資料來源：司法院法令判解系統
貴轄○○○○科技股份有限公司函詢該公司之其他電子零組件製造 程序是否適用半導體製造業空氣污染管制及排放標準疑義案
要旨
貴轄○○○○科技股份有限公司函詢該公司之其他電子零組件製造程序是 否適用半導體製造業空氣污染管制及排放標準疑義案，請查照。
內文
主 旨：貴轄○○○○科技股份有限公司函詢該公司之其他電子零組件製造程序是否適用半導體製造業空氣污染管制及排放標準疑義案，請查照。
說 明：一、依據○○○○科技股份有限公司 104 年 3 月 5 日○○字第 104007 號函辦理（影本如附）。
二、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 2 條第 1 款規定，半導體製造業係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。同條第 2 款規定，積體電路晶圓製造作業係指將各種規格晶圓生產各種用途晶圓之作業，包括經由物理氣相沈積、化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理等製程。前揭排放標準主要針對製程中可能產生之揮發性有機物及酸性氣體等空氣污染物加以管制。
三、本案貴轄○○○○科技股份有限公司倘係以藍寶石基板為基材，經顯影塗佈、曝光、乾蝕刻及化學清洗等程序，製成蝕刻後之藍寶石基板，其與前述半導體製造程序不同，非屬前揭排放標準之適用對象，惟該公司排放之空氣污染物仍應符合固定污染源空氣污染物排放標準規定。本案請貴局依個案實際情形，本權責查明後逕復該公司。
