智慧財產及商業法院106年度行專訴字第11號

• 裁判案由: 發明專利舉發
• 案件類型: 智財
• 審判法院: 智慧財產及商業法院
• 裁判日期: 106 年 08 月 31 日
• 法官: 李維心、蔡如琪、彭洪英
• 當事人: 辛耘企業股份有限公司、經濟部智慧財產局、弘塑科技股份有限公司

智慧財產法院行政判決
106年度行專訴字第11號原　　　告　辛耘企業股份有限公司
代　表　人　謝宏亮（董事長）
訴訟代理人　陳啟桐律師
複代理人　　吳信璋律師
被　　　告　經濟部智慧財產局
代　表　人　洪淑敏（局長）
訴訟代理人　陳聖
參　加　人　弘塑科技股份有限公司
代　表　人　張鴻泰（董事長）
訴訟代理人　王鳳儀律師
訴訟代理人　李欣彥
上列當事人間因發明專利舉發事件，原告不服經濟部中華民國
105 年12月30日經訴字第10506313850 號訴願決定，並經本院命參加人獨立參加本件被告之訴訟，本院判決如下：
主 文
訴願決定及原處分關於「請求項1 至7 舉發不成立」部分之處分，應予撤銷。
被告就第092108322N01號專利舉發事件應作成「請求項1 至7 舉發成立，應予撤銷」之處分。
訴訟費用由被告負擔。
事實及理由
壹、事實概要：緣參加人前於民國（下同）92年4 月10日以「單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置」向被告申請發明專利，經被告編為第92108322號審查，准予專利（申請專利範圍共7 項），並發給發明第200871號專利證書（下稱系爭專利）。嗣原告以該專利有違核准時專利法第20條第1 項第1
款、第2 項及第71條第3 款等規定，不符發明專利要件，對之提起舉發。案經被告審查，認系爭專利未違反前揭規定，以105 年7 月20日（105 ）智專三（二）04169 字第10520889780 號專利舉發審定書為「104 年12月18日之更正事項，准予更正」、「請求項1 至7 舉發不成立」之處分。原告就前揭審定書中有關「請求項1 至7 舉發不成立」部分不服，提起訴願，經經濟部105 年12月30日經訴字第10506313850
號決定駁回，遂向本院提起行政訴訟。本院認本件判決之結果，將影響參加人之權利或法律上之利益，依職權命參加人獨立參加本件被告之訴訟。
貳、原告主張：
一、證據2 足以證明系爭專利請求項1 至7不具新穎性：
㈠證據2 足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性：
證據2 確實已揭示「旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」等技術特徵。縱認「旋轉蝕刻槽」需同時具有一「下槽壁」及「上槽壁」（惟原告否認之），證據2 也業已揭示上開技術特徵。故，證據2已揭露系爭專利請求項1。㈡證據2 足以證明系爭專利請求項2-7 不具新穎性：
證據2 確實已揭露系爭專利請求項1 之技術特徵，而系爭專利請求項2-7 之所有附加技術特徵皆已為證據2 所揭露，且證據2 與系爭專利同為具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置，屬於同一技術領域。故在系爭專利請求項1 不具新穎性之基礎下，系爭專利請求項2-7 之附加技術特徵亦在申請前已見於證據2 ，因而不具新穎性。
二、證據2 與系爭專利申請日前之習用技藝之組合已足以證明系爭專利請求項1-7 不具進步性：
㈠系爭專利所有技術特徵皆已為證據2 所揭露或可輕易完成，且證據2 與系爭專利同為具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置，屬於同一技術領域。故發明所屬技術領域中具通常知識者將具有動機運用證據2 及系爭專利申請前已知之先前技術，輕易完成系爭專利請求項1-7 所載之發明。
㈡系爭專利之「先前技術」段落已闡明半導體蝕刻過程產生的廢液多為有毒液體，如何收集甚至回收利用至為重要，並於系爭專利圖1 繪示先前技術的流體收集裝置具有一蝕刻槽91，其與三個收集管（951 、952 、953 ）之三個流體洩出口分別的相對位置關係。準此，熟習該項技術者於參酌證據2
後，為了防止有毒液體飛濺，有充足的動機在證據2 的晶圓保持部10a 及迴轉軸20（即「下槽壁」）以外多設置一「上槽壁」（如系爭專利圖1 收集管952 與收集管951 之間的槽壁），因而輕易完成系爭專利之「旋轉蝕刻槽」之技術特徵，足證系爭專利不具進步性。
三、證據2 、3 之組合已足以證明系爭專利請求項1-7 不具進步性：
證據2 確實已揭露系爭專利請求項「旋轉蝕刻槽」等相關技術特徵，系爭專利請求項1-7 之所有技術特徵皆已為證據2
、3 所揭露，且證據2 、3 與系爭專利同為具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置，屬於同一技術領域。故系爭專利請求項1 -7之技術特徵在證據2 結合證據3 之先前技術下，已為通常知識者所能輕易完成而不具進步性。
四、證據4 可證明系爭專利請求項1 至6 不具新穎性、進步性：㈠系爭專利請求項1 至6 之所有技術特徵都已為證據4 所揭露，故請求項1 至6 皆不具新穎性。
㈡證據4 與系爭專利所要解決之技術問題相同（證據4 與系爭專利均屬用於晶圓蝕刻之廢液（流體）回收領域之技術文獻），系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者參酌證據4所
揭露之技術內容，自當能輕易完成系爭專利請求項1 至6之
技術特徵。是以，證據4 可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性。
五、證據4 、2 之組合可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性：
證據4 完全揭露系爭專利請求項1 至6 所有技術特徵，且證據2 完全揭露系爭專利請求項1 至7 所有技術特徵。證據4
與系爭專利所要解決之技術問題均屬相同（證據4 與系爭專利相同，均屬用於晶圓蝕刻之廢液（流體）回收領域之技術文獻），且證據2 屬於用於晶圓蝕刻之廢液（流體）回收領域之技術文獻，證據4 、2 之發明目的、功效及特點與系爭專利所欲解決之問題高度相關，準此，熟習該項技術者於申請當時，自有充分動機結合證據4 、2 ，以完成系爭專利請求項1 至7 之所有技術特徵。是以，證據4 、2 之組合可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性。
六、證據4 、5 之組合可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性：
系爭專利並未對「槽」有限定用語，其與證據4 之「槽」特徵相同，為該發明所屬技術領域中具有通常知識者所理解之通常意義。系爭專利所稱之「槽」既未有限定用語限定「槽」之構成須由單獨構件組成，則證據4 之圓筒部51與旋轉部11即已對應旋轉蝕刻槽之技術特徵；且圓筒部51和旋轉部11之間具有間隙，在進行化學液體處理時，藥液係由此間隙流出，此間隙即相當於系爭專利請求項1 記載之「流體洩出口」。證據5 圖5 所揭露的腔體蓋43（包含錐形壁43' 及擋板47) 以及拖盤本體61明顯對應揭露旋轉蝕刻清洗槽之上下槽壁，且錐形壁43' 及拖盤本體61之間的空隙明顯對應流體洩出口，證據4 、5 之組合已完整揭露系爭專利之技術特徵，故系爭專利請求項1 至6 不具進步性。
七、證據2 、4 、5 之組合可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性：
㈠證據2 、證據4 、證據4 之先前技術及證據5 均屬用於晶圓蝕刻之廢液（流體）回收領域之技術文獻，證據2 、證據4
、證據4 之先前技術及證據5 之間的發明目的、功效及特點皆相關，更與系爭專利所欲解決之問題高度相關，準此，熟習該項技術者於申請當時，自有充分動機加以結合，以完成系爭專利。
㈡就系爭專利之具有流體收集機構之晶圓表面處理裝置之技術而言，可分為（A ）旋轉及進行濕式處理之機構以及（B ）具有收集單元（或導引部）收集流體之升降機制兩大部分，此兩部分係獨立運作，故將兩系統之（A ）、（B ）機構進行更換並不會影響晶圓表面處理裝置之作動，故證據2 、4
間並無結合之困難。證據4 之先前技術與證據4 在發明目的、功效及特點皆相關，更與系爭專利所欲解決之問題高度相關，準此，熟習該項技術者於申請當時，自有充分動機加以結合，以完成系爭專利。
八、並聲明：1.訴願決定及原處分關於請求項1 至7 舉發不成立部分，均撤銷。2.被告就第092108322N01號專利舉發事件，應作成請求項1至7舉發成立之審定。3.訴訟費用由被告負擔。
參、被告答辯：
一、證據2 無法證明系爭專利請求項1 至7 不具新穎性：
㈠證據2 無法證明系爭專利請求項1 不具新穎性：
⑴舉發審定書於第6 頁已指明系爭專利的元件10為「旋轉蝕刻槽」，請求項1 對旋轉蝕刻槽的記載為「…該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」，意即流體洩出口11是由旋轉蝕刻槽10來界定的技術特徵。但請求項1 記載「一旋轉蝕刻槽」、「複數個收集單元」、「一升降機制」等3
個技術特徵，分別可對應圖式各部位以附件1 上半部說明之（以系爭專利第3 圖為例），流體洩出口11與「複數個收集單元」、「一升降機制」等無關，若是將系爭專利的「複數個收集單元」、「一升降機制」無關之二者移除掉，則如附件1 下半部顯示，清楚顯示流體洩出口11是由旋轉蝕刻槽10來界定。因此，附件1 顯示系爭專利的旋轉蝕刻槽10及其所包含的流體洩出口11是固定存在的構件，絕對不會因為機台的任何操作步驟而消失。
⑵原告以證據2 之裝置S 設有槽體態樣之中空部H 、晶圓迴轉保持裝置10、迴轉軸20、添加機構76比對為系爭專利請求項1 記載之旋轉蝕刻槽並不恰當。單以證據2 第13圖的元件H、10 、20、76等來觀之，實難認同這些元件組合起來有明顯可比對為系爭專利元件10、11的關係。證據2 完全未見到「中空部H 之頂蓋」之記載，所以頂蓋之存在為原告自行臆測推論之元件，更且，所被誤指的頂蓋顯示的厚度與元件50相匹配，與元件10的厚度差異甚大，頂蓋應是與元件50搭配的構件。證據2 第12圖為蝕刻清洗機台操作至載置或移除晶圓時之示意圖，除了完全不見頂蓋設置，更且流體洩出口已隨著機台的任何操作步驟而消失，故證據2 被誤指的「頂蓋」與「流體洩出口」都不是固定存在的構件。
