不合法，已如前述，自不得以系爭契約業經解除為由拒絕支付價金。況系爭設備既已安裝完成，上訴人依約即有給付交機款及安裝完成款之義務，其自無權行使同時履行抗辯。是上訴人上開所辯，亦不足採。 ⒊關於驗收款部分：兩造合意於103年7月14日至18日進行驗收乙節，已如前述，則本件總價20%驗收款之支付，應以103年7月14日至18日之驗收通過為不確定清償期限，要屬無疑。然系爭設備於103 年6月30日因license key到期未解鎖而停止運轉，被上訴人欲為系爭設備解鎖以恢復機台運轉卻遭拒絕，上訴人復逕行於103年7月3日拆卸機台，並以系爭設備有瑕疵為由拒絕驗收及於103年7月21日以存證信函解除系爭契約，其解除契約並不合法等節，均如前述，上訴人以兩造未能於103年7月14日至18日驗收測試，係因被上訴人於103年7月1日拒絕將license key解鎖，非可歸責於上訴人云云，要不足取。又上訴人既於103年7月3日將系爭設備拆卸，兩造即無就系爭設備進行驗收之可能，此係可歸責於上訴人之事由，堪認上訴人拒絕於103年7月14日至18日就系爭設備進行驗收，並無正當理由，其以不正當行為阻止付款條件成就，應類推適用民法第101條第1項規定，視為系爭設備已完成驗收，則被上訴人自得請求上訴人給付總價20%之驗收款。至被上訴人主張上訴人早於103年5月14日即向均豪公司採購與系爭設備類似之新機器設備，且均豪公司亦有轉投資上訴人公司，兩公司之負責人均為葉勝發，上訴人公司之監察人亦為均豪公司之法人代表，上訴人早已無驗收系爭設備之意，其故意阻止付款條成就云云。然本院認系爭設備視為完成驗收，已如前述，就被上訴人此部分之主張即無庸再予論究，併此敘明。 ⒋綜上所述，被上訴人依系爭契約約定之付款條件、民法第101 條第1項規定，請求上訴人給付交機款、安裝款、驗收款共計698萬2,500元，自屬有據。又被上訴人已於103年7月21日以存證信函催告上訴人於文到後支付系爭設備剩餘價金，經上訴人於103年7月22日收受，有該存證信函及回執存卷可憑（見原審卷一第107至110頁、卷三第70頁），上訴人應自103年7月22日起負遲延責任。準此，被上訴人請求上訴人支付698萬2,500元及自103年7月22日起計之法定遲延利息，自屬有據。㈡上訴人主張以下列款項合計1,399萬7,295元與被上訴人於反訴得請求之金額為抵銷，有無理由？ ⒈遲延交貨罰款77萬8,050元：上訴人辯稱兩造約定系爭設備應於103年3月13日交貨，然被上訴人延遲至103年4月21日開始放量測試，計延遲39天，依系爭契約之訂購基本合約第2條B款「遲延交貨罰款，遲延一天訂單總金額0.2%」之約定，被上訴人應給付罰款77萬8,050元云云，並提出兩造102年11月28日、29日之電子郵件、系爭契約為證（見本院卷一第121-122頁、原審卷一第9頁）。然查，依系爭共通規格書約定系爭設備之交期為接到訂單後4個月交機（實際交機日可依產能討論之）（見原審卷一第17頁），可知就系爭設備之交期原本約定於接到訂單後4個月，惟可依兩造之協議訂之。兩造固於簽立系爭契約後，於102年11月18日、29日之電子郵件中約定於103年3月13日交貨，惟其後兩造於協商交機過程中先約定在103年2月24日進行廠驗，復協議延至103年3月3日進行廠驗，並於103年3月3日召開會議協調交機時間，於會議記錄中第7點載明：「17號move in（PVC)，3月底move in」等情，有102年11月28日、29日、103年2月14日至3月5日間兩造往返之電子郵件、103年3月3日會議記錄等件附卷可憑（見本院卷一第121-122頁、第189-197頁），足認系爭設備於103年3月3日已完成廠驗，惟上訴人為配合R&R主機交機時間，兩造最終協議於103年3 月底交機。