臺灣臺北地方法院八十九年度重訴字第六三三號
關鍵資訊
- 裁判案由返還不當得利
- 案件類型民事
- 審判法院臺灣臺北地方法院
- 裁判日期93 年 02 月 20 日
- 法官丁蓓蓓
- 法定代理人甲○○○、白文仁、石燦明、丙○○
- 原告香港商美亞保險有限公司法人
- 被告中央產物保險股份有限公司法人、富邦產物保險股份有限公司法人、新光產物保險股份有限公司法人
臺灣臺北地方法院民事判決 八十九年度重訴字第六三三號 原 告 香港商美亞保險有限公司(AMERICAN INERNATIONAL UNDERWRITE 法定代理人 甲○○○ ○○ 訴訟代理人 徐小波律師 張朝棟律師 楊曉邦律師 複 代理人 郭明怡律師 複 代理人 黃欣欣律師 複 代理人 羅淑文律師 被 告 中央產物保險股份有限公司 法定代理人 白文仁 被 告 富邦產物保險股份有限公司 法定代理人 石燦明 被 告 新光產物保險股份有限公司 法定代理人 丙○○ 共 同 訴訟代理人 黃台芬律師 徐頌雅律師 盧柏岑律師 黃建隆律師 何佩娟律師 吳棟傑律師 右當事人間請求返還不當得利事件,於九十二年十二月二十二日辯論終結,本院判決 如左: 主 文 原告之訴及其假執行之聲請均駁回。 訴訟費用由原告負擔。 事 實 甲、原告方面: 壹、聲明: 一、先位聲明: (一)被告中央產物保險股份有限公司應給付原告新台幣(下同)三十一億五千五百 六十七萬一千三百二十元,被告富邦產物保險股份有限公司給付原告八億一千 七百二十七萬七千九百六十六元,被告新光產物保險股份有限公司給付原告二 億四千四百十七萬一千二百八十一元,及均自起訴狀繕本送達之翌日起至清償 日止,按年利率百分之五計算之利息。 (二)訴訟費用由被告負擔。 (三)原告願供擔保,請准宣告假執行。 二、備位聲明: (一)被告中央產物保險股份有限公司應給付原告三十三億七千三百六十九萬六千四 百五十四元,被告富邦產物保險股份有限公司給付原告八億四千三百四十二萬 四千一百十三元,及均自起訴狀繕本送達之翌日起至清償日止,按年利率百分 之五計算之利息。 (二)訴訟費用由被告負擔。 (三)原告願供擔保,請准宣告假執行。 貳、陳述: 緣聯華電子股份有限公司(以下稱「聯電」)及聯瑞積體電路股份有限公司(以 下稱「聯瑞」)就其位於新竹市○○○路八號晶圓生產廠房(以下稱「投保處所 」)及其機器設備向中央產物保險股份有限公司(以下簡稱「中央產險」或「中 央」)、富邦產物保險股份有限公司(以下簡稱「富邦產險」或「富邦」)及新 光產物保險股份有限公司(以下簡稱「新光產險」或「新光」,三者合稱「商業 財產險共保人」)投保商業財產險,三者承保比例依次分別為74.83%、19.38%及 5.79%,承保之危險包含火災險,保險期間自民國(下同)八十六年一月一日起 至八十七年一月一日止。商業財產險共保人再以與原商業財產險相同之條款向原 告投保再保險,此亦有再保通知單可稽。 又聯電及聯瑞就同一投保處所及其機器設備另向中央及富邦(以下合稱「安裝險 共保人」)投保安裝工程綜合險,承保比例分別為80%及20%,承保危險為被保之 機器設備於投保處所內,因安裝工程意外事故直接所致之毀損或滅失,保險期間 自八十五年二月八日至八十六年十二月三十一日止。安裝險共保人再向被告四至 被告四十二(以下合稱「安裝險再保保險人」)投保再保險。 八十六年十月三日下午三時許,投保處所發生火災,致所投保財物發生嚴重毀損 ,商業財產險共保人遂於八十七年七月十三日給付聯電及聯瑞新台幣(下同)七 十六億八千萬元以賠償其於該次事故中所受損失,原告亦依再保契約賠償商業財 產險共保人共七十一億四千二百四十萬元,此有聯電及聯瑞於八十七年七月十三 日出具之同意書及商業財產險共保人於八十八年九月十四日簽署之代位權讓與合 約書可稽。 系爭火災發生後,原告委請專家就火災發生之原因為調查,根據專家之鑑定報告 ,該火災之發生肇因於天和派遣之人員於初次裝置連接在火箱內部自動補助管邊 緣與其上有毒廢氣排氣管間之二吋聚丙烯排氣管線時,未正確地執行各個管線之 焊接工程,致生火災。此事故應為安裝工程綜合險所承保之範圍。依聯瑞、聯電 與安裝險共保人所簽訂之安裝工程綜合險基本條款第四條之規定可知,系爭火災 之發生肇因於承攬人天和進行換管保固工作,故就因此生之損失,應在本件安裝 工程綜合險之承保範圍內。原告給付時不知系爭損失應為安裝工程綜合險所承保 之範圍,依保險法第三十八條、民法第一百七十九條規定原告就溢付部分,自得 依不當得利返還請求權或保險金給付請求權請求被告給付。詳述內容如下: A、程序方面: 一、本件請求並非主觀預備合併之訴: (一)被告認原告所提之本件請求為主觀預備合併之訴,無非係認本件先位聲明之被 告為「商業財產險保險人」,備位聲明之被告為「安裝工程綜合險保險人」。 先位聲明與備位聲明之被告不相同,故本件屬主觀預備合併之訴。然查,判定 被告是否同一,應係以被告之人格是否同一,而非以被告契約當事人之身分斷 之。易言之,如本件之「商業財產保險人」為A、B、C公司,「安裝工程綜 合險保險人」為D、E公司,則本件請求始有主觀預備合併之可言。惟查,本 件先位聲明之被告為中央產物保險股份有限公司(以下稱「中央產險」)、富 邦產物保險股份有限公司(以下稱「富邦產險」)及新光產物保險股份有限公 司(以下稱「新光產險」);備位聲明之被告為中央產險及富邦產險。備位聲 明之被告,即中央產險與富邦產險,已涵蓋於先位聲明之被告中,具有相同法 人人格,故應認原告本件請求應非主觀預備合併之訴。 (二)退步言,縱認本件仍有主觀預備合併之訴之情形(原告否認之),就是否可以 提主觀預備合併之訴,雖第一審及第二審法院曾出現不同之見解,然最高法院 向採取肯定之見解(詳被證二十七號第一百零六、一百零八頁)。反對主觀預 備合併之訴之最力主張乃承認主觀預備合併之訴,將導致備位聲明之被告處於 地位不安定之情形。惟查,本件備位之訴之被告亦為先位之訴之被告,勢必始 終參與訴訟,且亦將因參與訴訟而獲得判決(不論係針對先位之訴所獲得之判 決或備位之訴所獲得之判決),故縱就備位之訴之被告言,亦無地位不安定之 情形,故應無礙兩造攻擊防禦之進行。被告稱其可能因參與訴訟但未對於備位 聲明之訴訟標的法律關係獲得判決,仍有地位不安定之問題云云,實又係將與 主觀預備合併之訴所著重之被告人格是否同一和與之無關之被告身份混為一談 。甚且,如本案最終結果係原告就先位之訴取得勝訴判決,亦即,本件存在保 險競合,先位被告應返還不當得利予原告,則就保險競合存在乙事,對先位被 告即生拘束力,則後位被告因同為先位被告,自不得再爭執保險競合不存在, 於此情形,被告自應依安裝工程險契約給付保險金予被保險人聯瑞及聯電公司 ,而與聯瑞、聯電公司就溢付與短付款項進行結算給付,則其地位有何不安定 之可言?相關當事人間之爭議反而可藉本件訴訟一次解決,被告一再主張可能 之不安定,究何所指?殊難索解。 (三)被告另主張主觀預備合併之訴必須係以「同一請求權」對先備位之不同被告加 以主張,而稱本件先備位請求權不相同,可能引起之難題更甚於典型之主觀預 備合併云云。惟查,主觀預備合併之訴並不以請求權同一為要件(參原證二十 八號最高法院六十六年台上字第一七二二號判決關於主觀預備合併之定義), 是被告所假設前提已屬錯誤,故其據此前提所為主張,自無足採。 (四)被告另以原告在新竹地方法院所提起代位訴訟,可能與本件訴訟發生裁判矛盾 之情形,甚至原告可能因此而獲得高達一百二十餘億元之判決,主張本件主觀 預備合併不合法。惟查,本件訴訟與繫屬於新竹地院之訴訟乃獨立之二訴訟, 起訴之原因事實完全不同,二者之關連性充其量僅係於原告獲得本件訴訟之終 局勝訴判決後,原告在新竹所提起之訴訟所得請求之金額應否為相應之減縮或 扣減之問題,實與本件訴訟之合法性毫無關連。再者,被告一再以原告將因此 而獲得高達一百二十餘億元之判決為抗辯理由,顯屬無稽。其道理正如同債權 人甲先後對連帶債務人乙及丙提起請求履行債務一百萬元之訴訟,乙及丙抗辯 甲之訴訟不合法,因為甲因此可能獲得總額為二百萬元之判決。該主張之無稽 ,實不言自明。 二、本件客觀預備之訴應屬合法: (一)關於客觀訴之合併要件,我國民事訴訟法第二百四十八條規定:「對同一被告 之數宗訴訟,除定有專屬管轄外,得向其中一訴訟有管轄權之法院合併提起。 」至於客觀訴之合併之分類,學理及實務主要著重在探討法院審理裁判之範圍 及上訴之效力,客觀預備合併之訴之合法性,在早期容有學者提出質疑,然而 我國司法實務早已承認該類訴訟型態之合法性,最高法院並對客觀預備合併案 件上訴之效力作成民事庭會議決議(原證四十一號)。簡言之,客觀訴之合併 ,不論係何種型態,僅需符合民事訴訟法僅於第二百四十八條所規定之要件, 即無不合法之問題,合先敘明。 (二)又邱聯恭教授於民事訴訟法研究會第七次研討會中指出預備合併之型態係就主 張二個互相排斥的攻擊方法,為求一次審理,於起訴階段就請求權選擇本身, 原告不加以明確的指定,而委諸於法院審理的過程及最後結果來取決、處理( 原證四十二號)。是先後位訴之聲明是否互斥,應係就原告所主張之具體原因 事實及法律效果是否不能並存而為判斷。迺被告竟主張客觀預備合併必須訴之 聲明不同,實於法無據。舉例言之,原告甲依據借貸關係以先位聲明主張被告 乙應返還借款一百萬元予伊,如法院認為借貸關係不存在,則以備位聲明主張 被告應返還不當得利一百萬元。此二訴之聲明均係請求返還一百萬元,上開訴 訟為預備合併,至為灼然。 (三)末按,判斷先備位聲明是否互斥,自應以該二聲明相關之法律主張是否可能同 時併存為據,原告就本件先、被位聲明所主張之原因事實及法律效果確具有互 斥之關係,簡言之,如請求返還不當得利之先位聲明獲得勝訴,即表示溢付金 額在法律評價上並非保險給付,保險法第五十三條行使代位權之構成要件即無 法滿足,而使備位聲明無理由。被告見不及此,曲解原告僅係以先位之訴有無 理由及不能向後位被告重複請求為由,即主張本件先備位請求不具有互斥關係 ,實無足採。 (四)判斷先備位聲明是否互斥,自應以該二聲明相關之法律主張是否可能同時併存 為據,原告就本件先、被位聲明所主張之原因事實及法律效果確具有互斥之關 係,簡言之,如請求返還不當得利之先位聲明獲得勝訴,即表示溢付金額在法 律評價上並非保險給付,保險法第五十三條行使代位權之構成要件即無法滿足 ,而使備位聲明無理由。關於此,被告辯稱先位與備位之訴有無互斥關係,係 從聲明與訴訟標的判斷,與訴有無理由無關云云(見被告等前揭狀第十八頁第 五行以下),惟查,所謂預備合併訴訟,係指原告預防其提起之訴訟無理由, 而同時提起不能併存之他訴,以備先位之訴無理由時,可就備位之訴獲得有理 由之判決,最高法院六十四年台上字第八十二號判例,闡釋甚詳;準此,原告 主張以該二聲明相關之法律主張是否可能同時併存,以判斷先備位請求是否互 斥,洵屬有據,被告辯稱應從聲明與訴訟標的為斷云云,既乏根據,復牴觸最 高法院前開判例見解,並非可採。實則,關於預備合併訴訟之要件,實務近來 更進一步認為「按現行民事訴訟法之規定,提起訴之預備合併之訴本非必以互 相排斥之請求為成立要件。縱非互相排斥之數請求,如提起預備合併,而將之 排列為先後位,對當事人有實體上、程序上其他基本要求時,在處分權主義下 ,應予准許」(鈞院九十二年度訴字第一四九號判決參照;原證四十六號), 因此被告拘泥於本件先備位兩項請求是否互斥而抗辯本件預備合併訴訟不合法 云云,顯非有理,亦堪明白。 B、實體方面: (A)技術部分: 一、管線破裂原因: 本件負責輔助管線施工之天和公司,施工過程粗糙,連接輔助管線時未使連接處 平整,反於連接處留有多個針孔/細縫(以下合稱「針孔」),使管線外之空氣/ 濕氣得藉由針孔持續進入輔助管線,並累積於管壁上,與輔助管線中之廢氣六氟 化鎢、矽甲烷產生化學反應,形成高溫粉末,而對管壁造成熱效應(包含熱劣化 、熱衝擊及熱疲勞),熱劣化導致管壁局部受熱之點形成塑性破壞,熱衝擊及熱 疲勞所形成之熱應力加上內應力及懸吊應力,使小細紋 (craze)伸長,形成脆性 裂痕,終致輔助管線破裂(參爭點整理表原證二十三號)。此外,天和應使用直 徑2英吋管線,卻誤用2.5英吋管線,造成管線內氣體流速變慢,停留於管線內之 時間增加,而增加反應氣體在輔助管線內與濕氣反應之機會,加速管線破裂。系 爭八根輔助管線因上開原因破裂,故聯瑞公司要求天和公司更換破裂之輔助管線 。此外,被告主張之氟侵蝕並非造成本案管線破裂之原因,各項材料分析結果均 支持此一論點,茲分別詳析如後: (一)天和公司使用錯誤管徑之管線,造成管線內流速變慢,使管線內氣體停留在管 線內之時間增加,而加速管線破裂: 1、依據聯瑞公司與天和公司所簽訂製程排氣二次配配管工程契約書之「工程規 範及施工法」第2.3(a)之規定「所有風管應依設計圖及詳圖所示之尺寸製作 ...」。又上述契約書所附之「WCVD配管圖說」顯示,所應安裝管線直徑 為2英吋管(爭點整理表原證一),然而天和公司實際所安裝者為直徑2.5英 吋(63mm)之管線。被告以契約之施工說明規定,所有管線在安裝前需經聯 瑞審查合格,始可採用,據而主張聯瑞公司已同意使用直徑2.5英吋之管線 ,試圖為天和公司安裝錯誤管線卸責。然而,依據工程慣例,被告所引述之 規定,乃係對於管線材質之初步審查,該契約第十二條已明文規定:「甲方 驗收時,如發現有與圖說不符或不合格之處,得令乙方立即拆除,在甲方指 定之時間內無償重做...」(參爭點整理表原證一)。由是可見,材料進 場時之初步檢驗,並不能解釋為聯瑞公司已同意變更合約圖說所指定之管線 直徑。 另被告主張因將CDO洗滌器更改為Centrotherm洗滌器之故,現場施工圖說乃 隨之變更,然卻未提出變更之合約圖說以實其說。按變更洗滌器並不當然會 變更管線尺寸,如果因而導致管線變更,則應有相關之變更紀錄可稽。 Centrotherm洗滌器上輔助管線之連接管接頭僅為25釐米,與輔助管線之管 徑無涉。且查,聯瑞公司與天和公司間之合約附件所有圖說中之小管線均標 示為2英吋,並無2.5英吋之管線。足見被告主張管線直徑因變更洗滌器而變 更,且張現場施工圖說亦隨之變更,應無可採。 聯瑞公司就系爭輔助管線之設計要求為二英吋管,此為聯瑞公司謝錦泉、天 和公司劉天和、天和公司莊枝來、Centrotherm公司Werner Zulch及被告專 家陳政任博士所認同: (1)嘉福湯瑪遜公司於聯瑞公司發生火災後,八十六年十月十七日訪談天和公 司謝錦泉時,謝錦泉表示其於火災當日負責之工作為晶圓廠D一樓之「二 英吋」管線之更換,並確認「二英吋」管線之位置及十二點前天和公司僅 完成二根「二英吋」管線之更換;天和公司劉天和於八十六年十月十六日 接受訪談時表示,原先管線為「二英吋」管,管壁1.8紅釐,天和公司莊 枝來於八十六年十月十六日接受訪談時表示,其與另一名同事一同將「二 英吋」管線自十二英吋管線上取下;Centrotherm公司Werner Zulch於八 十六年十月十六日接受訪談時表示,其餘火災發生時前一天發現「二英吋 」管線破裂。 (2)被告專家陳政任博士於九十一年四月十五日評論報告第33、34;及5.3節 分別討論「二英吋管線粉末堆積」、「二吋管粉末的成分」及「SiH4在二 吋管內流動比WF6快」。 (3)由前可知,不論是業主聯瑞公司、負責施工之天和公司、管線與其機台連 接之Centrotherm公司及被告專家,均誤認為天和公司所安裝者即為合約 所要求之二英吋管,故聯瑞公司合約要求之輔助管線之管徑應為二英吋管 為無疑。 2、前揭二次配配管工程契約書所要求之規格明訂「PP材質風管以之PN2.5以上 為製作標準」,此規定並非限定僅得使用PN2.5等級(爭點整理表原證二) 。根據管線製造商Agru之規格,PN3.2以上之等級即有直徑2英吋(50mm)之 管線(爭點整理表原證三),因此被告主張聯瑞要求之PN2.5管線之最小管 徑係63mm云云,顯屬無據。被告所提出聯瑞公司之確認,其內容為「聯瑞公 司於配管工程合約中即指定使用PN2.5級的排風管,而PN2.5級的排風管最小 管徑就是63釐米。」然查,上開陳述內容與配管工程合約要求使用「PN2.5 以上」之規定相悖離,被告所提陳詞,實有誤導 鈞院之嫌。 被告一方面主張合約原始圖說為CDO機台,嗣改採Centrotherm機台,管線尺 寸因而隨之變更,此乃工程上所稱「變更設計」;另一方面又主張天和公司 所使用之輔助管線管徑符合合約原始規範,未有變更設計,顯自相矛盾。 3、安裝較大管徑管線,使輔助管線內之氣體流速自每秒鐘41公分降低到每秒鐘 25公分(爭點整理表原證四)。流速減慢使管線內氣體停留在管線內之時間 增加,自然增加與管線內空氣及濕氣反應之機會,而產生較高濃度之熱粉末 ,加速管線破裂。WCVD生產機台之氣體在靠近機台反應室加熱表面處,其溫 度約攝氏450度,反應室中因高溫及特殊設計,而可使氣體均勻混合,但氣 體在輔助管線中於未進行任何反應前的溫度則僅略高於室溫而已,在真空幫 浦處所加入氮氣並無如同在反應室中之條件,加上輔助管線中之氮氣流速緩 慢,屬於層流,而非擾流,故製程廢氣與氮氣在廢氣管線中會有混合不均勻 之現象。被告專家於其簡報中,說明工廠在製造氣體時所使用之複雜程序, 以使氣體混合均勻(爭點整理表原證一二四)。而本件中之製程廢氣,並非 以該種特殊方式與氮氣混合。因此會發生輔助管線內反應氣體之局部濃度較 計算平均值高之情形。加以管線內存在之廢氣矽甲烷有聚集之傾向(爭點整 理表原證一一七之一),另六氟化鎢之比重為氮氣之十點六倍(爭點整理表 原證一一七之二),因此矽甲烷及六氟化鎢在廢氣中會有局部濃度較高之情 形。氣體局部濃度較高,於反應時,在局部區域會有較高濃度的顆粒形成, 增加顆粒碰撞聚集之機會,而使粉末在接觸管壁時能維持高溫。被告一再空 言氣體在廢氣管內會均勻混合,且將「混合不均勻」與「氣體分層」不當混 用,以扭曲原告之主張。實則,原告從未主張系爭廢氣會發生分層現象。工 程實務上承認氣體會有混合不均勻之現象,並建議將氣體濃度稀釋至最低燃 燒界限的1/4,以維持工業安全。事實上,聯瑞晶圓廠之廢氣,均係設計將 之稀釋至物質安全資料表所載各該氣體之最低燃燒界限之四分之一以下。陳 政任博士於其網頁中,亦引述上述工程實務,承認氣體會混合不均勻(爭點 整理表原證四十四),迺其於訴訟上竟恣意曲解上開工程實務,而為相異之 主張,其所辯實無可採。 (二)天和公司安裝輔助管線,因施工不當,於輔助管線連接處留有針孔,不符合合 約規定,致使管線外空氣(濕氣)進入管線與管線內廢氣產生反應,造成管線 破裂: 1、依據二次配配管工程契約書之「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定,「所 有風管...其外表必須平整且不得漏氣」(參爭點整理表原證一)。合約 圖說上並載明,該管線系統係「屬於真空工程」,亦即不應有空氣由外部進 入,否則即非真空(參爭點整理表原證一中之合約圖說)。PP管熱熔接之規 範,要求熔接處形狀應為二對稱之突起,銜接誤差並應小於管壁厚度之百分 之十。被告提出聯電工程師之陳述,主張輔助管線原本即存在空氣云云。然 查,該陳述內容為「排氣系統不是完全密閉,在排氣系統原本即有空氣的情 況下...」。是可知,該陳述僅說明整個「排氣系統」中是否有空氣存在 ,而非針對雙方所爭執之「輔助管線」是否有空氣作說明。被告就輔助管線 是否應做到「不得漏氣」乙節,係不當引用聯電工程師之陳述。且於同一陳 述中,聯電工程師亦指出:管線接縫處「在外觀上不能有漏洞」(參爭點整 理表被證四之一第十一點)。而本案經雙方專家以目測檢視熱熔接處,即發 現存在多處肉眼可見之針孔(詳後述)。 聯瑞公司合約「真空管路」與其附圖「真空工程」定義不明(詳被證七之六 ): (1)被告專家陳政任博士於九十二年十二月八日庭訊時表示「真空管路與真空 工程是二回事」嗣又表示「真空管路與真空工程,依合約真空管路就是介 面附圖的真空工程」(詳當日言詞辯論筆錄第五頁),前後說詞反覆不一 ,顯見合約對於「真空管路」與「真空工程」並未有明確之規範。 (2)實則,原告專家陳郁文教授與被告專家陳政任博士均認「真空」廣義的定 義為「負壓」(詳當日言詞辯論筆錄第四、六頁),而系爭輔助管線內應 屬負壓,其空氣之壓力低於一個大氣壓。於本案情形,因管線熔接處存在 針孔,故空氣可經針孔流入管內,與管內之廢氣產生反應。 2、為確認熔接良好並無漏氣,施工者初步應先以目視檢測,再作測漏。測漏之 目的即在找出目視檢測看不見之漏氣。管線製造商Agru之手冊即有同樣之規 定(爭點整理表原證五)。至於聯瑞公司是否曾特別要求進行測漏並不具任 何重要性。蓋不論係Agru手冊或二次配管工程契約書,均要求施作管線者必 須為具有相關技術經驗之人員,天和公司既為專業之承包商,自有確保管線 之熔接良好並無漏氣之義務,而不待業主特別要求。Agru手冊中關於測漏之 要求,並未如被告所稱,區分高、中、低壓而指出哪種壓力等級之管線可以 例外不需要作測漏。原告茲否認被告所稱低壓系統不需作測漏之說詞。被告 所謂台積電工程人員之證詞,業經 鈞院諭知剔除於本件證據之外,茲不贅 述。 被告以與聯瑞公司人員訪談記錄,錯誤解釋輔助管線「不得漏氣」之規定( 詳被證四之一): 查聯瑞公司謝錦泉表示「因排氣系統不是完全密閉,在排氣系統於本即有空 氣的情形下,無法做『測漏試驗』」。其乃針對整個「排氣系統」,而非「 輔助管線」熱熔接應否作測漏試驗表示意見。且查,被告答辯均只強調整個 廢氣系統之排放功能,而忽略空氣進入小管徑之輔助管線與管內廢氣反應之 危險性(相關製造商警語就上述情形,已提及空氣漏進此類管線中之危險性 ,參被證九之一)。 3、實則,原告專家對本案輔助管線熱熔接處進行目視檢視後,即發現多處熱熔 接品質不良,並有肉眼即可看見之針孔,如Crawford #15-6、#15-13、 #15-20、#15- 30、#15-25、#15-18(爭點整理表原證六)。此外,被告專 家Parry就其所取樣之幾片管線熔接處樣本,帶回倫敦以SEM儀器及目測方式 檢測後,其也承認在Crawford #15-6、#15-13、#15-20之管線樣本上發現有 肉眼可見之針孔,而在Crawford #15-24、#15- 25、#15-34之管線樣本之 SEM照片上發現三處「小細縫(leaks)」。Parry雖主張該等小細縫並非熔 接不良所致,但並未提解釋為何該等小細縫並非安裝不良所致,以實其說。 事實上,依「塑膠管線系統(Plastic Piping System)」一書所載,熔接 型管線上的細縫(leaks),乃係安裝技巧不良所致」(爭點整理表原證九 十八)。鑑於上述事實,可知輔助管線熔接處所發現的針孔或細縫,係因天 和公司安裝管線不良所致,且天和公司若於完成管線熔接當時即進行測漏及 目視檢測,當可輕易地發現該等熔接不良之處(參爭點整理表原證六),而 避免日後因熱熔接不良導致管線破裂之情形發生。 4、只需管線銜接處未密合(包含空氣流入管內或管內氣體流出管外),即不符 合合約所規定「不得漏氣」之要求。迺被告專家竟完全漠視合約規範及管線 製造商之手冊說明,主張只要氣體沒有外漏,合約要求即已滿足。此項主張 不僅已違反合約之明文規定,亦同時忽視了空氣流入管內,使六氟化鎢、矽 甲烷、氫氣等氣體會在輔助管線中發生反應的高度危險。舉例而言,六氟化 鎢之物質安全資料表即指出六氟化鎢應避免與濕氣接觸,否則會發生劇烈反 應(爭點整理表原證九十九之一)。矽甲烷之物質安全資料表亦指出,矽甲 烷不應與空氣及濕氣接觸(附件九十九之二)。本案中,被告亦提出製造商 有關因管線漏氣(leaks)反應氣體與空氣或水氣反應可能造成管線堵塞之 警語(參爭點整理表被證九之一)。甚者,如被告專家主張為正確,則晶圓 廠內何需將不具危險性之一般廢氣管及毒酸管區分為各自獨立的排放系統? 被告一方面承認毒酸排氣管內之廢氣具有危險性,故必須先經過洗滌器洗滌 。然他方面又爭執,如有空氣漏到管線中,則反而可以稀釋廢氣,不會造成 危險,顯有矛盾。所謂「稀釋空氣」必須有一定的量,足以將氣體濃度及其 反應產物稀釋,降低其濃度。若自針孔進入輔助管線之空氣僅為少量,其反 而會與危險氣體反應,但不會有稀釋的效果。由被告主張合約圖說中應屬於 真空工程之管線觀之,該等管線均為未經洗滌之氣體所流經之管線(參爭點 整理表原證一之一),足見未經洗滌之氣體流經之管線應為真空,否則其將 因與空氣接觸產生危險性。被告爭執縱有空氣漏到管線中,不會造成危險云 云,顯不正確。 被告所提HVCA規格說明,與本案無涉: 被告專家Parry於其九十二年十一月二十四日評論報告附錄A(詳被證六十 八)提出HVCA規格,表示聯瑞公司之排氣系統為一低壓系統,依HVCA規格, 允許百分之六之漏氣云云。 (1)首查,聯瑞合約中已明訂「不得漏氣」,被告援引HVCA之規範表示可以有 一定程度的漏氣,顯不足採。且HVCA係一暖氣及排氣承包商協會( Heating and Ventilating Contractors' Association),其所提供之規 格,應係僅適用於一般之暖氣及排氣系統。 (2)再查,HVCA規格5.2指出「本規格係適用於有煙之排氣。...設計者應 就有特殊排氣設計、建築、安裝、支援及終端之需求,為特別之考慮」( 原證一六五)。由此可知,HVCA所提規格僅適用於一般排氣,就晶圓廠內 處理酸\毒氣體之排氣,應屬要求特殊考量之設計,故設計者應為特別之 考慮。雖被告專家Parry於附錄C提出HVCA函,欲表示其規格適用於晶圓廠 之排氣系統。然晶圓廠內,除一般排氣系統(general exhaust)外,尚 有酸\毒氣體之排氣系統,HVCA函僅蓋泛稱可適用於晶圓廠,未加區分一 般排氣及酸\毒排氣,HVCA因非專門處理晶圓廠排氣系統,不知晶圓廠排 氣系統之複雜性,故其函文內容顯不足採。況HVCA規格亦係適用於整個排 氣系統,並未針對輔助管線之特性為規範。 (3)被告專家引用Centrotherm手冊主張系爭排氣系統為負壓150 Pa,並引據 HVCA規則表示正、負壓於500 Pa即屬低壓,為聯瑞公司排氣系統為低壓系 統之證明。惟查,Centrotherm手冊所載者為外櫃抽氣管與製程排氣管之 壓力,與本案酸\毒排氣系統之負壓無關,此乃其一錯誤;且 Centrotherm手冊所載壓力為「大於」150Pa,非被告專家所稱「等於」 150 Pa(原證一六六),此乃其二錯誤;末則被告專家陳政任博士表示聯 瑞公司廢氣系統之壓力為-0.01大氣壓(即為1000 Pa),易言之,依HVCA 規格,應屬中、高壓,而非被告所指之低壓,此其三錯誤。由前可知, HVCA 規格不得適用於本案情形。 (三)排氣系統的輔助管線應無經常性之空氣來源,然因天和公司施工不當,於輔助 管線連接處留有針孔,致使管線外空氣(濕氣)進入管線與管線內廢氣產生反 應,造成管線破裂: 1、在正常情況下,不會有空氣進入輔助管線。而只有在維修後重新啟動設備時 ,才會有少量之空氣進入WCVD之廢氣管線中,並在管壁上形成薄薄的一層粉 末(爭點整理表原證一一八)。易言之,於正常情形,排放WCVD製程廢氣之 輔助管線內壁通常在使用數年後才會有微量的粉末覆蓋其上。美商應用材料 警語所載,造成粉末堆積之濕氣,其來源之一即係來自「廢氣系統的漏氣」 (參爭點整理表被證九之一),此與原告之主張相一致。被告專家亦同意此 點: (1)Robbins民國九十一年四月十一日之火災報告中譯文第四十頁,第9.8段即 說明:「Leveen認為些微固體聚積會覆蓋在WCVD製程排氣管的內壁。我檢 視WCVD輔助分流管發現這是事實。大部分沒有破裂的聚丙烯管,都帶有一 層薄薄的、不明顯 (可忽略的)黃色粉末。」(爭點整理表原證七)。 (2)Parry民國九十一年四月九日之管裂原因報告中亦承認,輔助管線在正常 情形下(無針孔、無破裂),係屬於一個氧氣不足的環境(爭點整理表原 證八)。被告主張在管裂之前,輔助管線係屬於氧氣不足的環境,因此形 成了藍綠色的粉末;如其所言正確,則在此環境下應僅會有少量的藍綠色 粉末形成。然被告又反於其前述主張,指稱在Centrotherm洗滌器上方連 接不銹鋼分流管與PPH輔助管之閥內有相當大量的黃色粉末,據此主張空 氣早已由輔助管線之上游進入輔助管線中。倘果如被告所言,在管裂前, 輔助管線中係處於缺氧的狀態,則為何在閥內所發現粉末非「少量」的「 藍綠色」粉末而是「大量」「黃色粉末」?此外,被告之專家承認本案管 線中之黃色粉末數量較正常情況為多,並將此現象歸因於Centrotherm機 台經常跳機至輔助模式之故。然而,倘無針孔使空氣得進入輔助管線,管 線中之反應氣體根本無法反應,亦不會在管線中形成異常的粉末堆積。 2、被告之專家主張,不管是否有針孔,排氣系統內之幫浦及其他位置預期會有 大量粉末存在。其等並提出系爭輔助管線上游之閥內有黃色粉末,以支持其 論點(爭點整理表原證十一),惟其上述說詞顯與其先前有關藍綠色粉末形 成之主張相矛盾。此外,如被告之論述為正確,則八個輔助管線最上游的閥 處,均應有黃色粉末堆積。然而,事實是,原告保管於貨櫃廠中之輔助管線 ,其中有二根七根輔助管線上游之閥,其中四根有粉末,三根沒有(或極少 可忽略),被告之專家主張,不管是否有針孔,排氣系統內之幫浦及其他位 置預期會有大量粉末存在。其等並提出系爭輔助管線上游之閥內有黃色粉末 ,以支持其論點 (爭點整理表原證十一),惟其上述說詞顯與其先前有關藍 綠色粉末形成之主張相矛盾。此外,如被告之論述為正確,則八個輔助管線 最上游的閥處,均應有黃色粉末堆積。然而,事實是,原告保管於貨櫃廠中 之輔助管線,其中有二根(Crawford 15-5、15-16)並無黃色粉末之堆積, Crawford 15-33則僅有少量粉末堆積,此亦為被告所承認(原證一六七)。 此項事實駁斥了被告專家主張輔助管線上游有經常之空氣來源之說詞。相反 的,輔助管線上游閥處之黃色粉末乃係空氣經由針孔以及管線發生裂痕後, 進入管中與六氟化鎢反應造成之結果。被告提出爭點整理表被證九-0之照 片,主張包含Crawford15-5、15-16之管線閥處均有粉末堆積,顯與事實不 符。 被告所引用有關廢氣管線中粉末阻塞之警語,均未說明係因「輔助管線」中 「經常存在空氣、濕氣」而造成,是該等警語並不能用以證明輔助管線內經 常有空氣及濕氣存在。被告專家Robbins另以其在聯電8A廠「次主管」中所 採得之黃色粉末,證明黃色粉末在輔助管線中係普遍且可預期的(爭點整理 表原證二十一)。惟查,8A廠已營運三年以上,且該粉末形成位置在次主管 內,惟本案之黃色粉末係發現於僅使用六個月之輔助管線中,在十二吋與十 八吋次主管中反而僅發現極少量的黃色粉末。足見二者黃色粉末產生之條件 完全不同,由此更可見被告一再將「廢氣系統有空氣」等同於「輔助管線有 空氣」之論述之謬誤。被告雖辯稱,8A廠無輔助管線,然其承認8A廠次主管 內黃色粉末粉末係「未經洗滌」之六氟化鎢在次主管內與空氣反應而成,適 足以證明前開8A廠次主管上游較小管徑之管線並無空氣存在,否則,黃色粉 末即應在較小管徑之管線中形成並累積,而不會累積在次主管中。 3、被告主張之輔助管線中之空氣來源均非正確: (1)被告主張來自輔助管線上游之空氣來源為氮氣,然而,用於稀釋反應氣體 的一般氮氣純度高達99.99999%(爭點整理表原證九)。被告專家Robbins 主張此種氮氣純度非製程機台所使用之高度純氮氣,「氧氣、水氣及碳氫 化合物在普通氮氣供應裡是很顯著的污染物。」(爭點整理表原證十)云 云,顯屬謬誤,被告隨後即未再為此項主張。此外,被告主張注入氮氣的 管子及管子上之閥門並非完全氣密,致有空氣流入。然其就上述主張並未 提出任何證據,而且裝置在真空幫浦中之不銹鋼閥,在安裝前係經過氦氣 測漏,故並不會如被告所主張者,使空氣得以從其間漏入。 (2)Centrotherm機台之維修並不涉及輔助管線(爭點整理表原證一三一), 維修時因為需清潔火箱及與其相連接之清潔氣體管線(clean gas pipe) ,而可能使空氣中濕氣進入清潔氣體管線,Centrotherm機台之運作,也 可能會有洗滌用之水氣進入清潔氣體管線,然該濕氣並不會進入輔助管線 中,因為輔助管線與清潔氣體管線彼此間並不相通。原告專家Leveen就停 機後重開機以及修理機台、打開機台時,會有空氣及水氣殘存於管線內, 而在長期操作後在管壁上形成一層薄薄的粉末堆積,係針對「次主管」中 之空氣,而非「輔助管線」中之空氣。被告以此主張輔助管線內之濕氣可 能來自Centrotherm機台,顯係誤解原告專家之意見。 被告錯誤解釋原告委請之保險公證人-麥理倫公證公司之報告內容(參被 證六十二)(應加入言詞辯論旨狀第十二頁第六行起,即三(二)第二段 ):被告引述被證六十二號證物,陳稱原告委請之保險公證人麥理倫公證 公司報告內容證實黃色粉末存在輔助管線乃普遍可預期。然查,其報告業 已載明其係經人告知WSix機台內反應所生之水合物副產品,係與濕氣反應 所生。該些於排氣管線內所生成之沉積物並非不正常之現象,類似之沉積 物,亦曾於聯電公司其他晶圓廠發現(We are told that this is a by-product of the reaction within the Tungsten Silicide tool, the hydrate form being the result of contact with moisture. The formation of these deposits within exhaust ducting is not, however, an unusual phenomenon, similar discoveries having been made within other UMC fabs.)。由前可知,麥理倫公證公司報告之此 段陳述為單純訊息之記錄。由該段陳述僅可得知其於調查聯瑞公司晶圓廠 火災時,曾被人告知上開情事,至於是否確有其事,縱確有其事,其生成 之原因、細節均付之闕如,故無法用以佐證輔助管線內粉末堆積為正常。 被告忽略報告前後文記載,擷取片斷文字錯誤解釋麥理倫公證公司報告內 容,顯不足採。 (3)被告引用美商應用材料警語(爭點整理表被證九之一)指出在自動分流管 上游的幫浦、消音器及排氣管彎頭內,可能有黃色粉末堆積。按此係為提 醒使用者要防止空氣\水氣進入管內,產生粉末,造成危險。且該警語已 說明造成粉末堆積之濕氣來源,係來自「廢氣系統的漏氣」(參爭點整理 表被證九之一)。被告無視於所有機台在安裝、維修完成後均需作測漏之 規定,而以該警語主張廢氣系統之漏氣為常見之現象,實屬荒謬至極。且 查,本案廢氣系統之漏氣顯然不是存在輔助管線上游之管線,而係存在輔 助管線中,故於輔助管線中發現有大量黃色粉末堆積。 (四)管壁上之針孔與管裂間具有關連性。因為輔助管線存在針孔,空氣得以由針孔 進入,而與管線中之氣體反應,對管壁形成熱效應,造成管壁破裂: 1、如果沒有針孔存在,輔助管線中僅會有微量的粉末堆積,已如前述。被告曲 解相關製造商手冊之內容,而主張黃色粉末的沈積在輔助管線係正常而可預 期的,顯不足採。 2、因為輔助管線存在針孔,空氣得以由針孔進入,而與管線中之氣體反應,對 管壁形成熱效應。因此,所有發現有針孔之管線均有大量反應產物(粉末) 堆積(爭點整理表原證十三),足見針孔與粉末形成之關連性。原告已指出 系爭管線熱熔接不良之情況(其施工不良之情形為業界標準所不容許,以避 免產生肉眼不可見之漏氣)及若干肉眼即可見之針孔。被告亦承認在其所取 管線樣本中,的確有針孔存在。由於雙方專家所分別指出之針孔或小細縫( 原告指出六處發現針孔之管段,被告指出三處管段有四個針孔,另三個管段 有小細縫),係存在於輔助管線中不同的位置。因此,針孔之數目絕對非被 告所稱僅有四個。被告之主張顯有謬誤。 因天和公司焊接不良,系爭輔助管線,除存在若干肉眼可見之針孔外,尚有 肉眼不可見之針孔:原證一六一附件六之一附圖照片為原告專家陳劉旺教授 及陳郁文教授自被告所保管之Crawford 15-6取得一樣本,所為之檢測。檢 測之結果顯示,熱熔接之切面不平整,經放大三千五百倍後,發現有肉眼看 不見之針孔,其大小約1至5微米。一般實驗室用的濾紙孔徑為一微米,水即 可由濾紙濾過。因此,經由SEM檢視熱熔接,發現有大小約1至5微米之不平 整面,存有肉眼不可見之針孔,以足使水氣藉此通過,進入輔助管線。詎被 告辯稱原告專家所附SEM照片顯示者為附著於管壁上粉末,與事實不符。按 原告專家取樣係以刀片將一小段熱熔接自熱熔接處切割取下,並拍攝切割面 ,由於切割面並未暴露於外部管面,因此不會有粉末,被告強稱SEM上之白 色較亮之處為粉末,顯屬強詞奪理。 3、針孔與管裂位置不必然具有上下游之關係: (1)被告之專家以某段管線並無熱熔接處(故不存在針孔)但卻存在裂痕,企 圖藉此排除管裂與針孔間之關連性(爭點整理表原證十五)。惟其明知, 系爭八根輔助管線於天和公司換管時,即已切割成數段,某段管線無針孔 ,並不表示與其銜接之上下游管線均不存在針孔,任何將片段之管線視為 完整之輔助管線所做之主張,均係欲以偏蓋全,企圖誤導。事實上,上述 管段可能是某一斷裂管線之上游或下游管段,或某二個裂痕管段中間的管 段。被告另以Crawford 15-20雖同時有針孔與粉末但並無管裂之現象為由 ,試圖駁斥原告有關針孔與管裂之關連性。然而,被告忽略了一相當重要 的事實,亦即Crawford 15-20係垂直管線(為輔助管線之最上游)。由 Crawford 15-20中之粉末堆積情形與聯電工程師確認八根輔助管線均已破 裂(爭點整理表原證一00)可知,與Crawford 15-20相連的輔助管線確 實有管線破裂之情形。另原告已指出Crawford 15-18管段中之熔接瑕疵( 參爭點整理表原證六號),被告有關Crawford 15-18並無針孔(小細縫) 之說法並不正確。 (2)被告另主張針孔必須係緊靠或在裂痕的上游,此項主張毫無根據。事實上 ,從針孔進入的空氣,並不會一直停留在針孔附近,而是源源不絕的進入 管線中,且空氣中之濕氣會累積於管壁上及管壁上之黃色粉末(爭點整理 表原證一三二及參爭點整理表被證十九之二),當六氟化鎢流入輔助管線 時即會與管壁上及管線中之濕氣反應,形成粉末。被告主張在管線破裂處 所看到的黃色粉末,必然是在針孔附近形成而飄到下游管線破裂處,顯有 重大誤會。 自針孔進入輔助管線內之空氣中之濕氣會累積於管壁及管壁上之黃色粉末 持續自針孔進入輔助管線內之空氣中之濕氣,不論有無氮氣流動,均會吸 附在PP及粉末等固體之表面,此種現象在輔助管線中無氣流流動時更明顯 ,此亦為被告專家雷敏宏教授所承認。吸附是一普遍之現象,水分子數量 遠大於氣體中水分子數量,故水氣較易以類似液體之型態(一般稱為凝態 ),吸附於固體上。於本案情形,附著於管壁上之粉末,其表面積較管壁 面積為大,故水氣吸附於粉末之數量較聚丙烯管壁為多。因此,六氟化鎢 流入輔助管線時,即可與吸附於管壁上及管壁上黃色粉末之水氣產生反應 。被告專家David Robbins初始否認管壁上會有水氣之吸附。經原告提出 被證十九之二文獻「Manage W-CVD Process Effluents to Boost Uptime 」第二頁指出有「當排氣管線內之表面為潮濕之情形時,... (When the exhaust line surface is moist,...)」之記載,表示濕氣會附著於 排氣管線內應屬可能後,亦獲被告另位專家雷敏宏教授贊同。 (3)自針孔流入的空氣會流向輔助管線的下游,同時也會流向上游(尤其是不 在輔助操作模式而管線內沒有廢氣流經時),此乃因為輔助管線上下游間 的壓力差非常小,而管線外的壓力(一個大氣壓)比管線內的上、下游壓 力都大(爭點整理表原證十四)。此外,原告專家所提出之管線破裂機制 顯示,管裂係起始於管線最弱之點(小細紋),因受應力而成長成較大裂 痕。此一破裂機制並不會使裂痕必然形成於針孔的下游。被告專家主張如 空氣回流現象確實存在,管線將無法排放廢氣。此顯係對流體力學之重大 誤解。事實上,從針孔進入之空氣因壓力差而發生部分回流至上游的現象 ,此回流之現象一直持續到壓力達到平衡點時,空氣始開始往下游流動, 形成類似漩渦之流動(爭點整理表原證一一九)。在Centrotherm機台未 處於輔助模式,且無廢氣進入輔助管線時,回流之現象將更加明顯。原告 專家陳郁文教授模擬空氣回流現象之實驗,係完全依照現場管線及流速比 例縮小,而其使用粉末則是為便於觀察之故。如果可見粉末發生回流之現 象,則比重比粉末更小的氣體更會發生回流現象。 4、被告專家同意在正常的操作下,輔助管線之溫度約與室溫相同。但是,原告 專家在輔助管線之管壁上發現有熱劣化之現象(包括管裂處的電子顯微鏡照 片、管線樣品之紅外線光譜分析,以及從靠近管壁側取下之粉末樣本中偵測 出碳成分等,詳後說明),唯一可能之熱源,即是管線內之製程廢氣與空氣 反應所釋放之反應熱。從粉末樣本中偵測出碳的成分,係輔助管線熱劣化的 具體證據之一,但並非唯一證據。被告專家在對原告管裂原因為評論時總是 將熱效應之管裂機制單獨分別論斷,在評論熱劣化時,刻意忽略局部高溫粉 末對聚丙烯所形成之熱劣化效果,並完全忽略了管線所承受的熱應力。本件 中,熱劣化係從管壁上持續受有高溫的點開始。