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晶圓製造及半導體製造業放流水標準

本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之。

本標準所定總毒性有機物，指1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、1,4-二氯苯、1,2,4-三氯苯、甲苯、乙苯、三氯甲烷、1,2-二氯乙烷、二氯甲烷、1,1,1-三氯乙烷、1,1,2-三氯乙烷、二氯溴甲烷、四氯乙烯、三氯乙烯、1,1-二氯乙烯、2-氯酚、2,4-二氯酚、4-硝基酚、五氯酚、2-硝基酚、酚、2,4,6-三氯酚、鄰苯二甲酸乙己酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸丁苯酯、、1,2-二苯基聯胺、異佛爾酮、四氯化碳及?，計三十種化合物之濃度 總和。

本標準適用對象為水污染防治法事業分類及定義公告列管之晶圓製造及半導體製造業。

本標準規定水質項目及限值如附表一。 事業排放廢（污）水於經直轄市、縣（市）主管機關公告應特予保護農地水體之排放總量管制區（以下稱總量管制區）內之特定承受水體者，其銅、鋅、總鉻、鎳、鎘、六價鉻之限值適用附表二。但總量管制區內之事業，以沿灌溉渠道或各級排水路掛管方式排放廢（污）水，或以共同排放管線共同排放廢（污）水，將放流口設置於總量管制區外，未排放廢水於總量管制區內者，或放流口雖設置於總量管制區內，卻未排放廢（污）水於總量管制區內特定承受水體者，不適用附表二規定。

事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據、資料，供檢討修正之參考。

本標準所定之化學需氧量限值，係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之。

本標準各項目限值，除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外，均為最大限值，其單位如下： 一、水溫：攝氏度（℃）。 二、其餘各項目：毫克／公升（mg/L）。

本標準各項目限值，除水溫及氫離子濃度指數外，事業自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水，如排放於原取水區位之地面水體，不適用本標準。

事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程，其廢水混合處理及排放者，應符合各該業別之放流水標準。相同之管制項目有不同管制限值者，應符合較嚴之限值標準。各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之七十五以上，並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者，得向主管機關申請對共同管制項目以該業別放流水標準管制。 前項廢水量所占比率，以申請日前半年之紀錄計算之。

本標準除另定施行日期者外，自發布日施行。