而系爭設備業經被上訴人於103年3月31日進廠安裝完成，於103年4月21日開始放量測試機臺功能乙節，此觀103年5月15日上訴人寄送予被上訴人之電子郵件所載「系爭設備於103年3月30日進廠安裝後，於103年4月21日開始放量測試機臺功能」等語自明（見原審卷一第76頁），堪認系爭設備於103年3月31日已交付上訴人並安裝完成，103年4月21日則為放量測試之時點，並非交貨日。被上訴人既於兩造協議之103年3月底前將系爭設備交付上訴人並安裝完成，自無遲延交貨之情事。則上訴人主張被上訴人遲延交貨云云，為無可採。其依系爭契約之訂購基本合約第2條B款約定，請求被上訴人給付遲延交貨罰款77萬8,050元，要屬無據。 ⒉因系爭設備瑕疵致損壞上訴人之載盤，損失39萬9,000元：上訴人主張系爭設備於103年5月13日發生重大機況，造成伊之載盤損壞，該載盤價值39萬9,000元，伊自得依民法第227條第2項規定請求被上訴人賠償云云，並提出兩造103年5月23 日電子郵件、上訴人公司報告暨照片為證（見本院卷一第123-147頁）。然觀上開103年5月23日之電子郵件記載「彙整準備發出友上機台壓傷我方載盤照片及狀況說明文件：待彙整。」等語（見本院卷一第125頁），僅能說明上訴人單方告知即將提出載盤受損資料予被上訴人，尚無從據以證明系爭設備致上訴人之載盤受損。又依上訴人公司103年5月13日報告暨照片所示，其上固載有「..這時就發現載盤升降平台壓傷一個pallet（不確定pallet會往前傳送原因是做全機初始化造成，還是底下的sensor遮到誤判所造成，但是正常作動是要等載盤升降平台到該..）」等語（見本院卷一第145 頁）。惟載盤行進之路徑，除系爭設備外，尚有上訴人自第三人處購得之設備即R&R PECVD主機部分，縱認載盤有損壞，然其損壞情形為何？數量為何？原因為何？是否係因系爭設備所致？均未見上訴人舉證以明，自難憑採。且上訴人係於103年5月20日向利達國際股份有限公司訂購4個新載盤，並約定103年6月30日交貨等情，有非生產性請購單、報價單、訂購單在卷可稽（見本院卷一第149-153頁）。參以上訴人提出之系爭設備機況處理彙整表（見本院卷一第99-100頁），於103年4月8日至5月13日期間均未見關於系爭設備有損壞載盤之記載，其所主張如附表所示於103年6月30日前系爭設備仍未修復之瑕疵（見本院卷一第241-246頁），亦未載有因系爭設備之運行而致載盤損壞之情，則此4個新載盤究係欲更替何損壞之載盤，及縱有載盤受損，是否係因系爭設備所致等節，均無從依憑上訴人所提上開證據而為認定，堪認被上訴人辯稱上訴人並未證明載盤係因系爭設備而受有損壞等語，尚足採信。 ⒊因系爭設備瑕疵致上訴人減少產量短差1,282萬245元：上訴人主張因系爭設備瑕疵，致伊減少402萬1,659片產量短差，以伊於103年4月21日開始試量產至103年8月17日第三人的機台試量產期間，伊出售6吋多晶太陽能電池片區間價格平均每片美金1.5元計算，損失以毛利7%計算，伊受有美金42萬3,509元損失，匯率以30.36計，相當於新臺幣1,282萬245元，伊自得依民法第227條第2項規定請求被上訴人賠償云云。然系爭設備縱有瑕疵，亦無法證明影響系爭設備之產速、稼動率及致系爭設備有未符合系爭共通規格書約定之驗收條件，已如前述，且兩造合意於103年7月14日至18日驗收系爭設備，於未驗收前被上訴人仍持續就系爭設備為修繕及調整，是否符合驗收條件本當以驗收時為論斷，故驗收前尚難認系爭設備有不符系爭共通規格書驗收條件，而有不完全給付之情。