而在火災前六個月的使用期 間,管線受到熱應力作用(管壁受高溫冷卻時發生),使裂痕從這些點(小 細紋)開始逐步慢慢延 伸。 5、被告一再質疑在輔助管線上僅有少數之針孔,為何可以產生許多大的裂痕? 實則,濕氣是每天二十四小時持續自針孔進入管線中,並附著在管壁及粉末 上,已如前述。再者,依據聯瑞公司的WCVD製程配方,並保守假設40%的六 氟化鎢消耗率,六氟化鎢在輔助管線中之平均流速為每分鐘17cc(參爭點整 理表原證七十二)。此時,只需有流速為每分鐘51cc之水氣(相當於每分鐘 0.04cc的液態水)即足以與管線中全部的六氟化鎢完全反應。換言之,只要 有少量的水氣經由幾個肉眼看得見的針孔或肉眼看不見的針孔進入管線中, 即足以造成上述反應、產生熱效應並導致管裂的發生。(五)空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會造成局部管壁受熱而產生 熱效應: 1、空氣與六氟化鎢及矽甲烷反應形成高溫粉末,此等高溫粉末與管壁接觸時, 使管壁受熱,而在管壁使用之六個月期間對管壁形成熱效應,包括熱衝擊、 熱疲勞及熱劣化。 2、粉末附著於管壁時,仍具有相當高之溫度: (1)初生粉末之溫度與顆粒大小無關。僅就六氟化鎢之反應而言,無論顆粒大 小如何,三氧化鎢剛形成時,初生顆粒的溫度均為攝氏162度。被告原先 同意初生粉末之溫度為162度,惟現在又辯稱反應熱係逐漸生成,初生粉 末顆粒溫度並非162度云云。惟查,儘管在概念上,可以將一個反應分成 幾個步驟,但此僅係理論模式之描述,由於反應速率極度快速,其中最慢 步驟的反應速率等同於全部的反應速率。此最慢之步驟稱為「速率決定步 驟」(爭點整理表原證一0三)。例如,一個爆炸在概念上可以分成幾個 步驟,然每一步驟均在極短之時間內發生。再者,本案輔助管線在水氣充 足之情況下,六氟化鎢與水氣之反應非常快速,因此,計算六氟化鎢之反 應熱時,可將之視為一個步驟。除了三氧化鎢外,六氟化鎢反應時,也會 同時生成氫氟酸,部分並為三氧化鎢粉末所吸附,導致粉末溫度之升高。 故原告主張初生粉末溫度為攝氏162度,事實上已經是對三氧化鎢粉末溫 度之保守估計了。 原告專家陳郁文教授曾以一公克為理論計算的基礎,僅在說明在重力沈降 為重要之情況下,粉末溫度計算之方法,但從未主張輔助管線內的三氧化 鎢顆粒有這麼大。因此被告以原告專家主張顆粒大小達6400微米為前題所 作之論述,並無任何意義。 (2)矽甲烷的反應對於粉末溫度亦有重大影響,蓋從輔助管線取得之黃色粉末 樣本中,測得存有微量之二氧化矽(爭點整理表原證四十)。此即可證明 少部分矽甲烷在輔助管線中被氧化。被告以原告所提出半導體產業標準 F5-1101所載,「矽甲烷在氮氣中之濃度一旦稀釋到低於1.5%時,遇到空 氣將不會進行明顯的氧化作用(爭點整理表原證五十五號)」,試圖主張 矽甲烷在輔助管線內不會發生氧化作用,而對粉末溫度無提升之效果。然 查,該前述文獻並非說明經稀釋之矽甲烷遇到空氣「完全不會進行氧化作 用」,而係僅表示氧化作用不明顯,亦即不會全部氧化,但有可能部分氧 化。從現場粉末樣本顯示,確實有少量之矽甲烷在輔助管線中氧化,形成 二氧化矽,而大部分之矽甲烷廢氣係流到下游並累積於次主管中。依據被 告專家之計算,在矽甲烷亦參與反應之情況下,粉末接觸到管壁之溫度完 全沒有增加。此乃因其在計算時犯了嚴重的錯誤,亦即,其假設輻射所造 成的熱傳速率是一個定值。然而,當粉末在降溫的過程中,它的輻射熱傳 速率是急速下降的。當溫度低於500℃時,輻射熱流量已經極小而可以忽 略。此外,被告專家雷教授計算SiO2/ WO3之公式並不適用於顆粒直徑小 於0.1μm(微米)之情形。蓋在運用此公式時,必須設定顆粒之終端速度 ,然而直徑小於0.1微米之顆粒並不會有終端速度(爭點整理表原證一0 四)。因此,被告專家聲稱二氧化矽\三氧化鎢顆粒在漂浮的過程中即已 降至室溫,顯是基於錯誤計算所得出之錯誤結論。 (3)此外,另一關鍵之問題係粉末附著到管壁時的溫度。由於濕氣會附著在管 線表面,也會被管內之粉末所吸附(參爭點整理表被證十九之二)。因此 ,粉末會直接在管壁上有水氣之處形成,而使管壁直接接觸到高溫粉末。 至於在管線中與水氣反應而形成之三氧化鎢,其附著至管壁之溫度隨著顆 粒大小、顆粒聚集並沈降於管壁之速度、粉末與管壁間的距離、參與反應 的六氟化鎢、矽甲烷的量及氣體混合不均勻之效應等因素而變化。被告專 家亦承認「起始的粉末與繼續反應或碰撞其他粉末的速度或頻率無從計算 」(爭點整理表原證一0八),故關於粉末到達管壁之溫度的理論計算, 並無法涵蓋上述所有因素,而僅能以單一、特定體積的顆粒及該顆粒與管 壁之固定距離為計算基礎。爭點整理表原證四十一係原告專家陳郁文教授 所計算之粉末附著到管壁時幾個可能的溫度。計算結果顯示,粉末溫度足 以對管壁造成熱效應。理論上,顆粒愈大,附著於管壁時之溫度愈高。管 線內之顆粒並非單一大小,而係大小不一。被告主張原告所引用之文獻顯 示粉末在聚集之後的大小係38nm(奈米)。然而,該文獻所載之38奈米顆粒 ,係受熱分解後之二氧化矽顆粒之直徑,而非三氧化鎢的直徑。是該篇文 獻與三氧化鎢粉末大小根本無關。甚者,由於三氧化鎢之表面因吸附水氣 而附著有大量的OH基,其表面能量將較其他分子例如二氧化矽來得大,也 因此更易聚集。被告專家試圖引用其他奈米顆粒文獻,以支持其說。然而 ,該等文獻中所指之顆粒,均係於特殊條件下所製造,而非在廢氣管線中 形成。生成此種奈米級顆粒,需要特殊之技術,與廢氣管線中所形成並聚 集之顆粒迥異。 按初生顆粒會因碰撞及聚集而形成較大的顆粒。碰撞與聚集後之顆粒,其 形狀可能為球體或呈塊狀(爭點整理表原證一0五)。被告依據於輔助管 線中採得之黃色粉末之SEM照片,主張黃色粉末之直徑在10到50微米(爭 點整理表原證一0六)。然而被告所主張之顆粒大小係指初級顆粒而非次 級顆粒(聚集成塊之顆粒)之大小。因此,系爭黃色粉末之大小應遠較被 告所主張者為大。然其現又主張初級顆粒的直徑約為0.5至1奈米,且只可 能聚集成20至50奈米之次級顆粒。其先後主張差異極大,明顯在刻意縮小 顆粒直徑,俾其主張所有顆粒在附著與管壁時溫度均已降至室溫。然而, 上述說法並未正確地將顆粒聚集的現象納入考慮。倘如被告專家所言,次 級顆粒之大小僅為20至50奈米,則大部分的粉末應會被吹到下游管線中, 然事實是,系爭輔助管線中存在大量的粉末沈積,而在次主管中幾乎沒有 黃色粉末。 初生顆粒一經生成,會因為靜電力或凡得瓦爾力在瞬間碰撞、聚集,在極 短的時間內形成較大顆粒,所需時間極為短暫。被告專家雷教授之粉末溫 度計算並未考慮顆粒之碰撞與聚集在漂浮與沈降之過程中會一直發生(爭 點整理表原證一0七)。因此,被告專家雷教授認為所有顆粒直徑20到50 奈米之顆粒在漂浮時即會冷卻至室溫之主張,事實上缺乏根據。雖然三氧 化鎢之形成與其相互之間碰撞之速率與頻率,係無法計算的,但是,J. Colls所著空氣污染(Air Pollution)教科書中,所提及小顆粒以布朗 運動方式聚集之速率,可提供一個粗略的概念。該書指出1cc體積中所含 1014之顆粒可在20微秒(μsec)之極短時間內聚集成一半數目之顆粒( 爭點整理表原證一0九)。在此需特別說明,上述文獻僅說明小顆粒因布 朗運動而聚集之速率,但未涵蓋顆粒(一微米以上)因重力作用及濕氣所 形成之碰撞聚集,然此等碰撞聚集在本案中確有發生。綜上所述,初生顆 粒一經生成,會因為凡得瓦爾力、重力及濕氣在瞬間碰撞、聚集,所需時 間極為短暫。因此初生顆粒可聚集成較大顆粒,並在與管壁接觸時仍維持 高溫。被告專家主張顆粒於附著到管壁前已全部冷卻,是沒有根據的說法 。 (4)被告專家另主張如有一層黃色粉末覆蓋於管壁,會發生隔熱之效果,此一 主張亦屬無稽。蓋三氧化鎢係金屬氧化物,具相當好的傳熱能力(爭點整 理表原證四十三)。因此,覆蓋在管壁上的黃色粉末並無阻隔管壁受熱效 應影響之能力。被告另聲請 鈞院定期履勘聯電公司八吋晶圓廠WCVD機台 之廢氣排放管線,並引入空氣,以測量廢氣與空氣接觸反應所生之溫度。 惟查,本案雙方所爭執者乃「粉末顆粒」附著於管壁時之溫度,被告所請 求進行之量測方式則係測量「管內氣體」之溫度,二者迥不相同。被告嗣 辯稱可將溫度計(熱電偶)放置於管壁上即可測量粉末溫度云云,實則熱 電偶即使可以做到完全緊貼管壁,亦無法測量出掉落於其上之粉末溫度, 蓋粉末的直徑(為微米級尺寸)遠小於一般熱電偶接點(即尖端)的直徑 (為毫米級尺寸)。例如:粉末顆粒直徑為100微米,而熱電偶尖端為1釐 米(等於1000微米),其直徑為10倍,體積為1000倍,粉末即使與熱電偶 接觸,經由熱傳導將粉末的熱能傳到熱電偶,熱電偶所測得的溫度也會變 得極低。若粉末直徑為50微米,則體積相差8000倍。且當粉末顆粒在流經 熱電偶溫度計時,因顆粒體積極小而會與氣體一起繞過熱電偶(流體會在 熱電偶之線路上形成一層邊界層boundary layer),因此只有小部份的熱 傳到熱電偶,使得熱電偶無法準確量到粉末溫度。此與本件熱粉末接觸到 PP,使PP直接受熱之情形不同。亦即,顆粒流經熱電偶不會與其有足夠的 接觸以及熱電偶尖端體積遠大於粉末的體積等原因,熱電偶只會量到氣體 的溫度,而氣體的體積遠大於全部顆粒的體積,因此熱電偶將只會量到其 周圍氣體的溫度,故任何測量結果對本案事實釐清均無助益。此外,被告 要求在聯電進行之測試,因各項條件(包括製程、管徑、材質、氣流形式 、溫度控制裝置等)均與聯瑞晶圓廠輔助管線不同,且僅量測一個小時, 自與管線在六個月期間之受熱情形無法比擬。被告欲以此測試方式證明黃 色粉末不具高溫,實屬誤導。總言之,以巨觀之方法無法量測微觀之現象 。事實上,以系爭輔助管線作粉末樣本分析及材料分析,已足以證實系爭 輔助管線之管壁確有受熱之現象。 被告表示可以熱電偶測量輔助管線中黃色粉末之溫度,然查被告所提文獻 表示熱電偶無法測得管線內之溫度(應加入言詞辯論意旨狀第二十六頁第 五行起,即五(二)4第二段),被告所提被證十九之二文獻「Manage W-CVD Process Effluents to Boost Uptime」第二頁指出「以單一熱電 偶地點所測得之溫度,不能代表管線內之真實溫度。排氣管線中可能有潛 在之冷點...(The temperature measured at a single thermocouple location may not represent the pump line's true temperature. Potential cold spots can occur in the exhaust line,...)」準此,單一熱電偶既無法準確測量管線中流量之溫度,更遑 論欲測得管線中微米級粉末之溫度,是被告表示有溫度一定可以測得之說 法並不正確。 3、管壁受熱之證據: 被告專家同意在正常操作下,輔助管線應處於室溫。但具體證據及樣本分析 均顯示,管壁確曾暴露在超過室溫的高溫下(參見下文說明),由此可證反 應熱確係造成輔助管線破裂之原因。 (1)靠近管壁的粉末樣本以EDX及ESCA均偵測到碳成分。碳可能係從PP之碳鍵 分解而來,亦可能係PP中含有碳黑,因受熱而析出,此二者均支持熱劣化 確實存在: a、被告專家錯誤地主張EDX無法適當地偵測到碳元素(爭點整理表原證三 十)。事實上,以EDX偵測碳元素在文獻上已有詳細記載(爭點整理表 原證三十一)。 b、被告專家先主張碳成分來自於火災黑煙,此乃因其認為樣本並非直接從 管中採得。事實上,原告專家陳郁文教授所採樣本是直接從管壁上取下 ,而碳係從樣本中顏色較深的那一側所偵測到,故不可能受火災黑煙污 染。事實上,如粉末果真遭到黑煙污染,則另一側直接暴露於黑煙之粉 末,其顏色理應更黑。惟事實恰恰相反。 c、被告專家最初以為一般氮氣含有相當數量的污染物(參爭點整理表原證 十),故主張從粉末測到的碳亦可能來自一般氮氣。然原告專家已經顯 示一般氮氣的高純度(參爭點整理表原證九)。被告原於其九十一年五 月九日管裂原因簡報中提出上述之主張,但在九十一年六月六日更新版 的管裂原因簡報中已將此主張刪除。 d、在黃色粉末樣本中亦偵測到有少量矽元素的存在,證明有部分矽甲烷在 輔助管線中氧化。此等氧化反應所產生之熱能遠高於攝氏328度,再加 上WO3粉末的溫度,即會使管壁分解產生碳。 e、被告主張聯瑞於火災發生後,即對自動分流管內的黃色粉末作EDX分析 ,結果顯示主要成分為鎢、氧、矽及少量碳,並斷言其中碳顯係從背景 之二氧化碳而來云云。然查,作EDX分析時腔體必須抽到高真空,故粉 末分析中少量的碳不可能是背景之二氧化碳。至於被告所做粉末分析, 因其並未說明該等受測粉末係由何處取得。如並非直接自管壁上取得, 或並非屬貼近管壁側之粉末,即可能測不到碳的成分。 f、本案PP管線材質除有碳成分外,亦含有碳黑,PP管到軟化點(約攝氏八 十八度)時,就會開始析出PP管成分之碳黑。蓋PP材質原係無色半透明 ,抗氧化性差,故會於PP管中加入碳以吸收紫外線或加以染色,並加入 抗氧化劑(普遍為酚類)(九十二年十二月十日言詞辯論筆錄第七頁) 。再依據被告九十二年八月十八日第三次爭點整理狀二之四指出因PPH 管有添加「色素」,故Agru手冊不建議PPH管用於「衛生用之冷熱水管 線」,而此所指之色素即為前述之碳黑。又參照被證五Agru手冊可知PP 管中加入較多碳黑的PP Black可抗紫外線管線,另有一種則是僅加入少 量碳黑予以染色而不適用於戶外之灰色PPH管線(蓋若不加入任何碳黑 ,則PP管線將呈現無色半透明,而非本案所見之灰色)。 深色粉末之碳不論是因由聚丙烯本身受熱或析出的碳黑所導致,其性質 均與一般的高純度碳黑不同。因其已部分氧化,而且由X光繞射圖譜, 其仍略呈原有PP結構(參原證一六一附件七之二、七之三),但因其已 部分氧化,分子量較少,故較容易被氫氧化鈉水溶液溶解。而且黃色粉 末中只要加入極微量的黑色就會呈藍綠色,由被告所做的實驗,亦證實 仍殘存少量的黑色及灰色物質。此灰色物質即為酚類與碳結合溶於氫氧 化鈉水溶液中所呈現的顏色。被告指稱其樣品含有灰塵,但一般的灰塵 大多會溶解於強鹼(即氫氧化鈉水溶液中),被告若指稱其樣品已被污 染,則其所做的樣品分析已全無可信度。 g、被告專家之方法錯誤:被告專家以氫氧化鈉水溶液清洗樣本,再以XPS (即ESCA)偵測PP表面有無氟波峰,實則該方法已破壞樣本之表面。按 SEMATECH在ESCA檢驗方式第9.1.2條中表示「除經特別要求,樣本表面 不可以有機溶劑或水清洗。使用化學惰性物質,例如高純度氮氣,清除 切割表面部分之殘留顆粒。(Unless specifically requested, the sample surface is not to be cleaned with any organic solvent or water. Use only chemically inert... materials for removing residual particles from the cutting process.)」(原證一六九) 易言之,SEMATECH明確指出有機溶劑或水將破壞樣本,無法使ESCA檢驗 獲得正確之結果。被告委請之ICI公司人員證稱,其係應被告專家Tom Parry之要求以氫氧化鈉清洗輔助管線樣本,並表示氫氧化鈉不會與二 氧化鈦反應,故其檢驗結果並未顯示輔助管線表面存有二氧化鈦(九十 二年十二月十日言詞辯論筆錄第七頁)云云。然查,雖ICI公司經被告 專家Tom Parry要求以氫氧化鈉清洗輔助管線,然此種清洗樣本之方式 明顯違反SEMATECH之要求,足以造成其分析結果之正確性,實不堪為本 案之佐證;再者,氫氧化鈉水溶液會溶解二氧化鈦,產生膠狀之氫氧化 鈦,故二氧化鈦被氫氧化鈉水溶液溶解後,如同三氧化鎢被氫氧化鈉水 溶液溶解一樣,鈦及鎢均不會留存在PP表面上,此乃ICI於ESCA檢驗時 未發現鈦之原因。 (2)貼近管壁那一側的粉末顏色較深,亦證明碳的存在。被告專家Parry亦同 意管內初期堆積物的顏色較深,形容其為「藍綠色」,並認為那是WO2.98 。惟Parry報告引述的參考文獻指出在1050至1225度的環境下(按即氧氣 不足的環境)才會形成WO2.98,而本案並不存在此種環境條件。 被告主張輔助管線內的粉末原本係藍綠色(WO2.98),但管裂及管子拆卸 下來後,這些粉末的外層因接觸到大量濕氣而轉變成WO3。然事實上,這 些粉末已存放在貨櫃場中長達五年,仍然有許多深色的粉末存在。倘這些 深色粉末為WO2.98,則其應早已轉變成WO3。由此可見被告主張之謬誤。 雙氧水係非常強的氧化劑。如系爭粉末中含有任何WO2.98,一遇到雙氧水 ,應馬上轉變成WO3。原告專家陳郁文教授以一片黃色粉末樣本進行與陳 政任副教授同樣的實驗,結果顯示,深色粉末並未變成黃色。 被告所稱之藍綠色粉末為WO2.98,實則氧化鎢為藍綠色,係因其以不同型 態結構所致(應加入言詞辯論意旨狀第二十九頁第三行起,即五(三)2 第四段):原告專家九十二年十一月二十一日報告附件七之一文獻所指之 HxWO3就是WO3-X‧X(H2O)的簡寫,亦即WO3-X加上X個結晶水。被告所稱之 WO2.98就是WO3-X的一種。缺氧的WO3-X不會呈現不同顏色,而係其結晶型 態在決定其顏色,正四面體的三氧化鎢會呈藍色,當其暴露於空氣且在常 溫時,就會回到單斜晶結構,其為黃色。被告專家誤以為該篇論文係再討 論三氧化鎢的氫化結構,乃不知其係含結晶水的WO3-X,亦不知氧化鎢為 一變色性物質其主要變色原因係因其結晶型態的變更(參原證一六一)。 (3)管線樣本在電子顯微鏡(SEM)下,可看到熱劣化所造成之塑性破壞之現 象(爭點整理表原證三十二)。此外,部分樣品上的粉末很緊地粘附在管 壁上,很難去除,這亦顯示粉末附著到管壁時有相當高的溫度。原告已應 被告要求,提出管線樣品,並會同前往台灣大學實驗室,就其中若干樣品 進行SEM之檢驗,被告已可確認相關樣品係沿著管線裂痕處採集。上述樣 品上之裂痕,絕不可能如被告所稱是因為天和工人在移除管線時凹折管線 所造成。由於裂痕係因受熱應力而成長,故本件管裂同時會有由熱劣化所 形成之塑性裂痕及熱疲勞及熱衝擊所形成之脆性裂痕,故脆性裂痕並不能 作為排除熱效應存在之證明。被告圖以脆性裂痕存在否認管壁有熱劣化之 現象,實屬誤導。 被告專家Tom Parry以錯誤方式清洗樣品,並解釋錯誤SEM照片,被告專家 Tom Parry於其九十二年十一月二十四日之評論中第3.5節中表示,其以氫 氧化鈉溶液清洗PP管表面,去除附著於管壁表面之三氧化鎢,以進行更貼 近管壁之檢測;另表示三氧化鎢並非因熱而緊黏在管壁上,而係因三氧化 鎢與PP成分中之二氧化鈦(TiO2)間形成緊密之鍵結,而二氧化鈦於固態 時具可溶性云云。實則,以氫氧化鈉溶液清洗PP管線,除可溶解三氧化鎢 外,亦會一併溶解二氧化鈦而損傷PP管線,故以氫氧化鈉溶液清洗PP管線 並不正確。另粉末與管壁緊密相接乃因熱所造成,蓋因WO3及TiO2(及二 種固體)要形成固態溶液,必須於高溫下始會發生(即須先達熔點 (WO3 為1473℃、TiO2為1855℃,原證一六八)以上,再於室溫中冷卻),然於 本案中並無受熱曾高達一千八百度以上足使WO3及TiO2形成固態液體之高 溫,故被告專家Tom Parry所言顯與事實不符。 被告專家Tom Parry誣稱原告專家九十二年十一月二十一日報告附件五之 一附圖二之SEM照片所顯示之脆性裂痕(參原證一六一),係原告專家拍 攝SEM時將樣本壓平所致,然被告專家Tom Parry所言與事實不符:原告專 家於拍攝SEM照片時,係將樣本用雙面膠帶固定於電子顯微鏡專用樣品底 部基座上面拍攝。拍攝SEM照片時,只需將樣本固定即可,而無須將樣本 壓平,誠不知被告專家Tom Parry所稱圖二脆性裂痕係由原告專家壓平所 致之原因為何。圖二顯示Crawford15-18管內壁表面,在裂痕前端較黑之 顯示即為受熱的痕跡,此乃受熱點之起始點,再慢慢延伸產生脆性裂痕。 被告庭呈管線樣本SEM照片(原證一六八之一)表示,較亮處為粉末,較 暗處為PP管線云云。然查,被告表示此係直接自熱熔接處切割下來,且已 清洗表面,若如其所稱,則SEM照片不應有粉末之顯示;再者,較亮處之 型態,亦與粉末顆粒形狀不同,故被告所稱SEM照片顯示較亮處為粉末, 較暗處為PP管線,並不正確。 另原證一六一附件六之一附圖圖二十五、二十六Crawford 15-6之樣本, 係兩造專家於九十二年十月七日會同檢驗樣本時,由原告專家自被告專家 保管之樣本中切割取得,再檢視切割面,換言之,檢視之切割面上並未有 任何粉末堆積。較暗處即為熱熔接處針孔之顯示,按熱熔接處的針孔並非 貫穿之孔洞,而係由很多形狀不同的孔洞,不規則地相互交錯,但彼此會 互相連通,與牆壁滲水之道理相同。 (4)暴露在沉積粉末的管壁樣本以紅外光譜(IR)分析,顯示比同樣本中未暴 露的部分有較高結晶度。被告所進行之紅外線測試亦顯示一致之結果。在 被告之測試中,Crawford 15-21管壁內側較外側有較多之結晶。另一方面 ,未經使用管線之紅外線測試結果,即無上述差異。這顯示暴露的管壁曾 經受熱。此外,自IR中可見C-OH及C=O鍵出現在暴露的管壁樣本中( 1233.57 cm-1及1041 cm-1之波峰),顯然此係因PP的C- C鍵受熱氧化而 斷裂,此一分析結果亦支持熱劣化存在(爭點整理表原證三十三)。 被告主張1241cm-1之波峰係C-F鍵。然而,許多參考文獻,其中包括被告 所提出之參考文獻(爭點整理表被證二十八之二),均指出在紅外線光譜 中,C-F鍵會落在1000與1400cm-1之間,且呈現出非常強的複數波峰(爭 點整理表原證一二二)。因此,被告分析中所出現1241 cm-1之波峰並非 C-F鍵。被告指出其以氟所進行試驗,係在氟與氮氣之混合物中進行。在 此等環境之下(亦即無空氣),氟與聚丙烯反應理當不會產生C-O鍵(參 爭點整理表被證十六之八);故被告提出之紅外線光譜中之C-O波峰,應 係氟氣與試驗中不當引入之濕氣反應,而生成活潑的臭氧(O3)與過氧化 氫(H2O2)自由基,而後進一步氧化聚丙烯所致。總言之,被告提出之紅 外線測試光譜顯示,本件輔助管線之管裂並非導因於氟侵蝕。而系爭輔助 管線之樣本分析結果顯示,該輔助管線確有受熱跡象。 被告專家Tom Parry對IR解釋錯誤:被告專家Tom Parry於九十二年十二月 九日庭訊時表示,其所提出之公式是「純的而非商業用PP」,不能用於計 算含有添加劑的商用聚丙烯管(詳當日言詞辯論筆錄第六、七頁)。然雖 ICI所提供之公式並非正確,但其表示仍可作相對比較。經原告專家依此 公式計算之結果,亦再度證實系爭輔助管線內壁結晶度的確因使用過而提 高,足證本件輔助管線確有熱劣化之情形,以及此內外壁結晶度之差異, 並非如被告所稱係在製造過程產生(詳原證一六一第三節)。 (5)管線樣品XPS分析顯示沒有C-F波鋒: 被告另提出ICI公司進行之XPS樣品檢測結果,其檢測數據顯示有一個微小 的F波峰,因而認定系爭管壁係受氟的侵蝕。然查該波峰應為附著在管壁 上之粉末含有氟成分之化合物所致,而非PP之C-F鍵。此由以下事實可知 : (a)該F波峰極小,與被告主張之氟劣化應有強烈的F波峰不符。 (b)ICI檢測數據上存在多個強烈的鎢的波峰,表示檢測樣品上有粉末附著 ,並一併顯示於檢測結果中。 (c)原告專家陳郁文教授以Crawford15-9樣本進行相同之檢測,顯示樣本中 粉末較多的位置檢測出與ICI類似之結果,但同一樣本中粉末較少的位 置,即無F波峰(爭點整理表原證一三四)。 另查,陳郁文教授先前所做黃色粉末成分XPS光譜分析,亦同時顯現鎢及 氟的波峰(爭點整理表原證一三五)。被告專家於九十二年九月八日庭期 中,亦承認ICI檢測結果所顯示之F波峰可能來自於附著於PP管上之粉末。 依據文獻所載,若PP與氟反應,會形成不同型態之C-F鍵,故以高解析度 之XPS分析,C1S會呈現多個波峰,且F1S的波峰會非常強(爭點整理表原 證一四二)。為進一步確認PP樣本上所顯現之F波峰並非來自C-F鍵,陳郁 文教授再以高解析度之XPS對Crawford15-9樣本及未使用過之管線樣本進 行分析,結果顯示二樣本中之C1S波峰均為單一波峰,且都出現在285eV, 而F1S的波峰也非常小(爭點整理表原證一四三之一、一四三之二)。上 述檢測結果顯示,管線樣本並沒有C-F鍵。 (六)系爭破裂管線因持續承受與管線破裂應力相當之熱應力、內應力及懸吊應力, 最終造成管線破裂: 1、原告專家自始即主張,自針孔進入之空氣與製程氣體反應所形成之反應熱, 是造成本案輔助管線破裂之原因,原告專家前述結論係基於詳細檢查系爭輔 助管線,並自其中取樣進行各類樣品分析所得。基於上述檢驗結果,原告專 家認定之管線破裂機制如下(爭點整理表原證二十三): (1)空氣進入輔助管線與六氟化鎢、矽甲烷反應。此等放熱反應,使反應所生 成之粉末具有高溫,造成PP管局部熱劣化,因而在管壁上形成小細紋( Craze)或使原有小細紋伸長。 (2)在管線使用的六個月期間,管壁持續經歷熱冷循環,而形成「熱衝擊」和 「熱疲勞」,因而產生熱應力。 (3)熱應力以及管壁原所承受之內應力及懸吊應力,使小細紋 (即應力集中點 )開始成長為裂痕。樣品分析與管線材料分析之結果均支持上開結論。 2、熱劣化:根據高分子百科全書,PP在溫度達120℃時,即開始熱劣化。 熱劣化將改變PP管線的化學性質,並破壞PP之化學鍵,然並不必然會導致PP 喪失重量。「當暴露於氧氣中,聚合物的熱劣化會立即開始,並以自催化的 方式進行」 (爭點整理表原證二十九),亦即,熱劣化在有氧環境中之進行 速率遠大於在無氧環境中。依據Agru手冊,PP最大之操作溫度係100℃;是 被告主張在即使在溫度120℃的操作環境下,要好幾年才會發生熱劣化,實 屬無稽。 三氧化鎢之初生粉末溫度為162℃,如有矽甲烷同時進行氧化反應,粉末溫 度將大幅提高。系爭輔助管線之熱劣化係在火災發生前六個月中,當洗滌器 處於輔助模式,而有三氧化鎢及二氧化矽粉末之局部高溫與管壁接觸時逐漸 形成。 3、破裂應力:造成管線破裂的應力稱為破裂應力。PP的破裂應力並無確切、固 定之數值。破裂應力之數值與施加應力之方法有關,如管線條件發生變更, 破裂應力之數值亦會隨之改變,例如隨使用之狀況而逐漸變小。原告專家先 前所提出破裂應力之數值,係保守地選用PP彈性模數的1/30作為估計值,即 43.3 N/mm2。被告專家Parry引述的高分子手冊,指出PP的拉力強度範圍在 29.3至 38.6 N/mm2間,系爭管線製造商Agru手冊上記載之拉力強度為30 N/mm2(爭點整理表原證三十四)。上述數值均係PP在正常狀況下可承受的 應力。當PP材料疲勞時,其所能承受之應力,亦隨之下降。Parry在其九十 二年二二十日報告中引述的「聚丙烯-使用者手冊及資料集」指出:「粗略 估計,多數塑膠的疲勞強度僅為短期拉力強度的百分之二十至三十之間。」 (參爭點整理表原證二十五)因此,PP的破裂應力將因材料疲勞而降至 6-9 N/mm2。在此必須重申,上述數值均是估算值,而非絕對值。當管線持 續週期性地承受與破裂應力同等級之應力時,管線就會因應力集中之效應( 應力集中點承受較大之應力)以及材料疲勞(破裂應力大幅降低時)而產生 管裂現象。 4、本案輔助管線所承受之熱應力與內應力: (1)系爭輔助管線承受熱應力、內應力及懸吊應力(參爭點整理表原證二十三 )。 依照原告專家之計算,在溫差為35度至136度時,所產生熱應力已有 6.37N/mm2至24N/ mm2。而內應力約為13至26 N/mm2間(原告就內應力之 計算係以管線製造完成即馬上冷卻,且收所比例在1%到2%間為假設前提, 詳爭點整理表原證一三六)。上述應力數值與輔助管線破裂應力相當。基 於系爭輔助管線持續承受此等應力六個月,以及考慮應力集中點所受應力 較大等因素,可合理判斷,管內的溫度變化(熱應力)加上內應力,已產 生足夠應力造成管線破裂。當材料發生疲勞時,聚丙烯之破裂應力約會降 至6-9 N/mm2。被告以此數據主張如內應力高達26 N/mm2,管線在被使用 前,豈非早已裂開之說詞,顯屬謬誤。 (2)聚丙烯為高結晶物質,於結晶形成時及熱劣化時,產生小細紋,當其長期 持續受力,破裂從小細紋的尖端處(tip)開始,並形成一個「應力集中 點」(爭點整理表原證一二三),在結晶與結晶間伸長。因管線持續週期 性地承受與破裂應力同等級之應力,管線就會因應力集中之效應(應力集 中點承受較大之應力)以及材料疲勞(破裂應力大幅降低時)而產生脆性 裂痕本案的管裂略呈鋸齒狀,即是此因。 (3)當一項材料遭受週期性的溫度變化時,即會產生熱應力。因此,當溫度下 降時,熱劣化、熱衝擊、熱疲勞之現象均會產生熱應力。被告主張熱劣化 機制與熱疲勞、熱衝擊之破裂機制不能併存,顯有謬誤。蓋當溫度高於 120℃時,PP將會因受熱而產生化學反應,此為熱劣化之現象,如該溫度 係瞬間降低,則PP在稍後降溫時會承受熱應力,被告所舉熱疲勞之例子, 所使用溫度亦高達145度,可見並無所謂熱劣化與熱疲勞不能併存之問題 。 (4)熱疲勞係因熱-冷循環所造成的。物質由於熱脹冷縮現象產生熱應力, 因而造成熱疲勞(爭點整理表原證二十四)。被告引用一篇文章,主張當 PP材料溫度從145度降至25度時,需要一千萬次的熱冷循環才會發生熱疲 勞,惟觀其全文,均無此敘述。反而是,依據被告所引用參考資料,PP管 線在重複承受22 N/mm2之應力時,只需一百次就會破裂(爭點整理表原證 一0二)。而溫降120度所產生之熱應力為21N/mm2,依據上述資料,PP管 線在經過二百次左右這樣的熱冷循環,便會造成材料失效。上開資料顯示 ,PP管線之壽命與熱應力之關係為指數關係("log"次方的關係),而非 線性關係。被告專家Parry顯然誤解了該參考資料,而誤指在本件情形下 必須發生一千萬次之熱冷循環,才會發生熱疲勞。 此外,該文章中明白指出,大多數已發表之PP熱疲勞數據,係採用10赫茲 或30赫茲作為測試頻率(爭點整理表原證二十五)。0.5赫茲係表示每一 秒鐘有0.5次熱冷循環(亦即每二秒鐘有一次熱冷循環)。「冷卻時間」 與「熱冷循環之次數」同樣重要,然被告關於頻率之說明,完全忽略了「 冷卻時間」之重要性。上述文章中所進行之實驗中,其「冷卻時間」達一 秒鐘。然本件中之高溫粉末與管壁接觸時,瞬間將熱傳到管壁,隨即冷卻 ,故本案之冷卻時間遠少於一秒鐘。其間之差異可由頻率示意圖看出。本 件管線中之頻率圖屬脈衝式,而該實驗之頻率圖為正弦曲線模式(爭點整 理表原證一二0)。因此,被告引用該篇文章的測試數據作為熱疲勞不可 能發生之佐證,顯有誤導 鈞院之嫌。 (5)熱力中,若熱冷循環時間非常短,稱為「熱衝擊」。與一般的情形相比, 熱衝擊有較大的瞬間溫度變化(爭點整理表原證二十六,爭點整理表原證 一二一)。被告專家Parry錯誤地主張認為「熱衝擊」應指一次降溫且管 壁溫度必須從零下17℃(PP的玻璃轉換溫度,Tg)降至零下257℃(溫度 每次降低240℃),才足以使PP管破裂。 惟查,高分子學裡有一個基本觀念稱為「時間-溫度相等原理」 (time-temperature equivalence theory)。亦即,Tg點以上「瞬間」 加力於高分子材質的效應,與在Tg點以下緩慢加力之效應相同(爭點整理 表原證二十八)。因此,即使溫度高於零下17度,PP仍會在室溫之上發生 脆性破裂。被告專家或許係刻意忽略或係不瞭解上述原理,而錯誤指稱系 爭脆性破裂必須發生在零下17℃以下,被告並據此主張必須溫度降低240 ℃的熱衝擊所產生的熱應力才足以使PP管破裂,亦是錯誤的。總言之,原 告從未主張系爭管裂係由一次熱冷循環所致,且熱衝擊亦非必然只有一次 溫降才叫熱衝擊。 (6)被告引用爭點整理表被證十六之一之文獻,主張熱會釋放內應力,故熱應 力會與內應力相抵銷云云,然查,該文獻係指將高分子加熱後,將冷卻速 度控制到極緩慢之程度(每小時攝氏五度),可減低材料之內應力,此與 熱應力(發生於高溫快速冷卻之過程)完全無涉。 被告專家Tom Parry指出懸吊應力係圓周方向,而內建應力係軸向方向, 故二者可互相抵銷;主張內應力與熱應力互相抵銷,進而主張原告錯誤將 懸吊應力及內建應力加總計算系爭輔助管線承受之應力云云;另表示內應 力與破裂方向有關,而與是否構成脆性裂痕無關,並以金屬彈簧受力變形 再加熱,成金屬彈簧永久變形之例子解釋熱會消除內應力等說法,均不正 確:被告專家Tom Parry表示管線殘留的內應力是製造過程所產生,原因 是管子外部冷卻速度比管子內部的冷卻速度快,若加熱則會使應力平衡, 隨著管子加熱、分子移動,其內應力會減小,無論什麼狀況,內應力、懸 吊應力不會造成脆性裂痕云云。然查,PP管線之結晶型態與非結晶型態是 共存的,PP管線結晶成長時,會慢慢變大,球晶與球晶間會產生擠壓發生 破裂(詳原告專家九十一年十二月九日簡報第四十三頁),斯時,集中的 應力會沿著球晶與球晶中間的裂痕延伸,最後導致管裂,屬於脆性裂痕。 雖被告援引被證六十三指出「PPH管產生脆性裂痕,但其分子並無變動、 拉長之情形」,然細繹其文,可知其內容係適用於非結晶部分( amorphous phase /noncrystalline phase)。因此在本案PP管係具有結 晶及非結晶之結構下,脆性破裂的發生,亦屬合理而可期待。 被告專家主張熱應力與內應力會抵銷,只考慮到加熱,但未考慮到冷卻, 冷卻過程的快慢決定再建之內應力大小。所以,熱應力在本案反覆冷熱迅 速變化的情形下,並沒有發生被抵銷的情形。另由被告專家解釋之PP管線 製作過程可知,PP管線製造時,於管線模子上透過外部快速冷卻形成,將 液體轉變成固體後,需有一縱向之拉力將形成之管線拉出模子,分子排列 之方向即透過縱向拉力形成。再者,不論塑性破壞或脆性破壞均與內應力 有關。如同由兩端拉扯一條管子,一開始使用之力量較大,但拉越久,力 量就會越小,此即表示分子在管子內部移動。如果施力之時間夠長,分子 移動就會固定,被告所舉金屬彈簧永久變形即為此道理。然本案中並無長 時間之加熱,故分子無足夠之時間運動來抵銷內應力。且本案之熱應力係 局部受熱,非整個管線受熱熔化,自無抵銷內應力。另被告專家TomParry以丙酮滴於壓克力上,欲證明化學劣化與內應力在玻 璃轉移點之上也會產生脆性破裂。姑不論壓克力材質與本案聚丙烯材質不 同,並不適於比附援引之用,壓克力溶解於丙酮中,產生膨脹而容易破裂 ,係因物理現象所致,而非化學反應。而且壓克力的玻璃轉移點約為攝氏 一百度,遠高於室溫,因此在室溫下受力,當然是脆性裂痕,被告的實驗 根本無法證實玻璃轉移點之上不會有脆性裂痕的說法。職是之故,被告專 家所為實驗,不僅完全無法支持其理論,更顯示其對於劣化機制瞭解之有 限。 (7)被告主張PP管亦使用作為熱水管,在持續熱冷循環下並不會發生破裂(爭 點整理表原證三十六),圖以此駁斥原告所提出之管線破裂機制。然其用 以支持其主張之資料均係僅對PP管作一般性介紹,實則,PP有許多不同種 類。Agru手冊已載明本件PPH管不適用於「衛生裝置的冷熱水供水管」( 爭點整理表原證三十七),其主要原因即在於PPH的耐熱衝擊性差。故被 告專家前述主張,顯屬無稽。 5、原告專家在檢查管線後,發現水平方向之輔助管線,裂痕係普遍出現在六點 及十二點鐘位置及軸向成長,而被告專家Parry在其報告中亦同意此點(爭 點整理表原證三十八)。軸向裂痕係因聚丙烯分子係軸向排列,分子排列的 條狀與條狀間的力量較弱,故受應力而伸長之裂痕會延軸向破裂。懸吊應力 則是聚丙烯管在六點鐘與十二點鐘位置形成管裂之原因。按管壁在軸向及徑 向都會產生懸吊應力(爭點整理表原證三十九),在徑向上之應力(與重力 方向相同)稱為剪斷力,在軸向上之應力(與重力方向垂直)稱為彎曲力。 剪斷力在水平管線之中段最大,彎曲力使管線十二點鐘及六點鐘位置受到最 大應力(爭點整理表原證一四四號),因而導致聚丙烯管在六點鐘與十二點 鐘位置,沿聚丙烯分子排列方向形成管裂。 被告辯稱其專家Parry報告中所指「六點鐘與十二點鐘位置」,係用以描述 向相反方向發生之裂痕,而非僅在管線頂部與底部發生之裂痕。似此論述, 顯已超出其文字表達之語意,顯見被告實係因無法解釋何以由氟侵蝕所造成 之管裂會僅發生在六點鐘與十二點鐘位置而曲解其原意。 截至目前為止,並未見被告專家就其所主張「環境引發之應力破裂」說明該 等應力如何大於管線破裂應力。依照被告專家之理論,如本件之管裂係由氟 氣所造成,由於氟會到處侵蝕PP管壁,則管線上游垂直管處因氟的濃度較高 而應有較嚴重的侵蝕,並且應在管壁周圍各處不規則地發生。然而,為何管 線破裂未普遍發生在管線上游垂直管處?反而多發生在水平管線之六點鐘及 十二點鐘方向?被告主張垂直之管線較水平管線為短,因此結構弱點較少。 然而,誠如被告所主張,在所有化學元素中,氟氣係最活潑之元素之一,而 易與PPH管線反應。如在廢氣中確有任何氟氣存在,其將在上游垂直管線段 即發生反應。而其決定之關鍵點則在於氟的濃度在上游處較高,而非系爭管 線之長度。被告之主張,顯有誤導之嫌。 (七)輔助管線並無氟存在,故氟並非導致本案管線破裂之原因: 1、按,三氟化氮僅在高溫下且機台反應室內使用電漿時才會分解出氟。三氟化 氮本身則不會在廢氣管線內分解成氟,被告就此亦不爭執。輔助管線內要有 氟存在,必須WCVD機台反應室確有未消耗的氟釋出;而且若有任何剩餘的氟 ,必須在進入輔助管線前維持不與其他物質反應。本案輔助管線中,並無氟 存在,其理由茲說明如下: (1)照聯瑞的製程配方及被告所稱之30%轉化率,廢氣中的氟應已在反應室內 消秏完畢(爭點整理表原證四十五)。被告詢問聯電工程師之問題係:「 未消耗完畢之氟與其他活物其排放情形為何?」此顯係刻意誘導其陳述之 問題。聯電工程師之回答因而集中在未消耗之WCVD廢氣其管線排放路徑( 參爭點整理表被證四之一,第十二點)。職是之故,上開陳述並不能用以 證明自WCVD反應室排出之廢氣中確有氟存在。 (2)依據被告估算,本案可能剩餘未使用之氟濃度約為0.01%。然查氟係極活 躍的元素,若有任何氟從反應室釋放出來,如此低濃度之氟,當會在三樓 生產機台後端、一樓真空幫浦與洗滌器前之廢氣管線內與其他氣體或物質 (不鏽鋼管、管道內粉末等)反應,而無法留存至輔助管線而侵蝕PP管壁 。被告亦自承「不銹鋼管在與氟氣接觸時,會馬上在表面形成一保護膜」 ,故本案中是否有足夠 之氟得以維持不反應,而侵蝕輔助管線,造成管 裂,顯有重大疑義。 (3)陳政任博士有關WCVD廢氣分析的文章及一篇相關的碩士論文中,均支持自 洗滌器入口處及出口處之WCVD廢氣中並未檢測出氟(爭點整理表原證四十 六)。 該碩士論文並指出m/e 38乃一背景波峰(參爭點整理表原證四十六)。陳 政任博士雖反於其報告內容,於本案審理中,聲稱其廢氣分析質譜儀中有 出現氟的波峰(m/e 38)。然而,廢氣中之化學成分複雜,m/e 38未必是 氟之波峰,氬的同位素亦會出現在m/e 38(爭點整理表原證一四五)。且 此所謂「氟的波峰」,在製程廢氣洗滌器的入口及出口中均出現,甚至在 次主管中之廢氣仍有此一波峰,故此波峰應為一背景波峰。此外,製程氣 體中完全未使用氟,故在製程廢氣中的m/e 38波峰絕不可能是氟。同理, 在清潔氣體廢氣中所測得之m/e 38亦應非氟。事實上,氟因活性極強,因 此欲以質譜儀測量時,質譜儀必須作特別處理,而且無法用以量測低濃度 之氟,此所以美國科學與研究院(NIST)未能提供氟的標準質譜圖。被告 專家稱NIST未提供氟的標準質譜圖係因其圖譜很單純,但氫的圖譜更單純 ,NIST卻有其標準質譜圖,足見被告專家說詞之謬誤。 (4)輔助管線內存在空氣與濕氣,管線若有任何氟,亦會與濕氣反應。許多參 考文獻均指出氟在與濕氣接觸後會劇烈反應並產生氫氟酸(HF)(爭點整 理表原證四十七、原證四十八、原證一二六、原證一二七)。被告所引述 的NACA文章所稱,氟與水氣反應極慢或甚至完全不反應,此與氟在純粹乾 淨的環境下不會與氫氣反應之原理相同(爭點整理表原證四十八),惟若 有任何雜質,便馬上會有爆炸性的反應。輔助管線中存在許多雜質,並非 純粹乾淨的環境,故NACA文章所述之情形,根本不適用於本案之情況。事 實上,該文獻已指出氟在管壁表面之反應係相當快速(爭點整理表原證一 二六)。且嗣後NASA出版之文獻亦確 認氟會與濕氣反應(爭點整理表原 證一二七)。被告引用NACA文章所為主張,顯有誤導。抑有進者, Sematech報告清楚顯示氟會與水氣反應,該報告所做實驗係使用600ppm之 氟氣(本案中,依被告主張,氟濃度低於100ppm),再通入空氣,當水氣 與氟氣之濃度為四比一時,氟之轉化率已達91%,水氣濃度增加到十比一 時,其轉化率達98%。該實驗中並於廢氣管線中懸掛一塊PP板,結果經過 六個月,PP板並沒有任何的劣化現象(爭點整理表原證一四六)。 (5)因氟係極活潑之元素,若管裂係因氟裂解PP所造成,管線上游處為氟濃度 較高之處,在輔助管線上游端應會有較嚴重的裂痕,且在管壁四週到處均 會發生裂痕。本案中,管裂普遍出現在水平管線的六點鐘及十二點鐘方向 ,而非出現在上游垂直管線上(垂直管只有一根Crawford 15-18破裂)。 