⑶證據2 並未揭露系爭專利請求項1 旋轉蝕刻槽之所有限制條件，則視為證據2 的旋轉蝕刻槽與請求項1 的旋轉蝕刻槽不同；系爭專利請求項1 並未記載「上槽壁」及「下槽壁」，則原告納入「上槽壁」及「下槽壁」等不存在的限制條件來解釋或爭論為無意義。
㈡證據2 不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性，請求項2
至7 為請求項1 之附屬項，皆係更進一步限縮請求項1 的範圍，當然證據2 亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具新穎性。
二、證據2 與系爭專利申請日前的習用技藝之組合亦不足以證明系爭請求項1 至7 不具進步性：
㈠系爭專利習知技術（第1 圖）與系爭專利請求項1 的移動部位與不動部位相反；而證據2 與系爭專利第1 圖的移動部位與不動部位也相反。故系爭專利習知技術、系爭專利之請求項1 與證據2 等三者存在硬體結構上先天的不相容。當本領域具通常知識者站在證據2 的技術基礎上，若見到系爭專利第1 圖所揭露的流體收集裝置時，因存在結構上相反的差異，是不會有動機去結合二者。即便有動機去結合，也無法證實能結合系爭專利第1 圖槽壁的技術而可得到請求項1 的發明，故證據2 與系爭專利申請日前的習用技藝之組合亦不足以證明系爭請求項1 不具進步性。
㈡證據2 與系爭專利申請日前的習用技藝之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，請求項2 至7 為請求項1 之附屬項，皆係更進一步限縮請求項1 的範圍，當然證據2 與系爭專利申請日前的習用技藝之組合亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具進步性。
三、證據2 、3 之組合不足以證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性：
㈠證據2 、3 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
⑴系爭專利請求項1 記載的部分技術特徵，包括「旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」，「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通」等，因複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，顯然如果能與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，則流體洩出口應也得設置在壁上，二者才能在槽壁之外緣相通。
⑵系爭專利並未對槽壁的位置做說明，依教育部網站之重編國語辭典修訂本（網址http://dict.revised.moe.edu.tw），「壁」的解釋為牆垣，所謂牆的習慣用法應不是指平行水平面的部分，而是指垂直水平面的部分。
⑶觀諸證據3 並未找到可比對為槽壁之構件，且證據3 圖2
被原告所指摘為複數個收集單元的元件組成，包括112 、104 、117 、118 等元件符號也難以比對。元件符號104
與118 所組成單一收集單元，顯難稱為設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣；元件符號118 所對應的開口，其開口方向顯難稱為「徑向開口」；被指摘為流體洩出口的排液口116 ，顯難與設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣的徑向開口相通。所以，證據3 因未揭露正確位置的徑向開口，所以實際上證據3 並未正確揭露「複數個收集單元」的技術特徵，也因徑向開口位置與系爭專利請求項1 不同，排液口116 無法與設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣的徑向開口相通，顯然證據3
無法完成排液口的所有限制條件。因此，可推論系爭專利請求項1 的技術特徵（參照第2 至4 圖繪示），包括：「該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」、「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」等皆無法被證據3 所揭露。當本領域具通常知識者站在證據2 的技術基礎上，若見到證據3 第1 至2 圖所揭露的流體收集裝置時，因存在結構上的欠缺與不同，即便有動機去結合，也難以證實結合可得到系爭專利第1 圖槽壁與收集單元等技術特徵的所有限制條件，故證據2 、3 之組合不足以證明請求項1
不具進步性。
㈡證據2 、3 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，請求項2 至7 為請求項1之 附屬項，皆係更進一步限縮請求項1 的範圍，當然證據2、3之組合亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具進步性。
四、證據4 不足以證明系爭專利請求項1 至6 不具新穎性：
㈠證據4 第0003段雖有記載此種旋轉式基板處理裝置，有時會在同一個槽內連續進行蝕刻等藥液處理及使用純水洗淨的情況，但證據4 並未明示「槽」究竟所指為何元件。原告將系爭專利之流體洩出口比對為旋轉部11與飛濺防止遮蓋50之間的間隙，則代表流體洩出口並非由旋轉蝕刻槽可單獨界定的技術特徵。原告與證據4 並未清楚交代「槽」究竟所指為何元件，及流體洩出口並非由旋轉蝕刻槽可單獨界定的技術特徵的情況下，證據4 也無法完成請求項1 中所有具有槽與流體洩出口之技術特徵。
㈡證據4 不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性，請求項2
至6 為請求項1 之附屬項，所附加的技術特徵均進一步限縮請求項1 ，當然證據4 亦不足以證明系爭專利請求項2 至6
不具新穎性。
五、證據4 不足以證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性：
㈠原告與證據4 並未清楚交代「槽」究竟所指為何元件，及流體洩出口並非由旋轉蝕刻槽可單獨界定的技術特徵，證據4
無法完成請求項1 中所有具有槽與流體洩出口之技術特徵。故系爭專利的「槽」及流體洩出口等技術內容，並非所屬技術領域中具有通常知識者參酌證據4 後所能輕易完成。
㈡證據4 不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，請求項2
至6 為請求項1 之附屬項，所附加的技術特徵均進一步限縮請求項1 ，當然證據4 亦不足以證明系爭專利請求項2 至6
不具進步性。
六、證據4 、2 之組合不足以證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性：
㈠證據4 、2 與請求項1 的差異皆為「槽」及由槽所界定的「流體洩出口」等技術特徵。兩證據都欠缺「槽」及「流體洩出口」技術特徵的情況下，即便熟習該項技術者組合證據2
、4 所揭露的內容，仍無法證實組合後可完成證據2 、4 都未揭露的「槽」及「流體洩出口」技術特徵。
㈡證據4 、2 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，請求項2 至7 為請求項1 之附屬項，所附加的技術特徵均進一步限縮請求項1 ，當然證據4 、2 之組合亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具進步性。
七、證據4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性：
㈠原告將證據5 拖盤本體61比對為槽壁的一部分，其比對方式與原告在證據2 中將晶圓保持10a 比對為槽壁的一部分完全相同，亦與原告在證據4 的比對方式相同，都是以支撐晶圓之構件的水平或垂直部位比對為槽壁的一部分，比對並不恰當。反觀系爭專利圖2 至4 所顯示的支撐晶圓之構件（元件21）與槽（元件10）、槽壁（元件11）分屬不同構件。
㈡原告以證據5 圖5 的元件43（包含元件43' 及元件47）以及元件61比對為轉蝕刻清洗槽之上下槽壁並不恰當；元件43 '及元件61之間的空隙比對為流體洩出口亦不恰當。蓋系爭專利請求項1 的流體洩出口11是由旋轉蝕刻槽10來單獨界定的技術特徵，而原告以證據5 多個元件間的空隙比對為流體洩出口，使證據5 的流體洩出口並非由單獨構件所界定的技術特徵。
㈢原告指摘之證據4 、5 的元件比對系爭專利請求項1 的方式並不恰當，故證據4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。請求項2 至6 為請求項1 之附屬項，所附加的技術特徵均進一步限縮請求項1 ，當然證據4 、5 之組合亦不足以證明系爭專利請求項2 至6不具進步性。
八、證據2 、4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性：
㈠原告在證據5 以元件43' 、元件47以及元件61比對為轉蝕刻清洗槽之上下槽壁，元件43' 及元件61之間的空隙比對為流體洩出口；在證據4 以元件52及元件11之間的空隙比對為流體洩出口；在證據2 以元件10a 及頂蓋之間的空隙比對為流體洩出口。證據2至5比對方式皆相同，但皆不恰當。
㈡原告指摘之證據2 、4 、5 的元件比對系爭專利請求項1 的方式並不恰當，故證據2 、4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。請求項2 至7 項為請求項1 之附屬項，所附加的技術特徵均進一步限縮第1 項，當然證據2 、4 、5 之組合亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具進步性。
九、並聲明：1.駁回原告之訴。2.訴訟費用由原告負擔。
肆、參加人陳述：
一、系爭專利請求項1的範圍解釋：
㈠請求項1 的「旋轉蝕刻槽」與「流體洩出口」應解釋為不可消失，為固定存在之構件。