況系爭設備尚且須配合R&R機台，則影響產量之因素究為何，尚非可一概而論，加以上訴人於103年6月30日系爭設備因license key無法運作時，拒絕被上訴人進廠解銷，復於上開合意驗收日前，即逕於103年7月3日將系爭設備拆除移機，則其後系爭設備無法生產要不可歸責於被上訴人。是上訴人辯稱其因系爭設備瑕疵致受有減少產量短差之損害，委不足取。 ⒋從而，上訴人主張其對被上訴人依系爭契約之訂購基本合約第2條B款約定，有遲延交貨罰款77萬8,050元之債權、依民法第227條第2項規定，有因系爭設備瑕疵致損壞其載盤損失39萬9,000元及致其減少產量短差1,282萬245元之損害等債權，均非有據，則其依民法第334條第1項前段規定，以上開共計1,399萬7,295元之款項與被上訴人於反訴得請求之金額為抵銷，自無理由。六、綜上所述，上訴人於本訴部分依民法第259條第2款規定，請求被上訴人給付299萬2,500元本息，為無理由，不應准許，其假執行之聲請亦失所附麗，應併予駁回。而被上訴人於反訴部分依系爭契約約定及類推適用民法第101條第1項規定，請求上訴人給付698萬2,500元及自103年7月22日起至清償日止，按週年利率百分之5計算之利息，為有理由，應予准許。是原審就本訴及反訴部分均為上訴人敗訴判決，並駁回其於本訴部分假執行之聲請，於法並無違誤。上訴意旨指摘原判決不當，求予廢棄改判，為無理由，應予駁回。七、本件事證已臻明確，兩造其餘之攻擊或防禦方法及所用之證據，經本院斟酌後，認為均不足以影響本判決之結果，爰不逐一論列，附此敘明。八、據上論結，本件上訴為無理由，依民事訴訟法第449條第1項、第78條，判決如主文。中　　華　　民　　國　　109 　年　　6 　　月　　10　　日民事第十二庭審判長法官陳秀貞法官邱景芬法官蔡世芳正本係照原本作成。如不服本判決，應於收受送達後20日內向本院提出上訴書狀，其未表明上訴理由者，應於提出上訴後20日內向本院補提理由書狀（均須按他造當事人之人數附繕本）上訴時應提出委任律師或具有律師資格之人之委任狀；委任有律師資格者，另應附具律師資格證書及釋明委任人與受任人有民事訴訟法第466條之1第1項但書或第2項（詳附註）所定關係之釋明文書影本。如委任律師提起上訴者，應一併繳納上訴審裁判費。中　　華　　民　　國　　109 　年　　6 　　月　　10　　日書記官何敏華附註：民事訴訟法第466條之1（第1項、第2項）：對於第二審判決上訴，上訴人應委任律師為訴訟代理人。但上訴人或其法定代理人具有律師資格者，不在此限。上訴人之配偶、三親等內之血親、二親等內之姻親，或上訴人為法人、中央或地方機關時，其所屬專任人員具有律師資格並經法院認為適當者，亦得為第三審訴訟代理人。附表編號日期異常描述異常處理過程備註 1 2014/6/11 下料機Wafer進入卡匣時會斜插，凸片時不會警報，且無異常就停機，清除異常時才顯示NG區疊片暫先手動排除，待友上除錯本院卷一第241頁/上證4-1/編號4 2 2014/6/13 下料機有警報但無異常訊息，Wafer流道動作停止 1.查看卡匣內wafer有翹翹板現象，但凸片檢知感測器有作動（僅亮綠燈） 2.將該wafer取走清除異常後，動作ok 3.重新關閉CAMPro軟體，可避免異常訊息未出現情形 PS：已將該現象告知JOSH，預計周一會入廠確認該異常本院卷一第241頁/上證4-1/編號10 3 2014/6/14 下料機手臂取片時會甩片 1.觀察後發現手臂抓取Wafer時正常，準備移動到流道時會掉片 2.先將手臂速度放慢至20% NG 3.