投資開發工業區之公民營事業、土地所有權人或興辦工業人申請編定工業區使用私有土地時，應提出足資證明其為土地所有權人之證明文件或土地所有權人之同意書。但因土地所有權人死亡未辦理繼承登記或因祭祀公業管理人死亡致無法取具同意書，其面積未超過全區十分之一者，不在此限。 投資開發工業區之公民營事業、土地所有權人或興辦工業人申請編定工業區使用公有土地時，應先洽地方工業主管機關會同各該公有土地管理機關勘察。 前項會勘，地方工業主管機關應作成紀錄，交由申請人作為申請編定工業區之文件。
根據促進產業升級條例施行細則第41條，當投資開發工業區的公民營事業、土地所有權人或興辦工業人申請編定工業區時，如果他們使用私有土地，則需要提供足夠的證明文件證明他們是土地的所有權人，或者取得土地所有權人的同意書。但如果土地所有權人已經死亡而未完成繼承登記，或者因祭祀公業管理人死亡而無法取得同意書，且使用土地的面積未超過全區的十分之一，則不必遵守這個限制。 另外，當投資開發工業區的公民營事業、土地所有權人或興辦工業人申請編定工業區時，如果他們使用公有土地，則需要先與地方工業主管機關聯繫，並與相應的公有土地管理機關進行勘察。 在上述勘察中，地方工業主管機關應該製作相應的紀錄，並將其交給申請人作為申請編定工業區所需的文件。
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