㈡系爭專利請求項1 的「旋轉蝕刻槽」的完整解釋包含以下技術特徵：1.旋轉蝕刻槽為一槽體構件可在其中容納一固定旋轉晶圓；2.設有流體洩出口；3.具有槽壁（其可避免藥液交叉污染）；4.徑向開口可與流體洩出口相通；5.徑向開口之頂部可自流體洩出口之底部上升。至系爭專利請求項1 的「流體洩出口」之解釋，參酌系爭專利說明書對於流體洩出口的描述，可知流體洩出口是為了達到流體洩出的作用。故應解釋為只要能達到流體洩出作用的內外相通的出入處即是。二、證據2 未揭露系爭專利之「旋轉蝕刻槽」及其「槽壁」。證據3 未揭露系爭專利之「旋轉蝕刻槽」、「徑向開口」。證據4 未揭露系爭專利之「旋轉蝕刻槽」、「收集單元」、「槽壁」。證據5 未揭露系爭專利之「旋轉蝕刻槽」。故上開證據及證據組合，均不足以證明系爭專利不具新穎性、進步性。
三、系爭專利請求項1 至6 相較於證據4 具有新穎性、進步性：㈠系爭專利請求項1至6相較於證據4具有新穎性：
⑴證據4 沒有揭露系爭專利的「旋轉蝕刻槽」、「收集單元」，是系爭專利請求項1 相對證據4 具有新穎性。
⑵系爭專利請求項2 至6 依附於請求項1 ，包含請求項1 之所有特徵。請求項1 具有新穎性，請求項2 至6 相對證據4 自然也具有新穎性。再者，系爭專利請求項2 至6 本身的特徵也未見於證據4 中。綜上，原告不當應用證據4 之揭露，未以單一技術對比系爭專利請求項2 至6 ，且證據4 未完全揭露請求項1 至6 之所有特徵，是請求項2 至6
相對證據4 具有新穎性。
㈡系爭專利請求項1 至6 相對證據4 具有進步性：
系爭專利請求項1 至6 相對證據4 在結構上有基本顯著的差異，系爭專利和證據4 係利用全然不同的機構來達成其各自欲達成的功能。系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者無法參酌證據4 所揭露之技術內容後，可輕易完成系爭專利請求項1 至6 之技術特徵，是系爭專利請求項1 至6 相對證據4 具有進步性。
四、系爭專利請求項1 至7 相較於證據4 、2 之組合具有進步性：
㈠系爭專利請求項1 相較於證據4 、2 之組合具有進步性：
⑴證據2 沒有揭露系爭專利的「旋轉蝕刻槽」及其「槽壁」，即使證據4 之發明部分可和其〔先前技術〕及證據2 結合，其亦無法獲得系爭專利請求項1 之發明，因此系爭專利請求項1 相較於習用技術之組合具有進步性。
⑵證據4 之發明部分和證據2 之組合對系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者並非為一顯而易見的結合，其無法否定系爭專利請求項1 之進步性。
㈡系爭專利請求項2 至7 相較於證據4 、2 之組合具有進步性：
⑴系爭專利請求項2 至7 依附於請求項1 ，包含請求項1 之所有特徵。請求項1 具有進步性，請求項2 至7 相對證據4 、2 之組合自然也具有進步性。
⑵雖然證據2 揭露有外側環狀廢液回收導管64、中間環狀廢液回收導管66和內側廢液回收導管68，然證據4 是利用將上段和下段液體導引部30、40組合於杯體20上，杯體有二重的周壁21，周壁21的外側設有一環狀回收部20' ，並藉由上段和下段液體導引部30、40之上、下移動來達成藥液和廢液分別回收至回收部20' 和杯體20中。當要回收廢液時，該上段和下段液體導引部30、40須同時向上移動。就此若證據4 有3 段液體導引部，如何達成證據4 之3 段液體導引部的不同移動或同時向上移動以收集三種不同液體，其並非是由證據2 之外側環狀廢液回收導管64、中間環狀廢液回收導管66和內側廢液回收導管68之作動可以顯而易得。
⑶證據4 、2 之組合並不是本發明所屬技術領域中具有通常知識者所顯而易見，其無法否定系爭專利請求項7 之進步性。
五、系爭專利請求項1 至6 相較於證據4 、5 之組合具有進步性：
㈠系爭專利請求項1 相較於證據4 、5 之組合具有進步性：
即使證據4 之發明部分可和其〔先前技術〕及證據5 結合，其亦無法獲得系爭專利請求項1 之發明，因此系爭專利請求項1 相較於證據4 、5 之組合具有進步性。
㈡系爭專利請求項2 至6 相較於證據4 、5 之組合具有進步性：
⑴系爭專利請求項2 至6 依附於請求項1 ，包含請求項1 之所有特徵。請求項1 具有進步性，請求項2 至6 相對證據4 、5 之組合自然也具有進步性。再者，請求項2 至6本
身的特徵也未見於證據4 中。
⑵綜上所述，原告不當應用證據4 之揭露，未說明各不同技術間之結合為何是顯而易見，且證據4 未完全揭露請求項2 至6 之所有特徵，是請求項2 至6 相對證據4 、5 之組合具有進步性。
六、系爭專利請求項1 至7 相較於證據2 、4 、5 之組合具有進步性：
㈠系爭專利請求項1 相較於證據2、4、5 之組合具有進步性：⑴即使證據4 之發明部分可和其[ 先前技術] 及證據2 、5
結合，其亦無法獲得系爭專利請求項1 之發明，因此系爭專利請求項1 相較於習用技術之組合具有進步性。
⑵證據4 之發明部分和證據2 、5 之組合對系爭專利所屬技術領域中具有通常知識者並非為一顯而易見的結合，其無法否定系爭專利請求項1 之進步性。
㈡系爭專利請求項2 至7 相較於證據4 、2 、5 之組合具有進步性：
系爭專利請求項2 至7 依附於請求項1 ，包含請求項1 之所有特徵。請求項1 具有進步性，請求項2 至7 相對證據2 、4 、5 之組合自然也具有進步性。證據4 、2 、5 之組合並不是本發明所屬技術領域中具有通常知識者所顯而易見，其無法否定系爭專利請求項7 之進步性。
七、並聲明：1.駁回原告之訴。2.訴訟費用由原告負擔。
伍、本件之爭點：
一、證據2 是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具新穎性？
二、證據2 、系爭專利先前技術之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
三、證據2 、3 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
四、證據4 是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具新穎性？
五、證據4 是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性？
六、證據4 、2 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
七、證據4 、5 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性？
八、證據4 、2 、5 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
陸、得心證之理由：
一、本件應適用之專利法：
系爭專利申請日為92年4 月10日，核准審定日為93年3 月24日，其是否有應撤銷專利權之情事，自應以核准審定時所適用之90年10月24日修正公布，90年10月26日施行之專利法（下稱90年專利法）為斷。按凡可供產業上利用之發明，無下列情事之一者，得依本法申請取得發明專利：申請前已見於刊物或已公開使用者。但因研究、實驗而發表或使用，於發表或使用之日起六個月內申請專利者，不在此限。又按，發明係運用申請前既有之技術或知識，而為熟習該項技術者所能輕易完成時，雖無前項所列情事，仍不得依本法申請取得發明專利，90年專利法第20條第1 項第1 款、第2 項定有明文。
二、本院得審酌新證據：
按關於撤銷、廢止商標註冊或撤銷專利權之行政訴訟中，當事人於言詞辯論終結前，就同一撤銷或廢止理由提出之新證據，智慧財產法院仍應審酌之，智慧財產案件審理法第33條第1 項定有明文。原告於原處分及訴願階段僅提出證據2、3證明系爭專利請求項1 至7 不具新穎性、進步性，嗣於本件行政訴訟階段，始提出證據4 、5 ，並主張證據4 ，或證據4 與證據2 、5 之組合，可證明系爭專利請求項1 至7 不具新穎性或不具進步性，係就同一撤銷理由所提之新證據，並經被告就該新證據提出答辯，依智慧財產案件審理法第33條第1 項規定，本院就上開新證據，得併予審究。
三、系爭專利技術分析
㈠系爭專利技術內容：
傳統單晶圓旋轉蝕刻機台設計之缺點在於需上下移動台座，其操控較複雜，且增加化學品滲漏的機會。系爭專利之目的在於提供一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，可收集旋轉蝕刻槽中不同種類之流體。為達成上述目的，系爭專利單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置主要包括一旋轉蝕刻槽、一第一收集單元及一升降機制。旋轉蝕刻槽可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口。第一收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由洩出口流出之流體。升降機制連設於第一收集單元，使第一收集單元之徑向開口之頂部可下降至洩出口之底部（參見系爭專利說明書第6 、7 頁）。
㈡系爭專利主要圖面如附圖一所示。
㈢系爭專利申請專利範圍分析：
系爭專利之請求項共計7 項，其中請求項1 為獨立項，請求項2至7為直接或間接依附於請求項1 之附屬項，專利權人於104 年12月18日就請求項1 、3 、6 申請更正，經被告審查後，准予更正，原告對於准予更正部分並未聲明不服，僅就原處分關於系爭專利請求1 至7 舉發不成立部分聲明不服，本院爰依更正後之請求項內容，予以審究，合先敘明。
系爭專利更正後之請求項內容如下：
1.一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體，主要包括：一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口；複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體；一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體。
2.如申請專利範圍第1 項之流體收集裝置，其中該收集單元之第一收集單元係環狀。
3.如申請專利範圍第1 項之流體收集裝置，其中該收集單元更包括一第二收集單元，設於該第一收集單元之外緣，其亦具有一徑向開口，該第二收集單元並連設於一升降機制，使該第二收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升，且當該第一收集單元之徑向開口之頂部下降至該流體洩出口之底部時，可使該第二收集單元之徑向開口與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體。
4.如申請專利範圍第3 項之流體收集裝置，其中該第二收集單元係環狀。