由上所述可知,被告所提出的破裂機制與本案之管線破裂情況不符合。鑑 於氟乃非常活潑之元素,其並不會只攻擊聚丙烯之弱點(爭點整理表原證 一二八)。PP管被侵蝕的比較嚴重的位置,其關鍵點應在於氟之濃度比較 高的上游管線,而非管線之長度。 (6)若氟侵蝕聚丙烯管,會使聚丙烯膨脹(爭點整理表原證一四七),但本案 使用過的管子均無膨脹之現象,顯見本案管裂並非導因於氟的化學劣化。 (7)兩造均已就系爭輔助管線樣品以IR及XPS進行材料分析,結果均為發現PP 管壁上沒有C-F鍵(詳前述),足見本件管裂與氟侵蝕無關。 2、再者,如被告理論為正確,則在粉末較少或甚至無粉末的管段應該會有較嚴 重的破裂現象,因為管線表面在覆蓋黃色粉末之後,氟會先與黃色粉末中之 二氧化矽及水氣反應,也會吸附在三氧化鎢上或與之反應,而保護管壁免於 氟之裂解。然而,系爭管線在發生嚴重破裂的管段均有較多粉末堆積,可見 被告所主張之破裂機制,又與實體證據不符。 3、被告主張其他晶圓廠曾發生氟所導致之管線破裂,與本案管線破裂情形相類 似云云,僅在企圖不當影響 鈞院之心證,而未提出任何合法有效之證據。 被告如欲以其他晶圓廠之氟侵蝕造成管裂情形,證明本案輔助管線亦為氟侵 蝕所造成,必須證明並提供其他晶圓廠之相關機台、洗滌器及管線配置等細 節、管線破裂情況,以及確認為氟侵蝕之確切證明,以供確認是否確有此案 例,以及該管裂原因與聯瑞晶圓廠所發生之管裂原因是否相同。被告有關合 泰晶圓廠相關之事實陳述及管裂原因之主張,均未經聯電確認(爭點整理表 原證一一0),而其他有關台積電、華邦或其他聯電晶圓廠管裂存在之情形 ,均屬傳聞證據,亦無相關細節,於前次開庭時業經 鈞院曉諭不列入考量 範圍,茲不再述。 4、被告專家於其九十二年十一月二十四日報告附錄G,斷章取義其訴訟前簡報 資料,稱氟於本案中會攻擊PP管線,被告保險公證人公司GAB Robbins於八 十八年八月二十日提出之簡報資料共一一六頁,最末第一一五(參原證一五 九)及一一六頁為其回應原告有關管裂原因之結論,指出「結論:因此現有 證據顯示...氟為廢氣中唯一存在可侵蝕PPH之化學物質,其於空氣存在 之環境下不會存在…(Summary-Thus, the evidence presently available suggests that... iii. Fluorine is the only chemical present in the waste gases which has been identified as being corrosive to PPH and it will not survive in the presence of atmospheric air.)」而 被告專家於其九十二年十一月二十四日報告附錄G所引之簡報內容,僅其就 原告主張管裂原因所為之一般性敘述,並非該簡報說明之最後結論,是被告 擬以所節錄部分之簡報資料主張氟不會與空氣反應,只會與PP管線反應,顯 無足採。而此一事實,亦於九十二年十二年十日庭訊中,經被告保險公證人 公司GAB Robbins之代表Ross Cuff先生證實無誤在案。綜上所述,本件管裂原因確實係因天和安裝不良所產生熱效應所致,並無任 何證據顯示管線係因氟侵蝕而破裂。 二、火災原因: 就本件火災發生原因,原告專家認定係因天和工人於八十七年十月三日之換管施 工,自輔助管線之維修口引進大量空氣至十二吋及十八吋次主管中,並擾動沈積 在次主管內具有自燃性及可燃性之WCVD廢氣粉末,致引燃火災。此外,次主管內 之WSix廢氣粉末亦具有可燃性(此為被告所不爭執),有時亦具有自燃性,而提 供本件火災蔓延之燃料,當其具有自燃性時,亦可能與WCVD廢氣粉末同為本案火 災之引燃來源。被告則主張起火與工人施工無涉,而係因WSix機台持續運作所排 放出之廢氣ClF3及DCS,因未經洗滌而濃度均高於0.3%,混合在一起而引燃,或 未經洗滌之ClF3引燃WSix廢氣粉末所致。以下將詳細說明WCVD廢氣粉末具可燃性 之原因,與工人施作擾動粉末之引燃機制,以及被告所稱之引燃機制所不可或缺 之ClF3,在二處起火之次主管內均不存在之相關事實及理由: (一)本件火災之引燃機制為「具自燃性及可燃性之廢氣粉末+擾動+空氣」: 按發現起火之十二吋及十八吋次主管中存在具可燃性之廢氣粉末,且經起火燃 燒之事實,為兩造所不爭執。原告專家認定經燃燒之廢氣粉末包括WCVD及WSix 廢氣粉末,前者具有自燃性及可燃性,後者具有可燃性,有時亦具有自燃性, 因工人施工擾動且引進空氣而引燃。此等廢氣粉末之形成及火災風險,為半導 體產業所共知,且有多篇文獻探討此現象發生之原因。原告專家Martin Hammond博士對CVD製程及CVD廢氣物質有數十年之經驗,並為半導體產業中發 表CVD安全性文章之第一人,其於該文章中指出:「累積的反應副產物,如在 中性或還原性之氣體環境下凝聚,將會在暴露於空氣時劇烈反應。其結果可能 是小型的爆炸並致生火焰,且釋放出腐蝕性微粒。」(爭點整理表原證七十四 )。上開文章確認了矽甲烷與矽甲烷衍生物的確會在廢氣管道中累積並引起火 災。Hammond博士於九十二年九月八日開庭時已就矽甲烷廢氣粉末之形成與特 性作說明(參爭點整理表原證一三七),並據其分析確認原告對本件火災發生 原因判定之合理性與正確性,其詳細之鑑定報告將於近期內提呈 鈞院。被告 空言否認WCVD廢氣粉末之自燃性及可燃性,然細繹其提出之答辯理由,即可發 現與半導體產業已發表之相關文獻及本案實體證據相牴觸,茲說明如後: 1、WCVD製程廢氣粉末因包覆、吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣而具有自燃性 與可燃性: 使用矽甲烷之CVD機台,其廢氣粉末具有自燃性與可燃性之原因,來自於矽 甲烷在反應室之「中性或還原性」環境下進行熱分解反應。所謂中性或還原 性之環境,係指使用惰性氣體(如氮氣、氬氣)或還原性氣體(如氫氣), 且缺乏氧氣(氧化劑)之環境。爭點整理表原證五十六Koynov及原證一二九 Onischuk之文獻中,即描述矽甲烷(SiH4)在此環境下經熱分解後,產生 Si-Si-H粒子,SixHy化學物質(聚矽烷)會被包覆在Si-Si-H粒子中。 此種聚集、包覆之作用在該等粒子溫度降低時(在廢氣管道中)仍會繼續( 參爭點整理表原證一二九及原證六十二、六十三)。當此廢氣粉末進入輔助 管線時,因輔助管線存在針孔/細縫,而有空氣及水氣持續進入,此時部分 尚未被包覆之SixHy化學物質即被完全氧化或部分氧化,而形成氧化矽或 SixHyO(聚矽氧烷),由於大部分的Si-H鍵被鈍化之外殼(passivating crust)所保護,不會被氧化。上述文獻說明了矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫 氣會被包覆在製程廢氣粉末中或吸附於粉末表面,而形成具可燃性及自燃性 物質之原因。除上述文獻中所述包覆、吸附之複雜機制外,當廢氣物質中含 有Six-Hy成分時,經由氫鍵結之吸附作用,廢氣中之矽甲烷、矽甲烷衍生物 及氫氣也會進一步被吸附至廢氣物質中(參爭點整理表原證一三七, Hammond簡報第十二頁)。相關製造商美商應材及Centrotherm的警語中警告 廢氣粉末中含有矽甲烷、氫氣等具可燃性及自燃性氣體之危險性(爭點整理 表原證六十、爭點整理表原證六十一),原因即在此。被告辯稱原告所提出之文獻均係關於「矽沈積機台」之文獻,與本件鎢沈積 機台(WCVD)無關云云。惟此辯稱如不是企圖以過度簡化之錯誤觀念誤導鈞 院,係被告專家對於製程機台欠缺正確了解。按該等文獻中均述及「在中性 及還原性條件」下「熱分解」「矽甲烷」後之產物,具有自燃性與可燃性, 其中所提到之熱分解溫度自攝氏一百度(參爭點整理表原證五十六Koynov文 章,溫度條件為攝氏一百度至三百五十度)至一千二百度(參爭點整理表原 證六十二Creighton文章)不等,Creighton文章中並指出廢氣粉末自反應室 排出後,在廢氣管道內會繼續聚集(參爭點整理表原證六十三)。經查聯瑞 WCVD配方中含有數個單純使用矽甲烷(而未使用六氟化鎢)的步驟:例如步 驟3至8及步驟17至19使用了30 sccm的矽甲烷;甚者,步驟4至8及步驟17至 19尚且使用氮氣、氬氣與氫氣作為載流氣體,反應室所使用之溫度約攝氏 450度,故此等步驟所使用之反應氣體、反應環境等均與矽沈積機台之矽甲 烷沈積步驟並無二致。儘管在聯瑞製程配方之步驟9及10同時使用了六氟化 鎢與矽甲烷,惟此等步驟並不會使前後的矽甲烷步驟變成不具危險性。故有 關矽沈機台中所使用矽甲烷會在廢氣管線中形成具自燃性及易燃性之廢氣粉 末之文獻,其形成機制與本案中WCVD之矽甲烷步驟並無二致,上述文獻自可 用以證明本件WCVD製程中所排出之矽甲烷廢氣,如未經洗滌,亦會在廢氣管 線中形具有自燃性及易燃性之廢氣粉末。被告爭執矽沈積機台所使用矽甲烷 的量較WCVD為多,欲以此主張自WCVD機台排出之矽甲烷及其衍生物不具自燃 性及可性,惟查,由上述廢氣粉末形成之機制可知,矽甲烷及其衍生物是逐 漸在廢氣粉末中累積而具有自燃性及可燃性,故只要反應室中所排出廢氣經 常未經洗滌,矽甲烷及其衍生物即會在廢氣管線中累積,而使廢氣粉末具有 自燃性及可燃性。 原告所引用文獻與本案WCVD廢氣粉末包覆吸附矽甲烷有關被告主張原告所引 用爭點整理表原證五十八及六十二等文獻,文章中所載CVD機台溫度較本案 為高,而質疑該等文獻不適用於本案情形,惟查原告專家Hammond博士已說 明,原證五十六、原證五十七及原證一二九之文獻數據顯示,熱分解矽甲烷 使用之溫度越低,反應不完全、具自燃性之矽-矽-氫粒子含量會越高,其火 災風險即越高。被告主張爭點整理表原證五十九之文獻係有關電漿沈積機台 ,與本案WCVD機台不同,並無適用云云。惟查,使用電漿將增加矽甲烷之轉 化率,在此情形下,該文獻仍確認會形成矽-氫化合物,更遑論本件WCVD僅 採用較低溫度熱分解矽甲烷。原證七十四號為原告專家Hammond博士之著述 ,被告批評該文章為一般性陳述,未指明適用於WCVD云云,惟查,該文章顯 示,如本案這種低壓之CVD機台會產生具自燃性物質。被告提出Onischuk於 一九九四年所著之文章,認為該文章中說明含有較低氫含量之粒子,會受到 氧的影響,氫含量較高之粒子,放在空氣中數天反而沒有看到氧化的反應, 據此主張高氫含量之粒子是穩定的云云,惟查,根據前述相關文獻顯示,矽 -氫鍵是使廢氣粉末具有自燃性之原因,故Onischuk一九九四年文章中所述 的現象,唯一可能的原因就是高氫含量的粒子外面已形成一層鈍化的氧化層 (如原證六十三Creighton文章所描述),使氧化層內之矽氫鍵受到保護, 一直到受擾動,氧化層破裂才開始氧化,故上述文章之內容與原告專家H mmond博士所說明之粉末包覆矽甲烷之機制完全一致。此外,被告又主張 Onischuk一九九四年文章中表示將含有矽-氫鍵之粉末置放於空氣中,未觀 察到燃燒的現象,就此原告專家Hammond博士於九十二年十二月十二日庭訊 時已說明,Onischuk實驗中所觀察之粉末係以過濾器取得次微米粉末進行觀 察,粉末量極小,與本案在廢氣管中累積之大量矽-氫鍵迥異。是被告所提 出Onischuk一九九四年文章實係確認原告專家所認定引燃機制之正確性。 被告專家Breneman表示其曾參與爭點整理表原證六十四文章之研究,並指出 實驗中所觀察矽粉末要具有自燃性必須是「新鮮製造」,亦即未經過暴露於 空氣中云云,惟查爭點整理表原證六十四文章中已清楚指出前述粉末以儀器 檢測並未看到矽-氫鍵(該文章第二十九頁),甚且,該文章結論並指出「 由分解矽甲烷所製造之矽粉末具有重大的粉塵爆炸風險,必須避免此類物質 累積於設備中之危險」(該文章第三十頁),其中亦未表示必須「新鮮製造 」、「未曾暴露於空氣中」之粉末始具有火災風險,故被告專家上述說明顯 屬錯誤。 被告另主張爭點整理表原證七十一之SST文章中討論五種CVD製程,其中指出 PECVD廢氣粉末可能會包覆具有自燃性之矽甲烷,但在論及WCVD時並未提及 WCVD廢氣粉末之火災風險云云。實則,該文章係在一開始的總論中提到CVD 製程廢氣問題可能引起嚴重的安全問題,而舉例說明PECVD粉末包覆矽甲烷 之火災風險(「Effluent problems can also create serious safety issues.For example, Plasma enhanced chemical vapor Deposition (PECVD) of silicon nitride (Si3N4) can trap pyrophoric silane.. .」),此與原告前所描述矽甲烷被包覆之機制一致。而且,WCVD機台並不 當然會使用矽甲烷,該文章中亦未具體說明其所指WCVD之製程步驟是否使用 矽甲烷,且該文章之重點係在介紹加熱管線之裝置,而完全未提及廢氣洗滌 之問題,更無任何確認WCVD廢氣粉末不具火災風險之描述。故被告上述答辯 實又係以過度簡化不探究實質之答辯方式,企圖混淆視聽。被告另質疑輔助 管線中存在最多WCVD廢氣粉末,為何自燃或可燃物質並未吸附於輔助管線之 黃色粉末中,而是大部分吸附於次主管之灰白色粉末中?查現場採得之證據 已明確顯示:輔助管線內之粉末為黃色粉末,鎢的含量很高,矽的含量卻很 低:經化驗取自輔助管線內的樣本,相關粉末樣本之分子量百分比,鎢占 94-98%及矽占2-6%(參爭點整理表原證四十),亦即,粉末中鎢/矽原子比 為12-14比1。原告專家Hammond博士依據聯瑞製程配方,計算製造每片晶圓 所排出廢氣中之鎢/矽原子比僅為4.1比1,二者相比,即可知輔助管線中之 鎢成分大幅提高,此數據確認大部分的三氧化鎢在輔助管線內沈降。反之, 十二吋及十八吋次主管中之粉末,則為灰白色,其鎢的含量相當低(幾乎沒 有),大多數為矽(爭點整理表原證六十六),該等氧化矽粉末應係易燃廢 氣粉末經火災燃燒而完全氧化後之產物。由上述分析結果可知,大部分(幾 乎全部)的六氟化鎢已在輔助管線內與水氣反應掉了。當六氟化鎢與矽甲烷 同時存在於管線中時,六氟化鎢與水氣之反應速率遠較矽甲烷與水氣之反應 速率快,所形成之三氧化鎢,因其具有較高之質量(高密度),故較易在其 形成之處附近沈積,少量之矽甲烷因為六氟化鎢與濕氣作用所形成之局部反 應熱而氧化,而與黃色粉末一同沈積於輔助管線中,故輔助管線內有較多之 黃色粉末沈積,而僅有少量的二氧化矽粉末。相對地,由於含有Six-Hy成分 之粒子(矽甲烷或其衍生物)之質量相對較低,較易於輔助管線中呈懸浮狀 態而不會沈降在輔助管線中,當該等粒子從輔助管線流入次主管時,因流速 及流體方向之改變,會在管線連接處附近形成小漩渦,矽甲烷廢氣粉末因靜 電作用及重力作用而在次主管內沈積(參爭點整理表原證一三七號, Hammond簡報第十四頁)。被告質疑輔助管線於彎頭處亦會形成小漩渦,矽 甲烷粉末為何不會沈積在輔助管線中?首按,原告從未否認輔助管線粉末中 含有少量的矽成分,次按,輔助管線中之氣流在流經彎頭改變方向時,因管 徑並未改變,且只有一股氣流,故小漩渦之效應非常小。然進入次主管時, 因為有兩股不同方向、不同速度之氣流在此交會,故會形成足以抓住粉末的 小漩渦效應,並因而產生靜電使粉末附著於管壁上。被告另又質疑,為何粉 末不會再被吹向次主管之更下游,而排出廢氣管?惟查,原告專家從未聲稱 「所有」矽甲烷粉末均累積在次主管,且由管線內粉末堆積之情形可證,具 易燃性與自燃性之矽甲烷廢氣粉末大部分累積於次主管中。(爭點整理表原 證一七0),此正如同WSix粉末亦被發現沈積在次主管中相同。被告專家稱 所有次主管內之易燃粉末均為WSix粉末,實屬無稽。由於輔助管線中之黃色 粉末所含矽成分極低,縱於火災發生前粉末中含有未經氧化之矽甲烷,以其 極少之數量,且散見於大量不具可燃性之三氧化鎢中,實不具備引燃之條件 ,且亦無足夠之其他燃料可供燃燒。故被告專家將輔助管線中之黃色粉末加 熱,自然不會起火燃燒。被告欲以此證明WCVD廢氣粉末不具自然性與可燃性 ,顯屬誤導。 2、WCVD製程廢氣粉末具有可燃性與自燃性: 在本案中,由於處理WCVD製程廢氣之Centrotherm洗滌器經常跳機,故WCVD 廢氣經常未經洗滌即排入廢氣管線中,因此,未經洗滌之矽甲烷、矽甲烷衍 生物及氫氣,即會持續累積於廢氣管線之粉末中,而使廢氣粉末具有自燃性 與易燃性。惟被告爭執WCVD製程廢氣中之矽甲烷一旦遇到空氣便會完全氧化 ,而使該等廢氣粉末不具可燃性及自燃性。然查,半導體產業標準F5-1101 已明確指出,矽甲烷在氮氣中之濃度一旦稀釋到低於1.5%時,遇到空氣將不 會進行明顯的氧化作用(爭點整理表原證五十五號),此一文獻已明確駁斥 被告之主張。至於累積在廢氣粉末中之矽甲烷及其衍生物,為何能在廢氣管 線內累積而維持長時間不氧化,爭點整理表原證五十六及爭點整理表原證一 二九之文章中均提到該等廢氣物質之結構,使吸附在廢氣粉末中之矽甲烷及 其衍生物等具自燃性之物質,除非受到擾動,係被保護而不會氧化的。 Creighton爭點整理表原證六十三之文章中則以「鈍化之外殼」( Passivating Crust)來描述此一現象。原告專家Earl Vickery前以「微球 體」來描述,亦是同樣之概念。 3、WCVD製程廢氣粉末濃度足以導致火災: 前述參考文獻指出,沈積於廢氣管內含有矽甲烷衍生物之粉末已知具有自燃 性或易燃性,當空氣存在,且受到機械性擾動時,會以無法預測的方式燃燒 及\或爆炸,此為半導體產業之工業安全工程師所熟知(參爭點整理表原證 六十二)。被告一再以WCVD廢氣中之矽甲烷已被稀釋至最低燃燒界限之下, 故WCVD廢氣粉末不具火災風險,被告並據此堅稱本案矽甲烷濃度過低,不足 以引燃件火災云云,顯無視於半導體產業所共知之廢氣粉末之火災風險,及 相關製造商之警語。按WCVD廢氣物質之危險性,係來自於吸附於粉末表面或 吸收於粉末內之具可燃性及自燃性之化學物質。因此,如果廢氣經常未經洗 滌,即會有足夠具可燃性及自燃性之化學物質累積於廢氣管線內。依據原告 專家Hammond博士多年之CVD經驗,通常矽沈積機台之矽甲烷轉化率為10- 15%,此數據並於其先前所發表之文章中敘明,參爭點整理表原證一六0 Hammond報告附件九文章第二頁。而根據Yu等所發表之報告指出,WCVD製程 步驟中之矽甲烷與六氟化鎢混合時之轉化率為20%,此屬於高轉化率,而六 氟化鎢與氫氣在WCVD製程中之轉化率為3%,為低轉化率(參爭點整理表原證 一四八)。Hammond博士乃依據上述資料,依六氟化鎢與矽甲烷反應之反應 化學式換算出矽甲烷之轉化率,進而計算出聯瑞WCVD製程配方中約有百分之 八十三之矽甲烷未經反應即排入廢氣管中,(參爭點整理表原證一六三補充 報告之說明)。換言之,每處理一片晶圓,就有約24cc的矽甲烷流入廢氣管 中;加以負責洗滌WCVD機台廢氣之Centrotherm洗滌器時常跳機,Hammond博 士更進一步以輔助管線中三氧化鎢的總量,推算共有多少未反應的矽甲烷係 在輔助模式下被排入廢氣管線,再扣除輔助管線中所發現少量之二氧化矽之 量,進而得知八根輔助管線可能產生約100公克的矽甲烷廢氣粉末,因此可 推知未經反應、直接排入廢氣管線的矽甲烷已足以在次主管中形成具自燃性 與可燃性之粉末。根據Hammond博士的經驗,事實上只要一公克或更少的矽 甲烷廢氣粉末,在受到擾動時即足以成為引燃來源(參爭點整理表原證一六 0Hammond報告附件10A)。被告在本案中主張WCVD製程中矽甲烷之轉化率達 70% ,與半導體產業之實務悖離,且無任何根據。 被告另指Hammod博士於其報告第二十六頁第五點中陳述輔助管線中含有矽- 氫鍵的的自由分子或粒子會被針孔進入的空氣持續氧化,故不具自燃性,然 他方面又認為次主管中之大量空氣不會使包覆在粉末中矽-氫鍵氧化係自相 矛盾云云,惟查被告之指摘並非正確。首按,Hammond博士從未否認輔助管 線內之粉末在火災發生前可能存在未經反應之矽甲烷(參Hammod報告第二十 六頁第三點),只是由粉末分析結果可知其中矽含量極低。再者,前述「自 由分子」係指未被氧化層包覆之矽甲烷,故會進行氧化作用。而「粒子」則 指被氧化層包覆之矽-氫鍵,其之所以仍會氧化,係因輔助管線中之水氣與 六氟化鎢反應,所產生之反應熱將促使部分被包覆之矽-氫鍵氧化。反之, 次主管中黃色粉末極少,故幾乎無此種放熱反應之情形,故Hammond博士於 其報告第四十頁第5.0章節中說明,次主管是處於室溫狀態,已被包覆之矽- 氫鍵在鈍化氧化層因擾動而被破壞前,不會因空氣存在而氧化。故Hammond 博士之報告並無被告所稱前後矛盾之情形。」,由於引燃物質為包覆、吸附 矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣之廢氣粉末,而非單純氣體,因此沒有辦法像 氣體一樣界定其最低燃燒界限,然此廢氣粉末具有不可預測之自燃性與可燃 性在前述所引用文獻中均已述及 (參爭點整理表原證六十二至六十四、七十 四至七十六)。就可以查到的矽甲烷衍生物之相關資料,顯示其最低燃燒界 限係低於矽甲烷的。舉例而言,二矽甲烷 (Si2H6)在空氣中之最低燃燒界限 為0.2%(參爭點整理表原證一四九),有關三矽甲烷 (Si3H8)之物質安全資 料表記載:「相較於矽甲烷與二矽甲烷,三矽甲烷在室溫與大氣壓下具有較 不安定之化學性質」 (爭點整理表原證七十七)。故被告主張必須矽甲烷濃 度達於4.5%才能自燃,並不適用於本案之情形。被告另又以含矽甲烷之廢 氣既經氮氣稀釋,則如該等廢氣被吸附,應是連同氮氣等其他氣體一起被吸 附,而非僅吸附矽甲烷,故被吸附之矽甲烷濃度顯然不足以引燃云云。惟查 ,被告所辯忽略前揭參考文獻所述之吸附、包覆矽甲烷及矽甲烷衍生物之機 制,如被告所辯為真,則不啻係謂所有CVD之廢氣粉末均不具有火災危險, 此與半導體產業所共知之現象完全相左。 4、天和人員之換管工作對次主管中堆積之粉末構成了機械性擾動。火災引燃時 ,天和之工作人員係在二處次主管工作: (1)依據相關參考文獻(參爭點整理表原證六十二及六十三)及製造商警語( 爭點整理表原證六十一),具自燃性及可燃性之粉末,在受到機械性擾動 時,如同時存在空氣,即會引燃。所謂「機械性擾動」,係指任何會造成 粉末暴露新表面於空氣中之動作,包含敲擊、刮擦、氣流等。因此,天和 公司在火災之前及當時之施工,包括對管身的鑿、刮、鋸、鎚、熱熔及自 維修口引進之氣流等,均足以構成符合前述定義之機械性擾動。前述所謂 「氣流」,於爭點整理表原證六十三Creighton文章中係指因維修打開管 線所造成之氣流改變,蓋次主管內平日正常的氣流是持續穩定而無重大改 變,火災當天所切開之維修口,使大量空氣進入次主管,改變管內之氣流 ,被告專家亦持相同意見(爭點整理表原證一七四、爭點整理表原證一三 八)。至於自輔助管線裂痕進入次主管之空氣,對於次主管內之氣流幾乎 沒有影響,蓋氣流之改變與單位流量有關,與進入之空氣總量無關,故裂 痕之長短只會影響進入空氣的總量,而對單位流量無重要影響。」 (2)依據Crawford訪談紀錄,兩次火災發生之時及之前,天和工人均持續在該 二處次主管進行施工。天和公司在火災當天上午進行管線拆除工作,下午 則陸續以熱熔槍進行接管工作。在撲滅下午三點區域之火災後,天和工人 並置換因火災受損之十二吋次主管,在完成十二吋次主管之換管工作後, 又繼續進行在十八吋次主管之換管工作(爭點整理表原證七十九)。由原 告火災調查專家於火災現場所拍攝到十八吋次主管上第三個WCVD輔助管線 接口處熱熔接進行到一半,並留下未切斷的焊條,可知天和工人於火災前 在次主管上之施工是持續進行的(爭點整理表原證一七一)。」而在此期 間,空氣即不斷自維修口進入,此等施工動作及維修口引進之氣流在在均 構成對於次主管中具可燃性及自燃性粉末之機械性擾動。被告專家 Robbins的初步報告與上述Crawford訪談紀錄及原告所主張火災原因相一 致,茲摘要如下(爭點整理表原證五十一): a、一九九七年十月三日承包商天和及其員工開始移除輔助管線,並使用電 鋸,重新配管時則使用聚丙烯熱熔接方法。 b、下午三點左右承包商正在將更換管線連接至二條次主管時,一名工人發 現,其中一條次主管著火。工人們以手提式滅火器滅火。 c、火被撲滅後,該次主管及某些連接管被發現有變形及燒穿現象。天和工 人拆下被火損壞的次主管,裝上一條新管,並重新連接洗滌器管線。在 即將完工時,又發現第二次火災。 d、第二次火災發現處在發生三點火災的次主管旁的一條次主管,亦即當天 工人施工的二根次主管之一。 e、火災發生在承包商當天施工的二處管段,於此情況下,起火原因可能與 他們的施工有關。 f、另有證據顯示第一次火災的次主管內亦有粉末存在。我(按即Robbins )認為起火原因很可能與此等沉積物有關。 (2)被告無視於其專家之初步報告,於本案中一再質疑,本案之機械性擾動僅 限於當日早上十一點天和卸下輔助管線之時,為何當時未發生火災,而在 下午三點及五點半才發現火災?被告此一答辯有二個重大錯誤,第一,本 案之機械性擾動因工人持續施作而在火災發生前持續存在,並不限於早上 移除管線之施工動作,第二,此種具自燃性及可燃性廢氣粉末之引燃,並 不必然會立即發生於廢氣粉末被擾動當時,茲說明如下: a、次主管內之廢氣粉末中,吸附了包含矽甲烷及其衍生物(聚矽烷,可能 也有聚矽氧烷)等各種已知具有可燃性與自燃性物質,已如前述。 Creighton在其所著標題為「More on Reactions of Exhaust Deposits Formed Silicon Deposition Tools」之文章中指出(爭點整理表原證 六十三第三段):「視溫度、壓力、反應氣體、操作流速與製程配方的 不同,副產物之反應性將會隨之改變。惟縱使副產物之反應性與反應量 會因機台之系統及製程不同而不同,其反應機制卻是相當一致的,‧‧ ‧,亦即均由暴露於空氣中開始。自暴露於空氣後,視副產物類型與燃 料所在之位置,將有可能引發一連串劇烈的化學反應」。因此,當廢氣 粉末受擾動,且暴露於空氣中時,廢氣粉末中未氧化之矽-矽鍵及矽-氫 鍵即會開始氧化作用。如果在局部區域有足夠的自燃性物質,如矽甲烷 衍生物,即可能產生小氣爆 ("pop")而開始燃燒過程,由於副廠區內經 常存在噪音干擾,此種小氣爆未必會被察覺。當只有少量的廢氣粉末被 擾動時,其氧化作用一開始是緩慢進行,因此不會立即起火,因為單位 能量尚不足以將局部溫度提升至適當的燃點。但當局部氧化增加使溫度 被提升至適宜的燃點時(且存在燃料及空氣),即會引燃。一旦被引燃 ,起火燃燒所形成之壓力將持續使更多尚未反應的粉末暴露於空氣中, 火就會擴散,在此期間,由於次主管係處於負壓狀態,因此,易燃粉末 之持續氧化作用不會有異味或煙被察覺。本案中被告專家於其九十二年 十月二十一日火災原因簡報中亦承認此類廢氣粉末:「反應可能會釋出 熱,可能由完全沒有熱至非常大量的熱」(爭點整理表原證一七二), 以及被告專家Robbins於其火災原因報告中亦肯認矽甲烷氧化作用之進 行會釋放出熱而不會有火的現象(爭點整理表原證一七三)。由上述對 於管內廢氣粉末引燃的過程之說明可知,火災的引燃並不必然立即發生 或被發現於機械性擾動的時點,此由Creighton文章中描述聚矽甲烷及 可能存在之聚矽氧烷之氧化,不一定會產生肉眼可見的火焰即知(爭點 整理表原證六十三、六十四)。被告專家質疑本案次主管中之粉末堆積 只有薄薄一層,任何氧化作用所生的熱,均將因管內氣流以及PP管壁吸 熱而很快散熱,無法累積。惟原告專家Hammond博士已說明,化學反應 是一個分子一個分子進行的,固體中的熱傳遞是一個原子一個原子進行 ,在原子、分子的世界裡,一毫米厚度的粉末至少是一百萬倍於一個原 子的大小,因此不論是管內氣流以及PP管壁吸熱,對於粉末中所進行之 氧化反應均無影響。被告稱本案廢氣管內之粉末如果不是立即引燃,就 應該不會引燃,並無任何依據,相反的,爭點整理表原證六十三Creig ton文章第二頁第四段已清楚描述:「維修工作涉及打開廢氣管而引入 空氣,移去廢氣原件以進行清潔或修理。當暴露於空氣時,反應之程序 各不相同...這些活動將使下面的物質暴露於空氣中的濕氣,最終導 致一個劇烈的反應,例如一個閃火、火焰或爆炸。」Ham ond博士於庭 訊時乃引用上述文章說明:廢氣粉末從被擾動開始至引燃間之時間,可 以是長的,也可能是短的,其中牽涉許多變數。原告專家Hammond並於 其簡報中指出,其個人亦曾親身經歷廢氣物質被擾動相當長的時間後才 發現火災之情形。總言之,一旦在有空氣的情況下發生機械性擾動,廢 氣粉末中之具自燃性及易燃之物質即會開始氧化,但此不必然表示立刻 會有火焰的燃燒;開始燃燒必須引燃來源、空氣及燃料等條件均具備始 可。 b、在本案中,下午三點及下午五點半之火災被發現前,天和施工所造成之 擾動係持續發生,任何擾動均可能使廢氣粉末開始氧化作用,而導致引 燃火災,故其實際引燃之時間事實上無從得知。就本案於下午五點半發 現之火災而言,原告專家已說明在火災被發現前,其已在十八吋次主管 內引燃相當之時間而未被發現,被告初始否認此一結論,但現已同意之 。上述情形正印證擾動之時點不必然是引燃及發現火災之時間。被告以 相關文獻及原告專家提及矽甲烷會「瞬間引燃」 ("spontaneous ignition"),企圖駁斥原告專家之上述主張,惟「瞬間引燃」係用來描 述自燃性物質之引燃無須外在之刺激,而非可將之等同於「立刻引燃」 ,其間之差異不可不辨。 Tamanini文章中所說明之遲延引燃,係在描述矽甲烷自鋼瓶洩漏暴露於 空氣中,可能會有遲延引燃之現象,與本案中具自燃性粉末之引燃機制 完全不同,原告最初引用Tamanini的文章只是為了說明矽甲烷反應之不 可預測性,以反駁被告專家Robbins有關「所有的矽甲烷都會與進入輔 助管線中的空氣立即反應,因而不會在粉末中留下任何矽甲烷」之說詞 。故被告繼而引用Tamanini的文章試圖主張矽甲烷遲延引燃僅係數十秒 之時間,實與本案無任何關連性。 c、被告試圖以原告引燃機制無法確定實際引燃時間,而其可以自WSix機台 之操作時間推估第二次火災引燃之時間,作為其引燃機制較具可信度之 基礎。姑不論被告所主張引燃機制之條件並不存在於本案中,依據被告 提出之引燃機制(DCS +ClF3),此種火災在被發現前已燃燒一個半小 時而未被發現,亦為不合理之結論。蓋其引燃機制乃二種會互相反應之 氣體ClF3與DCS持續流入次主管中混合燃燒,此種氣體燃燒速率極快, 且有強烈異味,故實不可能在聚丙烯管內悶燒超過一個多小時而不被發 現。事實上,被告專家於其火災原因報告中已確認「在三點到五點半火 災之間,並無任何人聞到味道或看見煙霧」(參爭點整理表原證一三0 ),且確認「在塑膠材料中燃燒的火,如聚丙烯,不會悶燒」,並認為 「這火災不可能在聚丙烯管排氣系統中持續兩個半小時而沒有人注意到 」(參爭點整理表原證一一二)。查被告先係主張WSix機台操作至下午 5:03,後又主張係至下午4:39,現為配合此機台操作紀錄,乃反於其先 前「火災不可能在聚丙管中悶燒而不被發現」之主張,而改口稱火災引 燃時間係在四點到五點之間。惟此項假設完全沒有根據,僅係被告為符 合WSix機台操作時間所提出之說詞。相反的,原告所主張引燃機制,則 涉及易燃之廢氣粉末逐漸開始氧化反應成長為火苗,因此延長了火焰從 引燃到被發現間之時間。 5、從WCVD維修口進入之空氣與火災之關連性: (1)從WCVD維修口進入之空氣改變管線內之氣流方式: 於天和移除輔助管線之前,WCVD與WSix之廢氣均排入相同之次主管,在十 二吋次主管中,WSix廢氣管線位於WCVD管線之上游,故部分被吹送到下游 之WSix粉末會與WCVD粉末相混合(參爭點整理表原證一三九);WSix與 WCVD廢氣管線在十八吋次主管中則係交錯連接於同一管段(參爭點整理表 原證一四0),加以在天和移除輔助管線之前,次主管內之WCVD廢氣(粉 末)會有回流之現象,故二根次主管內之WCVD與WSix之廢氣粉末係混在一 起的(參陳郁文教授九十一年十二月十日實驗錄影帶,該實驗係按聯瑞晶 圓廠管線配置比例縮小製作,被告所使用模型則與聯瑞晶圓廠管線大小不 符)。兩造亦均同意,該等混合之粉末具有可燃性與自燃性。於天和移除 輔助管線之後,自維修口進入之空氣,使得回流現象更為顯著(參陳郁文 教授九十一年七月二十九日實驗錄影帶,被告所作實驗未包含此部分)。 此種氣流流動方式之改變及氣體流速之增加,構成對次主管內粉末之機械 性擾動。此外,被告專家陳政任副教授在其發表之文章中亦指出:經由維 修口進入的空氣導致次主管內氣流的停滯,因而引燃火災,且建議如施工 時能在維修口上覆蓋暫時檔板,即可避免該次火災(參爭點整理表原證一 三八及原證五十二)。足見陳政任副教授亦認為,天和施工時由維修孔進 入次主管之氣流,確實對次主管內之氣流造成重大的影響,而此影響更導 致了火災之發生。 (2)從WCVD維修口進入之空氣,提供火災燃燒所需之氧氣: 在天和工人打開次主管前,次主管內之空氣非常有限,因此,自維修口引 進的空氣,也提供了火災燃燒所需要的氧氣。被告辯稱在天和打開WCVD維 修口前,已有相當多空氣(80~97%)存在於次主管內,故打開維修口與火 災之發生無關云云。姑不論被告在此答辯中完全忽略打開維修口對管內氣 流之影響,單就空氣量而言,被告之主張即有明顯之錯誤。查被告前所主 張之空氣來源,其中有關Centrotherm外櫃抽氣及一般氮氣之部分,現被 告已經承認並非次主管內之空氣來源。至於被告所主張Centrotherm之壓 縮空氣、穿孔及空氣稀釋管、以及Iwatani外櫃抽氣,為大量空氣來源乙 節,亦均非正確:就Centrotherm之部分,爭點整理表原證八十五照片顯 示,Centrotherm機台上覆蓋於空氣稀釋管開口上之碟片,將使所有的空 氣無法進入次主管中,爭點整理表原證八十四之一Centrotherm操 作手 冊顯示壓縮空氣並未排放至次主管中,爭點整理表原證八十四照片顯示聯 瑞晶圓廠之Centrotherm機器內部之穿孔已由鋼圈所包覆,故不會有空氣 由穿孔流入次主管中。 甚者,被告主張該等空氣來源之總量早已超過Centrotherm操作手冊中所 載清潔氣體管線之最大流量500 slm,由是可知,被告專家所主張次主管 中存在大量空氣,實屬誇大不實。至於Iwatani外櫃抽氣之部分,被告並 無法說明同樣是外櫃抽氣,為何Centrotherm之外櫃抽氣連接至一般廢氣 管,而Iwatani外櫃抽氣卻連接至系爭毒酸廢氣管,且就Iwatani是否連接 至十二吋次主管,聯電人員表示無法確認(參爭點整理表原證一00)。 6、天和施工確實導致本案火災之發生: 綜上所述,天和公司於置換輔助管線時,擾動了次主管線內具自燃性及易燃 性之WCVD粉末,且從維修孔引進空氣,致使粉末中之具自燃性及易燃性之物 質暴露於空氣中,而引燃火災。事實上,認為天和之施工與本案火災具有關 連性,並非原告單方面之主張,除前述被告專家Robbins的初步報告 (爭點 整理表原證五十一)外;陳政任副教授所發表有關本案火災原因之文章,認 為天和公司之施工導致次主管線內空氣流動方式產生變化,為三點火災起火 之原因(爭點整理表原證五十二、原證一三八),且認為矽甲烷與氫氣非常 可能係五點三十分火災的引燃來源 (參爭點整理表原證五十二)。今其臨訟 變更先前對火災原因之認定,顯屬偏頗之詞,而不足採。系爭工程險保單之 再保險公司,瑞士再保與慕尼黑再保之人員,於1999年所發表之報告「建造 與營運中之半導體廠之保險」 (爭點整理表原證一一一),將聯瑞晶圓廠火 災中之事件描述為「於維修過程中在聚丙烯管發生之火災,沿著廢氣系統延 燒至其他區域」 (爭點整理表原證一一一)。相反地,該份報告完全未提到 與被告引燃機制有關之WSix機台之操作。 另依內政部報告所載,「本案研判由於廢氣處理過程中發生異常,而在產生 酸毒廢氣管道內殘留多種自燃 (或可燃)性廢氣與空氣反應造成起火之可能 性較大。」(爭點整理表原證五十三)此正與原告所提出Centrotherm洗滌 器之操作跳機至輔助模式,致使矽甲烷、矽甲烷衍生物與氫氣累積於廢氣管 線之粉末中,因天和施工擾動而釋出,並與施工所引入之空氣反應起火之主 張相一致。工研院的資料庫所載災例描述「承包商於Sub Fab更換管路」、 「使用電子式加熱槍導致火災」、「初期以滅火器滅火」、「在二小時半後 廠內其他管路發現火苗引起全廠延燒」,在在均與本案事實完全相同,並認 定火災原因是承包商施工方式不當所致(爭點整理表原證五十四)。不論該 災例係工研院自己之分析結果抑或係其他顧問公司所提供而經工研院審核認 可登載於其資料庫中,均足以佐證天和工人施工與本案火災發生之關連性。 (二)被告所主張之WSix機台之廢氣(ClF3及DCS)引燃機制事實上無法成立,故非 造成本案火災之原因: 被告所主張之引燃機制,必須同時存在下列條件始可能成立:(1)WSix機台在 火災發生時同時排放出DCS與ClF3,(2)DCS與ClF3均未經洗滌,(3)DCS與ClF3 濃度均達於3%以上(上述氣體濃度係以在沒有水氣的環境下為前提,蓋ClF3也 會與水氣反應)。缺少上述任何一條件,被告主張之引燃機制即不可能成立。 經查,上述引燃機制所需之條件在本案均不存在,茲說明如後: 1、下午三點發現之火災: (1)依據被告所主張之起火機制,下午三點發現之火災係WSix01機台所釋放出 之DCS與Iwatani清潔管線所排出ClF3所引燃,惟查,根據WSix01之操作記 錄顯示,WSix01機台於二點零三分至三點五十三分之間係處於監控 (Monitor)階段。按監控階段的大部分時間都用於測量(校正),故僅會 在監控階段之初期,使用製程配方中一個循環的製程氣體。因此,在三點 火災發生時,WSix01機台並無DCS釋出,從而被告所稱之起火原因根本不 可能成立。其次,被告主張之引燃機制要成立,尚須有未經洗滌之ClF3自 Iwatani清潔氣體管線流入次主管內與DCS接觸引燃。然查,聯電已確認 Iwatani機台在當天運轉正常 (參爭點整理表原證一00),故縱有任何 ClF3自WSix01機台流出,亦均已被洗滌。查被告在初始提出此一引燃機制 時,對於ClF3是否經過洗滌並不確定(參被告九十一年十月二十一日火災 原因簡報第三十六頁)。之後,又宣稱該Iwatani清潔氣體管線有燒穿現 象為ClF3未經洗滌之確切證據云云,顯屬狡辯之詞。事實上,並無任何文獻顯示可單以「燒穿」作為起火點判斷之依據,相反 的,美國火災防護協會(NFPA)手冊中已明揭,燃燒最嚴重之處未必為起 火點 (參爭點整理表原證九十四、九十五及九十六)。 且查,該處燒穿實乃係因鄰近該處之次主管管段有較多之粉末堆積(較多 燃料),因燃燒而釋放較多熱量,故使小管徑、管壁較薄之Iwatani清潔 氣體管線燒穿,此並不能作為ClF3未經洗滌之證明,否則,該管段第七個 清潔氣體管線洞口附近之管段已受熱變形(參爭點整理表原證一三九附圖 及照片),被告何以未認定該處之連接管始為起火點?由是可知,被告企 圖以管線燒穿作為ClF3未經洗滌之證明,殊無足採。被告另主張Iwatani 過濾器之安全連鎖裝置被切斷,作為Iwatani機台未送出運作不正常之訊 號之理由,惟被告並未證明安全連鎖裝置對警報有何影響,且亦未提出任 何證據來證明安全連鎖裝置被切斷,及何時被切斷,而僅空言臆測 Iwatani 未正常運作,殊無足採。 (2)退萬步言,縱令ClF3未經洗滌,依被告之主張,DCS及ClF3濃度必須均大 於其最低燃燒界限,即0.3%,才能立即引火燃燒。然查,被告有關此二氣 體之廢氣濃度係以10%消耗率為計算基礎,算出DCS濃度為0.451%,ClF3濃 度為0.302%。然被告假設ClF3在反應室中僅消耗10%,係明顯低估。由於 ClF3係極活躍之反應氣體,如過量使用,可能對反應室內部之零組件造成 侵蝕,故實務上使用ClF3作為清潔反應室之氣體時,只使用必要之量。就 此,半導體協會Sematech之文獻指出,ClF3會在反應室中消耗掉(參爭點 整理表證一五0),另一文獻亦描述:「ClF3...在受熱後很容易反應 ,而可在CVD反應室清潔程序中被百分之百地利用。」(參爭點整理表證 一五一)。雖然聯瑞晶圓廠WSix機台所使用ClF3具體之消耗率無從得知, 然依據ClF3之特性及上述參考文獻,原告專家Hammond博士基於其多年之 CVD經驗認定,百分之七十至九十之消耗率是合理的推斷。假設ClF3之消 耗率為百分之七十五,依據被告之計算方式,從反應室排出之ClF3濃度僅 為0.095%,再考量與廢氣管道中之其他物質反應之因素,ClF3在進入次主 管前之濃度應遠低於0.3%。且據被告之管線配置主張,Iwatani機台之 ClF3連接管於十二吋次主管係緊鄰Iwatani外櫃抽氣連接管,每分鐘會吸 入3723公升之空氣,故任何自該連接管排出之ClF3,會立刻被來自外櫃抽 氣之空氣大量稀釋,更不可能達到0.3%之濃度。末查,次主管內通常有水 氣存在,因ClF3也會與水氣反應,故次主管內ClF3之濃度必須高於0.3%始 有足夠濃度與管線內之DCS立刻瞬間引燃。 