通常成長二氧化矽(SiO2)或矽的氧化層薄膜的方式有熱氧化法(Thermal
Oxidation)中的乾氧化(Dry Oxidation)與濕氧化(Wet Oxidation),化學氣相
沉積(Chemical Vapor Deposition),與電漿加強式化學氣相沉積(Plasma-
Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)。若要成長應用於金氧半電晶體
(MOSFET)的高品質二氧化矽薄膜,應該使用那一種氧化技術?請說明原因。
(10 分)
若以熱氧化法(Thermal Oxidation)在矽晶圓上成長二氧化矽(SiO2)薄膜,已
知矽的原子量是28,矽的密度是2.33;氧的原子量是16;二氧化矽的密度是2.2。
請問矽晶圓消耗的厚度占成長出二氧化矽薄膜的厚度的百分之幾?(10 分)