5.如申請專利範圍第3 項之流體收集裝置，其中該第二收集單元徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，於該第一收集單元及該第二收集單元同時位於上升或下降位置時，與該第一收集單元之徑向開口之頂部緊密接觸。
6.如申請專利範圍第3 項之流體收集裝置，其中該第二收集單元之徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，並與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸。7.如申請專利範圍第3 項之流體收集裝置，其中該收集單元可多於二個。
四、舉發證據技術分析：
㈠證據2 ：證據2 為91年10月1 日公告之我國第504776號「晶圓迴轉保持裝置及具有廢液回收機構的晶圓表面處理裝置」專利案（原處分卷第25-6頁、本院卷一第46-65 頁）。證據2 之公告日係早於系爭專利申請日（92年4 月10日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴證據2 為具有廢液回收機構之晶圓表面處理裝置，其係將晶圓表面以處理液或洗淨液處理；其特徵係在於：具有將經表面處理之晶圓予以迴轉保持之晶圓迴轉保持裝置，以及以可上下動之方式設於該晶圓迴轉保持裝置的周圍之廢液回收機構；該廢液回收機構係由彼此可上下動而設之複數個環狀廢液回收導管所構成，依處理液及洗淨液之種類分別使用複數個環狀廢液回收導管，並將各廢液分離回收者。藉由將上述環狀廢液回收導管連續地上下，可將晶圓表面處理中所用之處理液及洗淨液連續回收，可謀求生產效率之提高。上述環狀廢液回收導管若設有三個的話，具有可回收三種廢液之優點（參證據2 說明書第9 頁）。
⑵證據2主要圖式如附圖二所示。
㈡證據3 ：證據3 為2002年8 月21日公告之中國大陸第CN2506655Y號「旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置」專利案（原處分卷第5-1 頁、本院卷一66-70 頁）。證據3 之公告日係早於系爭專利申請日（92年4 月10日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴證據3 為一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，主要是利用旋轉所產生的離心力將化學藥液甩出晶圓夾盤，而以化學藥液回收環，區分不同的化學藥液以進行回收。依需求分類並流入指定的管路中，進行後續的再生或排放，無需改變原有旋轉蝕刻機的製程反應室的外觀尺寸下，即可進行化學藥液的回收（參證據3 摘要）。
⑵證據3主要圖式如附圖三所示。
㈢證據4 ：證據4 為2000年9 月22日公開之日本第JP0000-000000A號「旋轉式基板處理裝置」專利案（專利說明書及中譯文見本院卷一第159-169 頁）。證據4 之公告日係早於系爭專利申請日（92年4 月10日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴證據4 為將基板1 水平支撐並使其旋轉之旋轉機構10的週圍，設置杯體20來承接從基板1 飛濺出的液體。將筒狀昇降式之上段液體導引部30及下段液體導引部40組合於杯體20 。 上段液體導引部30在下方的待機位置時，與下段液體導引部40重疊，兩個導引部間形成的液體導入口關閉，上段液體導引部30從待機位置往上移動至上方的回收位置時，將從基板1 飛濺出的第1 液體導至杯體20外面。而下段液體導引部40，則從待機位置往上移動至上方的回收位置，將從基板1 飛濺出的第2 液體導至杯體20裡面（參證據4【 解決手段】）。
⑵證據4主要圖式如附圖四所示。
㈣證據5 ：證據5 為2003年1 月16日公開之美國第US2003/0000000A1號「基板處理裝置」專利案（專利說明書見本院卷一第223-236 頁，相關段落中譯文見本院卷一第207 頁）。證據5 之公告日係早於系爭專利申請日（92年4 月10日），可為系爭專利相關之先前技術。
⑴證據5 係關於藉由一清洗或類似過程處理基板，例如半導體晶圓或液晶顯示器的玻璃基板之一基板處理裝置（參證據5 說明書第1 欄【發明之技術領域】）。
⑵證據5主要圖式如附圖五所示。
五、技術爭點分析：
㈠證據2 是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具新穎性？
⑴證據2 不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性：
⒈按系爭專利請求項1 為一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體，主要包括：一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口；複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體；一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體。
⒉證據2 第13至15圖揭示一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之廢液回收機構(50)，用於收集蝕刻廢液，主要包括：一晶圓迴轉保持裝置(10)及一迴轉軸(20)，可固定及旋轉一晶圓(W) ，使該晶圓(W) 可於蝕刻液中進行蝕刻，該迴轉保持裝置(10)周圍設有開口部(64a、66a 、68a)；環狀廢液回收導管(64 、66、68) ，具有一徑向開口，可與該開口部(64a、66a 、68a)相通，以收集由該開口部(64a、66a 、68a)流出之廢液；一升降機制(64 、66、68之升降動作) ，連設於每一環狀廢液回收導管(64
、66、68) ，使該環狀廢液回收導管(64 、66、68) 之徑向開口之頂部可自該開口部(64a、66a 、68a)之底部上升以收集特定廢液。另說明書第19頁第3 至5 行揭露：「該廢液回收機構50備有複數個（圖示例為三個）環狀廢液回收導管64、66、68，該廢液回收導管64、66、68係安裝成彼此可上下動。」
⒊系爭專利更正後請求項1與證據2比對：
①查證據2 第13至15圖揭示一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之廢液回收機構(50)，用於收集蝕刻廢液，已揭露系爭專利更正後請求項1 「一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體」的技術特徵；證據2 第13至15圖揭示晶圓迴轉保持裝置(10)及迴轉軸(20)，可固定及旋轉一晶圓(W) ，使該晶圓(W) 可於蝕刻液中進行蝕刻，該迴轉保持裝置(10)周圍設有開口部(64a、66a 、68a)，已揭露系爭專利更正後請求項1 「可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，及一流體洩出口」的技術特徵；證據2 第13至15圖揭示環狀廢液回收導管(64 、66、68) ，並具有一徑向開口，可與該開口部(64a、66a 、68a)相通，以收集由該開口部(64a、66a
、68a)流出之廢液，已揭露系爭專利更正後請求項1
「複數個收集單元，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」的技術特徵；證據2 第13至15圖揭示一升降機制(64 、66、68之升降動作) ，連設於每一環狀廢液回收導管(64 、66、68) ，使該環狀廢液回收導管(64 、66、68) 之徑向開口之頂部可自該開口部(64a、66a 、68a)之底部上升以收集特定廢液，另證據2 說明書第19頁第3 至5 行揭露：「該廢液回收機構50備有複數個（圖示例為三個）環狀廢液回收導管64、66、68，該廢液回收導管64、66、68係安裝成彼此可上下動。」已揭露系爭專利更正後請求項1 「一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體」的技術特徵。
②惟查，系爭專利更正後請求項1 記載「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口；複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」，由此可知，系爭專利更正後請求項1 之旋轉蝕刻槽應為一具有槽壁之旋轉蝕刻槽。惟查，證據2 未揭露一具有槽壁之旋轉蝕刻槽，是以，證據2 未揭露系爭專利更正後請求項1 「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故證據2 尚不足以證明系爭專利更正後請求項1 不具新穎性。
⑵證據2 不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具新穎性：
按系爭專利請求項2 至7 係直接或間接依附請求項1 之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵以及請求項2 至7 之附加技術特徵，證據2 既不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性，證據2 自亦不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具新穎性。
㈡證據2 、系爭專利先前技術之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
⑴證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
⒈證據2 未揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，已如前述。另查系爭專利說明書第6 頁第9 至15行揭示「第1 圖為傳統單晶圓旋轉蝕刻機台的流體收集裝置之剖面圖。圖中蝕刻槽91中設有一晶圓台座92用以承載及固定晶圓99，台座92下方之轉軸93可高速旋轉及上下移動。蝕刻液則由上方的供給系統94流下。於蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口，當轉軸93高速旋轉時，可將廢液離心拋向收集管951-953 ，隔離板961-963 則可使欲收集的廢液集中流入特定之收集管。」且系爭專利第1 圖之傳統單晶圓旋轉蝕刻機台的流體收集裝置已揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951- 953設於該蝕刻槽壁之外緣的技術特徵，即相當於系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故系爭專利先前技術已揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵。綜上，證據2與 系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項1 整體技術內容。
