直轄市、縣 (市) 主管機關受理投資申請案件後，應會同有關機關依下列程序審查： 一、核對申請文件，其有欠缺者，通知限期補正。 二、勘查土地及查證投資計畫書。 臺灣省各縣 (市) 主管機關依前項程序審查，並簽註意見後，陳報中央主管機關，經審定合格者，由中央主管機關發給投資許可證明書。直轄市、金門縣、連江縣主管機關依前項程序審定合格者，逕行發給投資許可證明書。 經中央、直轄市、金門縣、連江縣主管機關通知補正，屆期未補正或補正仍不合格者，應敘明理由駁回之。 主管機關得設審查小組辦理審查工作。
根據獎勵投資興建國民住宅辦法第7條，直轄市、縣（市）主管機關在受理投資申請案件後，應按照以下程序進行審查： 1. 核對申請文件，如果發現欠缺，則通知申請人限期補正。 2. 勘查土地並查證投資計畫書。 臺灣省各縣（市）主管機關按照上述程序進行審查，並在核定意見後報送中央主管機關審定。經審定合格的案件，中央主管機關將發給投資許可證明書。而直轄市、金門縣、連江縣主管機關在審定合格後，可以直接發給投資許可證明書。 如果中央、直轄市、金門縣、連江縣主管機關通知補正，但在屆期內未進行補正或補正仍不合格，則主管機關應詳細說明理由並駁回申請。 主管機關還可以設置審查小組來進行審查工作。 參考資料： 《獎勵投資興建國民住宅辦法》 https://law.moj.gov.tw/LawClass/LawAll.aspx?PCode=J0040081
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