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資料來源:司法院法令判解系統

一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條第1項第1款規定,半導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者

會議日期 95 年 04 月 25 日

內文

全文內容:一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 2 條第 1 項第 1 款規定,半導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。上開標準適用對象包含光罩製造程序,法已明定。

二、依前揭規定,本案平面顯示器用之光罩製造程序,其排放之空氣污染物,應符合半導體製造業空氣污染管制及排放標準規定。

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