一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各項污染防制設備均需記錄廢氣排放量

發文機關行政院環境保護署發文日期 90 年 01 月 17 日

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全文內容：一、「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第五條第一款規定，污染防制設備之廢氣導入處或排放口應設置流量計；另本署規定之「半導體製造業揮發性有機物及無機酸污染防制紀錄申報書」中，規定其各項污染防制設備均需記錄廢氣排放量。

二、倘污染源無法於各個洗滌塔廢氣導入處裝設流量計，而係於各防制設備處理後之共同排放口處設置流量計者，於填報各防制設備之廢氣流量時，得以該合併廢氣流量計所量測之流量推算各防制設備排氣量，或以其他可計算相對廢氣流量之可監測數據，如電流紀錄、抽風馬達之轉速、、、等換算出流量。