綜上所述,ClF3在次主管內之濃度絕不可能達到其最低燃燒界限所需0.3% 之濃度。 2、下午五點半發現之火災: 下午五點半發現之火災係發生於十八吋次主管中,依據被告所提出之管線配 置圖,ClF3係排放至十二吋次主管中,十八吋次主管並無ClF3連接管。被告 不查此事實,於九十一年十月二十一日提出其引燃機制時,主張第一次火災 之後,聯瑞將DCS及ClF3排放到同一根手動分流管(參被告當日火災原因簡 報第三十九頁),經原告指出被告主張與其先前所提出關於火災當天廢氣改 排情況之示意圖(參爭點整理表原證八十八)自相矛盾時,其又改稱DCS係 以手動分流管及ClF3係以暫時管改排至十八吋次主管。惟此項說法仍與事實 不符。首按聯電已確認ClF3並無輔助管線(分流管)(參爭點整理表原證一 00)。亦即,在原始設計上,ClF3必須經過洗滌方能排入廢氣管線中,故 聯瑞不可能在第一次火災發生後以手動分流管或暫時管將未經洗滌之ClF3改 排至十八吋管。此外,聯電也確認在第一次火災發生之後,聯瑞並未將WSix 廢氣 (包括DCS與ClF3)改排至手動分流管 (參爭點整理表原證一00)。 故ClF3自始即不存在十八吋次主管中,以及DCS並未改排至手動分流管之事 實,至為灼然。是以,該二氣體根本不可能在十八吋次主管內有相遇之機會 ,遑論發生被告所稱之引燃機制。抑有進者,聯瑞在第一次火災後已決定移 除十二吋次主管,並關閉WSix機台(參爭點整理表原證一00及爭點整理表 原證一一五)。原告火災調查專家之訪談記錄確認,聯電經理房眉生於第一 次火災發生後即指示工程師鄭水松立即關閉WSix機台(爭點整理表原證一七 六),就此被告專家於開庭時亦為相同之證述。因此,聯瑞既已決定關閉機 台,故其並無理由或動機要求天和公司安裝一暫時管連接到十八吋次主管, 以排放ClF3。且被告專家Robbins於其火災原因簡報中所列第一次火災後天 和工人施工情形,包含置換受損之十二吋次主管及連接其上之十五根輔助管 線,完全未提及有暫時管之連接(爭點整理表原證一七七),亦未提出任何 暫時管之照片,天和工人莊枝來之訪談記錄亦顯示,其於第一次火災後,大 約等了一個小時才繼續進行換管工作(爭點整理表原證一七五),上述事證 在在顯示並無所謂暫時管之連接,故ClF3未排放至十八吋次主管。複按被告 主張暫時管係接入直徑八吋之DCS手動分流管,再排入十八吋次主管,而在 手動分流管與十八吋次主管之連接口起火燃燒,惟查,依據被告「理論」, DCS及ClF3混合氣體在八吋手動分流管中之濃度將最高,而應在該八吋管內 起火燃燒,而分進入十八吋次主管始燃燒,被告上述推論非但缺乏事實基礎 ,亦無任何科學上之依據,是ClF3不在可能是此次火災之原因,至為灼然。 另從WSix當天之生產記錄觀之,WSix02機台從下午三點二十二分,WSix01機 台從下午三點五十二分開始生產當日最後一批晶圓,而在分別產製十三片 (WSix02)及七片 (WSix01)晶圓後,因關機而停止生產。倘依據被告之主張 ,聯瑞係為多生產二十片晶圓而不顧工業安全,貿然以暫時管將未經洗滌之 極度危險氣體以暫時管排入廢氣管線中,其不符合經驗法則,至為灼然。顯 然被告在聽取原告專家九十一年十二月九日之火災原因簡報後,試圖要求聯 電確認DCS及ClF3在第一次火災之後被排入十八吋次主管,然而聯電已拒絕 確認此為事實(參被證四之一第8點)。 查通常生產二十五片晶圓約需五十到六十分鐘,據此估算火災當日聯瑞WSix 機台關機之時間約在下午四點左右。聯瑞的氣體監控記錄亦可佐證上述估算 之正確性。按火災當天矽甲烷偵測器曾分別在15:59:18與16:00:56偵測到副 廠區鄰近十二吋次主管之28X5與28Y2柱位附近有氣體洩漏的現象。偵測器在 16:07:00左右回復正常狀態(參爭點整理表原證一一四)。上開偵測到洩漏 的時間,與十二吋次主管移除之時間相符。根據聯電工程師告知,這些警報 器係以偵測H離子來測漏(爭點整理表原證一五二)。因此,此等警報器除 矽甲烷外,亦可偵測到DCS。此警報器之啟動,非常可能是十二吋次主管被 移除後,DCS逸出之故。果如被告主張,DCS在第一次火災後已經由手動分流 管線導入十八吋次主管,則上述警報器根本不會被啟動。被告主張該矽甲烷 偵測器係以偵測二氧化矽微粒方式測漏,並非事實。由上述氣體偵測資料可 合理推論WSix氣體被關掉的時間約在下午四點左右。被告先後提出二份WSix 生產記錄,其中一份顯示二機台停止時間下午五點零三分,而另一份則顯示 停止時間為下午四點三十九分。被告並未解釋此何以同一機台卻有二個不同 的關閉時間。但可以確定的是,此二時間點均非反應氣體實際被關閉之時間 ,否則為何生產二十五片晶圓只需五十到六十分鐘,而生產七片及十三片晶 圓竟需要一個多小時? 準此,可確認WSix機台係約在下午四點左右即被關閉,從而此後即無廢氣Cl F3與DCS等氣體流出。倘果真係WSix機台所持續流出ClF3與DCS氣體相互作用 而燃燒,因此種氣體燃燒之速率極快,且有強烈異味,根本不可能在聚丙烯 管內悶燒超過一個半小時而不被發現。被告專家於其火災原因報告中已確認 「在三點到五點半火災之間,並無任何人聞到味道或看見煙霧」(參爭點整 理表原證一三0),且確認「在塑膠材料中燃燒的火,如聚丙烯,不會悶燒 」,並認為「這火災不可能在聚丙烯管排氣系統中持續兩個半小時而沒有人 注意到」(參爭點整理表原證一一二)。事實上,正如前所述,ClF3早已被 Iwatani洗滌,且根本未排入十八吋次主管線。退萬步言,ClF3縱未經洗滌 ,其濃度亦遠低於引燃所需之0.3%之最低燃燒界限。 綜右,下午五點半發生之火災不可能是WSix機台廢氣所引起。陳政任副教授 於其文章中,論及此火災之起火原因時,亦認為第二次火災起火源很可能係 由矽甲烷與氫氣所引燃。而此正與原告之主張一致 (參爭點整理表原證五十 二)。 (三)聯瑞火災之起火點: 1、下午三點發現之火災起火點: 本次火災發生於十二吋次主管內,該次主管自WCVD第四個輔助管線至WSix端 均有大量粉末堆積及燃燒之痕跡。根據原告專家所研判本案火災之引燃機制 ,係源於天和換管施工所造成之機械性擾動,引燃WCVD端第四個輔助管線附 近所累積具有可燃性及自燃性之粉末。由於WSix端亦存在有易燃粉末,提供 了足量燃料,使得火勢自WCVD端向上游燃燒至WSix端(參爭點整理表原證一 三九號示意圖及照片)。被告則主張本次火災之起火點為WSix之Iwatani ClF3連接管云云。然查,其主張之引燃機制所必須之ClF3並不存在,已如前 述,故該起火點之判斷顯然錯誤。另被告以Iwatani ClF3連接管已被燒穿, 作為認定本次火災起火點之依據。惟如前所述,NFPA已明揭,燃燒最嚴重之 處未必為起火點 (參爭點整理表原證九十四、九十五及九十六)。倘被告之 「燒穿理論」為正確,則為何十八吋次主管有多個管線被燒穿(爭點整理表 原證一四一),但被告主張為起火點之手動分流管反而未有燒穿之現象?由 是可見,被告以是否燒穿作為判定起火點之依據,顯屬無稽。 被告一再以原告專家陳郁文教授之鑑定報告將十二吋管之WSix端誤以為係起 火點,試圖以此駁斥原告對起火原因分析之正確性,惟查,本件次主管中之 WCVD及WSix廢氣粉末成分均係以矽-氫鍵為主要化學成分,燃燒後均生成二 氧化矽,故無法單從十二吋次主管內燃燒之情形遽為判斷起火點,而必須回 歸本案相關事實及引燃機制作綜合判斷。陳教授於該報告中對於火災引燃機 制已清楚說明係由於管線中具自燃性及易燃性粉末受擾動而引起,故上述錯 誤並不影響原告對於火災原因認定之正確性。 2、下午五點半發現之火災起火點: 本次火災係發生於十八吋次主管內,該次主管內有大量粉末堆積及燃燒之痕 跡。由於WCVD及WSix廢氣管線係交錯連接在十八吋次主管上,故天和之施工 同時擾動累積其內之WCVD及WSix製程廢氣物質(爭點整理表原證一四0示意 圖及照片),而終致引燃該等廢氣物質。被告主張起火點為DCS之手動分流 管,然而聯電工程師已證實DCS並未被改排至手動分流管(參爭點整理表原 證一00)。且被告所主張之引燃機制所必須之DCS及ClF3在此次火災發生 當時均不存在於此次主管中,故其起火點之判斷顯屬錯誤。 綜上,本案火災均係由天和工人於施作換管時所發現,並均發生於施作中之 十二吋及十八吋次主管,該等起火燃燒之次主管內均存在大量粉末堆積,為 兩造所不爭之事實。再參照兩造所主張之引燃機制可合理判斷,本件火災之 發生確實與天和公司施作換管工作有關。 (B)法律部分: 一、先位聲明部分: (一)本件聯瑞公司系爭晶圓廠為被告中央產險、富邦產險及新光產險等三家保險公 司出具之商業財產險保險單下之投保處所,而原告則為系爭商業財產險保險單 之再保險人(原證一號)。按系爭晶圓廠於八十六年十月三日火災發生當時, 晶圓廠內已有部分工程已經完工並處於投片試生產階段,同時亦有部分工程尚 在進行中。聯瑞公司針對建廠工程所投保之安裝工程綜合險(保險人為中央產 險及富邦產險;原證三號),適用於因施工對晶圓廠之財產及設備所造成之一 切損失。依聯瑞、聯電與安裝險共保人所簽訂之安裝工程綜合險基本條款第四 條之規定,安裝工程綜合險共保人之保險責任自保險標的在保險期間內,經卸 置於施工處所後開始,至定作人接收時或至第一次試車或負荷試驗完畢時終止 。此時相關之機器、設備即進入商業財產險之保險範圍。然該安裝工程綜合險 尚加保004條款,亦即:「本保險單承保工程或其一部份自啟用、接管或驗收 之日起算十二個月為保固保險期間,並以較先者為準。本公司在該保固保險期 間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或滅失負賠償責任:被保險人因履行工 程合約之保固責任造成之意外事故。肇因於保險期間而在上述保固期間內發生 之意外事故。」換言之,004條款之適用,將延長安裝險保險人之保險責任, 而會發生同一保險標的同時為安裝工程綜合險及商業財產險所涵蓋之保險競合 之情形。 (二)次按,本件保險事故之發生經過略為:聯瑞於八十六年十月二日發現投保處所 一樓副廠區連接WCVD生產機台之廢氣處理系統Centrotherm洗滌器上之二吋聚 丙烯自動輔助管線(automatic bypass)之一有龜裂及滲漏現象,並有粉末散 布於龜裂的管線中,經聯瑞派人於該區域檢視後,發現四台處理WCVD廢氣之 Centrotherm洗滌器上之八根輔助管線均已破裂,因該管線原係由天和工程企 業有限公司(下稱「天和」)提供材料及人力為聯瑞投保處所施作,且管線材 料及施工均尚在保固期間內,故聯瑞遂要求天和派人於八十六年十月三日就前 開龜裂及滲漏之排氣管進行換管保固工作。天和委派之換管工人於十月三日進 行換管過程中,於下午三點左右,在輔助管線維修口處之十二吋次主管內發現 有著火情形,此火經工人迅速撲滅。在當天下午五點半左右,工人在輔助管線 所連接之十八吋次主管內發現有火,緊接者又發現有多處著火情形,經撲滅無 效,火災持續延燒,致造成重大損失。系爭火災發生後,原告委請專家就火災 發生之原因為調查,根據專家之鑑定報告,系爭輔助管線破裂乃肇因於天和派 遣之人員於初次安裝輔助管線時,即未正確地執行各個管線之熱熔接工程,而 在管線銜接處產生針孔\小細縫,使空氣經由管線之針孔\小細縫進入而與管 線中之六氟化鎢及矽甲烷進行反應,該等高放熱反應所形成之熱效應(詳見後 述「管裂原因」)造成管線在使用六個月後即告破裂。而當日火災之發生則係 因天和於八十六年十月三日進行輔助管線更換工程時,擾動管線內之易燃粉末 ,並使空氣自管線維修口進入次主管內,而致生火災(詳見後述「火災成因」 )。是可知,天和之換管工作係在進行保固工作,且該保固工作之施工為本件 火災發生原因,故此事故應為安裝工程綜合險所承保之範圍。 (三)原告於八十七年七月十三日依商業財產險保單規定給付商業財產險保險人七十 一億四千二百四十萬元時,並不知系爭損失肇因於天和之施作保固工作,而亦 應為安裝工程綜合險所承保之範圍,直至原證七號Lindsay Leveen Report 之 報告出爐,始知本件火災所導致之損失構成保險競合,故原告依比例應僅於二 十九億二千五百二十七萬九千四百三十三元之損失範圍內負有給付保險金之責 (詳後述)。 (四)查,民法第一百七十九條規定:「無法律上之原因而受利益,致他人受損害者 ,應返還其利益,雖有法律上之原因,而其後已不存在者,亦同。」本件原告 就系爭火災構成保險競合之部分,既僅在二十九億二千五百二十七萬九千四百 三十三元之範圍內負有給付保險金之義務,則就其溢付部分,原告自得依民法 第一百七十九條之規定請求中央、富邦、新光分別按承保比例返還其所受利益 。 (五)對被告抗辯所為之陳述: 1、原告同意給付保險金與本件商業財產險共保人以及兩造間之代位權讓與合約 書均不構成先位被告受領溢付保險金之法律上原因: (1)按因系爭火災事故所生毀損滅失確屬安裝工程綜合險004條款承保之範圍 ,因此就構成保險競合部分之損失,依保險契約之規定,原告(與商業財 產險共保人)及安裝工程綜合險共保人(與其再保人)均僅就其所保金額 負比例分擔之責,故經理算結果,原告依法依約僅於二十九億二千五百二 十七萬九千四百三十三元之損失範圍內負有給付保險金之責,合先敘明。 (2)因原告依保險契約之規定,僅於前開二十九億餘元之範圍內具有給付(再 )保險金之責,因此就原告溢付部分,被告等商業財產險共保人顯係無法 律上原因而受有該等溢付金額之利益,原告自得據不當得利之法律關係請 求被告等返還。被告等雖以本件商業財產險及其再保險之理賠金額均係經 原告同意後所為之給付,因此其受領實有法律上之原因云云為辯。惟查, 究竟受領人受有利益是否具有法律上之原因,應據客觀事實判斷,與給付 利益人及受領利益人主觀上並不知悉無法律上原因而為給付乙節,並不相 干,此觀民法第一百八十二條第一項規定:「不當得利之受領人,不知無 法律上之原因,而其所受之利益已不存在者,免負返還或償還價額之責任 」,足證主觀上之不知情,並不影響不當得利之構成,充其量僅係利益受 領人將來應返還之利益範圍之問題。是以,原告於確定本件事涉保險競合 及原告僅有比例負擔義務之前,因不知情而為七十一億四千二百四十萬元 之再保險給付,惟原告依約依法既只需賠償二十九億餘元,被告就原告溢 付部分仍屬「無法律上原因」而受利益,致原告受有損害,從而原告自仍 得就此溢付部分,請求被告等商業財產險共保人返還之。 (3)被告主張其等取得保險金之權利基礎乃代位權讓與合意書。然代位權讓與 合意書是否可認係被告取得保險金之權利基礎,應端視其內容定之。經查 代位權讓與合意書約定:「鑒於讓與人 (即商業財產險共保人中央、富邦 、新光等公司),前經受讓人 (即原告)同意並依其與讓與人間之再保險契 約理賠給付後,已按讓與人與聯瑞積體電路股份有限公司 (下稱「聯瑞」 )簽署之保單號碼為0904-86UA00001之保險契約規定,就聯瑞於八十六年 十月三日之火災事故,對聯瑞給付前項保險契約之理賠金額計新台幣 (下 同)七十六億八千萬元 (下稱「理賠金額」),讓與人於該理賠金額範圍內 ,已取得保險法所規定之代位權」等語,可得知此代位權讓與合意書僅係 重申保險法第五十三條之規定,並確認原告業已依再保險契約之約定給付 保險金之事實。由此可知,雙方並無於超過再保險契約之保險金給付義務 範圍外,另行創設新的權利義務關係之意思。易言之,被告等基於商業保 險再保險契約所得請求給付之保險金,並不會因代位權讓與合意書之簽訂 ,而有所變更。準此,被告執該「代位權讓與合意書」主張為其受有利益 之有法律上原因,顯有重大誤會。 2、原告給付商業財產險共保人之七十一億餘元,係依據再保險契約所為之保險 理賠給付,並非和解: (1)被告等引用原告與聯瑞公司於八十七年五月十四日協調會會議紀錄(見被 告等九十二年十一月三日民事辯論意旨續狀附件五),辯稱商業財產險共 保人根據原告磋商和解之結果,與聯瑞公司簽署和解契約,因此渠等受領 七十一億四千二百四十萬之再保險金,乃基於原告和解同意之結果,具有 法律上之原因云云。然查,保險公司關於保險金的理算及支付等程序,首 先係認定損害額並據以確定保險金之支付金額,嗣確認保險金請求文件備 齊後,即向被保險人說明並徵求其對保險金支付數額之同意,最後進入實 際支付保險金之程序(參袁宗蔚著「保險學」乙書第三三六頁以及長崎正 造及高木秀卓合著「產物保險讀本」乙書第七十三頁;原證五十號)。細 繹上開協調會會議紀錄,實係原告與聯瑞公司關於保險金之理賠及支付等 程序之協商紀錄,揆諸前開說明,此乃保險損失理算之必經過程,並非所 謂和解協議,至於被告引以辯稱為和解之記載,其中被告譯稱「陳哲宏律 師要求和解金額於 Che-Hung requested that full payment be made by the end of July 1998」,其正確中譯應為「陳哲宏律師要求全部金額於 前付清」,被告所譯另段記載稱「Mark Handy說他認為7月底前付清的目 標合理,但他不能保證,他同意將通知再保人有關利息(年利率10%)的 事情,並將用這點作為誘因要求再保人迅速和解」,其中最後乙句之原文 為「...and use this as an incentive to ask the market to settle quickly.」,其正確中譯文應為「並將用這點作為誘因要求再保 人迅速清償」,此外被告更故意將原意應為「陳哲宏律師…將向他的客戶 建議以重置成本接受請求之結算價值為新台幣七十六億八千萬」乙語( Chen Che-Hung...to recommend his client that they accept the sum of NT$7.68 billion as settlement value of claim on a reinstatement basis),誤翻為「陳哲宏律師...將向他的客戶建議 接受以新台幣七十八億六千萬元和解」云云,顯見被告上開辯解,顯係蓄 意摭拾上開協調會紀錄之片段記載加以訛譯,冀圖誤導鈞聽,誠不足取。 (2)退步言之,「民法第七百三十七條規定:和解有使當事人取得和解契約明 訂權利之效力。其中所謂使當事人取得和解契約訂明之權利,係指和解契 約所訂明之權利與和解成立前給付種類不同,或超過原來權利範圍之情形 而言,如當事人間之爭執,經和解成立,債務人應為給付之種類不變,僅 縮小其應給付之範圍者,此項未經拋棄之權利,仍為原來權利之存續,不 因和解成立而歸消滅,當事人非不得行使其和解成立前固有之權利。查上 訴人向被上訴人投保火災保險後,因保險標的物發生火災,乃依據保險契 約請求被上訴人理賠五百零四萬三千九百四十七元五角,經被上訴人同意 賠償其中三百四十五萬五千五百九十五元五角,已為上訴人接受,此為原 審認定之事實,倘謂此項當事人間之合意,係屬和解契約之性質,上訴人 對於超過三百四十五萬五千五百九十五元五角部分之權利,既經其和解時 所拋棄,故不得依據和解契約成立前之保險契約請求被上訴人履行,惟在 未超過三百四十五萬五千五百九十五元五角部分之權利,仍為原來權利之 存續,上訴人依據和解契約或和解前成立之保險契約請求被上訴人給付, 均無不可」(最高法院七十年台上字第一四零四號判決參照;原證五十一 號)。觀諸前揭協調會紀錄,可知在聯瑞公司同意部分拆除清理等費用不 列入之前提下,雙方合意最終之理賠總金額為新台幣七十六億八千萬元, 倘謂此項合意屬於和解性質,則揆諸前揭最高法院見解,當事人即聯瑞公 司、商業財產險共保人(即先位被告)與再保險人(即原告)於上開理賠 金額之範圍內之權利義務關係,仍為原保險契約(含再保險契約)權利義 務關係之存續,因此原告自得依據原保險契約即系爭商業財產險保單一般 條款(General Conditions)第十二條保險競合(Contribution)之規定 ,主張倘有其他保險承保同一財產或事故時,原告僅就所承保金額負比例 分擔之責(參見原證一號),並就被告所受領超過原告應分擔額度之保險 金,依關於不當得利之規定,請求被告等應返還其所溢領之保險金予原告 。乃被告等辯稱渠等受領再保險理賠為和解之結果,即有法律上之理由云 云,未免無稽。 3、安裝工程綜合險004條款適用於本件系爭火災保險事故: (1)被保險人天和公司置換管線乃是進行管線安裝工程合約下之保固工作:本 件安裝工程綜合險原僅承保安裝中之工程,直至工程完成試驗、負荷試驗 或經啟用後,即不再承保。惟本件聯瑞公司所投保之安裝工程綜合險另附 加004「擴大保固保險」特約條款,以增加承保之期間及範圍。該條規定 :「本保險單承保工程或其一部份自啟用、接管或驗收之日起算,十二個 月為保固保險期間,並以較先者為準。本公司(即安裝工程綜合險共保人 )在該保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或滅失負賠償責 任:一、被保險人因履行工程合約之保固責任造成之意外事故。二、肇因 於保險期間而在上述保固保險期間內發生之意外事故。」是依該條規定, 倘被保險人於十二個月保險保固期間內,因履行工程合約之保固責任而肇 致保險事故之發生,或因保險期間內之施工不良導致於保固保險期間發生 保險事故,就此所生毀損滅失,安裝工程綜合險保險人仍負給付保險金之 責。系爭安裝工程綜合險之被保險人乃「聯瑞積體電路股份有限公司及其 承包商、分包商及各次承包商」(原證三「被保險人」欄)。本件天和公 司承包聯瑞公司之製程排氣二次配(12K)配管工程,並負責提供所有排 氣管線,有天和公司與聯瑞公司所簽署之「製程排氣二次配(12K)配管 工程契約書」(原證十六號)可稽,是天和公司顯為系爭安裝工程險所指 之被保險人,此亦為被告所不爭之事實(詳被告答辯 (三)狀第二頁倒數 第四行),故本件兩造所爭執者乃天和公司於火災當時所進行之管線置換 是否為原合約下之保固工作,以及安裝工程綜合險004條款之保險保固期 間是否已開始等。為明晰計原告謹分述如下: a、系爭管線之破裂乃導因於天和公司之施工不當,因此天和公司之換管工 作為原合約下之保固工作(有關原告就「管裂原因」之技術爭點之完整 陳述請參見辯論意旨狀附件一)。 b、系爭火災事故發生於安裝工程綜合險另附加004「擴大保固保險」特約 條款所約定之保險保固期間: 系爭安裝工程綜合險附加004保固保險條款規定:「本保險單承保工程 或其一部份自啟用、接管或驗收之日起算12個月為保固保險期間,並以 較先者為準。本公司在該保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程之 毀損或滅失負賠償責任:被保險人因履行工程合約之保固責任造成之意 外事故。...」(原證三號)。按系爭輔助管線所屬之「製程排氣二 次(12K)配管工程」於八十五年十二月十五日起動工,而於系爭火災 發生日(八十六年十月三日)前,已完成部分配管工程並經聯瑞公司接 收啟用,為兩造所不爭執之事實,是該工程已進入系爭安裝工程綜合險 附加004保固保險條款所規定之「保險保固期間」而且尚未逾期,因此 系爭火災事故發生於系爭安裝工程綜合險附加004保固保險條款所規定 之保險保固期間,允無疑義。 c、天和公司之換管工作屬於安裝工程綜合險另附加004「擴大保固保險」 特約條款所規範之保固工作: (a)查民法四百九十三條第一項規定:「工作有瑕疵者,定作人得定相當 期限,請求承攬人修補之。」此外,系爭「工程契約書」(原證十六 號)第十四條第二項復規定:「...在保固期限內甲方如發現乙方 所使用材料粗劣而發生損壞、滲漏龜裂工作不良其他因素,甲方得立 即通知乙方,乙方應立即重新修改或補妥,其所需一切材料人工費用 及因此發生導致甲方之損害,概由乙方負擔賠償。」本件天和公司之 換管工作,實乃針對原先施工完成之管線因施工不良導致發生龜裂而 進行之修補工作,殆屬不爭,因此天和之換管工作應屬履行承攬人之 瑕疵擔保責任(民法第四百九十三條第一項規定參照)或工程契約所 約定之保固工作,允無疑義。被告對此辯稱該二次配管工程尚未經聯 瑞公司正式驗收,因此天和公司進行換管工作非屬履行保固責任云云 ,惟查,系爭安裝工程綜合險附加004保固保險條款既規定「保險保 固期間」自「本保險單承保工程或其一部份自啟用、接管或驗收之日 起算12個月為保固保險期間,並以較先者為準」,而非逕按工程保固 始期起算,則同條款所規定之「被保險人因履行工程合約之保固責任 」,應涵蓋承攬人於承保工程或其一部份經被保險人接管啟用後而未 最終驗收前所履行之瑕疵修繕責任,倘非為如此解釋,則系爭安裝工 程綜合險附加004保固保險特約條款將可能因承保工程已接管啟用而 開始起算保固保險期間,但因承保工程尚未驗收並進入保固期,並無 履行保固責任可言,而導致系爭特約條款自工程驗收後始有適用而造 成保險一度中斷,待驗收後始再進入承保範圍之不合理現象,並變相 縮短保險保固期間,甚或因保險保固之十二個月期間屆止時工程仍未 驗收而完全無法適用等相互扞格之狀況,此當非系爭安裝工程綜合險 附加004保固保險設計之原意。 (b)被告辯稱聯瑞公司委請天和公司於火災發生之際所換裝之聚丙烯管線 管壁規格為PN10級,壁厚5.3釐米,不同於原安裝之聚丙烯管管壁規 格PN2.5級,壁厚1.8厘米;且就此換管工程之進行,聯瑞公司與天和 公司均有意辦理工程款之追加,故天和公司之換管行為屬於原管線安 裝合約外之新工程,而非原合約下之保固工程云云。惟查,觀諸聯瑞 公司就更換管線之工作實際上並未與天和公司另行簽訂合約或給付任 何工程款予天和公司,故天和公司當時顯係履行瑕疵擔保責任或工程 保固工作。實則,聯瑞於系爭火災發生後,仍與天和公司結算並付清 未結工程款,倘果有何追加工程情事,雙方理應於會算時一併結算追 加工程項目,惟觀諸聯瑞與天和於八十七年四月十六日會算未付款之 會議中(原證四十四號),僅記載天和折讓三百餘萬工程款,卻未提 及有何額外工程必須追加工程款事宜,足堪證明被告等所謂天和與聯 瑞同意系爭換管工作為追加工程,及劉天和聲明書中所陳聯瑞應付工 程款之具體金額等云云,純屬臨訟杜撰,並非可信。事實上,聯瑞與 天和間就二次配管係分別簽署材料供應合約與勞務工程合約,變更管 壁厚度只涉及是否需追加管線材料費用之問題,並非謂管線之安裝有 何不同於原工程合約之新設計或新施工,因此管線更換規格乙事,並 不影響天和公司於火災當時進行之換管工作乃係履行原工程合約之瑕 疵擔保或保固責任。蓋系爭輔助管線所以需要置換,係因天和安裝管 線之初施工不當肇致管線破裂所致,該管線之更換既係為修改補妥因 天和公司之前施工不當所生之瑕疵,當然係屬原工程契約下之保固工 作。至於更換後之管線管壁增厚,係因聯瑞公司當時為儘快使晶圓廠 恢復運作,對管線所以破裂之原因不及細究,所以以增厚管壁之方式 希望得以解決管線破裂情事之再度發生,惟此與導致聯瑞公司要求天 和公司進行管線置換工作之原因事故無涉。 (c)系爭管線之破裂導因於天和公司之施工不當,殆屬事實,從而天和公 司更換管線之工作客觀上即屬於保固工作,有004條款之適用: 被告指稱天和公司於火災當日之施工究係履行保固責任抑或為新工作 ,完全取決於聯瑞之指示,及聯瑞與天和於工作當日意思表示所約定 之內容云云(見被告九十二年十月二十日民事辯論意旨狀第八頁倒數 第三行以下),不僅論理乏據,更悖離真相。謹按,解釋系爭安裝工 程綜合險(及附加條款)保單之適用暨決定其保險人責任,應以所發 生之保險事故是否為保單原所欲承保之風險範圍判斷之,而不應單以 工程合約當事人主觀認知為準,否則將使保險人之責任射倖於當事人 主觀認知之正確與否,當非保單原設計本意。被告等雖引用謝錦泉八 十六年十二月十六日聲明書以及八十九年八月十六日聲明書(被告所 呈附件十一),指稱聯瑞公司與天和公司均有意辦理工程款之追加, 故天和公司之換管行為屬於原管線安裝合約外之新工程,而非原合約 下之保固工程云云,惟對此原告業已指駁:聯瑞當時並不知管裂原因 為何,而且其當時對於管裂之真正原因乃天和公司施工不當乙事根本 毫無所悉,此觀被告所呈九十二年十月二十日辯論意旨狀(第五頁第 九行以下)自陳:聯瑞公司之工程師於陳述書中甚至以為天和公司已 正確安裝系爭輔助管線,並推測管裂係因機台所排放之具有腐蝕性廢 氣所造成(被告九十年十一月二十七日答辯五狀附證十),即堪明白 ;抑有進者,謝錦泉於被告所引八十七年十二月十六日聲明書中多次 稱天和公司已依合約正確安裝輔助管云云,足堪證明謝錦泉於出具該 八十六年十二月十六日之聲明書時,並不知悉天和公司就輔助管線之 安裝有施工瑕疵,因此其認為換管工作為新工作所本之前提事實顯非 正確,已然甚明,謝錦泉對此更曾於九十一年十二月五日以書面澄清 渠對於系爭管線破裂之真正原因未曾探究亦並不清楚(參原證四十九 號),可知謝錦泉所謂換管工作為追加工作云云,純因其對系爭管線 破裂肇因於天和施工不當乙事毫無所悉所致,因此謝錦泉上開八十六 年十二月十六日聲明書(被告所呈附件十一)所為陳述既與事實真相 不符,自無法為被告有利之證明,至為灼然。況被告主張系爭輔助管 線係受氟侵蝕所致,惟其所提被證二十六被告簡報第二十六、二十八 及二十九頁可知,氟僅在乾燥之環境下始會侵蝕PP管,縱有少量氟與 PP管反應,如未造成PP管明顯膨脹或重量損失,則PP管是可耐久的。 被告於其九十二年十一月三日辯論意旨續狀第四十頁第六(八)段中 已承認由於氟的濃度極低,本案PP管並無明顯膨脹之情形,則依被告 所提出之簡報資料可資判定被告所稱之氟存在並不足以造成本件輔助 管線之破裂。由此可知,對於管裂原因係因天和施工不當,而非被告 所稱之氟劣化所致,故天和火災當天換管工作為瑕疵修補工作,符合 安裝工程綜合險附加004擴大保固保險條款第一款之規定。 次按,本件天和於火災當日之所以必須換管工作,乃肇因於其就原管 線安裝有焊接不當之施工瑕疵,導致管線破裂,因而必須進行換管工 作,因此天和就原管線安裝之施工不當與系爭火災之發生,確有因果 關連,由於天和就系爭管線施工不當之行為,係發生於工程安裝險之 保險期間,並與保險保固期間所發生之系爭火災有因果關係,職是之 故,本件除符合安裝工程綜合險附加004擴大保固保險條款第一款之 規定外,亦符合第二款所規定「肇因於保險期間而在上述保固保險期 間內發生之意外事故」,因此該條款於本件仍有適用。 (d)末按,被告復辯稱於八十六年十月三日下午四時以後,天和所從事者 乃更換十二吋次主管之工作,因此天和在下午四時以後所從事者顯非 履行修補瑕疵之保固責任云云(見被告等前揭狀第五頁第七至第十行 )。惟查被告前述主張亦以下午五點半所發現火災只可能係下午四點 以後之施工行為所導致,以及下午三點第一次火災後至下午五點半火 災被發現前,天和工人之施工僅限於十二吋管之換管工作,而不及於 十八吋管為假設前提,然依據Crawford訪談記錄,天和工人應完成十 二吋次主管之換管工作後,又繼續進行十八吋次主管之換管工作(系 爭點整理表七十九),且在火災當日,施工及自維修口引進之氣流對 自燃性粉末所形成之擾動係持續存在。故被告主張十二吋次主管之換 管工作並非保固工作之假設前提實屬謬誤。實則,系爭十二吋次主管 係受當日下午三時發生之火災波及而毀損,為被告等所自認,則系爭 十二吋次主管之毀損既係導因於天和公司履行保固工作時施工不慎引 燃之火災,屬於可歸責於天和之事由所致之損害,則天和公司更換系 爭十二吋次主管之工作,當然亦屬於其依約應履行之保固責任;抑有 進者,本件縱如被告等所謂起火原因乃十二吋次主管卸下後,天和以 暫時性連接管將ClF3改排到十八吋次主管,因而導致系爭火災云云( 按原告否認之),然因該暫時性連接管既屬天和執行更換十二吋次主 管之保固工作之一部分,從而在被告等所持之火災理論下,系爭火災 亦係導源於天和公司履行保固工作(於卸下十二吋管後安裝暫時性連 接管)所致,因此004條款當然仍有適用。被被告上開辯解,並非可 採,已無庸置疑。 綜上,本件系爭管線破裂導因於天和公司原始安裝工程之施工瑕疵,因 此天和公司於火災當時所進行之管線置換確為原合約下之保固工作,而 系爭火災損失復因天和公司履行修補瑕疵之保固工作時所肇致,符合前 揭安裝工程綜合險附加004擴大保固保險條款第一款所定「被保險人因 履行工程合約之保固責任造成之意外事故」之情形,因此安裝工程綜合 險附加004擴大保固保險條款適用於系爭火災事故損失,允無疑義。 (2)天和公司施作換管工作導致系爭火災發生(有關原告就「火災成因」技術 爭點之完整陳述請參見附件二)。 4、原告對商業財產保險人有請求返還溢付保險金之不當得利返還請求權: (1)本件被告等商業財產險共保人所受之利益仍然存在,被告仍有返還之義務 :被告以民法第一百八十二條第一項規定為辯,主張其於受領再保險金額 時,並不知無法律上原因;且其業已將原告給付之保險金額七十一億四千 二百四十萬元,加計自負額部分,給付全部總計七十六億八千萬元之商業 財產險保險金予聯電\聯瑞公司,故其所受領之利益已不存在,自無返還 溢付金額之義務云云。惟按,「民法第一百八十二條所謂其所受之利益已 不存在者,非指所受利益之原形不存在者而言,原形雖不存在,而實際上 受領人所獲財產總額之增加現尚存在時,不得謂利益已不存在。」四十一 年台上字第六三七號判例(原證二十號)明揭斯旨。茲查,因安裝工程綜 合險(再)保險人須比例負擔給付保險金,就原告溢付再保險契約被保險 人(即商業財產險共保人)之金額,被告固已給付予其被保險人聯電/聯 瑞公司,被告既得據不當得利之法律關係請求聯電\聯瑞公司返還其溢付 之保險金。被告所給付之利益原形(即該保險金),雖已不存在,惟該利 益業已轉變成對聯電\聯瑞公司之不當得利返還請求權。換言之,被告等 商業財產險共保人所獲財產總額之增加現尚存在(僅是由原告給付被告之 再保險金額轉變為被告對聯瑞公司之不當得利返還請求權),是被告就其 所受利益仍有返還之義務。被告所謂其所受利益已全部交付聯電\聯瑞公 司,利益已不存在云云,顯屬謬誤。 (2)依據系爭商業財產險保單一般條款(General Conditions)第十二條保險 競合(Co ntribution)之規定,倘有其他保險承保同一承保財產或事故 時,原告僅就所承保金額負比例分擔之責(原證一號)。故被告所受領超 過原告應分擔額度之保險金,即屬不當得利,被告自應返還其所溢領之保 險金予原告:被告抗辯,就本件保險事故,原告前雖給付商業財產險共保 人七十一億餘元,然商業財產險共保人亦基於保險契約給付聯電\聯瑞公 司七十六億八千萬元,故引據王澤鑑教授「不當得利」乙書之中有關「給 付串連」之學說,主張其所受利益已不存在,原告僅得請求返還其現存之 利益,即被告對聯電\聯瑞公司之不當得利返還請求權,而非請求被告返 還溢領價額云云。惟細繹王澤鑑教授「不當得利」乙書中有關給付串聯之 說明,即可發現該學說並不適用於本件之情形,被告之前開主張有明顯之 錯誤: a、給付串聯學說之內容:首按,王澤鑑教授「不當得利」乙書第六十六頁 說明給付串聯觀念時,以舉例方式說明:甲售某件瓷器給乙,乙轉售於 丙,係屬二個給付關係,但因連續以同一標的物為給付客體,學說上稱 為給付串聯。因給付串聯所生不當得利,亦即二給付關係均具有瑕疵之 情形,不當得利請求權之標的為何?依前揭書所載,有「雙重不當得利 請求權說」及「價額說」二種學說,如採雙重不當得利請求權說,依前 述舉例,甲得向乙請求返還者為乙對丙之不當得利返還請求權,蓋於此 情形乙已無法返還瓷器原物予甲,原應償還其價額,但乙如係善意受領 ,則僅就現存利益,即對丙請求返還瓷器之不當得利返還請求權,負返 還義務。採此學說,則甲經由行使乙對丙之不當得利返還請求權得取回 瓷器原物。反之,採價額說者,認為乙既無法返還原物,即應返還給付 標的物之價額。質言之,上述所謂「給付串聯」之學說,係於前後給付 者屬同一標的物,而無法以原物返還時,探討不當得利之善意受領人所 應返還之「現存利益」究為對第三人之不當得利請求權,抑或價額之學 說。 b、本件為金錢給付之不當得利,於性質上根本不適用給付串聯學說:按金 錢之給付所著重者係在於金錢之「價值」而非貨幣實體標的物之「所有 權」,故於金錢給付之情形,在性質上並無「同一標的物」及「不能返 還」之可言。本件商業財產保險再保險人、商業財產險共保人間之給付 及商業財產險共保人與聯電\聯瑞公司間之給付,乃一定金額之金錢給 付,且該二給付並因商業財產險共保人百分之七自負額之故,而有五億 餘元之差額,並非同一標的物之給付。有關不當得利所受利益為金錢時 ,王澤鑑教授於前揭書中亦指出「在所受利益為金錢時,依嚴格形式的 看法,應認為債務人所受利益,係貨幣(例如某千元大鈔)之所有權及 其直接占有,其應返還者,亦為該貨幣之所有權及其直接占有,於不能 原物返還時(例如業已存入銀行,或使用消費),應償還其價格。但就 經濟觀點言,亦可逕認其所受領而應返還者,為金錢價值,而非特定之 貨幣本身。」(原證三十六號)亦即因金錢具有高度之可代替性及普遍 使用性,只要移入受領人之財產,即不可能有所受利益不存在之情形, 亦無不能返還原物之問題,則根本無須再進一步討論,於不能返還原物 時,不當得利受領人究應讓與其對第三人之請求權,抑或返還該當於原 物價額之問題。至於金錢給付之不當得利,受領人所受利益是否仍存在 ,而負有返還之義務,端以受領人財產總額是否因而增加為斷。故本件 之情形,應觀察被告是否因溢領保險金而致財產總額增加,而不得僅以 被告另溢付聯電\聯瑞公司保險金而認為其所受利益已不存在。按最高 法院四十一年台上字第六三七號判例「所謂其所受之利益已不存在者, 非指所受利益之原形不存在而言,原形雖不存在而實際上受領人所獲財 產總額之增加現尚存在時,不得謂利益已不存在」,著有明文(原證三 十七號)。另最高法院八十四年台上字第一一二號判決亦採取相同之見 解,指出「是上訴人主張其提領上開五十萬元票款後,因借貸關係交付 第三人林淑貞乙節,姑不論與其所舉證人蔡鄭月華、孫秀梅結證所稱係 交付第三人楊焜偉(見本院卷第二十七頁背面)不符,惟上訴人於領取 該五十萬元票款後,自第三人取得同額債權則無庸置疑,揆諸上揭說明 ,其於領取該五十萬票款後,所獲財產總額之增加現尚存在,不得謂利 益已不存在,洵堪認定。」(原證三十八號)揆諸前開最高法院判例及 判決意旨可知,雖不當得利受領人所受領利益原形不存在,但受領人財 產總額增加時,即不得謂利益不存在免負返還價額之責任,故於前開案 例中,法院仍判令受領人返還金錢價額,而非命受領人以移轉對第三人 之債權代金錢之給付。是被告等雖已對聯電\聯瑞公司給付保險金,然 其等對聯電\聯瑞公司另有不當得利返還債權存在,被告等仍因原告之 溢付保險金致財產總額增加,故被告等不得主張利益已不存在而免負返 還價額之責甚明。 c、另被告指稱,其業已將所溢領之再保險金給付聯瑞公司,基於善意受領 人因信賴受有利益,從而得主張扣除云云。實則,被告係因聯瑞公司火 災事故,本於被告與聯瑞公司間之保險契約而為給付,其等依約給付保 險金之義務並非繫於原告之再保險金給付為前提,故被告主張因信賴受 領溢付保險金之利益而主張扣除,顯屬有誤。且查,被告所舉之無法律 上原因而取得雷射唱機,而將自己原有之雷射唱機捐贈之情形,係屬以 特定物為給付之不當得利,且為贈與,亦與本件被告本於契約義務而向 聯瑞/聯電為給付之情形有間。 d、)綜上,被告主張本件保險金給付為給付串聯,原告僅得請求被告讓與 對聯電\聯瑞公司之不當得利請求權,而不得請求被告返還其所受不當 得利之價額,殊屬無據。抑有進者,被告中央產險及富邦產險除為商業 財產險共保人外,亦同為安裝工程險之共保人,倘被告前述主張為有理 由,則原告向聯電\聯瑞公司主張不當得利返還請求權時,聯電\聯瑞 公司必然依民法第二百九十九條之規定,主張以其在安裝工程險下之保 險金給付請求權,與其不當得利返還債務相抵銷。則被告將因此而同時 免去返還不當得利之義務及安裝工程險下之保險責任,其不符法理之平 甚明。被告於保險競合存在之情形,不思依安裝工程險就短付聯電\聯 瑞公司之保險金與聯電\聯瑞公司結算,一併解決聯電/聯瑞公司先前 溢領商業財產保險金之問題,反主張欲轉讓其對聯電\聯瑞公司之不當 得利返還請求權與原告,究其實質,除係為逃避其返還不當得利之義務 及安裝工程險下之保險責任外,實無其他合理解釋。被告等無法律上原 因而受利益,且所受之金錢利益仍然存在,原告請求被告返還其所受之 金錢利益,自屬正當。 e、末按,被告另稱原告既另案向新竹地方法院對日商日建設計公司等八家 公司行使代位權請求賠償七十六億八千萬元,即已承認原給付之再保險 金額並無法律上瑕疵云云,惟查,本件原告於八十七年七月十三日依商 業財產險保單規定給付七十一億四千二百四十萬元保險金,為兩造不爭 之事實,則於鈞院判決確定原告確實溢付其中四十二億一千七百十二萬 零五百六十七元之前,原告就全數金額依保險法第五十三條代位權之規 定,於時效期間內對第三人提起請求損害賠償之訴,要係保障原告合法 權利之行使,如鈞院就本件為原告勝訴之判決,原告自得相應減縮於新 竹地方法院所提代位權訴訟之請求金額。被告上開辯解,實不值一駁。 至於原告與日建公司達成和解,與原告本件是否溢付保險金,毫無關連 ,被告竟以此抗辯原告不認為有溢付云云,不知所云,疏嫌無稽。 