⒉查證據2 與系爭專利先前技術均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域。又查證據2 之所欲解決的問題及所產生的功效如證據2 說明書第6 頁〔發明之解決課題〕第8 至11行中揭示「其目的又在提供一種具有廢液回收機構之晶圓表面處理裝置，其可因應處理液及洗淨液之種類將各廢液，特別是三種以上之廢液連續且有效地分離回收，故而可提高生產效率」，由此可知，證據2 之所欲解決的問題及所產生的功效包括：欲解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，而提高生產效率。另查系爭專利說明書第6 頁第12至16行之先前技術中揭示「於蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口，當轉軸93高速旋轉時，可將廢液離心拋向收集管951-953
，隔離板961-963 則可使欲收集的廢液集中流入特定之收集管。藉由調整台座92高度，可將不同廢液經由不同高度之液體洩出口送出。」由此可知，系爭專利先前技術之所欲解決的問題及所產生的功效包括：欲解決將清洗晶圓之廢液集中流入特定之收集管之問題，亦可提高生產效率。
⒊綜上，證據2 與系爭專利先前技術均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性，且兩者所產生的功效相同，故該所屬技術領域中具有通常知識者，有合理動機將證據2
與系爭專利先前技術作結合。是以所屬技術領域中具有通常知識者欲解決系爭專利可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的問題時，參酌證據2 揭示單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，可將清洗晶圓之各廢液連續且有效地分離回收，並參酌系爭專利先前技術揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951-953 設於該蝕刻槽壁外緣之技術內容，且基於上開理由自有將證據2 與系爭專利先前技術加以組合的合理動機，而輕易完成系爭專利請求項1 之發明，且證據2 與系爭專利先前技術之組合亦可達到系爭專利請求項1 之可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的功效，系爭專利請求項1 未產生無法預期之功效，故系爭專利請求項1 為所屬技術領域中具有通常知識者依證據2 與系爭專利先前技術之組合即能輕易完成。準此，證據2 與系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。
⒋被告於106 年4 月12日所提行政訴訟答辯書第4 、5 頁之理由五中指稱，系爭專利習知技術（第1 圖）與系爭專利請求項1 的移動部位與不動部位相反，證據2 與系爭專利第1 圖的移動部位與不動部位也相反，故系爭專利習知技術、系爭專利請求項1 與證據2 三者存在硬體結構上先天的不相容，因此，當本領域具通常知識者站在證據2 的技術基礎上，若見到系爭專利第1 圖所揭露的流體收集裝置時，因存在結構上相反的差異，是不會有動機去結合二者云云。按專利進步性之判斷，應探究有無合理且具體之理由，促使所屬技術領域中具有通常知識者，將所揭露之技術組合成申請專利之態樣；亦即先前技術彼此間，就所屬技術領域之關聯性高低、所欲解決之技術問題、解決問題之技術手段，以及所欲達成功效之共通性高低等，審究是否具明顯無法組合或先天不相容之情事。如先前技術之間已教示相同或近似的技術問題時，應可合理預期該領域具有通常知識者，即可能參考於技術領域上具有關聯性且解決相同或近似技術問題之先前技術，而產生先前技術組合之動機，並以先前技術為基礎，將之轉用、置換、改變或組合其他先前技術，而輕易完成申請專利之整體，並產生可預期之功效。查證據2 與系爭專利先前技術均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性且兩者所產生的功效相同，理由已如前述，故熟習該項技術者有合理動機將證據2 與系爭專利先前技術作結合。是以所屬技術領域中熟習該項技術者欲解決系爭專利可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的問題時，參酌證據2 揭示單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，可將清洗晶圓之各廢液連續且有效地分離回收，並參酌系爭專利先前技術揭示蝕刻槽91、蝕刻槽91的壁面設有液體洩出口及收集管951-953 設於該蝕刻槽壁外緣之技術內容，且基於上開理由自有將證據2
與系爭專利先前技術加以組合的合理動機，而輕易完成系爭專利請求項1 之發明，且證據2 與系爭專利先前技術之組合亦可達到系爭專利請求項1 之可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的功效，系爭專利請求項1 未產生無法預期之功效，故被告上開理由應不可採。
⑵證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步性：
⒈系爭專利請求項2 為直接依附於請求項1 （獨立項）之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵，並進一步界定「該收集單元之第一收集單元係環狀」。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，已如前述，查證據2 說明書第18
頁倒數第3 行至第19頁第2 行中揭示「形成外側環狀廢液回收導管64。藉由該中間斜面部件56、中間角筒部58、內側斜面部件60及內側角筒部62的外壁之一部份，形成中間環狀廢液回收導管66。以該內側斜面部件60及內側角筒部62，形成內側環狀廢液回收導管68。」其中環狀廢液回收導管64、環狀廢液回收導管66及環狀廢液回收導管68，相當於系爭專利請求項2 之該收集單元之第一收集單元係環狀，因此，證據2 已揭露系爭專利請求項2 上開附屬技術特徵。
⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項2 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項2 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項2 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項2
不具進步性。
⑶證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性：
⒈系爭專利請求項3 為直接依附於請求項1 （獨立項）之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵，並進一步界定「該收集單元更包括一第二收集單元，設於該第一收集單元之外緣，其亦具有一徑向開口，該第二收集單元並連設於一升降機制，使該第二收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升，且當該第一收集單元之徑向開口之頂部下降至該流體洩出口之底部時，可使該第二收集單元之徑向開口與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，已如前述，查證據2 說明書第19頁第3 至5 行揭露：「該廢液回收機構50備有複數個（圖示例為三個）環狀廢液回收導管64、66、68，該廢液回收導管64、66、68係安裝成彼此可上下動。」且配合證據2 第13至15圖可知，證據2 已揭示收集單元更包括一環狀廢液回收導管（66），設於環狀廢液回收導管（68）之外緣，其亦具有一徑向開口，該環狀廢液回收導管（66）並連設於一升降機制，使該環狀廢液回收導管（66）之徑向開口之頂部可自該開口部（66a ）之底部上升，且當該環狀廢液回收導管（68）之徑向開口之頂部下降至該開口部（68a ）之底部時，可使該環狀廢液回收導管（66）之徑向開口與該開口部（66a ）相通，以收集由該開口部（66a ）流出之流體。其中環狀廢液回收導管（66）、環狀廢液回收導管（68）、開口部（66a ）及開口部（68a ），相當於系爭專利更正後請求項3 之第二收集單元、第一收集單元、流體洩出口，因此，證據2 已揭露系爭專利請求項3 上開附屬技術特徵。⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項3 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項3 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項3 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3
不具進步性。
⑷證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項4 不具進步性：
⒈系爭專利請求項4 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並進一步界定「該第二收集單元係環狀」。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述，查證據2 說明書第18頁倒數第3 行至第19頁第2 行中揭示「形成外側環狀廢液回收導管64。藉由該中間斜面部件56、中間角筒部58