確認真空吸盤表頭發現手臂A 低氣壓無法動作，拆下清潔後測試OK 4.調整吸放片真空壓力 NG 5.測試發現手臂將Wafer吸起後會自動破真空 6.待廠商確認，目前停機中本院卷一第242頁/上證4-1/編號17 4 2014/6/15 續夜班處理下料機手臂吸真空異常(機台作動異常） 1.手動吸片測試，真空檢知偵測wafer時，真空檢知感測器會ON，但於自動模式吸片時卻不會ON 2.後來客服回電，經檢查wafer真空檢知感測器訊號線接頭，發現電源線（白色）已斷，另一條用端子壓接的也鬆脫。造成接觸不良 3.重新接續後OK PS：建議該段導線需重接整理（已經很亂）　手臂程式修改，未檢測到wafer時需發警報，而不是將片子丟掉後繼續捉下一排本院卷一第242頁/上證4-1/編號18 5 2014/6/18 下料機載盤傳送異常 1.手動強制退載盤-->載盤無作動且有很大的異聲 2.將馬達與減速機分拆測試確認為馬達損壞 3.更換新馬達上線測試-->無法作動 4.查看Driver跳異常-->異常代碼006 5.友上查修中請待續… 本院卷一第242頁/上證4-1/編號23 6 2014/6/20 下料機光罩上有碎片，手臂抓取wafer會定位異常 1.友上Jackson修改軟體，狀況無改善 2.目前光罩上如有碎片，機台會發出異常警報（載盤於升降台發生異常），但手臂還是會繼續抓取wafer 本院卷一第243頁/上證4-1/編號27 7 2014/6/26 下料機Wafer經GP檢測機檢測時位置不佳，會一直打不良品區，約10~15%左右（機台作動異常）調整流道速度 1200〜3300，仍會一直發生，無法改善本院卷一第245頁/上證4-1/編號55 8 2014/6/26 上料機L1流道中心定位氣缸頂昇異常，常造成第二片Wafer過頭，第三片wafer撞進去，定位後就破片或是缺角，要不就是手臂取片放至載盤後出現異常（機台作動異常）　本院卷一第245頁/上證4-1/編號56 9 2014/6/27 上料機影像定位點未找到 1.觀察顯示異常警報的載盤 ID：2，今天送洗回來的 2.發現送洗回來的載盤，Match Quaility:78~85 3.沒送洗的載盤，Match Quai1ity:90~99 4.友上威力把Match Quality spec:70-->50（持續觀察）本院卷一第245頁/上證4-1/編號57 10 2014/6/26 上料機Ll Wafer流道定位容易夾爆wafer 1.調整卡匣兩側定位夾的速度變慢 2.調整第二片推的速度變慢本院卷一第245頁/上證4-1/編號58 11 2014/6/29 上料機Wafer右流道有時會拉不出Wafer 1.執行右流道初始化 2.確認為升降機構在下降時Wafer都有些變形（壓太低） 3.調整參數Elevator One Slot Pitch-4.762->-4.742 本院卷一第246頁/上證4-1/編號63 12 2014/6/30 友上下料機ACE手臂異常錯誤(機台作動異常） 1.重置ACE手臂 2.通知手臂動作 3.該異常頻繁發生本院卷一第246頁/上證4-1/編號65 13 2014/6/30 上料機/下料機手臂同時電源自動關閉 1上料機/下料機手臂均無法手動開啟 2.確認為友上使用軟體設定手臂License Key日期為2014/7/1 00：10 3.無最高權限可解除，目前停機中 4.將PECVD主製程機台停止後降溫，所有腔體抽真空本院卷一第246頁/上證4-1/編號67

臺灣高等法院107年度重上字第776號

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