5、原告就溢付保險金受有四十二億餘元之損害: (1)原告就系爭火災確實給付商業財產險共保人七十一億四千二百四十萬元, 此觀先位被告等商業財產險共保人出具之代位權讓與合約書(參原證六號 )說明本件商業財產險保險理賠金額為七十六億八千萬元,其中7%為共保 人自理部分,並明載:「鑒於讓與人(指中央、富邦、新光三家商業財產 險共保人),前經受讓人(指本件原告)同意並依其(指本件原告)與讓 與人間(即本件先位被告等)之再保險契約理賠給付後」即可得知。且被 告於九十二年十一月十日進行程序協商時,亦不否認本件商業財產險共保 人確有收受七十一億四千二百四十萬元之事實。至於被告等主張原告將再 保責任另又向其他再保險業投保再保險,故再保險金七十一億四千二百四 十萬元並非全然由原告給付,部分保險金係由其他再保人所給付云云,實 不知所云。蓋本件再保險既係由原告具名與先位被告等共保人成立(原證 五十二號),則原告與其他共同承保之再保險人間之內部關係當與本件請 求無涉。此如同甲以其自己之名義向乙購屋,甲縱係向銀行或他人借貸以 取得購屋款項給付乙,亦不因此而使買方成為甲及銀行;同理,如甲其後 未付款項予乙,乙亦僅能訴請甲給付價金,而無過問甲與銀行間關係之權 利。被告以原告與他人間之內部關係主張原告僅給付部分再保險金額云云 ,焉有是理?被告提出此答辯,並無可採,並有欲將本件訴訟複雜化,遲 延訴訟之嫌。本件商業財產險之再保險金,均係依原告之指示匯入被告所 指定帳戶,其實際付款人與本件請求無關,但為加速程序進行,原告仍然 配合提出相關匯款單據(原證五十三、六十二號)。(2)被告雖辯稱原告復將該再保險責任向其他保險公司投保所謂之「再再保險 」云云,惟查保險市場中並無所謂「再再保險」,就再保險人為分散其承 保風險而將承保責任轉由其他再保險人分擔之情形稱為「轉再保」 (retrocession),此際承擔再保險人部分責任之人則稱為「轉再保險人 」 (retrocessionaire),轉再保險人係依其所承保比例對再保險人負賠 償責任。當再保險人藉由轉再保之方式分散風險時,則相關保險案件之理 賠仍由再保險人對外以其名義為之,倘若轉再保險人未依轉再保之約定承 擔其應分擔比例,再保險人仍須對其為再保之被保險人(即原保險單之出 單保險公司)負責。 (3)系爭保險事故發生致原告有對被告給付再保險金之義務時,原告依保險實 務,必須向轉再保險人報告相關損失理算結果,經取得共識後,即要求各 轉再保險人依其所應分擔比例給付予原告,再由原告給付予本件商業財產 險共保人(即本案先位聲明請求之被告公司)(參原證五十三及原證六十 二付款記錄),相關轉再保險人均係依上述流程付款,僅瑞士再保公司 (Swiss Re)斯時因匯率考量,在徵求原告同意之情形下,逕將其應給付 原告之金額直接給付被告,做為原告給付被告之再保險金額中之一部分, 此觀被告等於九十二年十二月十六日所呈原告致被告中央公司之函件中載 明:「本公司(按即原告)確認同意瑞士再保公司直接將其新台幣三億五 千五百五十一萬九千五百八十七元之應付金額解付貴公司。扣除上開金額 後,本公司對貴公司之未結款項金額為三十億零一百七十九萬五千一百二 十三元」等語可知(原證六十三)。 (4)按本件再保險契約係存在先位聲明所請求之三位被告與原告之間,此觀渠 等之再保險單均係由原告以自己之名義簽署確認即可得知(原證五十二號 )。基於「債權相對性」之理論,倘若原告未履行再保險人給付再保險金 之義務,被告也僅能訴請原告求償,不可能據原告與其他人間之內部關係 向他人求償。則同理,原告是否再將所承保之再保險責任分散風險乃原告 與其他人之間之契約關係,自與本件請求及被告均無涉(原證六十四)。 (5)次按,本件原告與其他轉再保險人間之關係,對本件原告得向被告請求之 金額,並無任何影響。原告係依據不當得利之法律關係,請求被告將原告 先前溢付之再保險金約四十二億餘元返還原告。由於存在複保險之故,轉 再保險人對於原告先前所為給付亦有溢付之情形,就此,各轉再保險人亦 得對原告請求返還溢付之部分,自不待言。於此情形,原告對轉再保險人 仍負有返還不當得利之債務,故原告溢付被告之四十二億餘元,均屬原告 因被告不當得利所受之損害,此正如同被告得向聯瑞請求返還商業財產險 所溢付保險金之全額,原告得向被告請求返還所溢付保險金之全額相同。 學者王澤鑑之著述中即明揭:「給付得利之類型言,一方所受『給付』, 即為他方所受之損害。」(原證六十五)故被告稱原告因受有轉再保險人 之給付,故原告僅得在未受轉再保補償之範圍內始受有損害云云,顯於法 無據。簡言之,轉再保人先前對原告所為之給付,並未使原告因本件不當 得利所受之損失減少,蓋原告對於轉再保險人仍負有返還不當得利之義務 。故原告與轉再保險人間之關係,對原告基於不當得利之法律關係所為之 先位聲明之請求及數額,均無任何影響。 (6)正由於本件訴訟攸關各轉再保險人之利益,原告於八十九年二月八日召開 「專案會議」,向各轉再保險人說明擬在台灣提起之訴訟及相關費用後, 獲轉再保人之支持提起本件訴訟,並分擔相關訴訟費用(原證六十六), 原告乃於同年三月二十八日提起本件訴訟。訴訟期間,原告均定期召開「 專案會議」向相關轉再保險人說明在台訴訟案件進行狀況,各轉再保險人 並依原告所委任保險經紀人SAIL之請求,依其責任比例負擔本件相關訴訟 費用及調查費用(原證六十七)。最近一次專案會議之召開為九十二年六 月二十日,由原告及原告律師向相關轉再保險人代表進行案件進度簡報, 被告之安裝工程險再保人並受邀至該會議交換意見,原證六十八會議記錄 即為安裝工程險慕尼黑再保公司代表於參加該會議後所自行製作之會議記 錄,可見被告對於原告與各轉再保人間已有協議,原告有權提起本件訴訟 之事實知之甚詳,此類協議於國際保險市場已形成慣例(參原證六十), 今被告其提出有關所謂「再再保險」之說,企圖誤導 鈞院,實有違誠信 ,並有延滯訴訟之嫌。 6、被告辯稱依民法第一百八十條第三款之規定,原告已不得再為不當得利之主 張云云,純屬曲解事實,並非可信:被告等指稱原告於理賠前即已認定004 條款有所適用,依民法第一百八十條第三款之規定,原告不得再為返還不當 得利之主張云云(見被告等前揭狀第十四頁末段)。惟查:民法第一百八十 條第三款所謂之非債清償,須債務人於給付時明知無給付之義務,出於任意 為之者,始足當之;倘對於有無債務,心存懷疑而為給付時,如確無債務, 仍應許其請求返還(參見王澤鑑氏著「不當得利」乙書第一零二頁;原證四 十七號)。最高法院對此亦持相同見解,認為「惟該款規定,須於給付時確 實明知無給付義務而仍為給付者,始有其適用,若其對有無給付義務尚有存 疑時,即無適用之餘地。...惟因系爭土地與二二七號土地係合併買賣, 總價金為四千二百七十三萬六千一百七十六元,被上訴人為履行契約,有付 款之義務,且上訴人始終主張系爭土地買賣契約有效,被上訴人於上訴人有 爭執之情形下,豈敢冒違約之後果。其對是否無給付之義務,顯然存疑未確 定,尚難認被上訴人嗣後仍給付尾款,係屬明知無給付義務而仍為給付」( 參見最高法院八十五年台上字第四十號判決;原證四十八號)。本件原告於 八十七年七月間給付再保險理賠金時,尚無法確認原告是否因004條款適用 於系爭火災事故而得主張保險競合(含複保險,以下同,詳後述),此觀下 列事實經過,即堪明白: (1)由於系爭火災所造成損失規模龐大,相關之保險理算程序歷時八個月始告 完成,聯瑞公司受此重創,財務狀況甚窘,加以其晶圓廠重置工作將於八 十七年七月底完成,聯瑞公司亟需資金購置生產設備,要求保險理賠必須 於同年七月底前給付完畢。故倘商業財產險或安裝工程險之保險人拖延理 賠程序,將對聯瑞公司造成重大損失,聯瑞公司除可能對保險人請求損害 賠償外,亦得依保險法第三十四條第二項請求按年利一分計算之遲延利息 。原告在保險理算過程中即懷疑可能有保險競合之情形,並告知被告及安 裝工程險之再保人有此等情形,然被告及安裝工程險之再保人均堅持認為 本件並無保險競合之情形。由於本件是否存在保險競合涉及複雜之技術問 題及法律問題,在雙方保險人存在重大歧見之情形下,原告雖於當時懷疑 可能有保險競合之情形,仍決定按上開金額計算並理賠再保險給付予商業 財產險共保人,以免損及被保險人之權益,並避免因遲延給付保險金而衍 生之重大賠償責任。關於此,被告等所呈八十七年六月十八日商業財產險 再保險人會議紀錄(被告附件七)第四頁第五段清楚記載「被保險人請求 於七月底前付清之原因為建物之重建將於七月中完成,而被保險人需要資 金以開始購置設備」(The reason that the insured requested settlement before the end of July is that the reinstatement of the building will be finished mid of July and the insured needs cash to start buying equipment.),而先前八十七年五月十四日原告 、商業財產險共保人與聯電/聯瑞公司間之協調會會議紀錄(被告附件五 )第二頁末乙段亦載明原告代表「說他認為7月底前付清的目標合理,但 他不能保證,他同意將通知再保人有關利息(年利率10%)的事情,並將 用這點作為誘因要求再保人迅速清償」,彌堪證實上開經過。再者,觀諸 聯電/聯瑞公司於簽具給安裝工程險保險人之同意書中記明「謹此確認上 開金額之受領不損及保險人可能因保險競合及/或代位權請求而須負擔之 額外請求之金額」等語(It is acknowledged, however, that the aforementioned amount is accepted without prejudice to any additional claim for sums for which Insurers may become liable by virtue of contribution and/or subrogation.)(被告等所呈被證 三號聯瑞公司同意書第一段末乙句記載),益堪佐證相關當事人(即原告 、被告等、安裝工程險再保險人及聯電/聯瑞公司)對於本件保險事故是 否有保險競合之狀況,均認為存在不確定性,從而原告所為之給付絕非明 知無給付義務卻任意給付甚明。 (2)次按,被告執八十七年四月九日理賠委員會會議紀錄(被告前揭狀附件六 )以及同年六月十八日商業財產再保人會議紀錄(被告前揭狀附件七)等 ,指稱原告於理賠前即認為有004條款適用之事實云云,姑不論原告代表 於上開八十七年六月十八日商業財產險再保人會議中(被告前揭狀附件七 )一開始即指出原告委請之專家Crawford Investigation之報告有待最終 實驗結果出爐始可取得(見被告前揭狀附件七第二頁第二段末一句「He announced that Crawford's report would be available as soon as the last lab results had been published.」),而原告代表Mark Handy關於安裝工程險保固條款之陳述為「其向理律提及倘假設火災可能 在安裝工程險範圍內是否正確,該所表示此一假設符合邏輯」(He had spoken with Lee &Li to see if he was right in presuming it could fall under EAR and they felt it was logical assumption.),顯見 原告當日有關004條款之論述,均係以假設天和之施工為保固工作之前提 討論004條款適用之可能,並非已十足確信004條款有適用。 (3)實則,原告於得知專家Crawford調查報告以及Armstrong實驗室之初步意 見指向天和於安裝管線時有焊接不當之施工瑕疵後,爰去函安裝工程險再 保險人要求渠等出面協商保險競合下之理賠責任釐清事宜(見Mr. Michael Misurelli八十七年十月二十七日函;被告前揭狀附件八),惟 安裝工程險再保險人對此相應不理,而且渠等堅持天和公司於火災發生當 時之換管工作並非保固工作且系爭火災損失係肇因於晶圓廠操作狀況而非 天和之施工行為,因而004條款不適用,此一立場與原告之初步調查發現 相去甚遠,原告鑑於事涉龐大請求金額,為慎重計乃一方面由專家Mr. Lindsay Leveen於八十七年十月十八日再度來台取得完成其調查報告之必 要參考資料後,經彙整Crawford調查報告以及Armstrong實驗室報告之內 容後,於八十八年七月六日作成完整之火災事故簡要報告並提供予原告( 參見原證七號),並憑以確認本件因004條款確有適用而構成保險競合之 狀況。綜觀上開事實經過,應足證實原告於給付再保險理賠時,至多僅屬 懷疑004條款可能有適用,然並非有十足把握,揆諸前開學者及最高法院 所持見解,原告所為再保險理賠給付當然不構成「明知無義務而任意為給 付」,因此本件並無民法第一百八十條第三款之適用,彰彰甚明。 二、備位聲明部分: (一)本件備位聲明擴張部分並未罹於時效: 1、按原告提起本件訴訟之初,即表明被告等應給付原告總額約五十億元,因顧 及本件尚涉保險事故相關證據之專業鑑定及二保單間責任分擔之計算等,本 件起訴之初乃僅為一部請求,並保留將來擴張聲明之權利,是原告從未怠於 行使權利而有消滅時效之問題。就一部請求再於訴訟中擴張之情形,最高法 院九十年台上字二四六七號判決即明揭:「按損害賠償之訴,由於涉及損害 原因、過失比例、損害範圍等之認定,加以舉證困難,其損害之具體數額甚 難為估算,常需經專家鑑定,始能確定...擴張應受判決事項之聲明,自 仍在原起訴請求之訴訟標的的法律關係範圍以內,乃原判決竟認上訴人在第 一審擴張請求之三百六十萬八千六百零二元及利息部分,不生起訴之效力, 進而以該部分請求以罹於消滅時效為由,據為上訴人敗訴之判決,自有未洽 」。(原證六十九號)高等法院八十九年上易字第六八六號判決亦闡述:「 請求權時效已因起訴而中斷,且查債權人就同一原因事實所生『同一』債權 之一部起訴者,該起訴中斷時效之效力及於其餘債權額(參見史尚寬著民法 總論第六零一頁),故上訴人於本院擴張追加上開請求,並無罹於消滅時效 之問題。」(原證七十號)高等法院九十年上字六七八號判決(原證七十一 號),亦同斯旨。 2、被告所引述最高法院九十一年台上字第六二九號判決,該案權利人並非於起 訴時為一部請求,而於訴訟中擴張,其乃先為一部假扣押,逾二年時效經過 才起訴請求全部債權額,與本件情形有間,且該判決係謂「可分之訴訟標的 ,既判力之客觀範圍,以訴之聲明為限度,自應認僅就已起訴之部分有中斷 時效之效果。」本件原告於第一審辯論終結前已擴張訴之聲明,擴張之部分 自亦應認為係「已起訴之部分」,衡諸前揭相關最高法院及高等法院之見解 ,原告備位聲明擴張請求之部分並無罹於時效之問題,被告抗辯顯無足採。 由被告此等抗辯更可見其無視於本件存在複保險之事實,而藉詞脫免其所應 負保險責任之企圖。 (二)保險法第五十三條規定:「被保險人因保險人應負保險責任之損失發生,而對 於第三人有損失賠償請求權者,保險人得於給付賠償金額後,代位行使被保險 人對於第三人之請求權;但其所請求之數額,以不逾賠償金額為限」茲查,商 業財產險共保人既已對聯電及聯瑞給付商業財產保險之賠償金額,彼等自得代 位行使聯電及聯瑞對應就本件事故之發生負賠償責任之第三人之請求權。又, 原告亦已依再保契約賠償商業財產險共保人,故原告亦得代位商業財產險共保 人行使對第三人之損害賠償請求權。換言之,原告於理賠範圍內,基於保險法 第五十三條之代位權,得行使聯瑞及聯電對第三人之損害賠償請求權,合先陳 明。 (三)按聯瑞、聯電就系爭火災所致生之損失,依其與中央、富邦間之安裝工程綜合 險004條款,得在中央、富邦依比例應負擔之保險範圍內,請求彼等依保險契 約給付保險金。聯瑞、聯電既因系爭火災(即保險事故)之發生對中央、富邦 具有保險金給付請求權,原告復取得聯瑞、聯電對第三者之請求權,原告自得 依保險法第五十三條之規定及民法關於債權讓與之規定,請求中央及富邦分別 依80%及20%之承保比例向原告給付系爭保險金三十三億七千三百六十九萬六千 四百五十四元及八億四千三百四十二萬四千一百十三元。(四)對被告答辯之反駁:被告等對原告之備位聲明,無非辯稱聯電\聯瑞公司僅得 向安裝工程綜合險保險人以外之其他第三人主張損害賠償請求權,原告不可能 代位聯電\聯瑞請求安裝工程綜合險共保人給付保險金與原告,而商業財產險 共保人亦僅能就其在二十六億元賠償金額範圍內取得對第三人之損失賠償請求 權讓與原告,故原告就溢付金額,並無取得聯電\聯瑞向安裝工程綜合險共保 人求償之代位權云云。惟查,依據上述保險法第五十三條之規定,行使該條所 訂之代位權必須 (一)被保險人對第三人有損失賠償請求權,(二)保險人對被 保險人已給付賠償金。本件原告確已符合上述要件,而得代位聯電\聯瑞公司 向安裝險共保人中央產險及富邦產險請求給付保險金,被告等上開抗辯,並非 有據,茲說明如后: 1、被保險人聯電\聯瑞公司對第三人即安裝工程綜合險共保人有損失賠償請求 權:按系爭火災事故所生毀損滅失確屬安裝工程綜合險004條款承保之範圍 ,已詳前述。於此情形下,聯電\聯瑞公司基於安裝工程綜合險保險契約, 得向第三人即安裝工程綜合險共保人請求給付保險金,此為被告所自承 ( 參被告中央及富邦民事答辯 (三)狀第十頁第三行以下)。故聯電\聯瑞對安 裝工程綜合險共保人之保險金給付請求權既屬存在,即得為原告行使代位權 之標的,至為灼然。 2、被保險人聯瑞公司對第三人即安裝工程綜合險共保人之損失賠償請求權得為 原告行使代位權之標的:謹按,商業財產險共保人前已依商業財產險保險契 約給付七十六億八千萬元予聯電\聯瑞公司,原告並依再保險契約給付七十 一億餘元予商業財產險共保人,為兩造所不爭執之事實。被告爭執此所謂「 給付賠償金額」,係指保險人依保險契約之約定,實際所應給付被保險人之 賠償金額,如保險人基於其他原因為給付則不得計入,故主張原告僅於應給 付聯瑞公司之賠償金額二十六億餘元之範圍內取得代位權云云。惟查,被告 上述主張顯有重大誤會。按被告既主張該七十六億八千萬元之保險金係三方 經同意後所給付,故其受領該筆款項並非不當得利云云。倘如是,則該七十 六億八千萬元之保險金給付即是本於商業財產保險契約而來,故應認該筆款 項為保險人依保險契約所給付賠償金額,被告上開解釋方式,不當限縮保險 代位行使之範圍,顯已破壞保險代位制度之立法原意。按保險代位權制度之 創設,主要目的在「維持第三人之損害賠償義務,確定保險人之保險賠償義 務及防止被保險人不當得利之三種目的」(江朝國著,保險法論第三四五頁 參照)。於本件之情形,依照被告之主張,則結果不是安裝工程綜合險之保 險人得因此規避對聯電\聯瑞公司給付保險金之義務,即是聯電\聯瑞公司 就同一損害受到雙重補償之不當得利,其不符法理之平及保險代位權之立法 原意甚明。 3、倘先位聲明不成立,溢付與聯電\聯瑞公司之保險金即應為保險法第五十三 條所稱之保險給付:本件原告溢付保險金,殆屬不爭事實,因此倘鈞院認為 原告本於不當得利法律關係所主張之先位請求不成立,不啻認定原告所為之 給付全額,均屬依再保險契約所為之給付,則揆諸前揭說明,原告已給付之 保險金,應認屬於保險法第五十三條所規定之保險給付,從而原告自得依上 開規定行使代位權。謹按,英國為發展保險法最具歷史且在此領域居世界領 導地位之國家,其對於代位權行使之範圍,已建立裁判先例,認為只須保險 人係出於善意而為給付,受行使代位權之人不得以保險人實際上已給付超過 保險契約所應給付之金額予被保險人做為抗辯(原證二十七號)。參酌我國 代位權制度之立法意旨,解釋我國保險法第五十三條之適用應採與英國法院 相同之見解。被告所引用最高法院八十六年台上字第二○一四號乃判決而非 判例,該判決理由之錯誤已敘明如上, 鈞院自無須受該錯誤判決拘束之理 。退萬步言,倘 鈞院仍認應限縮解釋原告依保險契約應給付之賠償金額於 二十九億餘元之範圍內,原告在此範圍內仍得行使聯瑞公司對安裝工程綜合 險共保人之權利,自不待言。 4、被告等辯稱倘依原告之保險競合主張,將形成先為給付之保險人可代位向尚 未給付之保險人請求其應分攤之保險理賠金之荒謬現象云云,顯屬曲解誤導 保險競合之真意。謹按,依據系爭商業財產險保單一般條款(General Conditions)第十二條保險競合(Contribution)之規定,倘有其他保險承 保同一承保財產或事故時,原告僅就所承保金額負比例分擔之責,而英國法 於解釋就保險競合(包括複保險)時,認為其係賦予溢付保險金額之保險公 司得向短付保險金額之保險公司直接請求給付之規定(If any insurer pays more than his proportion of the loss, he is entitled to maintain an action for contribution against the other insurers;原 證一六三號)。質言之,在構成保險競合之情況時,各保險人本應依其各自 承保金額負比例分擔損失之理賠責任,倘各保險人稟此原則按其應分擔比例 為理賠而無溢付或短付之情況時,故無疑問,惟倘有保險人溢付保險金而致 他保險人減少應分擔之理賠金額時,該溢付保險金之保險人即得本於保險競 合向短付之保險人請求給付。我國保險法固未明文規定保險人對另保險人得 直接行使保險競合請求權,惟按系爭火災事故所生毀損滅失確屬安裝工程綜 合險004條款承保之範圍,於此情形下,聯電\聯瑞公司基於安裝工程綜合 險保險契約,得向第三人即安裝工程綜合險共保人請求給付保險金,此為被 告所自承 (參被告中央及富邦民事答辯 (三)狀第十頁第三行以下),則聯電 \聯瑞對安裝工程綜合險共保人之保險金給付請求權既屬存在,原告應得依 保險法第五十三條關於代位權之規定,以代位行使聯瑞及聯電對安裝工程綜 合險保險人之損失賠償請求權之方式,就溢付之保險金部分向安裝工程綜合 險保險人請求給付,藉符保險人間本應比例分擔損失之保險競合原則,而無 使任一保險人得因他保險人溢付保險金而脫免應比例分擔負責之失衡狀況。 5、次按,根據保險法第五十三條之規定,保險人得代位行使被保險人對於第三 人之請求權之範圍,本即以不逾賠償金額為限;又保險代位權制度之創設, 主要目的在「維持第三人之損害賠償義務,確定保險人之保險賠償義務及防 止被保險人不當得利之三種目的」(江朝國著,保險法論第三四五頁參照) ,準此,原告本件備位請求之範圍,應以不逾原告賠償金額且應於確定原告 之保險賠償義務後填補原告所受損失為限甚明,乃被告等抗辯原告之主張將 造成原告於理賠二十九億餘元後竟得代位向安裝工程綜合險保險人請求五十 一億餘元之謬理云云(見被告等前揭狀第七頁第六至第七行),明顯悖於上 開規定,並非可採。本件原告給付之再保險理賠金全額為七十一億四千二百 四十萬元,本件被保險人聯瑞公司得向備位被告即安裝工程綜合險保險人請 求之保險金額雖為五十一億五千二百二十五萬八百三十六元,惟鑑於本件構 成複保險,原告應依比例分擔之保險賠償義務為二十九億二千五百二十七萬 九千四百三十三元,因此原告僅於四十二億一千七百十二萬零五百六十七元 整之範圍內因溢付保險金而受有損失,故原告備位聲明之代位權請求範圍亦 應以此數額為基準,並此敘明。 6、末按,被告等復引辯稱原告將其對被告所負之再保責任,另向國際知名之再 保險業投保「再再保險」,因此原告行使代位權時,應扣除已取得再保險金 額給付之部分云云。第查,原告前已說明原告並未就本件保險事故向其他再 保險人投保「再再保險」。再者,本件再保險契約乃係成立於原告與先位聲 明三被告間,基於債權相對性之法理,倘若原告未依約賠付再保險金額,財 產險共保人僅能向原告起訴主張,不及於他人。至於原告是否以任何形式另 與他人成立分攤風險之協議,乃原告與他人間之內部關係,與被告及本件請 求無涉,不容被告將兩者混為一談。至於被告所舉六十八年台上字第一五四 九號判決,亦與本件情形不同。蓋該判決所論者乃保險人及再保險人分別理 賠保險金及再保險金後,被保險人原得對第三人行使之權利,於保險人與再 保險人間(即上下位階之間)應如何分配之問題;然本件被告所爭執者係原 告與其他共同再保險人之間(即同一位階者之間)如何分配代位權行使之問 題。本件原告與其他再保險人間之關係並非適用我國法之規定,我國保險法 第五十三條所規範之情形亦與同一位階間(保險人彼此之間或再保險人彼此 之間)代位權之分配乙節無關,當無被告所引六十八年判決要旨之適用。況 查,前開六十八年台上字第一五四九號判決之內容有悖保險實務及法理,迭 受學者批評。蓋保險市場所需承擔之風險極大,保險公司為分散風險並增加 承保量,往往就其所承擔之責任再向本國或外國再保險集團投保。當保險公 司及再保公司分別理賠後,為求便利,保險實務上通常即由保險公司以自己 名義代位請求全部賠償金額(包括其自理部分及再保公司理賠部分),並將 追償所得攤還再保險人,以求經濟,此已形成國際習慣(原證一六四號)。 此即何以再保業務如此之鉅,實務上卻少有數十、甚至數百之國外再保公司 就同一保險事故之發生,分別以其自己之名義行使被保險人之代位權向第三 人求償之理;美國判例亦認原保險人代位請求賠償之金額為收回再保險金前 之全部金額(見原證一六四號)。本件原告與轉再保人間亦依循上述保險實 務,就本件訴訟之提起達成協議,於勝訴後再分配款項予轉再保險人,故被 告辯稱原告就轉再保險人給付款項之部分無請求權,顯無理由。 三、關於本件請求金額之計算: (一)原告得請求之金額: 1、先位聲明部分:原告就本件再保險金之溢付得向被告請求返還四十二億一千 七百十二萬零五百六十七元: (1)本件火災造成之損失依理算人麥理倫公司之理算結果(原證四十五號), 建物部分之損失為一億七千二百五十二萬、機器部分之損失小計為十九億 九千三百三十七萬九千零五十二元,設備部分之損失為六十二億八千七百 八十五萬九千九百六十二元,惟此部分另可扣除一億五千五百五十四萬六 千四百二十二元之殘值,則扣除殘值後的總損失金額為八十二億九千八百 二十一萬二千五百九十二元(即172,520,000+1,993, 379,052+ 6,287,859,962-4,568,400-150,978,022 =8,298,212,592)。 (2)本件有關財產險保險理賠標的者,因其自啟用、接管或驗收之日起算尚未 滿十二個月之保固期間,亦即依安裝工程綜合險保單第004「擴大保固保 險特約條款」之規定,仍屬安裝工程綜合險之承保理賠範圍內。依保險法 第三十八條之規定:「善意之複保險,其保險金額之總額超過保險標的物 之價值者,除另有約定外,各保險人對於保險標的之全部價值,僅就其所 保金額負比例分擔之責」及系爭商業財產保險一般條款(General Conditions)第十二條關於保險競合(Contribution)之規定(原證一號 ),被保險人實際損失金額應由各保險人以其所保金額對總保險金額之比 例負擔之。本件商業財產險之承保金額為七十八億七千六百九十一萬二千 元(如原證一號之二張保險批單),安裝工程綜合險之保險金額原為一百 一十七億三千零五十四萬一千元(詳原證三號保險單「保險金額欄」及保 險批單第三點),惟該保單中另包括得彈性增加保險金額百分之十之「 043彈性特約條款」,故事故發生當時安裝工程綜合險之承保金額為一百 二十九億零三百五十九萬五千一百元(11,730,541,000×110%=12,903, 595,100),則商業綜合險保險人依其承保比例應負擔之保險金額為三十 一億四千五百四十六萬一千七百五十六元,即×8,298,212,592 =0.00000000000 ×8,298,212,592 = 3,145,461,756。 (3)前開商業財產險應賠金額,尚有7%係先位聲明之被告(即商業財產險共保 人)自理之部分,亦即再保比例為93%,則以原告(即商業財產險再保人 )業已給付之再保金額,扣除依再保比例計算之商業財產險再保人應分擔 金額,即為原告得向被告等請求返還之溢付金額,即四十二億一千七百十 二萬零五百六十七元(7,142,400,000-(93%×3,145,461,756) = 7,142,400,000-2,925,279,433=4,217,120,567)。再據被告中央產險、 富邦產險及新光產險各74.83%、19.38%及5.79%之承保比例,渠等應給付 原告之金額分別為中央產險三十一億五千五百六十七萬一千三百二十元( 4,217,120,567×74.83%=3,155,671,320)、富邦產險八億一千七百二十 七萬七千九百六十六元(4, 217,120,567×19.38%=817,277,966)及新光 產險二億四千四百十七萬一千二百八十一元(4,217,120,567× 5.79%=244,171,281 )。 2、備位聲明部分:原告代位聯瑞公司得向安裝工程保險人請求少付的保險金額 為四十二億一千七百十二萬零五百六十七元: (1)如前所述,本件為保險競合,各保險人應依其承保金額與全部投保金額之 比例分擔被保險人聯瑞公司之實際損失,則安裝工程綜合險保險人應分擔 金額為×8,298, 212,592 = 0.00000000000×8,298,212,592 = 5,152,750,836 。 (2)依安裝工程綜合險保單內有關自負額之規定,被保險人應負擔每一保險事 故五十萬元之自負額,爰將該等自負額自前開金額中扣除,即為被保險人 聯瑞公司得向安裝工程綜合險保險人請求之保險金額,即 5,152,750,836-500,000 = 5,152,250,836。 (3)本件原告之先位聲明如因本件未構成保險競合而無權向被告等請求返還溢 付之保險金額,即係表示原告之理賠金額於法有據,原告於該等理賠金額 內,均代位取得聯電\聯瑞公司對安裝工程綜合險保險人富邦產險及中央 產險請求給付其所短付保險金之權利。今聯電\聯瑞公司得向安裝工程綜 合險保險人請求之金額為前開五十一億餘元,然原告僅於四十二億一千七 百十二萬零五百六十七元整之範圍內因溢付保險金而受有損失,故原告代 位聯瑞公司對中央公司及富邦公司得請求之金額總計亦不逾四十二億一千 七百十二萬零五百六十七元整。考量其各自承保80%及20%之安裝工程綜合 險則原告得向渠等請求給付之金額分別為中央產險三十三億七千三百六十 九萬六千四百五十四元(4,217,120,567×80%=3,373,696,454)及富邦產 險八億四千三百四十二萬四千一百十三元(4,217,120,567× 20%=843,424,113 )。 3、保險標的價值及損失金額之理算 (1)按本件商業財產險共理賠聯瑞及聯電公司新台幣七十六億八千萬元,此數 額係依據相關理算人之報告而做成,且均經被告同意,被告無再為爭執之 理。有關系爭保險標的物之價值乃安裝工程險保險人與商業財產險保險人 共同委任布崁南等公司理算而得,此觀諸布崁南等公司之分析報告係同時 出具給商業財產險及安裝工程險所委任之保險公證公司麥理倫及Gab Robbins公司可證(原證五十四號)。商業財產險最後賠償之保險理賠金 額七十六億八千萬乃係根據「商業財產險共保人(即先位被告等)所委任 」之英商麥理倫公司之理算結果,該數額業經先位被告等及原告確認同意 後,始為理賠,此由兩造所共同簽署代位權讓與合約之內容即可知(參原 證六號)。被告今臨訟主張其必須審閱理賠數額相關文件,實屬無稽。然 為避免本件訴訟因而延滯,原告已請麥理倫公司於九十二年十一月十七日 提供布崁南相關報告及其所本之單據與麥理倫理算報告(第七份及第八份 報告),供被告所指定之第三人Gab Robbins審閱。 (2)另就羅便士函件中稱麥理倫公司之理算報告不當云云,實屬無據。按本件 先位聲明之被告等本即為系爭商業財產險之共保人,其等全程參與理算金 額等過程,而本件麥理倫報告均直接出具予商業財產險共保人,被告等對 該報告之內容完全同意並無異議,更按照該報告理算之金額賠償被保險人 (原證七十三),今卻臨訟砌詞辯稱麥理倫公司之理算報告不當云云,豈 非視本件訴訟如兒戲?針對羅便士公司對麥理倫報告之指摘,麥理倫公司 本再具函澄清其所出具之理算報告中,關於理算結果以及保險人應理賠之 金額均屬正確並無違誤(原證一六五號),被告等仍執陳詞爭執,顯非適 當。且實際上麥理倫報告有關保險事故發生當時資產狀態清單之附件以及 建物修復價格之決定均係取自布坎南報告,羅便士公司於本案中亦曾以書 面表示同意該報告內之資訊乃正確可信賴的,並亦持之作為理算安裝工程 損失險之依據(詳被告附件十四羅便士公司十一月十八日函第一頁第三段 ),自無再於茲爭執布坎南或麥理倫報告內容之餘地。 4、原告溢付之保險理賠金額之計算:被告爭執,原告援引保險法第三十八條複 保險之規定,以「比例分攤原則」計算二張保單各應分擔之保險金額不符合 所謂「保險實務」云云,惟查,被告主張並無任何法律依據,反之,參酌系 爭二保險契約條款、保險法第三十八條規定及學者之見解,原告主張之計算 方式洵屬正確,茲說明如後: (1)依據系爭保險契約之規定,本件應適用比例分攤原則:被告主張:「保險 競合時,被保險人可擇一行使請求權向承保安裝工程險或火災保險之保險 公司請求賠償,『除非保險單條款有所約定』,否則並不一定適用比例分 攤原則」(詳被告辯論意旨狀第二十一頁倒數第二行起)。茲查,本件安 裝工程保險基本條款(General Conditions)第十九條明訂:「本保險契 約承保範圍內之毀損滅失或賠償責任,倘另有其他保險契約承保時,不論 該保險契約賠償與否,本公司僅按比例負賠償責任。」系爭商業財產綜合 險一般條款第十二條亦明訂:「CONTRIBUTION If at the time of any loss destruction or damage happening to any Property Insured or any damage resulting in a loss under this Policy there be any other subsisting insurance or insurances whether effected by the Insured or by any other person or persons covering the same property or such loss or any part of it the Insurers shall not be liable to pay or contribute more than its rateable proportion of such loss destruction or damage.(保險標的物發生本保險契約承 保範圍內之毀損滅失或賠償責任時,如另有被保險人或他人對同一保險標 的物或其全部或部分損失亦予以投保,本公司僅就此等毀損滅失或賠償責 任按比例負責。)」故系爭安裝工程險及商業財產險既已就保險競合(包 括複保險,後詳)之處理情形有所規範,各保險人對被保險人所負之責任 自應依比例分攤原則加以計算。保險法學者劉宗榮教授及汪信君解釋:所 謂之比例分攤條款,係指損失發生時,如該損失有其他保險契約承保,則 各保險人僅按自己承保之保險金額與全部保險人所承保之「保險金額總額 」之比例負賠償責任;特別是在各保險人之競合條款均為比例分攤條款時 ,各保險人之分攤數額更應由保險金額之比例定之(原證五十五號)。上 述計算方式與保險法第三十八條:「善意複保險,其保險金額之總額超過 保險標的之價值者,除另有約定外,各保險人對於保險標的物之全部價值 ,僅就其『所保金額』負比例分擔之責」之規定相同。 (2)本件之計算方式應適用保險法第三十八條之規定,以「保險金額總額」為 比例計算各保險人應分攤之責任: a、首按,依據學者劉宗榮之見解:「複保險,係指同一要保人、基於同一 保險利益、就同一保險事故與數保險人分別訂立數個保險契約之行為( 保險法第三十五條),但保險競合之要保人可以分屬不同主體,要保人 對保險標的之利害關係(保險利益)亦可以彼此不同。」(原證五十六 號),是保險競合於學理上實屬複保險之上位概念,其範圍應包括保險 法第三十五條所定之複保險;換言之,凡構成複保險者,必符合學理上 保險競合之概念;反之,屬保險競合之情形,則未必均構成複保險,合 先敘明。 b、次按,前引安裝工程險及商業財產險保單,既均規定保險標的物發生承 保範圍內之毀損、滅失,而有其他保險契約承保時,保險人僅按比例負 責,未進一步區分其他保險契約要保人是否屬不同主體,或要保人對保 險標的之利害關係(保險利益)是否彼此不同,則應認系爭安裝工程險 及商業綜合險係就學理上「保險競合(包括複保險)」之處理情形有所 規範;換言之,不論是複保險或其他保險競合之情形,依據系爭二保單 之規定,各保險人對被保險人所負之責任均應依比例分攤原則加以計算 。查系爭安裝工程險及商業財產險保單,係由同一要保人(即聯電/聯 瑞公司),基於同一保險利益(要保人對於其財產之利害關係),就同 一保險事故(亦即投保財產因火災而毀損、滅失),而分別與數保險人 所訂立,要無疑義,依據保險法第三十五條之規定,其自屬該條所稱之 「複保險」,從而於保險事故發生時,即應適用前開保單條款及保險法 第三十八條之規定,由各保險人就其所保金額負比例分擔之責。麥理倫 公證公司鑑於保險法第三十五條及第三十八條之規定,亦認本件各保險 人責任分擔應依據其等所保金額比例負擔(原證五十七號)。 c、退萬步言,縱認前引安裝工程險及商業財產險保單應同時就本件損失負 理賠責任之情形,並不構成保險法第三十五條所稱之複保險(惟原告仍 否認之),而屬其他保險競合之情形,亦應採與複保險相同之比例分攤 計算方式。蓋如前所述,我國保險法三十五條所規定之複保險所指範圍 固然較學理上所稱保險競合為小,然兩者均 涉及一個以上之保險契約 ,致保險金總額超過保險標的物價值,而有探討各保險人如何分攤保險 理賠責任之問題,以確保「實際損害補償」,避免被保險人因而不當得 利,此乃保險法上重要原則之落實,同時兼顧被保險人之利益以及「依 照比例」公平分配各保險人責任之精神。依據上述說明可知,複保險實 為保險競合之態樣之一,以填補損害之原則而言,兩者既無作不同處理 之必要,我國法所規定之比例責任又係以「各承保金額與總保險金額之 比例」為據,別無明文其他得據以理算之比例,故於保險競合之情形, 自應類推適用保險法第三十八條關於複保險之規定計算各保險人之責任 分攤比例,亦即,以各「承保金額對全部保險金總額之比例」計算責任 。如作相異之解釋,於本件二保險契約下,將發生複保險與其他保險競 合之情形,適用相同之契約條款,卻採用不同之比例分擔計算方式之謬 誤結果。至被告援引台灣高等法院八十八年保險上字第四十四號判決, 謂該判決認定「保險法第三十八條係指複保險之情形,如非複保險,即 無保險法第三十八條適用餘地。」云云,惟查,該判決並無上述文字敘 述,且該判決僅認定該案件不適用複保險之規定,故被告援引前開判決 主張保險競合無保險法第三十八條適用餘地,顯係故為誤導。 (3)獨立責任比例分攤法」於法無據且並未形成保險慣例: a、被告主張本件不應採取保險法第三十八條所規定之比例分攤方式,無非 係援引保險公證人GAB Robins之報告指稱「台灣及國際保險巿場對保險 競合均採用獨立責任比例分攤法」計算各保險人應給付之保險金額,原 告以投保金額計算並不正確云云,係誇大不實之說法,並無任何依據或 實證。以美國法為例,美國法院於保險競合案件中,迄至目前為止最常 適用之責任分攤原則仍係以各保險人承保金額與總保險金額之比例計算 之方法(原證五十八號)。麥理倫公司指出:發生保險競合之情形時, 有關各保險人間之責任,不論台灣或國際保險市場,有依保險總額比例 分攤者,亦有採獨立責任比例分攤,並無特別偏好或絕對適用之定理( 詳原證五十七號)。GAB Robins所述實為偏頗之詞,僅係在提供安裝工 程險之保險人較有利之責任計算分攤方式,且忽略我國保險法之相關規 定。 b、被告執羅便士公司二○○三年十二月十一日函主張:倘本件存在保險競 合之情形,即應採用「獨立責任比例分攤法」,而非「保險金額比例分 攤法」云云。惟本件原告一向主張在構成004條款之情形下,乃屬複保 險,則於複保情形下,自應依保險法第三十八條之規定,以保險金額比 例計算各保險人應付責任,殆無疑義。退而言之,縱認本件乃不屬複保 險之保險競合,觀諸羅便士函所附附件可知:「獨立責任比例分攤法」 並非他國實務或學說唯一通用之方法,其中尚存在爭議。且被告所引適 用「獨立責任分攤法」之學說見解多見於英國(惟迄未形成同一見解) ;然以美國為例,現仍以「保險金額比例分攤計算」方式為主流(參原 證五十八號)。且按被告所引用外國學者見解,認為「保險金額比例分 攤制」之適用必須所有保單條件均屬相同(含自負額、分損條款等), 此見解顯與我國保險法第三十八條不論保單條件是否相同,均適用保險 金額比例分攤之規定有間,是被告主張不啻要求 鈞院摒棄我國法律之 明文規定,而採取英國尚未形成統一見解之學說或判決為計算本件保險 金額分攤比例之基礎,其於法無據,至為灼然。 c、如前所述,我國適用「保險金額比例分攤制」之條件與外國規定本即不 盡相同,自不應以「外國法就保險競合之情形亦有不適用保險金額比例 分攤制者」為由,主張我國於保險競合時,亦不應適用保險金額比例分 攤制。相反地,保險競合與狹義之複保險同樣涉及「兩個以上之保險契 約同時承保同一保險事故所造成之損失」,並無將二者加以分別處理之 必要。