、內側斜面部件60及內側角筒部62的外壁之一部份，形成中間環狀廢液回收導管66。以該內側斜面部件60及內側角筒部62，形成內側環狀廢液回收導管68。」其中環狀廢液回收導管64、環狀廢液回收導管66及環狀廢液回收導管68，相當於系爭專利請求項4 之該第二收集單元係環狀，因此，證據2 已揭露系爭專利請求項4 上開附屬技術特徵。
⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項4 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項4 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項4 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項4
不具進步性。
⑸證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項5 不具進步性：
⒈系爭專利請求項5 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特，並進一步界定「該第二收集單元徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，於該第一收集單元及該第二收集單元同時位於上升或下降位置時，與該第一收集單元之徑向開口之頂部緊密接觸」。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述，查證據2 說明書第19頁第3 至5 行揭露：「該廢液回收機構50備有複數個（圖示例為三個）環狀廢液回收導管64、66、68，該廢液回收導管64、66、68係安裝成彼此可上下動」。且配合證據2 第13至15圖可知，證據2 已揭示環狀廢液回收導管（66）徑向開口之頂部延伸設置於環狀廢液回收導管（68）之徑向開口之頂部上方，於該環狀廢液回收導管（68）及該環狀廢液回收導管（66）同時位於上升或下降位置時，與該環狀廢液回收導管（68）之徑向開口之頂部緊密接觸。其中環狀廢液回收導管（66）、環狀廢液回收導管（68），相當於系爭專利請求項5 之第二收集單元、第一收集單元，因此，證據2 已揭露系爭專利請求項5 上開附屬技術特徵。
⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項5 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項5 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項5 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項5
不具進步性。
⑹證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項6 不具進步性：
⒈系爭專利請求項6 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並進一步界定「該第二收集單元之徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，並與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述，查證據2 第13至15 圖
揭示環狀廢液回收導管（66）之徑向開口之頂部延伸設置於環狀廢液回收導管（68）之徑向開口之頂部上方，且系爭專利先前技術（系爭專利第1 圖）揭示收集管
951-953 與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸。其中環狀廢液回收導管（66）、環狀廢液回收導管（68），相當於系爭專利請求項6 之第二收集單元、第一收集單元，因此，證據2 、系爭專利先前技術已揭露系爭專利請求項6 上開附屬技術特徵。
⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項6 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項6 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項6 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項6
不具進步性。
⑺證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項7 不具進步性：
⒈系爭專利請求項7 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵以，並進一步界定「該收集單元可多於二個」。
⒉證據2 、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述，查證據2 說明書第18
頁倒數第3 行至第19頁第2 行中揭示「形成外側環狀廢液回收導管64。藉由該中間斜面部件56、中間角筒部58、內側斜面部件60及內側角筒部62的外壁之一部份，形成中間環狀廢液回收導管66。以該內側斜面部件60及內側角筒部62，形成內側環狀廢液回收導管68。」其中環狀廢液回收導管64、環狀廢液回收導管66及環狀廢液回收導管68，相當於系爭專利請求項7 之該收集單元可多於二個，因此，證據2 已揭露系爭專利請求項7 上開附屬技術特徵。
⒊綜上，證據2 、系爭專利先前技術之組合已揭露系爭專利請求項7 整體技術內容，且證據2 、系爭專利先前技術之組合亦可如系爭專利請求項7 可達成收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體之相同功效。故整體視之，系爭專利請求項7 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據2 、系爭專利先前技術之組合所能輕易完成，準此，證據2
、系爭專利先前技術之組合足以證明系爭專利請求項7
不具進步性。
㈢證據2 、3 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
⑴證據2 、3 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
⒈證據2 未揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽」、「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」及「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，已如前述。查證據3 圖1 、2 揭示晶圓夾盤102 可固定及旋轉一晶圓，以進行蝕刻或清洗，且晶圓夾盤102 之周緣設有排液口116 ，晶圓夾盤102 上的化學液，可以經由排液口116 流出至化學藥液回收盤114 連接的第一排放管106 或第二排放管108 ，以進行回收。
⒉系爭專利更正後請求項1 之旋轉蝕刻槽應為一具有槽壁之旋轉蝕刻槽，已如前述。查證據3 圖1 、2 揭示一可以進行旋轉及蝕刻之晶圓夾盤102 的周緣具有槽壁，是以，證據3 已揭露一具有槽壁之旋轉蝕刻槽。再查，系爭專利請求項1 與證據3 比對：查證據3 圖1 、2 揭示晶圓夾盤102 之周緣，已揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽」的技術特徵；證據3 圖1 、2 揭示晶圓夾盤102 之周緣設有排液口11 6，已揭露系爭專利請求項1
「該旋轉蝕刻槽之周緣設有一流體洩出口」的技術特徵。惟證據3 之排液口116 流出至化學藥液回收盤114 連接的第一排放管10 6或第二排放管108 並未設置於該晶圓夾盤102 壁之外緣，故證據3 未揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵。
⒊綜上，證據2 、3 均未揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，自當無法達成系爭專利請求項1 各個收集槽之間及收集槽與蝕刻槽的壁面之間可緊密接觸，使化學品不易滲漏至其他收集槽，避免交叉污染之功效，是以系爭專利請求項1 非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據2 、3
之組合所能輕易完成，準此，證據2 、3 之組合尚不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。
⑵證據2 、3 之組合不足以證明系爭專利請求項2 至7 不具進步性：
按系爭專利請求項2 至7 係直接或間接依附請求項1 之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵以及請求項2 至7 之附加技術特徵，證據2 、3 之組合既不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，已如前述，整體視之，證據2 、3 之組合自亦不足以證明系爭專利請求項2 至7
不具進步性。
㈣證據4 是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具新穎性？
⑴證據4 不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性：