複保險既為保險競合態樣之一,我國法關於複保險之規定自仍應 適用於複保險以外之「保險競合」之情形,故就保險競合下之理算方法 ,至少亦應類推適用相關之保險法規定(即保險法第三十八條「保險金 額比例分攤」之規定)決定各保險人應分攤之責任,而非率爾適用未見 諸我國法任何規定之「獨立責任比例分攤法」。 d、況查,本件安裝工程綜合險及商業財產險保單對於一個以上之保單承保 同一毀損滅失時,俱係約定比例分攤條款。學者劉宗榮就此即謂:「保 險競合時責任之分配...競合條款之種類相同時,多數見解主張各保 險人依其所承保之保險金額比例定其保險給付之分攤額。按不同保險人 之競合條款內容均相同,若其所採用之競合條款皆為『比例分攤條款』 ,則各保險人之分攤數額可以由其保險金額之比例定之,不但不會發生 任何矛盾,且符合保險人訂立『比例分攤條款』之意旨,對於確定各保 險人之分攤額無任何困難」(原證七十二號),足供鈞院卓參。 (4)百分之八十共保條款之適用與解釋: 1、被告辯稱本件商業財產險保單含「80%共保條款」,安裝工程險則無此條款 ,亦即各財產險保險人只需就被保險人之損失賠償80%,而由被保險人自行 負擔20%損失,故系爭二保險責任內容既有不同,即不適用保險金額比例分 擔原則云云。惟查,保險法第三十八條「比例分攤」之規定係以各保險人承 保金額與總保險金額間之比例計算責任,而不考慮各保單所訂之自負額或共 保比例是否不同。故系爭二保單中所規定之自負額或共保比例條款等之不同 ,並不影響各保險人責任分擔額之計算,被告所辯,並無足採。且事實上本 件亦無被告所指百分之八十共保條款之適用。蓋系爭保單所附百分之八十共 保條款明訂:當保險金額之請求係依據「重置價值條款」計算時,即無共保 條款之適用(It is expressly understood and agreed that the provisions of this Co-Insurance Memorandum shall not apply in respect of that part of any claim which is made under the provisions of the Reinstatement Value Clause,原證七十四號)。茲查 本件保險事故發生後,業經被保險人提出晶圓廠重置計畫,而以廠房建物、 機器及廠務設備之修復或重建重購等「重置費用」計算本件保險理賠金額, 此觀麥理倫理算報告載明理算之七十六億八千萬係基於「重置價值」而得, 即可清楚得知。故本件絕無被告所指被保險人依商業財產險百分之八十共保 條款之規定,尚應分擔百分之二十損失之情。 2、關於原告與日商株式會社日建就其設計不當導致聯瑞公司晶圓廠火燒損失慘 重乙事之和解事宜,原告謹奉諭陳報前開和解金額共美金一千八百萬元,惟 因和解契約內訂有保密條款,原告礙難提供和解文書,謹請 鈞院諒查。此 外,被告等雖主張依「代位權讓與合意書」(原證六號)之規定,其有權取 得前開和解金額之7%,且倘若本件訴訟原告之請求有理,伊並得主張就該7% 之和解金額與原告請求為抵銷云云。惟前開「代位權讓與合意書」第四條係 規定:「關於讓與人自理之部分,受讓人應就其行使代位權實際所得之給付 ,依照比例(即百分之七)交付讓與人。就前開比例受償部分,讓與人應按 比例分擔受讓人因行使代位權所生之一切相關費用,但讓與人應分擔之費用 ,以其實際受償之範圍為限,逾該範圍,讓與人無負擔義務。」亦即中央產 險及富邦產險有義務按比例分擔原告因行使代位權所生之一切費用。茲查, 本件原告因行使代位權於新竹地院起訴請求賠償之訴訟尚在進行中,相關費 用亦持續支出,此際根本無從結算中央產險及富邦產險應行分擔之費用額, 原告亦顯難將和解金額扣除相關費用後之淨額中之7%撥付中央產物等三家保 險公司(所謂7%自理部分係包括中央產險、富邦產險及新光產險,故依其當 初承保本件商業財產險之比例74.83%、19.38%及5.79%,本件中央產險、富 邦產險及新光產險僅得請求和解金額扣除相關費用後之淨額中之5.2381%、 1.3566%及0.4053%)。本件和解金額既未達可以結算撥付中央產險及富邦產 險之時,被告自無從主張就其應給付原告之金額與前開所謂分擔予以抵銷( 民法第三百二十四條規定參照)。 參、證據及附件: 一、證據部分: (一)技術方面證據: 原證一:聯瑞與天和製程排氣二次配管工程契約書「工程規範及施工法第2.3(a) 條及本文第十二條影本乙份。 原證一─一:天和安裝契約圖說二張。 原證二:前揭契約書施工說明規格材料影本乙份。 原證三:Agru管線規格說明表影本乙份。 原證四:輔助管線管徑與流速計算表乙份。 原證五:Agru手冊第五十三頁。 原證六:熱熔接不良之管線照片五張。 原證七:Robbins民國九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第四十頁。 原證八:Parry民國九十一年四月九日管裂原因報告中譯文第十五頁。 原證九:工研院一般氮氣成份表乙份。 原證十:Robbins民國九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第六頁。 原證十一:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第六十五頁至六十八頁。 原證十二:Crawford #15-16管線照片乙張。 原證十三:有針孔之管線粉末堆積照片六張。 原證十四:原告九十一年十二月九日管裂原因簡報第六十七頁。原證十五:Parry民國九十一年四月九日管裂原因報告中譯文第十頁及第十一頁。 原證十六:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十六頁及美商應材使用手冊 第十頁影本乙份。 原證十七:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十七頁。原證十八:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十八頁及原告民國九十一年 七月二十九日管裂原因簡報第一百二十頁及第一百二十一頁。 原證十九:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十九頁及原告民國九十一年 七月二十九日管裂原因簡報第一百二十二頁。 原證二十:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一百二十七頁。 原證二一:被告民國九十一年五月九日火災原因簡報第五十二頁。 原證二二:系爭輔助管線初期裂痕照片二張。 原證二三:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第一百零五頁。 原證二四:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第三十三頁。 原證二五:被告專家所引用高分子文章「The Definitive User's Guide and Data book」。 原證二六:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第三十四頁。 原證二七:美國IPC測試方法手冊。 原證二八:「Structure and Properties of Bulk Polymers」第一百九十八頁以下 及「Fracture Behavior of Polymers」第二百三十頁以下。 原證二九:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第三十八頁。 原證三十:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第七十頁。原證三一:原告民國九十年十二月九日管裂原因簡報第二十一頁及第二十二頁。 原證三二:本案輔助管線樣本SEM照片簡報資料六頁。 原證三三:原告民國九十年十二月九日管裂原因簡報第十六頁至第十八頁。 原證三四:Agru手冊第六頁。 原證三五:Agru手冊第十一頁。 原證三六:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第五十八頁。 原證三七:Agru手冊第三頁。 原證三八:Parry二○○二年四月九日管裂原因報告中譯文第三頁。 原證三九:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第四十七頁。 原證四十:輔助管線內粉末成分EDS分析結果。 原證四一:陳郁文教授粉末溫度計算表乙份。 原證四二:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第五十一頁。 原證四三:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第五十五頁。 原證四四:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一百十二頁。 原證四五:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第九十四頁。 原證四六:陳政任著半導體製程尾氣分析與危害評估及劉憶蓉著四極質譜儀在半導體 廠鎢化蒸氣沈積製程尾氣監測之應用。 原證四七:美國普林斯頓大學實驗室安全手冊及Rosalie Bertell on Flaorides一文 影本乙份。 原證四八:「Fluorine containing rubber」一文,第六百三十七頁影本乙份。 原證四九:Utek斷管事件會議紀錄影本乙份。 原證五十:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第十九頁。原證五一:原告民國九十一年七月二十九日關於Robbins初步報告簡報資料三頁及 Robbins初步報告全文。 原證五二:原告民國九十一年七月二十九日關於陳政任副教授文章之簡報資料共三 頁。 原證五三:內政部火災調查報告影本乙份。 原證五四:工研院之資料庫影本乙份。 原證五五:半導體產業標準 F5-1101。 原證五六:Journal of Non-Crystalline Solids期刊之文章。 原證五七:「Silicon Particle Formation in Pyrolysis of Silane and DiSilane」文章。 原證五八:「Solar Energy Materials and Solar Cells」期刊文章。 原證五九:「The Presence of Silane Gas and Plasma-Deposited HydorgenatedAmorphous Silicon」文章。 原證六十:美商應材之警語。 原證六一:Centrotherm之警語。 原證六二:「Reactions of Exhaust DepositsFormed Silicon DepositionTools 」文章。 原證六三:「More on Reactions of Exhaust DepositsFormed SiliconDepositio n Tools」文章。 原證六四:Union Carbide期刊文章。 原證六五:Robbins九十一年四月十一日管裂原因報告第7.06, 7.07節,第25頁。 原證六六:十二吋次主管採樣結果。 原證六七:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第3.07節,第十一頁 。 原證六八: 十二吋次主管第四個WCVD連接洞的照片。 原證六九:原告九十一年十二月九日火災原因簡報第五十六頁。原證七十:FM律師確認之電子郵件及Crawford九十一年十月二十日訪談記錄及其中譯 文。 原證七一:Solid State文章。 原證七二:WCVD製程配方。 原證七三:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告中譯文,第7.10節第二十八 頁。 原證七四:「Safety and Chemical Vapor Deposition」文章。原證七五:「An Assessment of Silane Hazards」文章。 原證七六:「Vacuum Equipment ExhaustConsiderations for Sub Atmospheric Pressure CVD Applications」文章。 原證七七:三矽甲烷之物質安全資料表。 原證七八:原告九十一年十二月九日火災原因簡報第七十頁。 原證七九:Crawford關於火災當天天和工作情形之相關訪談紀錄。 原證八十:被告九十一年五月九日火災原因簡報第三十三及三十四頁。 原證八一:被告九十一年十月二十一日火災原因簡報第四十一頁。 原證八二:被告九十二年二月十日火災原因簡報第二十三頁。 原證八三:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第4.21節,第十六頁 。 原證八四:Centrotherm穿孔之照片二張。 原證八五:稀釋空氣管之碟片照片一張。 原證八六:被告九十二年二月十日火災原因簡報第七頁。 原證八七:WSix製程配方。 原證八八:被告手動分流管管線之電腦示意圖。 原證八九:Leveen針對WSix氣體之LEL之計算表。 原證九十:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告中譯文,第6.16節,第二十三 頁。 原證九一:原告九十二年十二月九日火災原因簡報第四十二頁。原證九二:Crawford所繪製十二吋及十八吋次次主管起火點示意圖。 原證九三:NFPA 000-0000-第四章「火災型式」,4.3.1「分界線或分界區」。 原證九四:NFPA 000-0000-第四章「火災型式」,4.19.2「速燃火災」。 原證九五:NFPA 000-0000-第十五章「起火點之判定」。 原證九六:NFPA 000-0000-第四章「火災型式」,4. 2「火災型式的工學原理」。 原證九七:Robbins繪製之管線連接示意圖。 原證九八:D. A. Chasis, Plastic Piping System,第一百二十八頁。 原證九九:原證九十九之一:六氟化鎢物質安全資料表;原證九十九之二;矽甲烷物 質安全資料表。 原證一○○:聯電工程師鄭水松陳述書。 原證一○一:系爭管線初生裂痕照片二張(Crawford 15-9 及Crawford 15-23)。 原證一○二:被告專家所引用高分子文章「The Definitive User's Guide and Data book」。 原證一○三:速率決定步驟相關教科書。 原證一○四:"Review of the Sources of Fine and Ultra Fine Particles in Indoor Air"文章及中譯節本。 原證一○五:"Molecular Dynamics Computation of Gas-Phase Nanoparticle Sintering: A Comparison with Phenomenological Models"文章示 意圖。 原證一○六:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第五十一頁。 原證一○七:"A Review of Particle Agglomeration"文章及中譯節本。 原證一○八:雷教授關於WO3/SiO2粉末漂浮時顆粒溫度計算。 原證一○九:Air Pollution教科書,第七十七頁。 原證一一○:聯電廠長房眉生陳述書。 原證一一一:被告在保險人瑞士再保與慕尼黑再保研究報告及中譯節本。 原證一一二:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告中譯文,第十三頁。 原證一一三:Iwatani 機台管路配置圖。 原證一一四:被告所提出聯瑞副廠區管路配置圖及其上氣體洩漏偵測數據。 原證一一五:聯電廠長房眉生陳述書。 原證一一六:Agru 手冊第四業及第六頁。 原證一一七:「An Assessment of Silane Hazard」期刊文章。原證一一七之一:「An Assessment of Silane Hazard」期刊文章。 原證一一七之二:六氟化鎢物質安全資料表。 原證一一八:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一百十六頁。 原證一一九:氣體回流示意圖。 原證一二0:熱冷循環頻率示意圖及「Effect of Cycle Thermal Loads of Fatigue Reliability in polymer Matrix Composites」文章。 原證一二一:「Engineering Materials Science」 第487頁關於熱衝擊之說明。 原證一二二:被證二十八之二文章、「Infrared Characteristic Group Frequencies」第107頁及朝倉書店高分子分析教科書第897頁。 原證一二三:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第三十八頁至第四十頁。 原證一二四:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第二十七頁。 原證一二五:氟之物質安全資料表;ESH關於氟之安全手冊;及「Rosalie Bertell on Fluorides」文章。 原證一二六:被告所引用NACA文章全文。 原證一二七:NASA「Fabrication of Gaseous and Liquid Fluorine system」文章 。 原證一二八:Dixon美國專利第4,020,223號。 原證一二九:Onischuk等人著「Aggregate Formation under Homogeneous Silane Thermal Decomposition」文章。 原證一三0:Robbins九十一年四月十一日火災原因報告,第4.19節,第十五頁。 原證一三一:Centrotherm操作手冊第六十一頁。 原證一三二:針孔與管裂位置示意圖。 原證一三三:PP熱劣化反應結構圖。 原證一三四:Crawford 15-9 輔助管線XPS樣本分析。 原證一三五:黃色粉末ESCA成份分析。 原證一三六:熱應力之計算。 原證一三七:原告專家九十三年九月八日簡報資料乙份。 原證一三八:陳政任副教授文章第二十三頁。 原證一三九:十二吋次主管示意圖及照片。 原證一四0:十八吋次主管示意圖及照片。 原證一四一:原告九十一年十二月九日火災原因簡報第八十八頁。 原證一四二:G. A. Corbin, R. E. Cohen及R. F. Baddour著"Surface Fluorination of Polymers in a Glow Discharge Plasma: Photochemistry," Macromolecules, 18, pp. 98及100(1985)G. Kranz, R. Luschen, T. Gesang, V. Schlett, O.D. Hennemann及W.D. Stohrer著, "The Effect of Fluorination on the Surface Characteristics and Adhesive Properties of Polyethylene and Propylene", Int. J. Adhesion and Adhesives, Vol. 14, p. 249, Figure 8.(1994)。 原證一四三之一:Crawford 15-9管線樣本XPS圖譜。 原證一四三之二:未使用管線樣本XPS圖譜。 原證一四四:R. C. Hibbeler著"Mechanics of Materials," Prentice Hall International Inc., 1997, P.261及290。 原證一四五:QUADSTAR 422/V6.0, Application program for the mass spectrometers, Balzers Company, 氬標準質譜圖。 原證一四六:International Sematech, "Fate of Fluorine Emissions from NF3- Based Chemical Vapor Deposition (CVD) Chamber Cleaning Processes," 2001, pp. 23, 28至29。 原證一四七:K. M. Pruett, "Compass Corrosion Guide", 2nd edition, 1983, p. B41 G. Kranz, R. Luschen, T. Gesang, V. Schlett, O.D. Hennemann及W.D. Stohrer著, "The Effect of Fluorination on the Surface Characteristics and Adhesive Properties of Polyethylene and Propylene", Int. J. Adhesion and Adhesives, Vol. 14, p. 247 (1994)。 原證一四八:Yu等著「W-CVD Film Thickness Metrology and process Control Using Mass Spectrometry」報告。 原證一四九:二矽甲烷物質安全資料表。 原證一五0:Sematech, Current State of Technology: Perfluorocompound(PFC) Emissions Reduction. 原證一五一:Schedlbauer著「Cost Reduction Challenges in CVD Chamber Cleaning: Strategies to Reduced Gas Cost」文章。 原證一五二:聯電陳哲宏律師九十二年十月十五日確認函。 原證一五三:被告專家取樣Crawford #15-24之SEM照片。 原證一五四:兩造專家共同檢測之SEM照片一、二、八、九、十、十一、十七、二十 一及二十二。 原證一五五:"Ductile/Brittle Transitions in Thermoplastics,"M.W. Birch, J. G. Williams and G. P.Marshall,pp. 6.1-6.3;"Fracturemechanismu nder dynamic loading of elastomer-modified polypropylene," S.M . Zebarjad, A.Lazzeri,R. Bagheri, S. M. Seyed Reihani, M. Frou nchi, pp. 2735及2736;" Fracture behaviour of isotactic polypr opylene understatic loading condition," S.M. Zebarjad, R. Bagh eri, A Lazzeri, S. Serajzadeh, p. 108。 原證一五六:被告專家Parry九十一年四月九日簡報第3.10段影本乙份。 原證一五七:Lasurface網站資料影本乙份。 原證一五八:SEMATECH Provisional Test Method for Analyzing the Plastic Su rface Composition and Chemical Bonding of Components of UPW Distribution Systems (ESCA Method), p. 3;SEMASPEC Test Method for XPS Analysis of Surface Composition and Chemistry of Electropolished Stainless Steel Tubing for Gas Distribution System Components, pp. 4及6。 原證一五九:被告專家GAB Robbins一九九九年簡報節本影本乙份。 原證一六○:Martin Hammond鑑定報告及中譯文。 原證一六一:陳劉旺教授及陳郁文教授對Parry博士就本案輔助管線樣品XPS、IR、 DSC及SEM分析報告之評論。 原證一六二:Martin Hammond補充說明及中譯文。 原證一六三:Martin Hammond補充報告及中譯文。 原證一六四:麥理倫公證公司一九九七年十二月二十四日理算報告節本影本乙份。 原證一六五:HVCA規格5.2。 原證一六六:Centrotherm手冊。 原證一六七:GAB ROBBINS簡報。 原證一六八:Acros Organics網站有關WO3及TiO2溶點資料。 原證一六八之一:管線樣本SEM照片乙份。 原證一六九:SEMATECH ESCA方式。 原證一七0:十八吋次主管WCVD輔助管線連接口粉末堆積情形。原證一七一:火災現場十八吋次主管WCVD輔助管線第三個洞照片。 原證一七二:被告九十一年十月二十一日火災原因簡報第五十四頁。 原證一七三:被告專家Robbins火災中譯文報告第2.21段。 原證一七四:Robbins火災報告中譯文第4.17段。 原證一七五:天和工人莊枝來訪談記錄。 原證一七六:聯電房眉生訪談記錄。 原證一七七:被告十月二十一日火災原因簡報資料第四十二頁。(二)法律方面證據: 原證一:商業財產險保險單及批單影本各乙份。 原證二:再保通知單影本乙份。 原證三:安裝工程綜合險保險單影本乙份。 原證四:科學園區管理局函影本乙份。 原證五:聯瑞、聯電同意書影本乙份。 原證六:代位權讓與合意書影本乙份。 原證七:Lindsay Laveen Report影本乙份。 原證八:保險司外國保險業聯絡處一覽表。 原證九:外國保險業設立聯絡處審核要點影本乙份。 原證十:台灣台北地方法院八十八年度聲字第二三七一號裁定及相關民事聲請狀暨其 附件影本各乙份。 原證十一:美國國際集團簡介影本乙份。 原證十二:台灣台北地方法院八十六年度聲字第二七五九號裁定、銀行保證書及提存 書影本各乙份。 原證十三:民事法律問題研究彙編第七冊法律見解一則。 原證十四:阿姆斯壯實驗室報告及中譯本各乙份。 原證十五:嘉福湯馬遜報告及中譯本各乙份。 原證十六:天和公司與聯瑞公司間「工程契約書」影本乙份。 原證十七:(刪除) 原證十八:(刪除) 原證十九:火災現場勘驗調查錄影帶一卷。 原證二十:最高法院四十一年台上字第六三七號判例要旨。 原證二一:高愈杰著「論代位權行使不以債務人無資力為要件」影本乙份。 原證二二:邱聰智著「新訂民法債編通則(下)」第四八七頁影本乙份。 原證二三:中央產險九十年度截至六月三十日資產負債表影本乙份。 原證二四:存證信函影本乙份。 原證二五:最高法院二十八年上字第一八七二號判例要旨。 原證二六:最高法院六十五年台再字第一三八號判例要旨。 原證二七:E. R. Hardy, General Principles of Insurance Law, p.510 原證二八:最高法院六十六年台上字第一七二二號判決要旨。 原證二九:新竹地方法院八十七年訴字第七八四號判決要旨。 原證三十:台北地方法院八十九年簡抗字第七十六號裁定要旨。原證三一:民事訴訟法之研討(七)第一二九頁至第一三二頁。原證三二:最高法院六十九年台上字第一三九九號判決要旨。 原證三三:最高法院七十二年台上字第三六五五號判決要旨。 原證三四:民事訴訟法第二百四十四條修正理由。 原證三五:台北地方法院八十八年重訴字第二四四二號判決要旨。 原證三六:王澤鑑著「不當得利」第一八九頁。 原證三七:最高法院四十一年台上字第六三七號判例。 原證三八:台灣高等法院八十四年台上字第一一二號判決。 原證三九:國立中央大學「火災起因鑑定報告」正本乙份。 原證四十:Laveen報告書(內涵嘉福湯馬遜調查服務公司報告及阿姆斯壯實驗室報告 )正本暨中譯本各乙份。 原證四一:最高法院七十二年度第八次民事庭會議決議。 原證四二:民事訴訟法之研討(一),第二0四頁。 原證四三:孫森焱著新版民法債編總論上冊第一七八頁。 原證四四:聯瑞公司八十七年四月十六日結餘款會議紀錄影本乙份。 原證四五:麥理倫公司九十二年十月二十日函影本乙份。 原證四六:台灣台北地方法院九十二年度訴字第一四九號判決影本乙份。 原證四七:王澤鑑氏著「不當得利」乙書第一零二頁影本乙份。原證四八:最高法院八十五年台上字第四十號判決影本乙份。 原證四九:謝錦泉九十一年十二月五日陳述書影本乙份。 原證五十:袁宗蔚著「保險學」乙書第三三六頁以及長崎正造及高木秀卓合著「產物 保險讀本」乙書第七十三頁影本乙份。 原證五一:最高法院七十年台上字第一四零四號判決影本乙份。原證五二:再保險單影本乙份。 原證五三:原告付款單據影本乙份。 原證五四:布崁南等公司分析報告影本乙份。 原證五五:劉宗榮著「保險法」第二一一、二一二頁及汪信君著「損害填補原則在保 險法之運用及其缺失之探討」第一二二頁。 原證五六:劉宗榮著「保險法」第二一○頁。 原證五七:麥理倫公證公司意見書影本乙份。 原證五八:Understanding Insurance Law,Second Edition,Robert H. Jerry, II ,第六四三至六四五頁。 原證五九:Hardy Ivamy著「General Principles of Insurance Law」乙書第五二二 頁影本乙份。 原證六十:保發中心編印「再保險訓練教材」乙書第十九頁影本以及陳繼堯著「論再 保險人之代位請求權及其行使」乙文影本各乙份。 原證六一:麥理倫公司二○○三年十二月五日函影本乙份。 原證六二:AIU紐約為原告給付保險金之付款記錄。 原證六三:原告致被告信函,同意瑞士再保直接給付保險金。 原證六四:本件商業財產保險關係圖。 原證六五:王澤鑑著,民法學說與判例研究第五冊,第一九0頁。 原證六六:商業財產險八十九年二月八日專案會議會議記錄。 原證六七:原告保險經紀人SAIL向轉再保人請求負擔相關訴訟費用之信函影本。 原證六八:安裝工程險代表所擬之財產險專案會議會議記錄。 原證六九:最高法院九十年台上字第二四六七號判決影本乙份。原證七十:高等法院八十九年上易字第六八六號判決影本乙份。原證七一:高等法院九十年上字第六七八號判決影本乙份證件物名稱及數量。 原證七二:劉宗榮著「保險法」第二一二、二一三頁影本乙份。原證七三:中央一九九八年二月二十七日致原告信函影本乙件。原證七四:商業財產險共保條款影本乙份。 二、附件部分: 附件一:聯瑞與天和製程排氣二次配管工程契約書「工程規範及施工法第2.3(a)條及 本文第十二條影本乙份。 附件二:前揭契約書施工說明規格材料影本乙份。 附件三:Agru管線規格說明表影本乙份。 附件四:輔助管線管徑與流速計算表乙份。 附件五:Agru手冊第五十三頁。 附件六:熱熔接不良之管線照片五張。 附件七:Robbins民國九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第四十頁。 附件八:Parry民國九十一年四月九日管裂原因報告中譯文第十五頁。 附件九:工研院一般氮氣成份表乙份。 附件十:Robbins民國九十一年四月十一日火災原因報告中譯文第六頁。 附件十一:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第六十五頁至六十八頁。 附件十二:Crawford #15-16管線照片乙張。 附件十三:有針孔之管線粉末堆積照片六張。 附件十四:原告九十一年十二月九日管裂原因簡報第六十七頁。附件十五:Parry民國九十一年四月九日管裂原因報告中譯文第十頁及第十一頁。 附件十六:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十六頁及美商應材使用手冊第 十頁影本乙份。 附件十七:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十七頁。附件十八:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十八頁及原告民國九十一年七 月二十九日管裂原因簡報第一百二十頁及第一百二十一頁。 附件十九:被告民國九十年五月九日火災原因簡報第四十九頁及原告民國九十一年七 月二十九日管裂原因簡報第一百二十二頁。 附件二十:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一百二十七頁。 附件二一:被告民國九十一年五月九日火災原因簡報第五十二頁。 附件二二:系爭輔助管線初期裂痕照片二張。 附件二三:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第一百零五頁。 附件二四:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第三十三頁。 附件二五:被告專家所引用高分子文章「The Definitive User's and Data book 」。 附件二六:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第三十四頁。 附件二七:美國IPC測試方法手冊。 附件二八:「Structure and Properties of Bulk Polymers」第一百九十八頁以 下及「Fracture Behavior of Polymers」第二百三十頁以下。 附件二九:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第三十八頁。 附件三十:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第七十頁。附件三一:原告民國九十年十二月九日管裂原因簡報第二十一頁及第二十二頁。 附件三二:本案輔助管線樣本SEM照片簡報資料六頁。 附件三三:原告民國九十年十二月九日管裂原因簡報第十六頁至第十八頁。 附件三四:Agru手冊第六頁。 附件三五:Agru手冊第十一頁。 附件三六:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第五十八頁。 附件三七:Agru手冊第三頁。 附件三八:Parry二○○二年四月九日管裂原因報告中譯文第三頁。 附件三九:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第四十七頁。 附件四十:輔助管線內粉末成分EDS分析結果。 附件四一:陳郁文教授粉末溫度計算表乙份 附件四二:被告民國九十一年九月四日管裂原因簡報第五十一頁。 附件四三:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第五十五頁。 附件四四:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一百十二頁。 附件四五:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第九十四頁。 附件四六:陳政任著半導體製程尾氣分析與危害評估及劉憶蓉著四極質譜儀在半導 體廠鎢化蒸氣沈積製程尾氣監測之應用。 附件四七:美國普林斯頓大學實驗室安全手冊及Rosalie Bertell on Flaorides一 文影本乙份。 附件四八:「Fluorine containing rubber」一文,第六百三十七頁影本乙份。 附件四九:Utek斷管事件會議紀錄影本乙份。 附件五十:被告民國九十二年二月十日管裂原因簡報第十九頁。乙、被告方面: 壹、聲明: 一、原告之訴及假執行之聲請均駁回。 二、訴訟費用由原告負擔。 三、如受不利之判決,願供擔保請准宣告免為假執行。 貳、陳述: A、程序方面: 本件不符合訴之客觀預備合併之要件: 一、客觀預備合併之訴,係指相同原告對相同被告,主張兩以上不能相容之訴訟標的 及訴之聲明,而在同一訴訟中合併起訴,並就各訴訟標的及聲明定有先後次序, 而以先位之訴無理由時,請求法院就備位之訴加以裁判。學說與實務之通說見解 認為,客觀預備訴之合併,以先後位相互排斥為必要。就訴訟標的不能併存相容 而言,例如先位聲明請求撤銷婚姻,如無法撤銷婚姻,則以備位請求離婚之訴( 民事訴訟五百七十二條參照)。就訴之聲明不能併存相容而言,以侵權行為主張 損害賠償回復原狀,如不能回復原狀,則以備位聲明請求金錢賠償。「預備訴之 合併須先位訴之聲明與備位訴之聲明,相互排斥而不相容」(最高法院八十二年 度台上字第一四二九號判決參照)。因此,倘先後位之訴間並無互相排斥而不能 併存之事物關係者,當事人儘可提起單純訴之合併或分別先後訴請裁判,並無提 起預備合併之訴之必要。質言之,先後位互相排斥乃提起預備合併之訴之合法要 件,倘欠缺此項要件,法院應以民事訴訟第二百四十九條第一項第六款駁回備位 之訴。 二、原告之先位聲明,以不當得利請求為商業財產保險人之被告中央、富邦及新光三 家公司返還新台幣五億元,備位聲明則以法定(保險法第五十三條)及約定債權 讓與,請求安裝險共保人即中央及富邦二家公司給付新台幣五億元。就訴之聲明 內容而言,原告先後位聲明所請求者均為金錢,並無互相排斥不能相容之關係。 就訴訟標的法律關係而言,先位之訴之不當得利法律關係與備位之訴之法定或約 定債權讓與間並無互相排斥不能相容之關係,欠缺預備合併之訴合法要件。 三、實則本件原告以系爭火災應適用安裝險附加00四保固條款,其溢付金額為由, 而以客觀預備合併之訴提起本件訴訟。然在其先位聲明無理由時,其後位聲明並 無審理裁判之必要。蓋其先位聲明無理由有兩種情形,一是本案根本不適用安裝 險附加00四保固條款。二是本案適用安裝險附加00四保固條款,然商業財產 險共保人並未受有利益。就前開兩者情形說明如下: (一)本案既不適用安裝險附加00四保固條款,則備位聲明並無審理之必要。蓋備 位聲明仍係以適用安裝險附加00四保固條款為前提。 (二)倘本案可適用安裝險附加00四保固條款,原告依法應僅在二十六億元餘元之 範圍內受讓商業財產險保險人所取得對第三人之損失賠償請求權。對此部分, 不論原告得否向第三人主張,該第三人當然不包括安裝險之保險人,因而備位 聲明亦無審理之必要。蓋因苟若情況至此,則聯瑞尚可請求安裝險之保險人給 付五十億元保險金,此部分請求權當然不可能在先前受領二十六億元商業財產 險移轉代位權之範圍內,其理甚明。 B、實體方面: (A)技術部分: 原告先位聲明請求財產險保險人返還不當得利新台幣四十二億一千七百一十二萬 零五百六十七元,其理由為倘本件火災適用安裝工程綜合險所附加之00四「擴 大保固保險特約條款」(下稱「00四保固條款」),則原告身為商業財產險之 再保險人,僅須給付先位聲明之被告即商業財產險保險人保險金二十六億一千零 七十萬七千五百二十二萬元,但原告卻給付保險金七十一億四千二百四十萬元予 被告,故被告就其受領超過五十億六千九百二十九萬二千四百七十八元之部分為 「無法律上之原因」而受有利益,應依不當得利返還云云。被告依商業財產險再保險契約受領保險金是否「無法律上之原因」,關鍵在於本 件有無安裝工程綜合險00四保固條款之適用。安裝工程綜合險00四保固條款 規定:「本公司(即安裝險共保人)在保固保險期間內,僅對因下列所致承保工 程之毀損或損失負賠償責任。被保險人因履行工程合約之保固責任造成之意外事 故...」。00四保固條款之適用要件為「因履行保固責任而造成意外事故」 。即: (1)天和公司是否為履行合約之保固工作而置換新管線;亦即天和公司是否未 安裝合約要求之管線或其管線安裝是否不當,因而造成管線龜裂而須依合 約保固責任而換管。 (2)系爭火災是否肇因於天和公司進行置換管線之保固工作。 兩項前提要件缺一不可,包括兩要件涉及之全部爭點,倘原告未能全部證 明,或僅能證明其一,則系爭00四保固保險條款即無適用之餘地,換言 之,原告必須證明失火係因天和之換管工作而引起,且該換管工作為天和 在原合約內之保固義務,此亦為鈞院及兩造均就「管裂原因」及「火災原 因」提出說明之原因。而在法律上,原告必須證明所主張之法律基礎有其 適用,亦即在先位聲明上,須有民法不當得利之適用;在備位聲明上,須 有保險法第五十三條代位權之適用,且備位聲明符合訴之客觀預備合併之 要件。