⒈系爭專利更正後請求項1 之旋轉蝕刻槽應為一具有槽壁之旋轉蝕刻槽，已如前述。查證據4 圖1 、2 揭示圓筒部51及具有周壁21之杯體20可構成一旋轉蝕刻槽，是以，證據4 已揭露一具有槽壁之旋轉蝕刻槽。再查，系爭專利請求項1 與證據4 比對：查證據4 圖1 至4 及第【0001】段揭示「本發明為半導體晶圓、液晶用玻璃基板等的基板類進行濕式處理時使用的旋轉式基板處理裝置，特別是將基板每片處理的旋轉式基板處理裝置相關」、第【0002】段揭示「為除去液體之散佈後所累積於基板上的液體，會讓旋轉部高速旋轉，此時液體也會從基板向四周飛濺。為回收飛濺的液體，故於旋轉機構的周圍設置杯體」，已揭露系爭專利請求項1 「一種單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置，用於收集旋轉蝕刻槽中之流體」的技術特徵；證據4 圖1 至4 及第【0003】段揭示「此種旋轉式基板處理裝置，有時會在同一個槽內連續進行蝕刻等藥液處理及使用純水洗淨的情況發生」、第【0025】段揭示「關於本發明的實施形態及旋轉式基板處理裝置，如圖1 至圖4 所示，具備將須處理的基板1 水平支撐並旋轉之旋轉機構10」、第【0026】段揭示「杯體20為廢液回收。杯體20為圓筒形狀固定式，有2 重的周壁21。周壁21的外側，為回收藥液，故設置一體的環狀的回收部20' 」、第【0034】段揭示「環狀的飛濺防止遮蓋50設置在旋轉機構10的上方，包含圓筒部51設置於旋轉部11的上方同心圓處，和一個從圓筒部51的上端部向內突出的凸緣部52。圓筒部51 和 旋轉部11保持著讓基板置入、重置在旋轉部11上之間隙」、圖1 、2 揭示圓筒部51及杯體20可構成一旋轉蝕刻槽，圓筒部51及旋轉部11之間的空隙形成一流體洩出口，該流體洩出口設置於該旋轉蝕刻槽之周緣，已揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」的技術特徵；證據4 圖1 至3 及第【0039】段揭示「基板1 旋轉時的離心力會讓基板1 上的藥液向外側移動，會從傾斜部32、42的藥液導入口流向杯體20外面的回收部20' 做藥液回收動作」、第【
0040】段揭示「旋轉部11的上方有飛濺防止遮蓋50，且其外側嵌合有上段液體導引部30的傾斜部32」、圖1 、2 揭示藥液回收部20' 、圓筒部31、41設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，已揭露系爭專利請求項1 「1 個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣，並具有一徑向開口，可與該旋轉蝕刻槽之流體洩出口相通，以收集由該流體洩出口流出之流體」的技術特徵，惟查證據4 圖1至2所揭示之廢液回收用杯體20並非設於旋轉蝕刻槽壁之外緣，證據4 圖1 至2 僅揭露1 個收集單元20' 設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣；證據4 圖1 至3 及第【0039】段揭示「導引驅動器，也可以讓上段液體導引部30與下段液體導引部40獨立驅動」、第【0036】段揭示「上段液體導引部30和下段液體導引部40位於旋轉部11的下方相同高度」、第【0039】段揭示「上段液體導引部30會向藥液處理位置驅動。這時傾斜部32、42的藥液導入口是被打開的」、第【0041】段揭示「如圖3 所示，上段液體導引部30從藥液處理位置會驅動向上移動至拉引位置，藉此，下段液體導引部40會上升到廢液回收位置」，已揭露系爭專利請求項1 「一升降機制，連設於每一收集單元，使該收集單元之徑向開口之頂部可自該流體洩出口之底部上升以收集特定流體」的技術特徵。
⒉綜上比較，系爭專利請求項1 與證據4 之差異為：證據4 未揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4 僅揭露1 個收集單元20'
設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」的技術特徵，是以證據4 尚不足以證明系爭專利請求項1不 具新穎性。
⑵證據4 不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具新穎性：
按系爭專利請求項2 至6 係直接或間接依附請求項1 之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵以及請求項2 至6 之附加技術特徵，證據4 既不足以證明系爭專利請求項1 不具新穎性，理由已如前述，整體視之，證據4
自亦不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具新穎性。
㈤證據4 是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性？
⑴證據4 不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
按證據4 未揭示系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4 僅揭露1 個收集單元
20' 設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」之技術特徵，已如前述，且該技術特徵非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據4 所能輕易完成，是以系爭專利請求項1 非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據4 所能輕易完成，準此，證據4 尚不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。
⑵證據4 不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具進步性：
按系爭專利請求項2 至6 係直接或間接依附請求項1 之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵以及請求項2 至6 之附加技術特徵，證據4 既不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，已如前述，整體視之，證據4 自亦不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具進步性。
㈥證據4 、2 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
⑴證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
⒈證據4 未揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4 僅揭露1 個收集單元20' 設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」之技術特徵，已如前述。另查證據2 第13至15圖揭示3 個環狀廢液回收導管（64、66、68）設於晶圓迴轉保持裝置（10）外緣，並具有一徑向開口，可以收集由該流體洩出口流出之流體，即相當於系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，故證據2 已揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵。綜上，證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項1 整體技術內容。
⒉查證據4 與證據2 均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域。又查證據4 之所欲解決的問題及所產生的功效如證據4 說明書第1 頁【課題】中揭示「於單晶圓式的旋轉式基板處理裝置，增加其藥液的回收率。裝置的價格降低。抑制震動。將藥液及廢液的氣體進行分離。」及證據4 說明書第6 頁【0052】【發明效果】中揭示「本發明是旋轉式基板處理裝置，是由在旋轉機構的周圍設置杯體，讀利升降可能的上下2 段液體導引部所組合而成，可以避免液體的混合及確保藥液的高回收率。」，由此可知，證據4 之所欲解決的問題及所產生的功效包括：欲解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，以增加藥液的回收率。另查證據2 之所欲解決的問題及所產生的功效如證據2 說明書第6 頁〔發明之解決課題〕第8 至11行中揭示「其目的又在提供一種具有廢液回收機構之晶圓表面處理裝置，其可因應處理液及洗淨液之種類將各廢液，特別是三種以上之廢液連續且有效地分離回收，故而可提高生產效率」，由此可知，證據2 之所欲解決的問題及所產生的功效包括：欲解決將清洗晶圓之各廢液分離回收之問題，而提高生產效率。綜上，證據4 與證據2 均屬單晶圓旋轉蝕刻清洗機台之流體收集裝置的相同技術領域、兩者所欲解決的問題具有共通性且兩者所產生的功效相同，故該熟習該項技術者有合理動機將證據4 與證據2 作結合。是以所屬技術領域中熟習該項技術者欲解決系爭專利可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的問題時，參酌證據4 揭示單晶圓式的旋轉式基板處理裝置，可將清洗晶圓之各廢液有效地分離回收，並參酌證據2 揭示3 個環狀廢液回收導管（64、66、68）設於晶圓迴轉保持裝置（10）外緣之技術內容，且基於上開理由自有將證據4 與證據2 加以組合的合理動機，而輕易完成系爭專利請求項1
之發明，且證據4 與證據2 之組合亦可達到系爭專利請求項1 之可收集旋轉蝕刻槽中不同種類流體的功效，系爭專利請求項1 未產生無法預期之功效，故系爭專利請求項1 為所屬技術領域中熟習該項技術者依證據4 與證據2 之組合即能輕易完成。準此，證據4 與證據2 之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。
⒊被告於106 年6 月5 日所提行政訴訟補充答辯書第2 至5 頁之理由二至六中指稱，證據4 第【0003】段雖有記載此種旋轉式基板處理裝置，有時會在同一個槽內連續進行蝕刻等藥液處理及使用純水洗淨的情況，但證據4
並未明示「槽」究竟所指為何元件，另流體洩出口並非由旋轉蝕刻槽可單獨界定的技術特徵的情況下，證據4
也無法完成請求項1 中所有具有槽與流體洩出口之技術特徵云云。按判斷系爭專利請求項1 是否有進步性，應以系爭專利請求項1 所記載之文字為準，查系爭專利請求項1 之旋轉蝕刻槽僅記載「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」，系爭專利請求項1 並未明確記載旋轉蝕刻槽之形狀構造，是以系爭專利請求項1 之範圍可以包含任何形狀構造的旋轉蝕刻槽。查證據4 圖1 、2 揭示圓筒部51及杯體20可構成一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，圓筒部51 及 旋轉部11之間的空隙形成一流體洩出口，該流體洩出口設置於該旋轉蝕刻槽之周緣，故證據4 已揭露系爭專利請求項1 「一旋轉蝕刻槽，可固定及旋轉一晶圓，使該晶圓可於蝕刻液中進行蝕刻，該旋轉蝕刻槽之周緣並設有一流體洩出口」之技術特徵，被告上開理由應不可採。
⑵證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步性：
按系爭專利請求項2 為直接依附於請求項1 （獨立項）之附屬項，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項1不
具進步性，且證據2 已揭露系爭專利請求項2 之附屬技術特徵，已如前述。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項2 整體技術內容，系爭專利請求項2 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項2 不具進步性。
⑶證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性：
按系爭專利請求項3 為直接依附於請求項1 （獨立項）之附屬項，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，且證據2 已揭露系爭專利請求項3 附屬技術特徵，已如前述。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項3 整體技術內容，系爭專利請求項3 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性。
⑷證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項4 不具進步性：
按系爭專利請求項4 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並為進一步界定。證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，且證據2 已揭露系爭專利請求項4 之附屬技術特徵，已如前述。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項4
整體技術內容，系爭專利請求項4 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4、2之組合足以證明系爭專利請求項4 不具進步性。
⑸證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項5 不具進步性：
按系爭專利請求項5 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並為進一步界定。證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，且證據2 已揭露系爭專利請求項5 之附屬技術特徵，已如前述。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項5
整體技術內容，系爭專利請求項5 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項5 不具進步性。⑹證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項6 不具進步性：
⒈按系爭專利請求項6 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並為進一步界定「第二收集單元之徑向開口之頂部延伸設置於該第一收集單元之徑向開口之頂部上方，並與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸」。
⒉證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，已如前述，查證據2 第13至15圖揭示環狀廢液回收導管（66）之徑向開口之頂部延伸設置於環狀廢液回收導管（68）之徑向開口之頂部上方，且證據4 圖2 揭示傾斜部32與該旋轉蝕刻槽壁之外緣緊密接觸。其中環狀廢液回收導管（66）、環狀廢液回收導管（68），相當於系爭專利請求項6 之第二收集單元、第一收集單元，因此，證據4 、2 已揭露系爭專利請求項6 上開附屬技術特徵。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項6
整體技術內容，系爭專利請求項6 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項6 不具進步性。
⑺證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項7 不具進步性：
按系爭專利請求項7 為直接依附於請求項3 之附屬項，其權利範圍包括請求項3 之全部技術特徵，並為進一步界定。證據4 、2 之組合足以證明系爭專利請求項3 不具進步性，且證據2 已揭露系爭專利請求項7 之附屬技術特徵，已如前述。故證據4 、2 之組合已揭露系爭專利請求項7
整體技術內容，系爭專利請求項7 可為所屬技術領域具有通常知識者依證據4 、2 之組合所能輕易完成，準此，證據4、2之組合足以證明系爭專利請求項7 不具進步性。
㈦證據4 、5 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至6 不具進步性？
⑴證據4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性：
按證據4 未揭露系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣（證據4 僅揭露1 個收集單元20' 設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣）」之技術特徵，已如前述。另查證據5 圖5 雖已揭示一杯體58可以垂直上升或下降，惟查證據5 亦未揭示系爭專利請求項1 「複數個收集單元，設於該旋轉蝕刻槽壁之外緣」之技術特徵，且該技術特徵非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據4 、5 之組合所能輕易完成，是以系爭專利請求項1 非為所屬技術領域中具有通常知識者依證據4 、5 之組合所能輕易完成，準此，證據4 、5 之組合尚不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性。
⑵證據4 、5 之組合不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具進步性：
系爭專利請求項2 至6 係直接或間接依附請求項1 之附屬項，其權利範圍包括請求項1 之全部技術特徵以及請求項2 至6 之附加技術特徵，證據4 、5 之組合既不足以證明系爭專利請求項1 不具進步性，理由已如前述，整體視之，證據4 、5 之組合自亦不足以證明系爭專利請求項2 至6 不具進步性。
㈧證據4 、2 、5 之組合是否可證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性？
按證據4 、2 足以證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性，已如前述，，故證據4 、2 、5 之組合自足以證明系爭專利請求項1 至7 不具進步性。
六、綜上所述，證據2 、系爭專利先前技術之組合，或證據4 、2 之組合，均足以證明系爭專利更正後請求項1 至7 不具進步性。系爭專利違反90年專利法第20條第2 項規定，具有應撤銷之事由，原處分所為「請求項1 至7 舉發不成立」部分之處分，即有違誤，訴願決定予以維持，亦有未洽，原告訴請撤銷訴願決定及原處分關於請求項1 至7 舉發不成立部分，並命被告應作成系爭專利請求項1 至7 舉發成立，應予撤銷之處分，為有理由，爰撤銷改判如主文第一、二項所示。又本院認為原處分階段原告提出之證據2 、系爭專利先前技術之組合，已足以證明系爭專利更正後請求項1 至7 不具進步性，故並非以原處分階段被告所不及審酌之新證據，作為撤銷訴願決定及原處分之原因，本件訴訟費用自仍應由敗訴之被告負擔，附此敘明。
七、本件事證已明，兩造其餘攻擊防禦方法，均與本件判決結果不生影響，爰不逐一論述，併此敘明。
據上論結，本件原告之訴為有理由，依智慧財產案件審理法第1
條、行政訴訟法第98條前段，判決如主文。
中　　華　　民　　國　　106　 年　　8　　 月　　31　　日智慧財產法院第二庭
審判長法　官　李維心
法　官　蔡如琪
法　官　彭洪英
以上正本證明與原本無異。
如不服本判決，應於送達後20日內，向本院提出上訴狀並表明上訴理由，其未表明上訴理由者，應於提起上訴後20日內向本院補提上訴理由書；如於本判決宣示後送達前提起上訴者，應於判決送達後20日內補提上訴理由書（均須按他造人數附繕本）。
上訴時應委任律師為訴訟代理人，並提出委任書（行政訴訟法第241 條之1 第1 項前段），但符合下列情形者，得例外不委任律師為訴訟代理人（同條第1 項但書、第2 項）。
┌─────────┬────────────────┐│得不委任律師為訴訟│ 所 需 要 件 ││代理人之情形 │ │├─────────┼────────────────┤│(一)符合右列情形之│1.上訴人或其法定代理人具備律師資││ 一者，得不委任律│ 格或為教育部審定合格之大學或獨││ 師為訴訟代理人　│ 立學院公法學教授、副教授者。 ││ │2.稅務行政事件，上訴人或其法定代││ │ 理人具備會計師資格者。 ││ │3.專利行政事件，上訴人或其法定代││ │ 理人具備專利師資格或依法得為專││ │ 利代理人者。 │├─────────┼────────────────┤│(二)非律師具有右列│1.上訴人之配偶、三親等內之血親、││ 情形之一，經最高│ 二親等內之姻親具備律師資格者。││ 行政法院認為適當│2.稅務行政事件，具備會計師資格者││ 者，亦得為上訴審│ 。 ││ 訴訟代理人 │3.專利行政事件，具備專利師資格或││ │ 依法得為專利代理人者。 ││ │4.上訴人為公法人、中央或地方機關││ │ 、公法上之非法人團體時，其所屬││ │ 專任人員辦理法制、法務、訴願業││ │ 務或與訴訟事件相關業務者。 │├─────────┴────────────────┤│是否符合(一)、(二)之情形，而得為強制律師代理之例外，││上訴人應於提起上訴或委任時釋明之，並提出(二)所示關係││之釋明文書影本及委任書。 │└──────────────────────────┘中　　華　　民　　國　　106　 年　　8　　 月　　31　　日書記官　郭宇修