本辯論意旨狀係就「管裂原因」及「火災原因」說明本件並無00 四保固條款之適用,並就被告受領原告給付之保險金並非「無法律上原因 」,原告之備位聲明並無理由為說明。本書狀之編排係先就本案所有之爭 點,為整體論述;再就「管裂原因」及「失火原因」之複雜的技術問題為 論述。 一、管線破裂原因: (一)天和公司原先所安裝之管線「材質」、「規格」並無錯誤: 1、原告主張:「天和公司安裝之管線管徑不符規定,因合約要求用二英吋管, 但天和用二.五英吋管,且材質不應使用PPH管」云云。 2、然查,系爭二次配管工程合約工程範圍4已明白約定「真空管路除外,詳附 件界面說明」(被證七之六),對照附圖之說明,顯然天和之施工範圍僅限 於附圖所示「屬於EXH工程」部分,而不及於附圖所示「屬於真空工程」部 分。從而,天和施作之排氣管線工程既非屬「真空」,原告之管裂理論即失 所附麗,無法成立。天和公司安裝的管線其材質(PPH)、規格(管徑63mm ),均由聯瑞公司指定,且施工前尚經審查合格方予採用(被告第一次爭點 整理狀被證四,以下所列之「原證」及「被證」,均為兩造於歷次爭點整理 狀中所提證據之編號)。此情復經聯瑞公司確認屬實(被證四之一,第九、 十點)。原告屢加爭執,毫無實益。 3、茲原告已承認天和公司安裝之管線其「材質」並無錯誤,惟仍堅稱:「依合 約圖說(原證一、一─一、被證一),Centrotherm洗滌器之自動分流管應 選二吋管,且合約要求『PP材質風管以PN 2.5以上為製作標準,故不限於PN 2.5 級』」云云,然查: (1)原告如主張:合約規定Centrotherm洗滌器之自動分流管須採用二英吋管 ,而非63mm管云云,自應提出Centrotherm洗滌器之合約圖說為憑,而不 得以未實際採用之CDO洗滌器配管圖說充數,或空言主張:變更洗滌器並 不當然變更管線尺寸云云。 (2)系爭合約規定使用PN 2.5級「以上」之PPH管,稱「以上」者,俱連本數 計算,當然包含「PN 2.5級」,茲聯瑞身為業主,指定使用PN 2.5級、最 小管徑之63mm管,乃其基於業主之權利之行使,原告卻指稱此與合約規定 不符,殊屬無稽。 (3)聯瑞公司空調部課長謝錦泉於本審程序接受訪談時證稱:「天和公司於製 程排氣二次側(12K)配管工程中使用管徑6 3mm之聚丙烯管,是聯瑞公司 指定,因為配管工程合約要求應使用PN 2.5級的排風管,而PN 2.5級的排 風管最小管徑就是63mm,不是二英吋」(被證四之一問題十及答覆),而 使用PN 2.5級之排風管,符合合約「PP材質風管以PN 2.5以上為製作標準 之規定」。堪以反證原告指稱天和公司安裝PN 2.5級、管徑63mm之聚丙烯 管係屬違約云云一節,並不實在。原告就謝錦泉所簽文書之形式真正並未 爭執。 (4)Crawford調查報告之訪談記錄乃其調查人員片面以英文製作,未經劉天和 、謝錦泉、莊枝來等人簽名,是否係完全依該等人員親口所述而製作,尚 不明瞭。何況,所謂二吋管可能係彼等對於當初所作自動分流管之「通稱 」而已,並無規格上之確切涵意,故縱有該陳述亦不表示安裝63mm自動分 流管係屬錯誤。 (5)原告就管線合約規定:系爭管線於「施工前應經聯瑞審查合格,始予採用 」一節,並不爭執,惟主張:聯瑞驗收時,可以「與圖說不符」為由,要 求天和拆除重做云云。但事實是,原告迄未證明天和施工有何「與圖說不 符」之處,且本件二次配管工程業已完成驗收,且付清工程款。茍聯瑞公 司認為天和安裝管徑63mm之管線「與圖說不符」而違反合約規定,豈會未 要求天和拆除重做,反而付清全部工程款項?由此可見,聯瑞公司並未認 為天和公司安裝管線規格有錯誤,原告姿意指摘,殊屬無稽。 4、天和公司既未安裝錯誤管徑之管線,即無原告所指「安裝錯誤管徑,導致流 速變慢,因而加速管線破裂」之問題。何況,原告初始主張影響自動分流管 流速的主因並非管徑,而是「沒有氮氣」,故管內流速停滯(stagnant)( 被證七之一),進而衍生出「氣體分離」、「氣體混合不均勻」、「局部濃 度較高」等理論。當被告提出「有大量氮氣不斷注入幫浦」時,原告先則否 認,嗣已承認並以被告之主張為計算依據。查,大量氮氣是由八個不同入口 注入幫浦,使所有氣體在流至自動分流管前,早已充分混合均勻(被證七之 二)。因已混合均勻的氣體需時數月或數年才能分離,從而,縱如原告所指 「管徑由50mm變成63mm時,流速將由每秒鐘41公分變成25公分」,則機台廢 氣流經5公尺長之自動分流管時,所需時間至多增加數秒,並不會造成氣體 分離或局部濃度較高之情形。 原告並未證明「使用二英吋的管子就不會裂,使用二‧五英吋的管子才會裂 」,實則,本件自動分流管連接至十二吋次主管者長度六米,連接至十八吋 次主管者長度四米,原告主張管徑若由「二英吋」增加至「二‧五英吋」, 則流速將由「每秒四十一公分」降為「每秒廿五公分」。茍原告所言為真, 則氣流行經六米長之二英吋管需十五秒,行經四米長之二‧五英吋管則需十 六秒。顯然,氣流行經四米長之二‧五英吋管線與行經六米長之二英吋管線 之時間大致相當。從而,如果管子會因熱效應而裂開,則不論使用二英吋或 二‧五英吋管都會裂開,茲既不然,顯示管子是因其他原因(內應力氟)而 裂開,殊與管徑或流速無關。 5、原告迄未證明自動分流管內有氣體混合不均勻(局部濃度較高)之情形,且 此混合不均勻(局部濃度較高)係來自於管徑的變更,復未能證明混合不均 勻(局部濃度較高)會導致「熱效應」,故其空言主張「管徑錯誤導致流速 降低,使氣體局部濃度高,因而會加速管子破裂」云云,殊無足採。 原告錯誤解釋被告專家雷敏宏教授之簡報資料,簡報中提及的工業混合氣體 方式是在鋼瓶內混合不同氣體,故須轉動鋼瓶或加熱,然本案之六氟化鎢及 矽甲烷濃度只有0.19 %及0.034%,且在機台反應室及幫浦內已充分混合均勻 ,因為氮氣自幫浦上八個不同入口注入,使氣體充分混合,而已混合之氣體 需時數月或數年才會分離(被告九十一年九月四日管裂簡報第廿七頁),不 會因密度、比重的關係,在流經自動分流管的十餘秒內分離。 (二)管線上「針孔般小洞」並不影響排氣功能,故並非瑕疵:1、聯瑞廠區之排氣系統內呈負壓狀態,此為原告所不爭執。所謂「負壓狀態」 亦即外部空氣可由排氣系統上任何空隙進入排氣管,但裏面之廢氣卻無法由 空隙處漏出。故排氣系統的用途係將腐蝕性及毒性氣體抽出廠外及預防氣體 洩漏至大氣中,並非設計用來使排氣系統內不含空氣,如有空氣存在,反可 稀釋這些廢氣。從而,如果有空氣自少數針孔般小洞而進入排氣系統並不會 影響排氣功能,故天和公司在安裝管線過程中,縱於焊接處留下四個原告所 謂「針孔般小洞」,亦非瑕疵。 2、原告主張:只需管線銜接處未密合(包含空氣流入管內或管內氣體流出管外 )天和所施作者乃一般之排氣工程管路,至「真空工程管路」則為他家公司 所作,二者承作範圍、施工方法均不相同,茲以原告九十一年七月廿九日管 裂原因簡報第十四頁所示照片就「排氣工程管路」與「真空工程管路」予以 區隔說明,足見原告指稱天和公司所作乃「真空工程管路」云云一節,實有 重大誤會。 被告另提出「英國氣與通風系統承包商協會」(HVCA)之標準,其中關於PP 材質之工排煙及排氣系工程部分(被證六十八,附件A)指出:「低壓排氣 系可以有6%之滲漏」,而其對「低壓」之定義為「壓力500Pa ~ -500Pa之間 」,聯瑞排氣之壓力超過-150Pa,故屬「低壓」(被證六十八,附件B)。 從而,本件自動分流管上只有四個針孔,對整體排氣系所造成的滲漏遠遠低 於6%,足見天和安裝管線完全符合合約規定及業界標準。,即不符合「不得 漏氣」之要求;又謂:合約圖說載明該管線系統屬「真空工程」,表示「不 應有空氣由外部進入,否則即非真空」云云。然查,該合約工程範圍4已明 白約定「真空管路除外,詳附件界面說明」(被證七之六),對照附圖之說 明,顯然天和之施工範圍僅限於附圖所示「屬於EXH工程」部分,而不及於 附圖所示「屬於真空工程」部分。足見原告一直誤以為「不得漏氣」表示排 氣管內絕不能有空氣存在,應屬「真空」狀態,並以此建構其管裂理論,且 據以指稱天和公司違反合約規定,未依「真空」標準施工,故應負保固責任 云云,殊屬無稽。 兩造專家均同意「真空」意指「負壓」狀態,且原告專家認為「負壓」表示 空氣不能進入排氣管內。茲系爭聯瑞排氣系統(包括自動分流管及次主管) 屬負壓狀態,此為兩造所不爭執,但原告卻認為「負壓」狀態下之次主管可 以有空氣存在,而同屬「負壓」狀態之自動分流管內卻不得有空氣進入。足 見原告主張:「負壓」表示「空氣不能進入」,卻又區分「次主管」及「自 動分流管」而有可否容許空氣存在之不同標準,業已自相矛盾。 天和所施作者乃一般之排氣工程管路,至「真空工程管路」則為他家公司所 作,二者承作範圍、施工方法均不相同,茲以原告九十一年七月廿九日管裂 原因簡報第十四頁所示照片就「排氣工程管路」與「真空工程管路」予以區 隔說明,足見原告指稱天和公司所作乃「真空工程管路」云云一節,實有重 大誤會。被告另提出「英國氣與通風系統承包商協會」(HVCA)之標準,其 中關於PP材質之工排煙及排氣系工程部分(被證六十八,附件A)指出:「 低壓排氣系可以有6%之滲漏」,而其對「低壓」之定義為「壓力500Pa ~ -500Pa之間」,聯瑞排氣之壓力超過-150Pa,故屬「低壓」(被證六十八, 附件B)。從而,本件自動分流管上只有四個針孔,對整體排氣系所造成的 滲漏遠遠低於6%,足見天和安裝管線完全符合合約規定及業界標準。 (三)排氣系統的自動分流管內原本即有空氣存在,空氣並非只能從四個「針孔般小 洞」進入自動分流管內: 1、如自動分流管上游的排氣管線內有空氣,將流到下游的自動分流管內。 自動分流管內原本即有空氣存在,所以與六氟化鎢等廢氣反應後有黃色粉 末之沉積是常見而可預期的。原告於辯論意旨狀中仍未提出所謂「未堆積 粉末之閥管」的證據,反而將有少量黃色粉末堆積的Crawford 15-5、 15-16二截閥管,強指為「無黃色粉末堆積」,足見原告迄未提出之第八 根閥管,亦應有粉末之堆積,原告才遲未提出。既八根閥管均有黃色粉末 堆積,足證自動分流管上游即有空氣存在。 聯電工程人員業已確認排氣管線(含自動分流管)內原先即有空氣存在(被 證四之一,問題十一)。 自動分流管內的濕氣可能來自於維修\運作WCVD機台,原告專家Leveen亦認 同此點(被證十之一),故其主張:「停機後重開機以及修理機台、打開機 台」時,均會有空氣及水氣殘存於自動分流管內。而機台開始運作時,這些 殘存的空氣或水氣將先排至洗滌器,如洗滌器跳機時,則直接經由自動分流 管線而排到次主管。足見原告指稱:Leveen之評論係針對「次主管」、而非 「輔助管線」云云,顯係故意曲解其專家原始之見解,並不實在。 2、原告委請之保險公證人麥理倫公證公司 (McLarens)於一九九八年二月十二 日出具之報告中指出:「在自動分流管內發現之黃色粉末?,在排氣管內形 成這些粉末並非不正常現象,在聯電其他晶圓廠也有類似發現(the yellow deposits, which we re discovered in the auto bypass lines..?, the formation of these deposits within exhaust ducting is not, however,an unusual phenomenon, similar discoveries have been made within other UMC fabs」(被證六十二)。已足證原告在訴訟前,業已自 承自動分流管內原本即有空氣存在,所以形成黃色粉末是很正常的。 被告專家一再主張:幫浦內之氮氣夾雜空氣之原因有二:氮氣內有微量濕氣 及雜質,雖然少量,但氮氣是一直排放的;注入氮氣的管子及管子上閥門並 非完全氣密。原告雖謂:裝置在真空幫浦中之不銹鋼閥,在安裝前經過氦氣 測漏云云,卻未舉證以實其說,殊無足採。 3、被告專家從未同意原告專家所謂「在正常情況下,不會有空氣進入輔助管線 之上游」此一論點: (1)原告引用被告專家Robbins所謂:「大部分沒有破裂的聚丙烯管,都帶有 一層薄薄的、不明顯的黃色粉末」等語(原證七),反可證明在正常情況 下,空氣已自輔助管線之上游進入,故管線未破裂前,即已產生黃色粉末 。 (2)被告專家Parry博士認為「較多量的粉末堆積物係於管路龜裂後形成」, 「WO2.98的顏色為藍綠色,通常發生在氧氣不足的環境。美商應用材料的 手冊中指出六氟化鎢遇見空氣 (水氣)會產生『藍色轉黃色』的三氧化鎢 」(原證八)。然「氧氣不足」不等於「沒有氧氣」,原告企圖混淆二者 ,殊無足採。 4、美商應用材料公司警語係載:「濕氣極可能來自廢氣系統內的細縫 (Moisture is most likely to be introduced into exh aust lines through exhaust system leaks)」(被證九之一),該警語為一般性警語 ,足見排氣系統通常即存在若干細縫,故空氣可從這些細縫進入,核與被告 一向主張「排氣系統並非密閉,其內原本即有空氣存在」相符。 5、在自動分流管上游的幫浦、消音器及排氣管彎頭內,普遍存在黃色粉末(被 證九之一),足證在自動分流管上游已有空氣與所排放之廢氣反應。 6、在Centrotherm洗滌器機台上方連接不銹鋼分流管與PPH分流管之七根閥管內 (Crawford 15-03、15-05、15-07、15-16、15- 18、15-20、15-33)即已產 生黃色粉末(被證九、被證九之O),亦可證明上游即有空氣之存在。至於 於第八根閥管可能是原證十二照片所示之閥管,然因原告提出之照片模糊不 清,難以辨識,且被告專家從未檢視過,故無從知悉該段閥管是否確無堆積 黃色粉末;縱使該閥管未堆積粉末,原告又如何解釋其他七根閥管內堆積有 黃色粉末之事實。 7、果如原告主張:堆積於上游閥管的黃色粉末乃「空氣經由針孔及管線上之裂 痕進入管內,逆流而上與廢氣反應之結果」,則原證十二之閥管何以未堆積 黃色粉末?且其他七截閥管之下游究有多少針孔、多少裂痕?分別距閥管多 遠?空氣可否逆流此等距離而上?等問題,迄未見原告證明,足見由上游閥 管已有黃色粉末存在此一事實,已足證原告所謂「自動分流管內原本並無空 氣存在」一節,並不實在。 8、被告專家Robbins雖係自聯電8A廠之次主管中採得黃色粉末,然此乃因8A 廠 並未使用Centrotherm洗滌器,故無自動分流管之裝置,廢氣乃流入次主管 ,而與空氣反應形成大量黃色粉末。足見只要在WCVD製程機台之排氣管線內 ,因有空氣存在,故不論次主管或自動分流管內沉積黃色粉末是普遍而可預 期的。詎原告無視於此,主張「自動分流管」與「次主管」二者產生黃色粉 末之「條件」完全不同,不可相比擬,甚至主張:「聯電8A廠之『自動分流 管』因沒有堆積任何黃色粉末,顯示施工正確所以沒有發生火災,而8D廠之 自動分流管因為堆積有黃色粉末,表示施工不正確,所以燒起來」云云,殊 屬無稽。 9、原告主張:「在輔助管線破裂前,管線中唯一的空氣來源即是自針孔而來」 (原告九十二年七月十七日第三次爭點整理狀第十一頁第四‧四點),並以 此架構其全部之管裂理論,認為「因輔助管線內原本沒有空氣存在,空氣只 能自針孔般小洞進入輔助管線內,與六氟化鎢、矽甲烷等廢氣反應,形成高 溫粉末進而導致管裂,故管上若無針孔,則管裂不會發生」云云。就此,被 告主張:「自動分流管內原本即有空氣存在,空氣並非只能從針孔進入,故 系爭管裂與針孔無關,且另有其因」,並提出聯電工程人員之訪談紀錄(被 證四-一)、七根自動分流管上游閥管之照片(被證九、九-O)、以及訴 訟前原告的保險公證人出具之調查報告(被證六十二)、原告自己引用的文 章(被證九-一)及相關製造商手冊為證。茲原告於九十二年十二月九日庭 訊時,業已自承「自動分流管內原本有空氣存在」,惟轉而爭執「管內並無 『經常性』之空氣來源,故本案自動分流管內有大量粉末屬異常現象」云云 。惟原告既已自承自動分流管內原本即會有空氣存在,則其「針孔造成管裂 」之理論,即已全面瓦解,至其轉而主張「系爭自動分流管內有大量粉末是 異常的,因而導致管裂」云云,只是詞窮狡辯而已。殊不知,粉末的存在只 能證明有空氣與廢氣進行反應,而空氣之來源不一,畢竟管裂後大量進入的 空氣才是粉末增加之原因,黃色粉末與管裂完全無關。(四)系爭自動分流管並無「熱劣化」情形,且「熱劣化」不會造成管裂: 1、原告主張:天和公司施工不良,於安裝排氣管之焊接處留下「針孔般小洞」 ,導致空氣及水氣進入排氣管,乃與機台製程排放之六氟化鎢(WF6)及矽 甲烷(SiH4)反應,分別產生黃色及白色粉末,此等粉末溫度甚高,掉至管 壁時仍具高溫,致使系爭PPH材質之排氣管因「熱」而劣化,進而導致龜裂 云云。 2、原告上開「針孔─粉末─管裂」的理論如要成立,即應就以下各點舉證證明 ,否則即屬空言無稽: (1)排氣系統的自動分流管內原本並無任何空氣存在,空氣只能從「針孔般小 洞」進入,而與管內廢氣反應,產生黃色粉末;如果沒有「針孔般小洞」 就不可能產生黃色粉末。 (2)不論初生成或相結合之黃色粉末,在大量室溫氮氣氣流下,透過輻射及對 流等方式散熱後,掉落至管壁時,仍使管壁受有120oC以上高溫,且此 120oC以上之高溫持續多久,因而使管子受「熱」而劣化。 (3)管子發生「熱劣化」時,其結果是導致管裂,而非管材機械強度、重量之 減損。 (4)每一段有裂痕的管子均有針孔存在;針孔位置須緊靠近且位於裂痕之上游 。 3、原告迄無法證明上開「針孔-粉末-管裂」之理論,反由諸般客觀證據,可 證其理論之荒誕無稽,茲逐項分述如次: (1)自動分流管內原本即有空氣存在,空氣並非只能從「針孔般小洞」進入管 內: 前已述及,排氣系統(含自動分流管)內原本即有空氣存在,業經聯電確 認(被證四之一,第十一點)。故自動分流管上游之幫浦、幫浦到洗滌器 間之管線,以及洗滌器上方連接不銹鋼分流管與PPH管之閥內即已產生黃 色粉末(Crawford 15-03、15-05、15-07、15-16、15-18、15-20、15-33 )。就此,原告既主張:此乃「空氣經由針孔及管線上之裂痕,進入管內 且逆流而上反應之結果」云云,自應舉證證明,惟原告迄今僅提出誤導性 錄影帶,而不能證明管內氣流可逆流而上,詳如後述。 (2)粉末形成後立即冷卻,不會對自動分流管之管壁造成任何溫升之影響: a、被告專家陳政任博士業已實地至晶圓廠WCVD機台的廢氣排氣管線,注入 足量空氣後,測試管內廢氣氣流溫度,並未測得任何高溫。上開廢氣排 氣管線雖為不鏽鋼材質,然廢氣氣流之溫度與管子材質無涉,故測試時 之管材材質為何並不影響測試之結果。WCVD機台排氣之廢氣氣流既無任 何高溫,即不能對管壁造成任何溫升之影響,足見原告所謂「系爭管裂 乃因管壁受熱所致」云云,殊屬無稽。 b、就此,原告專家主張:「因產生高溫者為WO3粉末,而溫度探測計之探 針無法探測到某顆粉末的溫度」云云。然查,初生粉末會透過輻射或對 流方式散熱,此為原告所不爭執。因本案六氟化鎢濃度僅0.19%,與大 量氮氣相較,其比例是1:500,故初生粉末之溫度縱有162oC(被告否認 ),在大量氮氣氣流下,也是立即冷卻,原告專家陳郁文教授於九十二 年九月八日庭訊時亦承認:「初生的粉末溫度很高,但量不到溫度,可 能因散熱太快」(被證十一之0之一)。足見被告專家之所以在WCVD排 氣管線廢氣氣流內,量不到溫度,不是因為「探測針碰不到粉末」,而 是「粉末散熱太快,立即冷卻」。 c、原告專家就反應熱之生成、顆粒尺寸及散熱情形一直基於錯誤的假設而 有誤導鈞院之情形,業經被告專家雷敏宏教授提出相關計算式及文獻證 明其謬誤,茲析述如下: (a)六氟化鎢(WF6)與空氣反應時,係由一個WF6分子與三個H2O分子反 應。該反應是逐步發生且形成一分子之WO3及六分子之HF。原告專家 陳郁文教授一開始忽略了六氟化鎢反應時之熱量應由一分子的WO3 及 六分子的HF分享,因而計算出管內溫升高達462oC,嗣發現其謬誤後 ,才讓HF分享這些熱量,而把溫升降為162 oC(被證十九)。被告從 未同意初生粉末之溫度為162oC,而陳郁文教授之所以認為初生粉末 為162oC,乃因其忽略反應熱是逐步產生的,非一次性產生,因反應 又先後細分為三階段(被證十九之二),且每個階段反應的熱量在大 量氮氣氣流下,又藉由輻射及對流等方式散熱,故粉末初生時之溫度 絕對遠低於162 oC,且立即冷卻。 (b)退萬步而言,縱使WO3粉末初生時之溫度有162oC,且未在大量氮氣氣 流下立即冷卻,然在飄浮過程中也會因散熱而冷卻,且粉末顆粒越小 ,飄浮時間越久,散熱速度越快,進而影響粉末掉至管壁之溫度。然 則,原告專家在計算粉末掉至管壁的溫度時,卻為計算方便,先則假 尚有161oC之高溫,進而導致管裂(被證十九)。茲原告自知其謬, 乃聲稱其專家從未如斯主張,而放棄以粉 末每顆一公克重為其計算 依據。 (c)原告專家嗣又任意假設粉末尺寸約為100微米(0.1釐米),且加計矽 甲烷之反應熱。縱然如此,透過對流及輻射方式散熱後,100微米大 小的WO3/SiO2粉末在飄浮過程中早已降到室溫(被證二十四)。何況 ,初生粉末直徑僅約0.5~1奈米(0.0000000~0.000001釐米),且不 能加計矽甲烷之反應熱,詳如後述。 (d)依文獻記載的實驗結果,初生粉末的直徑僅約0.5~1奈米( 0.0000000~ 0.000001釐米,被證二十一)。原告見其無法反駁,乃 空言主張:「需要複雜技術才能生成此種奈米級顆粒」、「三氧化鎢 顆粒較二氧化矽更易聚集,所以初生粉末較大」云云,殊無足採。初 生粉末在飄浮過程中,透過靜電及凡得瓦力或水氣,互相碰撞而結合 成長至20~50奈米(0.00002~0.00005釐米)間(被證二十一),原告 引用的文獻亦載明粉末結合後約為38奈米(被證二十二)或100~400 埃(相當於10~40奈米,被證二十二之一)。而20~50奈米之顆粒於飄 浮時即已降到室溫,此時縱然因水氣而使粉末繼續凝結、推擠成塊, 亦不會影響粉末的溫度,因為冷的粉末相結合還是冷的,不因互相凝 結而增溫,故粉末顆粒於附著到管壁前已全部冷卻。縱然濕氣會附著 在管線表面,亦僅部份而已,且因初生粉末極小、散熱極快、故縱使 粉末於靠近管壁處形成,亦不會使管壁受熱。原告卻憑空臆測:粉末 極可能會在靠近管壁處形成,而於接觸管壁仍保持高溫云云,不足採 信。原證四十一係原告專家假設初生粉末為100微米,因而計算出粉 末在不同距離形成時,掉至管壁時之溫度,故主張:粉末於靠近管壁 處形成時,在管上之溫度為150.9oC云云,然其假設之粉末大小數十 萬倍於真正初生粉末之大小(0.5~1奈米),從而,依原告專家之計 算方式,縱使粉末於靠近管壁處形成,則一顆一奈米大之粉末掉至一 百八十萬奈米(即一‧八釐米)厚的管壁上時,因散熱極快,且只有 部分接觸到管壁,對管壁根本沒有任何影響。 (e)原告引用的原證一0九的文章指出:「1cc體積中所含1014之顆粒可 在20微秒之極短時間內聚集成一半數目之顆粒」,然如六氟化鎢及水 氣的濃度足夠,在20微秒可形成約6微米大的三氧化鎢(WO3),但其 冷卻時間約為1.5~5.5微秒,比顆粒結合所需的時間(20微秒)還要 短暫,故顆粒未結合到6微米前早已冷卻到室溫。 (f)原告為使系爭WO3粉末掉至管壁時仍具高溫,乃主張:初生顆粒一經 生成,會因凡得瓦力在「瞬間」碰撞、聚集,「所需時間極為短暫」 ,因此結合而成之次級顆粒在與管壁接觸時仍維持高溫云云,然原告 未能證明初生粉末「結合速度」較「冷卻速度」快,故結合後的粉末 尚未冷卻、還是熱的,其言自不足採。 原告專家陳郁文教授於九十二年十二月九日庭訊時主張:粉末在40微 米時才會因重力而掉落,故其推測初生粉末之大小應係40微米云云, 顯屬無稽。因原告專家並未證明該因重力而掉落之粉末是初生粉末或 初生粉末碰撞後結合成之次級粉末。兩造均同意初生粉末在飄浮過程 中會碰撞且聚集,故原告專家所指因重力而掉落之粉末應係初生粉末 結合後之「次級粉末」,然初生粉末散熱極快,故結合後之「次級粉 末」還是冷的,對管壁不生任何影響。 (g)原告為提高粉末的溫度,除為前開「結合速度」較「冷卻速度」快之 主張外,另加計矽甲烷的反應熱,然原告既引用原證五十五之文章而 主張:「矽甲烷之濃度一旦在氮氣中被稀釋到低於1.5%,嗣後與空氣 混合後,也不會進行明顯的氧化作用」,則計算粉末溫度時,即無由 加計矽甲烷之反應熱。原告雖宣稱在輔助管線內測得微量之二氧化矽 ,並以之為矽甲烷在輔助管線中被氧化之證明,然原告係測得「矽」 ,而非「二氧化矽」(原證四十),依原告所用之量測方法並無法證 明所測得之「矽」為二氧化矽。實則,其測得之矽應係來自於矽甲烷 在反應室中分解成「矽」,除少部分沉積於晶圓上外,其餘的「矽」 會隨尾氣排出,而沉積於輔助管線內。故原告於輔助管線內測得之「 矽」無法做為矽甲烷反應、增加反應熱之證據。(3)熱劣化之效果是管線機械強度、重量之耗損,而非管子裂開,「熱劣化」 是指材質長期、無間斷的暴露在某高溫下,其機械強度、重量逐漸耗損之 過程,並非一旦達某溫度,即立生熱劣化之結果。且熱劣化之結果是材質 機械強度之耗損,而非管裂。茲析論如下: a、發生熱劣化須有二個機制-「高溫」及「時間」(管材暴露於高溫下之 時間)。Agru手冊指出:PPH管的操作溫度最高可到100oC。如果操作溫 度為100oC,則PPH管將逐漸劣化,在連續操作十一年後,其機械強度將 耗損50%,而非裂開 (被證十七之一)。此為世界通用、測試熱劣化時間 之標準,茲原告以為系爭自動分流管之管壁若受有120oC之高溫時,即 立生熱劣化之效果,且效果是管子裂開,殊屬無稽。 b、又,PPH管在160oC~165 oC時,即開始熔化及坍陷(被證五十五),然 本案自動分流管並無任何熔化或坍陷之痕跡。 c、系爭自動分流管只用了幾個月,其中只有部分時間在自動分流模式,又 ,依原告所指:每片晶圓有三次之熱冷循環,故時間不過數秒而已,並 非「長期無間斷的暴露在高溫下」。且客觀上,本案PPH管並無耗損5 0%機械強度之情形,而是產生脆性裂痕,足見本案並未發生熱劣化,管 裂與熱劣化全然無關。 d、若原告主張系爭管裂乃「熱劣化」之結果,即應證明左列事項: (a)本案管壁確受有120 oC以上之高溫; (b)管材已「長期無間斷的」暴露於此高溫下,足以生熱劣化的效果; (c)熱劣化之效果並非「材質機械強度、重量之耗損」,而是「發生裂痕 」。 (d)且此種裂痕形式就是聯瑞自動分流管上所見之裂痕。 (4)管壁上的針孔與管裂間並無位置及數量上之關聯性:原告除須證明空氣只能從針孔般小洞進入以及空氣與廢氣反應生成之高溫 粉末掉落至管壁時仍具高溫以外,其「針孔導致管裂」的理論如要成立, 尚須證明: a、每一段有裂痕的管子均有針孔存在: 系爭自動分流管共分為三十二個管段,其中十七段有裂痕,十五段無。 縱如原告所指「因系爭八根自動分流管於天和公司換管時,即已切割成 數段,故某段管線無針孔,並不表示與其銜接之上下游管線均無針孔」 云云。然原告迄今只能證明四個針孔(Crawford 15-6、15-13、15-20 、15-30),且未能證明此四個針孔均在不同自動分流 管上。縱然可 以,本案卻有八根自動分流管,其他四根分流管並無針孔,足見原告「 針孔導致管裂」之理論絕 不可能正確。 b、針孔位置須緊靠近裂痕: 訴訟前,原告於一九九九年十一月一日給被告公證人GAB Robins的報告 (被證六十八,附件1)中明載自動分流管內的黃色粉末被發現「在針 孔附近或下游」(第七頁),且「空氣經由針孔進入時,立即與矽甲烷 在分流管內反應」(第五頁)。原告專家Leveen於一九九九年七月六日 之報告亦主張:六氟化鎢、矽甲烷「在針孔附近」(close to the pin holes)反應,導致粉末狀物質的累積(被證十一之0),原告另一專 家Armstrong在二00二年一月廿九日的報告中,亦稱:「黃色粉末會 堆積在濕氣進入處之區域」。原告專家陳郁文並於九十二年九月八日庭 訊時陳稱:「初生的粉末溫度很高,但量不到溫度,可能是因散熱太快 」(被證十一之0之一)。故如粉末在針孔附近反應形成,而自粉末產 生的「熱」造成裂痕,則裂痕應緊靠針孔,否則這些「高溫粉末」於形 成時或飄浮至下游時早已散熱冷卻,如何造成裂痕? 然Crawford15-04、15-11、15-21、51-22、15-26及15-36這些管段平均 超過2米長,其上只有裂痕,無焊接處或針孔。甚至Crawford 15-14全 長495公分,僅中間有一個廿五公分長之裂痕,但其上下游處均無針孔 。原告因無法解釋何以這些裂痕並未緊靠針孔,乃一改訴訟前之主張, 改稱「針孔不須緊靠裂痕」。 c、針孔須位於裂痕上游: (a)因晶圓廠屋頂裝有風扇,將廢氣氣流抽送至大氣中,故原告專家 Leveen認為空氣及濕氣才能持續地經由管上針孔般小洞被抽進管內( 被證十一之0之二)。從而,因管內氣流方向之故,原告所謂「自針 孔進入的空氣與廢氣反應而成的高溫粉末所造成的裂痕」,自應在針 孔下游。 (b)為解決客觀上針孔與管裂位置並無關聯之窘境,原告專家陳郁文教授 提出實 驗錄影帶,企圖證明「氣流會逆流而上」,但其用以實驗的 管子尺寸及壓力、排氣狀況均與聯瑞排氣系統不符,故所謂「氣流向 上逆流」乃係因實驗時用作次主管之管子尺寸過小(二吋管),致粉 末撞到管壁而向上彈開之結果。故被告專家陳政任博士以六吋管作為 次主管,且採用與聯瑞排氣系統近似之抽氣壓力進行實驗時,即顯示 正確之氣流方向,而無「氣流向上逆流」之情形。就此,原告批評被 告專家以六吋管當作次主管而做實驗並不符合現場狀況,然則原告專 家以二吋管為次主管而做實驗豈非更不切實際。d、綜上所陳,原告提出用以證明其管裂理論的六截管段Crawford 15-6 、15-13、15-18、15-25、15-20、15-30(原證十三),根本無法證 明其「針孔─粉末─管裂」之理論,因: (a)Crawford 15-20、15-30之管子有針孔有粉末,但無裂痕,適可證 明原告所謂「針孔─粉末─裂痕」之理論,並不正確。 (b)Crawford 15-06、15-13的管子上雖有針孔,但15-06的針孔與裂痕 之上下游位置不明,因如裂痕位於針孔上游,則與原告理論不符, 如裂痕位於針孔下游,但因針孔上游之彎頭已有黃色粉末,顯示針 孔上游之分流管內已有空氣,故裂痕與針孔無關。而15-13的管子 其裂痕位於針孔上游,故其裂痕與針孔亦無關,兩者均無法證明原 告理論。 (c)原告迄未證明Crawford 15-18、15-25的管段上有天和施工時留下 之針孔。 e、原告見其管裂理論無法自圓其說,乃狡稱「有大量肉眼看不見的針孔 」、「因為管線已切成數段,雖然某段管線沒有針孔或裂痕,但針孔 或裂痕必在上下游之某處」云云,殊屬無稽。 f、原告專家為解釋管上有大量肉眼看不見之針孔,提出Crawford 15-6 的SEM照片(原證一六一,圖廿四-廿六),主張照片上黑色之處即 為」看不見之針孔」。然查: (a)原告專家係自Crawford 15-6管壁內之焊條取下一截長條形之樣本 ,再將之直立放到顯微鏡下觀察,放大50倍時,可看到焊條之頂端 及其上覆蓋的黃色粉末,放大1500倍及3500倍時,只看到一些粉未 (即照片上白色的點)及粉末與粉末間之空隙(即照片上的黑色部 分),茲原告將「粉末間之空隙」解釋為「肉眼看不見之針孔」, 實令人啼笑皆非。 (b)原告專家主張:其所觀察之處,乃採樣時之切割面,故其上不可能 覆蓋有粉末云云。然,原告專家所觀看者是否確為切割面,被告有 所質疑,故如觀察者,非切割面,而是長條形樣本之另一端,則因 該樣本置於袋內四年,其上當然有粉末;如所觀察者,乃切割面, 則切割時亦可能將焊條上之粉末帶到其上。因當天原告專家自 Crawford 15-6上切下此長條形樣本後,即放至顯微鏡下觀察,故 該切割面上可看到若干粉末不足為奇。 (c)從該切割面放大50倍的照片(即九十二年十二月十一日庭呈SEM照 片編號第廿八)可看到:黑色部分的面積比白色大,果如原告主張 「白色是PP管」、「黑色是小洞」,則「小洞」顯然比PP管之面積 還大,然 鈞院當庭檢視該樣本時,並無看到該切割面上有如斯大 之「小洞」,足見原告對該樣本SEM照片之解讀,並不正確。 (d)何況,如果該切割面確如原告所指有「小洞」或「凹陷」存在,這 些凹陷的方向,與原告一向指稱管上「針孔般小洞」之方向不同, 故切割面上的凹陷不會讓管壁穿透,使空氣跑進去。 g、原告迄今只能證明四個針孔,而本案卻有八根裂管,原告專家陳郁文 教授並自承「無法將數十段自動分流管拼成原來之八根自動分流管」 ,故原告不能判斷此四個針孔是否在同一根自動分流管上。因此,至 少四根(茍原告能證明此四個針孔分別在不同之自動分流管上),甚 至七根自動分流管,有裂痕卻無針孔,足見針孔與裂痕間並無關連, 裂痕絕非針孔造成。 (五)「管內粉末成分有碳」、「管壁紅外線光譜分析(IR)」及「管壁裂痕之電子 顯微鏡照片」,無法作為管壁受熱之直接證明: 1、靠近管壁的藍綠色粉末並非碳,而是WO2.98,因: (1)只有在超過PPH的燃燒溫度─328。C時,才會產生碳(被證十六之一), 此為原告所不爭執。而被告專家檢視系爭分流管時,亦未發現管壁有任何 灼傷痕跡。且原告迄未證明系爭粉末掉至管壁時,仍具有328oC之高溫。 只是空言主張:部分矽甲烷在輔助管線內氧化,此等氧化為高放熱反應, 再加上 WO3粉末的溫度,即會使管壁分解產生碳云云,殊屬無稽。 (2)為了解釋碳的來源,原告改稱:「PP管到軟化點時就會析出『碳黑』現象 ,這軟化點是88oC左右」( 鈞院九十二年十二月十日筆錄第六頁),故 不須有328o C以上高溫來灼傷管壁,即可產生碳。而原告主張PP管內有加 「碳黑」的理由是:「PP管有添加色素(即碳)才會是灰色」,「PP管暴 露在太陽下會碎掉,故PP管有添加碳在裡面」。然查,被證五第四頁之 Agru手冊明載:「PPH管不適合在有UV(即紫外線,如陽光)的環境下使 用」,足見PP管內因未添加「碳黑」,故無法在有紫外線之環境下使用。 (3)此等藍綠色粉末(WO2.98)經被告專家陳政任博士以元素分析儀分析結果 ,看不出有明確碳的波峰存在,且在加入雙氧水後,即轉變為黃色粉末( WO3)(被證十六之五),如藍綠色粉末是碳,縱然加入雙氧水,亦不可 能變色。原告之專家陳郁文嗣亦做了相同之實驗,結果發現深色粉末經過 三十分鐘顏色變淡,如果深色粉末是碳,而非WO2.98,縱然加了雙氧水, 亦不可能變成WO3,由原告專家陳郁文教授之試驗,適足以證明此等深色 粉末為WO2.98。原告現同意顏色較深的粉末一般來說不是碳,故原告變更 說法改稱:因為有一些黑色微粒,因此顏色較深的粉末不是WO2.98。但原 告並未說明或提出任何證據證明這些黑色微粒為碳。足見原告迄未證明系 爭管線中有任何因熱效應而產生的碳。原告主張靠近管壁的藍綠色粉末為 「碳」,乃高溫粉末灼傷管壁所生云云,為證明其並非「碳」,被告專家 要求當庭以氫氧化鈉溶解兩造之藍綠色粉末樣本,並以竹碳為對照組,如 果藍綠色粉末為碳,則不會溶解於氫氧化鈉中,如否,則整片藍綠色之粉 末會化開。實驗結果,發現兩造提出之粉末樣本均溶解化開,而對造組之 碳則未溶解,足見所謂之藍綠色粉末非「碳」。 (4)原告雖聲稱:其專家所採樣本是直接從管壁取下,故不可能係受火災黑煙 污所致。然查: a、原告專家採樣、測試時並未會同被告專家為之,亦未交待清楚其採樣過 程,故其過程之公正及真實性,不無疑問。倘若採樣時,摻雜管內其他 粉末,則因管內粉末沾染有大量火災黑煙,又在貨櫃場中暴露數年之久 ,自粉末測得碳成份,實屬平常,豈能遽謂此為管壁被灼傷之證據。 b、Leveen稱系爭粉末是蓬鬆狀,故來自火災的黑煙極容易到達粉末的內層 (即靠近管壁側)。甚至,自動分流管置放於副廠區旁的拆卸棚時,大 量消防水夾帶火災所生之煙屑,而漫流、浸泡所有的分流管線(被證十 六之三),故管內所有粉末摻雜碳成份,實不足為奇。 2、管線樣本之紅外線光譜(IR)分析結果,不能作為管壁受有熱劣化之證明: (1)原告並未證明何以「PP管內壁表面的結晶成份高於管壁中間的結晶成份, 即可顯示管子內壁有受熱現象」(原證三十三)。實則,此結晶度之差異 係由製造過程中冷卻的差異所致。為證實此點,被告專家Tom Parry博士 將未用過的PPH管送至英商卜內門化學工業股份有限公司(ICI)進行紅外 線光譜(IR)分析,結果顯示:未用過的PPH管管壁其結晶度確較管材表 面的結晶度高(被證五十六,第一.八點)。另,氟侵蝕管壁也會造成管 壁結晶度之差異(被證五十六,第三.三點)。 (2)被告專家就系爭管壁所進行之紅外線光譜儀(IR)分析顯示有C-F氟的波 峰,就是氟侵蝕PP管之直接證據,因氟破壞C-C鍵因而產生C-F鍵(詳見後 述第十之(三)點)。C-F鍵顯示有氟的存在,而C-O-H鍵只能表示有空氣 存在,且氟侵蝕PP管結果,部分碳分子會與空氣反應形成C-O-H鍵,足見 C-O-H 鍵不僅無法為「熱劣化」之證明,反而為「氟」侵蝕管壁的證明。 原告主張:Armstrong的IR分析結果證明系爭自動分流管內之管壁結晶度 高很多,而可證明管壁曾受熱云云,並不正確,因為原告專家將兩條重疊 的波峰解釋成一條,故錯誤解釋Armstrong之IR光譜圖,並嚴重高估其樣 品管壁之結晶度。當原告專家用ICI IR分析報告中的方程式應用到 Armstrong的分析結果時,發現結晶度超過170%,其因此斷定ICI所用之方 程式不正確。然,ICI報告指出:該方程式僅適用無添加物或添加料的純 PPH。ICI所引用之文獻亦記載表面的污染將使方程式無法適用。足見方程 式本身並無錯誤,而是原告專家自己誤用該方程式。(3)原告主張:Armstrong的IR分析結果證明系爭自動分流管內之管壁結晶度 高很多,而可證明管壁曾受熱云云,並不正確,因為原告專家將兩條重疊 的波峰解釋成一條,故錯誤解釋Armstrong之IR光譜圖,並嚴重高估其樣 品管壁之結晶度。當原告專家用ICI IR分析報告中的方程式應用到 Armstrong的分析結果時,發現結晶度超過170%,其因此斷定ICI所用之方 程式不正確。然,ICI報告指出:該方程式僅適用無添加物或添加料的純 PPH。ICI所引用之文獻亦記載表面的污染將使方程式無法適用。足見方程 式本身並無錯誤,而是原告專家自己誤用該方程式。3、原告提出之「管線裂痕顯微鏡照片」無法為系爭管線受有熱劣化之證明: (1)原告於歷次技術簡報中提出Crawford 15-9、15-18、15-21、15-23、 15-24、15-25樣本的電子顯微鏡(SEM)照片,並主張可從這些SEM照片看 到因熱劣化造成的「非脆性破壞(ductile failure)」云云。然查: a、原告專家取樣方法不對,導致管線樣本邊緣產生新的「非脆性破壞」痕 跡。 b、原告專家在SEM下所見並非分流管上原始之裂痕,而是其取樣時造成之 「非脆性破壞」,且此「非脆性破壞」係在「室溫」下形成。 c、原告專家刻意忽略其管線樣本上顯示之「脆性裂痕」之特徵,此「脆性 裂痕」為化學侵蝕所致,不可能是原告所指任一種「熱」的機制造成。 (2)兩造專家先前至新竹貨櫃場確認原告採樣地點且要求原告專家陳郁文教授 提出樣本供比對時,渠竟以「樣本未保留」為理由,加以塘塞,致被告專 家無法進一步確認其採樣處以及每個樣本的SEM照片上所謂「非脆性破壞 」之確實位置。嗣因原告專家聲稱除Cr wford 15-24的樣本外,其餘樣本 已尋獲,兩造專家乃於九十二年十月七日,一齊至新竹貨櫃場確認採樣處 ,並自Crawford 15-24重新採樣,再偕同至台灣大學材料所以電子顯微鏡 觀察Crawford 15-18、15-21、15-24、15-25、15-06等樣本,惟其中 15-21部分,因當天原告專家陳郁文教授提出兩件自15-21取樣之樣本,聲 稱此兩件樣本原來連在一起,後來分而為二,被告專家乃僅檢視其一,未 一併檢視另一件樣本。嗣向原告專家確認結果,發現所謂15-21的樣本實 則為已遺失的15-24樣本之尖端,故當天15-21的樣本並未經SEM檢視。 (3)原告專家之所以提出「非脆性破壞」之SEM照片,意在反駁被告專家Tom Parry博士關於系爭自動分流管上所見「脆性裂痕」之主張,且謂此「非 脆性破壞」乃熱劣化造成。然查: a、原告專家迄未證明「熱劣化」與「非脆性破壞」間之關連性,只是空言 主張:「『非脆性破壞』是熱劣化造成的」云云。b、被告專家Tom Parry主張系爭自動分流管上之原始裂痕因係化學侵蝕所 致,故屬「脆性裂痕(brittle split)」,為了解釋「脆性裂痕」與 其他形態之破壞其外觀上的顯著差別,Tom Parry乃於二00二年四月 九日提出的管裂報告中,自「An Atlas of Polymer Damage」一書引用 兩張「非脆性破壞(ductile failure)」之照片(被證五十九)與 Crawford 15-9管裂處所見之「脆性裂痕」照片(被證六十)相較,然 Tom Parry博士並未據以主張: 所謂「非脆性破壞」係來自於「熱」劣化。詎原告專家誤以為只要是與 「脆性裂痕」不同之「非脆性破壞」,即可證明管子係受熱而裂開,而 非化學侵蝕所致,故試圖提出若干「非脆性破壞」的SEM照片作為管線 受有熱劣化之證明。 (4)實則,上開「An Atlas of Polymer Damage」一書中就此等「非脆性破壞 」照片之標題是「PP在室溫下之實驗室破壞,有明顯的外表緊縮」( Laboratory fracture in PP at room temperatare, with marked external constriction),足見所謂「非脆性破壞」係在「室溫」下產 生。而PP管在「室溫」下之所以會產生「非脆性破壞」,乃因PP的材質具 延展性,可能因拆卸、移除、搬運及取樣過程中,外力凹折、彎曲管線所 致。經檢視原告專家就Crawford 15-24之取樣方法後,發現原告專家所謂 管線樣本上的「非脆性破壞」,應係其在「室溫」下取樣時,自PP管拉、 扭、撕下樣本所致,與熱無關。 (5)為證實原告專家取樣之樣本確係在「室溫」下取樣,故其樣本斷片邊緣出 現如「An Atlas of Polymer Damage」一書中所指之「非脆性」之特徵, 被告專家Tom Parry博士乃仿效其方法,在「室溫」下,將一塊Agru PPH 管樣本拉扯、扭斷為二截,而拉扯過程中發現PPH管之材質係先有拉長跡 象才斷裂,故嗣以SEM觀察其斷裂之邊緣時,即顯示與「An Atlas of Polymer Damage」一書中及原告所提出之SEM照片相同之「非脆性」特徵 。 (6)原告的管線樣本Crawford 15-18、15-24、15-25之原始裂痕邊緣,即顯示 「脆性裂痕」之特徵(被證五十八,照片十八頁至第二十三),而被告專 家以SEM觀察Crawford 15- 9、15-21管線樣本,亦可發現「脆性裂痕」( 被證五十八,照片十三頁至第十七)。這些脆性裂痕只可能來自化學侵蝕 ,而非任何一種原告主張之「熱」的機制所能造成。惟原告專家卻故意忽 視此一客觀證據,反而以SEM觀察管線樣本非原始裂痕處之斷片邊緣,攝 得「非脆性破壞」之照片後,再據以主張此係「熱」所造成的,實屬無稽 。 (7)關於系爭「長、縱向」「脆性裂痕」之由來,原告主張:是「內應力」造 成的。殊不知: a、內應力是造成管段上的「長、縱向」裂痕,而與裂痕是否「脆性」無關 ,蓋「脆性裂痕」是來自於化學侵蝕(氟)。 b、「熱」會釋放內應力(被證十六之一之一),故如本件管段確然受有「 熱」時,其內應力將被抵消,也就不會出現「長、縱向」裂痕。原告專 家同意「熱會釋放內應力」,惟主張:那是指全部受熱的情形,與本案 局部受熱不同;且冷卻速率要每小時5oC的緩慢速率,才可使內應力變 小,而本案是很快的熱冷循環。然查,果如原告所指這些粉末有熱效應 之存在,則因為粉末很多,故這些效應會累積,所以加在一起會產生消 除內應力的作用。 c、至於原告主張「熱」會產生「脆性裂痕」更屬無稽。按除了化學侵蝕以 外,只有在零下17oC以下,大幅度且瞬間之溫降才會產脆性裂痕(被證 十七、六 十三,原證一五五),因在「熱」的情況下,分子會有延展 情況,故不會造 成「脆性裂痕」,故原告迄未證明「熱可以造成脆性 裂痕」。 4、示差掃描熱量測定法 (DSC)顯示管壁未曾暴露在高溫下: (1)被告就Crawford 15-21內管壁所做之DSC分析結果,證明內管壁曾受熱之 溫度約在25oC到40 oC之間。 (2)原告聲稱以紅外線光譜 (IR)分析結果,發現使用過管子的內管壁之結晶 度增加很多,但被告之DSC分析結果證明事實並非如此。 (3)原告主張:DSC僅能用來測量「主要結晶」之溶化波峰云云,並不正確。 「次級結晶效應」確實存在,也可用DSC加以測量。 (4)ICI所為DSC分析結果之圖(被證五十六,附錄C),圖一為外管壁溶化波 峰圖,其中兩條曲線之差別在於不同材料樣品之結晶度及兩個管子圓周處 之不同結晶度。 (六)熱劣化、熱疲勞、熱衝擊等原告主張之「熱」的機制,在本案均不存在: 1、不管是熱裂化、熱衝擊、熱疲勞,本案均不存在,因:(1)原告無法證明管壁受有任何「熱」,故不論其主張何種與「熱」有關之機 制,均屬徒勞。 (2)原告主張且定義下的任一「熱」的機制均無法造成本案自動分流管上所見 之「脆性裂痕」,因為除化學侵蝕外,只有在-17oC以下,PPH管才會產生 「脆性裂痕」。 2、熱劣化: 前已述及,「熱劣化」係指管材因「長期無間斷的」暴露於高溫下,而逐漸 導致管材機械強度減損的過程,且其結果是管材機械強度減損,而非管子裂 開。 3、熱衝擊: (1)熱衝擊與熱疲勞之不同在於熱冷循環次數,而不是循環時間。前者為一次 性瞬間降溫(降溫幅度超過熱疲勞)(被證十五之一),以致於超過破裂 應力,後者是多次的熱冷循環。就此,原告先則以「材料熱衝擊之測試方 法,規定是作很多次,不是一次」為由,主張熱衝擊的定義是有一00次 熱循環。嗣原告自知其謬,乃同意「一百次溫差為測試方法,不表示熱衝 擊的定義必須要有一百次的熱冷循環」。 (2)原告主張PP管的玻璃轉換溫度(Tg)為-17 oC,則管子必須由-17 oC冷卻 至-257°C(溫降240 oC)才會產生熱衝擊(被證十七)。因為熱衝擊要 造成「脆性裂痕」的唯一方法是─-17 oC(Tg)以下,瞬間且大幅度的溫 降,在-17 oC(Tg)以上的瞬間溫降,故不論本案自動分流管是否有原告 主張之「熱」,除了化學侵蝕以外,均不會造成脆性裂痕。原告空言主張 「PP會在室溫之上發生脆性裂痕」,殊無可採。 4、熱疲勞: (1)前已述及,除化學侵蝕外,PPH管只有在-17oC以下才會產生「脆性裂痕」 。 (2)被證十五之二指出PP管須經一千萬次熱冷循環才會產生熱疲勞,且這一千 萬次熱冷循環須連續進行。故假設管壁溫度由145oC降到25oC時(溫降 120oC),表示管壁須在一秒鐘內加熱至145oC,然後在下一秒鐘內降溫至 25oC(溫降120oC)。這個過程須在PP管內精確的同一位置上重覆連續進 行一千萬次。然聯瑞晶圓廠在火災前僅生產二萬五千片晶圓,依原告主張 每片晶圓有三次熱冷循環,故總共僅有七萬五千次熱冷循環,而這些熱冷 循環僅於洗滌器跳至分流模式時才發生,不是重覆、連續發生,且不會發 生在管壁同一點,足見原告主張之熱疲勞在本案管線絕不可能發生。 (七)原告並未證明系爭自動分流管所承受的懸吊應力、熱應力、內應力之總和已大 於破裂應力,而足以使管子破裂: 1、原告主張:「破裂應力」為管線破裂所需的應力,從而,假使管子之「熱應 力」、「內應力」及「懸吊應力」之總和大於破裂應力,管線即會破裂云云 。詎 其計算時,將破裂應力之數值低估十倍,以為只有4.3 N/mm2,故其 主張系爭自動分流管之內應力(0.26 N/mm2)加上熱應力(6.37 N/mm2)之 總和6.63N/mm2大於破裂應力(4.3 N/mm2),因而導致管裂云云。 2、嗣原告知悉其計算時,將破裂應力之數值低估十倍(應為43 N/mm2),乃試 圖降低破裂應力數值,並提高內應力、熱應力之數值:(1)原告引用Argu手冊主張:PP的破裂應力只有30 N/mm2,並謂:因多數塑膠 的疲勞強度僅為短期破裂應力的20%~30%,故PP的破裂應力將因「熱疲勞 」而降至「6~9 N/mm2」云云。然查,被證十五之二指出:多數塑膠不等 同於PP,而PP管須經一千萬次熱冷循環才會使PP的疲勞強度降至50%,亦 即15 N/mm2。如前所述,這一千萬次熱冷循環須在PP管內精確的同一位置 上重覆連續進行一千萬次。故依聯瑞晶圓廠之生產狀況,本案管線絕不會 發生熱疲勞現象。本案管線既無「熱疲勞」之現象,則不會有原告所謂「 PP 管因熱疲勞而使破裂應力降到6~9 N/mm2」之情形。 (2)原告另將「熱應力」由6.37 N/mm2提高至24 N/mm2(溫降由35oC改為136 oC);內應力由0.26 N/mm2提高至13~26 N/mm2,主張:「熱應力」加「 內應力」(37~50 N/ mm2)業已大於破裂應力(6-9 N/mm2)云云,然查 : a、原告未證明本件自動分流管內溫降有35 oC,甚或136oC(由161oC降到 室溫25oC)之情形。故無由主張本案管內之「熱應力」有6.37~24 N/mm2。 b、又,原告修正後之計算式雖改稱內應力應為26 N/mm2,但亦主張:「真 實的情況下,其內應力比計算的數值小很多」(原證一三六),故原告 認定之內應力到底為何?迄未見原告證明。何況,「內應力」會被「熱 」所釋放,故管子如受熱,則「內應力」將被抵消而不存在,如無「內 應力」,即不會造成系爭管段上所見之「長、縱向」裂痕。 c、懸吊應力與內應力之方向不同,故懸吊應力會導致「圓周向裂痕」,而 非本件之「長、縱向裂痕」。 d、何況,如「熱應力」加「內應力」為37~50 N/mm2,已大於破裂應力( 6~9N/ mm2),豈非表示系爭管子一開始使用就會破裂?故原告主張「 熱應力」、「內應力」、「懸吊應力」可併存且加計其應力數值云云, 實屬荒謬。 (八)本案WCVD機台排氣管龜裂原因,乃機台排放廢氣具腐蝕性及管子製造殘留之 「內應力」所致。 被告專家於九十二年十二月十日庭訊時,曾以壓克力長條及去光水進行實驗, 向 鈞院說明何謂「環境引發之應力破裂」(內應力+腐蝕性環境)。由實驗 結果可知:單純只用內應力不會讓壓克力長條斷裂,但若加上腐蝕性液體,如 去光水,即可輕易折斷它。因氟之危險及腐蝕性極強,故被告專家乃另擇其他 材質進行實驗。 1、系爭分流管上的裂痕係屬於「長、縱向」的「脆性裂痕」,「長、縱向」是 由管子的「內建應力」所致,而「脆性裂痕」則來自於化學侵蝕。因 WCVD製程係用「氟」來清洗反應室,未消耗完畢的氟即排入酸毒排氣管中。 故系爭「脆性裂痕」應是來自於廢氣氣流中的「氟」侵蝕管壁所致。 2、聯瑞公司證實本案WCVD機台排放之廢氣具腐蝕性而導致管裂,故原擬更換成 覆以鐵氟龍之SUS不鏽鋼管。 (1)據聯瑞公司「八十六年十月二日鎢氣沈積器之蝕刻機測排氣管修復事件報 告」內載:「八十六年十月二日上午十一時三十分許,鄭水松與製程部門 工程師檢視龜裂之側排氣管,我們原本打算將該側排氣管改由覆以鐵氟龍 之SUS不鏽鋼管取代之。但製程部門工程師無法馬上找到適當的鋼管,經 過討論之後,我們決定在八十六年十月三日早上仍以P H管線更換該側排 氣管,但管壁厚度乃是五釐米而非一.八釐米」(被告九十年十一月二十 七日答辯(五)狀附證十)。足見聯瑞公司於火災發生前已經查覺PPH管 線無法抗腐蝕,故擬更換為覆以鐵氟龍之SUS不鏽鋼管,只因無法立刻找 到材料,故才改採厚度較厚的PP管。由此可見,天和公司前來置換管線乃 「新工作」。 (2)聯瑞公司機台工程師鄭水松稱:「WCVD製程機台排放之廢氣具有腐蝕性, 故在管線龜裂後,我告知廠務工程師該廢氣具腐蝕性,選用排氣管材質時 應予考慮」(被證四之一,問題十四)。 (3)聯瑞公司空調部課長謝錦泉稱:「本公司8D廠WCVD機台之排氣管發生龜裂 ,原打算更換為不銹鋼材質,但因準備不及,乃請天和公司更換管壁較厚 (5.8mm)之PPH管替代原先管壁厚度1.8mm之PPH管」(被證四之一,問題 十三)。 3、本案自動分流管中確有「氟」存在: (1)氟為實際用來清洗反應室之氣體如反應室未清洗乾淨,將導致晶圓上有太 多微污染,而無法使用。所以,為確保反應室清洗乾淨,總是使用過量的 氟,未消耗完畢之氟及活性物即排入酸毒排氣系統中。 (2)聯瑞公司機台工程師鄭水松稱:「本公司WCVD製程所用之清洗氣體為三氟 化氮,該氣體在反應室中以高溫及電漿將三氟化氮分解為氟及其他衍生物 」-被證四之一,問題十二。 (3)鄭水松復證稱:「氟在反應室內未消耗完畢,即排放到三氟化氮之 Centrotherm洗滌器,但如洗滌器跳機而進入自動分流模式時,氟及衍生 物即會經由自動分流管而排入AT 2及AT3次主管中」(被證四之一,問題 十二)。 原告主張:被告詢問聯電工程師的問題有誘導之嫌云云,更屬無稽。按如 果清洗用的氟全然消耗完畢,則聯電工程師豈有不知之理,理應在回答時 指出:「並沒有未消耗完畢的氟」,然聯電工程師不僅確認「未消耗的氟 會排放到洗滌器,如洗滌器跳機,進入自動分流模式,則未消耗的氟及其 他活性物經由自動分流管而排入AT2及AT3次主管中」,甚且,該工程師確 認「管線發生龜裂後,告知廠務工程師廢氣具腐蝕性,選用管材時應予考 慮」(請見被證四之一,問題十四)。足見聯電工程師因知:用以清洗反 應室的氟並未完全消耗,而未消耗完畢的氟具腐蝕性,故在流經自動分流 管時,會造成管裂,才如斯陳述,豈是誘導可得!詎其回答與原告之管裂 理論相悖,而不利於原告,原告乃又故意曲解聯電工程師確認之內容。 (4)被告專家陳政任博士曾對聯瑞WCVD機台進行過廢氣的分析,當時廢氣分析 質譜儀中出現「氟的波峰」,故可證明氟的存在。 (5)原告主張:雖然「氟的波峰」在洗滌器入口及出口均出現,然因氟極為活 躍,經洗滌器洗滌時,必然會與「水」反應,而不會存在經洗滌後之廢氣 中,足見該波峰並非氟。實則,由原告自己引用的文獻及測試結果可知: 過量的氟經水洗滌後,仍有少數殘餘,故洗滌後廢氣仍可測得「氟的波峰 」,只是洗滌器出口端的氟較進口端少(被證二十八之一)。此即為廢氣 中含氟的客觀證據,詎原告竟空言主張「該波峰並非氟」云云,殊無可採 。 (6)依據紅外線光譜 (IR)之文獻 (被證二十八之一之一),氟侵蝕所造成的 C-F鍵之頻率約在0000-0000cm-1,故被告專家對未使用過之PP管、聯瑞之 PP管與曾曝露在0.01% F2之PP管分別進行IR檢測,結果如被證十六之七所 示,未使用過之PP管在1240cm-1處並無波峰,但聯瑞之PP管及曝露過氟的 PP管則在1241cm-1處增加一明顯的波峰,顯示1241cm-1處即為C-F鍵、氟 的波峰,這也是聯瑞PP 管有受氟侵蝕的直接證據。 (7)為進一步確認前揭IR分析之結果,被告材料專家Tom Parr y博士將 Crawford 15-21及同材質、尺寸之PPH管送至英商卜內門化學工業股份有 限公司 (ICI)進行「光電子能譜技術 (XPS)」分析,以偵測材料表面或非 常靠近表面之元素。ICI公司被公認是XPS領域之世界權威,擁有進行這類 分析之最新型設備與專業技術。而進行分析的是ICI公司的Ian Flectcher 博士,Flectcher博士專精於聚合物材料之分析,擁有十六年操作XPS的經 驗,至今已進行過上萬次的XPS分析(Flectcher博士的學經歷詳如附件所 示)。分析結果顯示Crawford 15-21管子龜裂表面上有氟的存在,但未使 用過之管子則沒有(被證十六之九)。足見本案自動分流管中確實存在有 氟,故使管壁受有「化學侵蝕」而產生「脆性裂痕」。 (8)就此,原告主張:其專家以相同方法檢測Crawford 15-9樣本後,發現管 子內部含有粉末之處,同時顯示鎢及氟之波峰,管子破裂面則只有鎢的波 峰,而無氟的波峰,足見氟的波峰是來自於粉末,而非來自PP管本身云云 。然查: a、九十二年十月七日當天雙方至新竹貨櫃場檢視原告專家陳郁文教授取樣 之處時,渠自承原始之Crawford 15-9樣本已裂成數塊,從而,陳郁文 教授嗣以Crawford 15-9樣本做上開XPS實驗時,如非自原始裂痕之處, 而是自取樣時斷片之邊緣進行XPS分析,當然不會發現氟的波峰。 b、ICI就系爭管線樣品分析結果,發現有三種氟-其中34.1%為C-F、另外 33%可能是C-F,而WF只有32.9%。其中WF是氟與鎢反應後生成,在粉末 中可發現,而C-F則是氟侵蝕PP管時,破壞管壁之鍵結而形成(被證五 十六,第五.二點)。足見原告專家因不知如何區分WF、C-F,乃將粉 末中發現之WF遽指為C-F,因而導出「氟的波峰僅存在粉末中「此一錯 誤結論,殊無可採。 c、為證明原告專家指稱「氟的波峰僅存在粉末中」云云,並不正確,ICI 公司的Ian Flectcher博士乃將管子樣品用氫氧化鈉清洗,以去除黃色 粉末,粉末清除後再以XPS檢測結果,發現氟-碳鍵的量高達約19%(粉 末清除前為3%),因為用氫氧化鈉清洗管子會減少氟-碳鍵的量,足見 管子內壁上之氟-碳鍵含量原來應在19%以上。上開檢測結果顯示確有 氟侵蝕PP管的表面,以致呈現相當百分比之氟-碳鍵。 (9)為證明原告專家指稱「氟的波峰僅存在粉末中」云云,並不正確,ICI公 司的Ian Flectcher博士乃將管子樣品用氫氧化鈉清洗,以去除黃色粉末 ,粉末清除後再以XPS檢測結果,發現氟─碳鍵的量高達約19%(粉末清除 前為3%),因為用氫氧化鈉清洗管子會減少氟─碳鍵的量,足見管子內壁 上之氟─碳鍵含量原來應在19%以上。上開檢測結果顯示確有氟侵蝕PP管 的表面,以致呈現相當百分比之氟─碳鍵。 (10)原告專家主張:用氫氧化鈉去洗滌管子上的黃色粉末是不正確的,因為化 學有機溶劑含有少量的雜質,洗滌時這些雜質會吸附在物質表面,造成分 析的誤差,且氫氧化鈉水溶液如含有氟時,也會吸附在樣品表面;另外, 在三氧化鎢粉末上的氟也可能在清洗過程中吸附到PP材質上,所以不能用 化學藥品去洗,要用氬電子槍將樣品表面物質打掉云云。然查: a、被告專家清洗樣品時,係以蒸餾水或光譜級的溶劑,故不會有原告指稱 之「雜質」存在。 b、這些水或溶劑都有用質譜儀分析過,確認沒有含「氟」,所以不會有原 告所指「溶劑中的氟於清洗時吸附到樣品上而影響分析結果」之情形。 c、用氫氧化鈉清洗管子上的黃色粉末時,黃色粉末上的氟會跟氫氧化鈉反 應掉,所以也不會有原告所指「黃色粉末上的氟在清洗過程中會吸附到 樣品表面」之情形。且,正因為氫氧化鈉會跟氟反應,故被告專家亦提 到用氫氧化鈉清洗管子時,會減少氟-碳鍵的量,所以管子上原本的氟 -碳鍵量應比實際測得的19%還高。 d、至於原告專家主張:「應用氬電子槍來清洗管子表面」云云,顯然欠缺 分析有機物表面之常識,因為這樣的方法會完全破壞樣品表面的化學結 構,比用氫氧化鈉清洗對樣品造成更大的破壞。故電子槍一般是用在清 洗金屬樣品,而不能用來清洗有機的高分子材料(如PP管)。 (11)原告引用原證一二八的美國專利,主張:氟是非常活潑的元素,不會只攻 擊PP管之弱點,且如管裂是氟所造成,上游之垂直管段應該先裂,何以裂 痕大多發生在下游的水平管段云云。然查,被告專家從未說「氟只會攻擊 PP管之弱點」,被告專家一直主張:「氟會攻擊PP管之鍵結,但氟加上內 應力才會造成管裂」。而「弱點」即指管內應力之集中處,一截管段可能 有數個應力集中處,長的管段(即本案中之水平管段︶其應力集中處較短 的管段(即垂直管段)多,故當氟侵蝕PP管鍵結時,在應力集中點處(即 弱點)就會產生裂痕,此亦下游長的水平管段有較多裂痕之故。足見原告 質疑「上游管段為氟濃度較高之處,應有較多裂痕,何以不然?」顯係誤 以為只要有「氟」就可造成管裂,忽略了被告一向主張「氟加上內應力」 才會造成管裂之理論。 4、被告在訴訟前即主張「氟及內應力」造成本案管裂: (1)原告主張:被告於一九九九年之簡報中承認「氟是存在於廢氣中唯一會侵蝕 PPH的化學物質,且其在大氣之空氣中存在時,不可能存活」(原證一五九 ),現又主張氟為管裂原因,顯係臨訟變更見解云云。(2)查保險公證人Ross Cuff先生於訴訟前,為向原告說明本案之管裂為「氟及 內應力」造成,乃於一九九九年八月二十日向原告進行簡報,當時,即清楚 向原告陳述「管裂表面的顯微鏡觀察結果,顯示裂痕的開始及成長,是環境 引發的應力破裂,與我們稍早所稱的機制相同」,「ESC需要應力及化學活 潑的環境,缺少其一不足以造成破裂,?聯瑞用的PPH管製造過程殘留很多 的應力」,「自動分流管之破裂並不讓人訝異,因為PPH管眾所周知會被 WCVD製程的副產物-氟所破壞」(被證六十八,附件G)。足見被告管裂理 論自始一致,並無臨訟變更之情形。 (3)當時進行簡報的公證人Ross Cuff於九十二年十二月十日庭訊中證稱:「氟 會跟空氣反應,但是經由被告專家Ian博士所提供的證據,證明從反應室出 來的氟仍會跟PP管反應」,此即被告專家一再主張「氟與濕氣僅會緩慢反應 ,不會完全反應」之故,且原告引用的文章亦證實「氟在水中溶解度有限, 故經過水洗式洗滌器時,並未完全溶解」(原證五十五),「水氣並非清洗 氟的好反應劑」(原證一二六)。 二、火災原因: 原告自民國八十九年起訴伊始,三年來,計有五位火災專家提出五種截然不同的 火災理論,卻無一正確,甚至自相矛盾,足見原告根本不知本案火災原因為何, 只是憑空猜測而已,茲析論如下: 1、Leveen-矽甲烷吸附在自動分流管內大量、蓬鬆且呈棉花狀之粉末上,因天 和公司切開自動分流管,大量空氣進入,使矽甲烷釋出而引燃火災(被證四 十)。但其無法解釋何以自動分流管未著火。 2、Leveen、陳郁文、Vickery、Armstrong-改稱:「矽甲烷氣體被包覆在薄膜 狀微球體中,微球體因擾動而破裂,釋出矽甲烷引燃火災」(被證四十一、 四十一之一、四十一之二)云云。但渠等從未證明微球體之存在,如何吸附 於次主管內?微球體破裂釋出矽甲烷時,何以不會再形成微球體?包覆之矽 甲烷是否足以引燃火災? 3、Leveen-在知悉確無「矽甲烷微球體」存在之證據後,原告專家改稱:「矽 甲烷被包覆、吸附在次主管的WCVD粉末中」,但渠無法證明WCVD粉末可以包 覆、吸附矽甲烷,且矽甲烷之濃度已達自燃濃度,亦無法解釋矽甲烷為何未 受平常管內之氣流擾動而釋出?釋出後何以不會與次主管內之空氣反應或被 排氣氣流抽送至大氣中? 4、Hammond-主張矽甲烷以「矽-矽-氫粒子」的形式存在,為「固體」,屬 WCVD粉末成分之一,而不是被粉末困住或被微球體包覆之「氣體」。 Hammond同意WCVD粉末中之三氧化鎢 (WO3)不具易燃性,且會稀釋矽-矽-氫 粒子的放熱效應,使熱能不足以讓局部溫度提高到起火的溫度,故其引用原 告另一專家陳郁文之粉末分析報告(原證六十六)主張:「鎢會留在輔助管 線,而矽粉末則會流到次主管」云云,然陳郁文所分析的是上游起火點 WSix粉末燃燒後之產物-二氧化矽 (SiO2),故不得作為「矽粉末只會沉積 在次主管內」之證明(詳如後述)。且Hammond所引用之文獻無一提及此「 矽-矽-氫粒子」具自燃性,可引起火災(亦詳後述);退萬步而言,縱認次 主管內確實沉積有「具自燃性」之矽粉末,然,何以未在天和切開管線,使 空氣進入時,引燃起火?足見Hammond之火災理論因臨訟編織故破綻百出。 5、Hammond-為解釋原告之矽甲烷火災何以未在天和切開管線,使空氣進入時 發生,Hammond先稱:所謂「自燃性」並非「立即發生」,而是「可能發生 」(原證一三七第四頁)。然經被告質以:「如果是『可能發生』,亦表示 ﹃可能不發生﹄,則原告到底認為何種原因導致起火?」後,其嗣於辯論期 日時改稱:「所謂之『自燃性』 (pyrophoric)係指『緩慢氧化』之過程, 所以需先氧化,等熱度足夠時,才會燃燒,所以系爭火災在天和開始工作後 數小時才發生,是很正常的」云云。然,Hammond顯係將「pyrophoric」( 立即自燃)與「spontaneous combustion/heating」(自氧化、蓄熱而產生 之自動燃燒)混為一談。Hammond所指「矽-矽-氫粒子」既屬「自燃性物質 」 (pyrophoric),理應於釋出矽甲烷時「立即自燃」,不會緩慢氧化,延 遲數小時才引燃起火;若是因自氧化所引起的自動燃燒,則在十二吋次主管 之WCVD端只有薄薄的一釐米厚的粉末,故任何自氧化所釋放的熱必會被管內 的排氣氣流與PP管所冷卻,根本無法如其所主張:「可持續氧化數小時而蓄 熱引燃」。 誠如原告自承:「須先了解起火點,才能知道火災引燃機制」,然, Hammond火災報告中,並無隻字片語提及起火點為何?或因Hammo nd並未親 自勘查火災現場或證物,亦未曾訪談任何證人,完全根據原告其他專家提供 之資料來表示意見,故其無法判斷起火點何在。然,如其不知起火點何在, 又怎知本件火災之引燃機制為何?茲Ha mmond在系爭火災發生逾六年後,試 圖以火災專家身份評論兩造火災理論孰是孰非,卻不知起火點何在,顯見其 火災理論之荒誕無稽,不足採信。 原告主張:WCVD機台排放之六氟化鎢、矽甲烷等廢氣,與空氣反應後會產生棉花 狀、十分蓬鬆的黃白色粉末,致使未反應之矽甲烷、氫氣等廢氣可吸附其上,而 留存於排氣管內,當粉末被機械性擾動時,此等未反應之廢氣即會釋出而發生自 燃現象,天和公司於八十六年十月三日置換排氣管時,對管內粉末造成機械性擾 動,故而先後引起二次火災云云。然,原告上開起火理論在起火時間、起火點及 引燃機制上均有根本性之謬誤,故其火災理論絕不可能正確。茲析論如下: (一)原告之火災理論與起火時間相互矛盾: 1、原告迄無法解釋矽甲烷遲延自燃之問題 (1)八十六年十月三日當天,天和公司約自上午九時三十分開始切除管線,至 十一時左右已全數切除完畢,此時大量空氣進入管線,惟當時並無任何火 苗,直至下午三時。如原告理論正確,則大量空氣進入管線時即應「瞬間 」引燃矽甲烷,第一次火災何以遲至數小時後才發生? a、原告在一九九九年十一月一日給被告公證人的報告中說:「當有保護作 用的 二氧化矽層被擾動時,被包覆的矽甲烷會暴露在空氣中,導致立 即反應」(被證六十九,附件A)。 b、原告專家Leveen於二OO二年二月之報告中,仍主張:當天和移除自動 分流管時,天和擾動了被吸附的矽甲烷,矽甲烷與空氣反應後,「立即 」引燃(被證三十二之一)。 c、原告專家Armstrong二OO二年一月二十九日報告中,亦謂:「天和公 司的活動引發非晶質二氧化矽釋放具有發火性的矽甲烷,矽甲烷隨即發 生燃燒」(被證七十二)。 d、然,八十六年十月三日當天,天和公司約自上午九時三十分開始切除管 線,至十一時左右已全數切除完畢,此時大量空氣進入管線,惟當時並 無任何火苗,直至下午三時。如原告理論正確,則大量空氣進入管線時 即應「立即」、「瞬間」引燃矽甲烷,第一次火災何以遲至數小時後才 發生? (2)原告雖試圖引用Tamanini文章來說明矽甲烷引然會有遲延情形而不會「瞬 間」發生(被證三十一),但在同篇文章中,Tamanini係指「遲延15~120 秒才會自動引燃」(被證三十二),而非遲延數小時!且原告嗣後所引用 之文章及製造商警語亦提及矽甲烷火災係瞬間引燃(被證三十三),足見 原告之主張與其所提證據根本自相矛盾。原告因無法自圓其說,乃改口稱 :「矽甲烷之自燃無法預測」云云,更顯無稽。 (3)原告專家Hammond甚至稱:「假如自燃性化學物不足以引起快速的氧化, 則氧化會持續放出熱,直到當局部的溫度過高,火就被引燃,故自燃性物 質從氧化到引起火災,遲延有一段時間是相當可能的」( 鈞院九十二年 十二月十一日筆錄第六頁)。然查,Hammond主張「自燃性物質」 (pyrophoric materials)依美國能源部手冊係指「暴露於空中『立即』 引燃的物質 (pyrophoric substances ignit e instantly upon exposure to air (atmospheric oxyg en)」(被證七十三),與所謂 「自氧化物質」 (spontane ous combustion/heating materials)不同, 後者係指「物質緩慢氧化、蓄熱、無須引火源即可引燃起火」(被證七十 三、七十四)Hammond顯將二者混為一談。 (4)如果原告專家主張的不是「自燃」,而是「自氧化」,且氧化產生的熱量 極小,需累積熱量,使溫度足夠才能引燃起火。則,縱如原告指稱本案 WCVD端次主管內有一釐米厚的WCVD粉末(矽-矽-氫粒子),這些矽-矽-氫 粒子反應所放出來的微小熱量,會被管內氣流或聚丙烯管帶走,而快速冷 卻,不會有任何「蓄熱」(累積熱量)的現象。從而,原告的「矽甲烷火 災」倘若未在天和工人切開管線、擾動粉末時,因矽甲烷之「自燃」而「 立即」引燃起火(至多遲延15~120秒),之後亦不可能發生。原告另舉「 悶燒的香煙」來說明「緩慢氧化」的過程,然上述香煙其實是被引火源( 火柴或打火機)點燃而燃燒,並非置放於空氣中,因「緩慢氧化」而蓄熱 引燃,故與本案無關。至原告主張「傳遞熱量時,是一個原子一個原子, 一個電子一個電子,一個光子一個光子的傳遞,故縱使次主管內只有一釐 米的粉末,相較於一個原子,也是極『厚』,不會如被告專家所指『快速 散熱』,仍會有累積熱量之情形」云云,更屬無稽,按熱的傳遞如果是原 子間或電子、光子間之傳遞,則傳遞的速度極快,數秒內即散熱完畢,亦 不可能如原告所指「氧化可持續數小時,使熱量逐漸累積到足夠溫度」。 2、原告迄無法證明下午五點半發現的火災其引燃之時間 (1)原告主張:「下午五點半發現之火災其引燃時點無從得知」,然原告若無 法先了解火災引燃時間及地點為何,如何找出在當時、當地是何種因素造 成火災。故縱使原告無法百分之百精準的認定起火時間,也應就下午五點 半之火災可能的、大概的起火時間提出合理解釋,否則即係自承其火災理 論全憑臆測。 (2)原告主張:其早已指出第二次火災在下午五點半被發現前,已在管內燃燒 『相當長』的時間(數小時),只是未被發現云云。實則,原告專家係以 為下午五點半發現的火災乃下午三點火災之延燒,或當時即已發生,只是 未被發現: a、第一次的Crawford報告稱:「與其說是發生第二次火災,更可能是第一 次起火時,火勢蔓延的程度超過員工之想像,因之員工未將火勢徹底撲 滅」(被證四十一之四),其第二次報告仍謂:「在此次火災(即五點 半火災)被發現的同時,較早的火災(即三點火災)已蔓延至整個廢氣 排放系統」(被證四十一之五)。而原告專家Leveen在其第一次報告稱 :「此次火災(三點火災)使用手提滅火器撲滅(This Fire was manually extinguished)」(被證四十一之六),其第二次報告卻謂 :「該場火災於一九九七年十月三日下午約三點即為人所發現,但無人 發現,該火苗及其他火苗仍持續延燒,直 至五點半左右,才再度為人 察覺」(被證四十一之七)。 b、兩次火災的起火點分別在十二吋管及十八吋管,二點相距約二十四公尺 ,而管內的排氣方向係分別將廢氣從十二吋及十八吋自樓上向下抽送至 地面層下方直徑二公尺之地底閥基後,再往左,再向上抽送至屋頂排出 (被證四十一之八)。足見除非三點之火災可逆流而上二十四公尺,否 則,五時半發現之 火災絕無可能是三點火災延燒之結果。 c、且,下午三點的火災被撲滅後,聯瑞工程師隨後檢查十二吋及十八吋次 主管,確定兩根次主管中皆無火災在燃燒,足見下午五點半發現之火災 亦非於下午三點時即已發生,只是未被發現。 d、原告雖謂:「當有空氣存在且發生機械性擾動時,氧化即開始進行,但 真正有火焰的燃燒則要等到引燃來源、空氣及燃料等條件均具備時才會 發生」云云,仍卻未清楚說明「何時」?「何地」?「因何因素」?使 原告所指之引燃條件均已具備。 e、依聯瑞之生產記錄,WSix01及02之機台運轉到下午4:39止(被證六十一 ),並非在第一次火災(下午三時)後已停止生產。因下午五點半發現 火災時,火勢已經很大,無法控制,故被告合理推算火災應已燃燒 0.5~1.5小時,亦即約在下午四點頁至第五點之間起火,因當時WSix機 台尚在排放廢氣。茲原告就第二次火災被發現前已延燒數小時一節,已 不爭執,惟其認為並非僅燃燒0.5~1.5小時,而是更久,卻無法舉證以 實其說,只是憑空猜測而已。 原告雖試圖引用Tamanini文章來說明矽甲烷引然會有遲延情形而不會「 瞬間」發生 (被證三十一),但在同篇文章中,Tamanini係指「遲延 15~120秒才會自動引燃」 (被證三十二),而非遲延數小時。原告嗣稱 :「Tamanini文章與本案情形不同,故遲延現象不可相提並論」云云, 果若如是,則原告當初何以引用Tamanini文章來說明矽甲烷遲延自燃之 現象?且原告嗣後所引用之文章及製造商警語亦提及矽甲烷火災係瞬間 引燃 (被證三十三),足見原告之主張與其所提證據根本自相矛盾。原 告因無法自圓其說,乃改口稱:「矽甲烷之自燃無法預測」云云,更顯 無稽。 原告專家Hammond甚至稱:「假如自燃性化學物不足以引起快速的氧化 ,則氧化會持續放出熱,直到當局部的溫度過高,火就被引燃,故自燃 性物質從氧化到引起火災,遲延有一段時間是相當可能的」( 鈞院九 十二年十二月十一日筆錄第六頁)。然查,Hammond主張「自燃性物質 」 (pyrophoric materials)依美國能源部手冊係指「暴露於空中『立 即』引燃的物質(pyrophoric substances ignit e instantly upon exposure to air (atmospheric oxyg en)」(被證七十三),與所謂 「自氧化物質」 (spontane ous combustion/heating materials)不同 ,後者係指「物質緩慢氧化、蓄熱、無須引火源即可引燃起火」(被證 七十三、七十四)。Hammond顯將二者混為一談。 3、如果原告專家主張的不是「自燃」,而是「自氧化」,且氧化產生的熱量極 小,需累積熱量,使溫度足夠才能引燃起火。則,縱如原告指稱本案WCVD端 次主管內有一釐米厚的WCVD粉末(矽-矽-氫粒子),這些矽-矽-氫粒子反應 所放出來的微小熱量,會被管內氣流或聚丙烯管帶走,而快速冷卻,不會有 任何「蓄熱」(累積熱量)的現象。從而,原告的「矽甲烷火災」倘若未在 天和工人切開管線、擾動粉末時,因矽甲烷之「自燃」而「立即」引燃起火 (至多遲延15~120秒),之後亦不可能發生。原告另舉「悶燒的香煙」來說 明「緩慢氧化」的過程,然上述香煙其實是被引火源(火柴或打火機)點燃 而燃燒,並非置放於空氣中,因「緩慢氧化」而蓄熱引燃,故與本案無關。 至原告主張「傳遞熱量時,是一個原子一個原子,一個電子一個電子,一個 光子一個光子的傳遞,故縱使次主管內只有一釐米的粉末,相較於一個原子 ,也是極『厚』,不會如被告專家所指『快速散熱』,仍會有累積熱量之情 形」云云,更屬無稽,按熱的傳遞如果是原子間或電子、光子間之傳遞,則 傳遞的速度極快,數秒內即散熱完畢,亦不可能如原告所指「氧化可持續數 小時,使熱量逐漸累積到足夠溫度」。 (二)原告迄無法證明下午五點半發現的火災其引燃之時間 原告認定起火點錯誤: 1、原告就起火點之判斷錯誤,故其火災理論不可能正確 (1)依原告矽甲烷火災理論,起火點應在自動分流管(因堆積最多WCVD粉末, 且最可能吸附製程廢氣),而不在次主管。 (2)原告專家就起火點提出之證據,不僅無法支持其火災理論,反而支持被告 之理論。 2、下午三點發現之火災 (1)由原告專家陳郁文教授於十二吋次主管(Crawford 15-38)內之樣品成份 分析表(被證五十之三)及其自繪的採樣地點管線圖示(被證五十之四) ,可知: 其係以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡」為判斷起火點之依據, 因而認定第一次火災起火點在WSix端次主管,且火勢往下游延燒(被證五 十一)。然其將上游之WSix端誤以為係WCVD端(被證五十二),因而錯誤 指稱起火點在WCVD端次主管。顯見原告對聯瑞副廠區管路配置之情形並不 了解,才會將上游的WSix端與下游之WCVD端相互錯置。 (2)然而,第一次火災之起火點如在上游之WSix端,即與原告之起火理論有悖 ,原告乃放棄以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡」作為判斷起火 點之證據,改以「證人目擊」方式而謂WCVD端第四個洞口為起火點,且提 出「氣流向上迴流」之錄影帶企圖證明火勢會往上游延燒。然則: a、原告既以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡」為據,而自認WSix 端之十二吋次主管為第一次火災之起火點,殊無再予狡賴之理。 b、證人於WCVD端第四個洞口看到的火勢,係火勢往下延燒的結果,並非起 火點,因檢視火災後卸下之十二吋次主管內部燃燒情形,其WCVD區段之 各個連接口及內部根本沒有燃燒痕跡,反倒是WSix區段「Iwatani過濾 器排氣管」與「十二吋次主管」之連接口有嚴重燒穿現象,顯見該處確 為起火點。 c、自WCVD維修口進入的空氣不會流向上游而改變氣流方向,因: (a)次主管內原本有來自空氣稀釋管、壓縮空氣、穿孔、Iwatani外櫃抽 氣等多項來源的空氣,且因屋頂風扇之抽送,而形成固定之氣流方向 ,所以自WCVD維修口進入的空氣不會流向上游而改變氣流方向。 (b)原告係因其專家陳郁文教授錯將上游的WSix端次主管當作是下游的 WCVD端次主管,且以「嚴重燃燒痕跡」認定該WSix端次主管為起火點 。為解釋何以起火點在下游的WCVD端次主管,而上游的WSix端次主管 卻有燃燒痕跡,原告這才提出次主管內氣流會逆流而上之說法。 (c)然此由被告專家陳政任博士於九十二年二月十日簡報之氣流實驗錄影 帶可以清楚看到。原告專家陳郁文之前雖提出所謂「氣流向上游逆流 」的錄影帶,然因其係以粉末及尺寸過小(二吋管)的管子充作次主 管做實驗,且管內壓力及排氣情形與聯瑞排氣系統內均不同,以致粉 末撞擊到管壁而往旁邊彈開,形成所謂「氣流向上逆流」之假象。 (d)被告專家陳博士之氣流實驗是採用與聯瑞近似之抽氣壓力與管線配置 ,即顯示正確之氣流方向。從而,陳博士以六吋管充作次主管作實驗 時,氣流若無向上逆流情形,則聯瑞十二吋次主管內將更不可能有逆 流現象。 (3)原告為掩飾其錯置WSix端及WCVD端次主管及變更起火點之窘境,竟爾聲稱 「陳郁文教授在未有足夠資訊之情況下,偶然的指出WSix端為起火源,對 於三點火災起火點之判斷並無意義」。然查: a、陳教授當初係以「國立中央大學」名義(而非陳教授個人名義)於民國 九十一年二月二十二日發表一份正式報告。報告中記載:「鑑定單位係 依據Crawford於民國八十六年十二月十五日及九十一年一月二十八日報 告中所載火災發生經過之事實,以及至新竹貨櫃廠檢視相關管線並取樣 分析管線中之粉末...分析判斷本件火災之起火原因」。而Crawford 上開兩份調查報告皆包含系爭火災之敘述、圖面、數百張聯瑞晶圓廠配 置之照片及許多其他文件。足見陳郁文教授並非在不知Crawford調查內 容之情況下,而偶然指出起火點在WSix端。 b、陳郁文教授及其他原、被告專家,陪同 鈞院於九十一年五月八日至新 竹貨櫃場履勘系爭管線時,陳郁文教授與被告專家均指著WSix端次主管 上燒穿之連接口,而謂「此即是起火點」,惟專家間就該處為WSix端或 WCVD端爭論不休。 鈞院當場還問兩造專家「你們都同意這裏是起火點 ,只是就這是WSix端或WCVD端,雙方意見不同?」陳郁文教授次日(九 十一年五月九日)庭訊時猶堅稱;「該處(WSix端)為起火點」(被證 五十一),茲原告未能指出當初陳郁文教授對起火點之判斷方式有何錯 誤,就試圖以「陳郁文教授在未有足夠資訊之情況下,偶然指出WSix端 為起火點,並無意義」云云,含混一筆帶過,態度可議。 c、原告見其誤將WSix端當做WCVD端,以致其專家原先判斷之起火點無法支 持其火災理論,乃由其另一專家Wilkerson(Crawford公司之調查人員 ),另生一些起火點判斷的原則,並引用NFPA標準為據,然這些標準都 是概括性的陳述,Wi lkerson從未言明其判斷WCVD第四個洞口為起火點 的確切證據為何?且係依據何明確之判斷準則?果其言屬實,何以 Crawford兩次調查報告均未載WCVD第四個洞口為起火點以及相關證據。 d、Wilkerson於九十一年七月二十九日簡報中向 鈞院提出一張火災起火 點的照片,而謂「起火點是WCVD第四根分流管的連接洞」,實則該張照 片所示之處為WSix端次主管第二個洞口,Wilkerson嗣又承認錯誤,而 撤回那張照片。足見Wilkerson自始也認為起火點在WSix端次主管,後 來只是為配合原告之火災理論才又改口。 (4)原告見無法證明確切之起火點,嗣竟狡稱:「在本案中,火災型式可能係 表象式的,很難追溯至任何特定的起火點」云云。然,如果連起火點都無 法確定,又如何確認何種物質導致火災?引燃機制為何?何況,原告專家 Ben Wilkerson於九十一年七月二十九日簡報時,自己引用NFPA 921的「 基本方法論」指出:「適當之火災或爆炸調查方法,首先必須決定及證實 火災之起源,然後調查原因」(被證五十三之一)。足見原告故意忽略十 二吋次主管只有ClF3排氣管連接處嚴重燒穿,其上、下游均無燒穿此一「 不可辯駁的物理證據」,又提不出其他判斷起火點之證據,才會主張「很 難追溯任何特定起火點」。 3、下午五時三十分發現之火災: (1)原告主張:五點半火災起於十八吋次主管上游,該處WCVD段及WSix段係交 錯在一起。然第二次火災之起火點並非十八吋次主管之WCVD排氣口,因 WCVD Centr otherm洗滌器在火災發生前一日,已用手動分流模式將廢氣 導向其他管線(被證五十三),故十月三日當天並無WCVD廢氣排入十八吋 次主管。 (2)實則,原告所指五點半火災之起火點為第十二個洞,亦即WSix手動分流管 之連接口,又與被告主張起火理論相符。 (三)本案絕非矽甲烷火災: 原告若無法證明左列各點,其「矽甲烷火災」理論即屬空言無稽: (1)WCVD粉末可包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣; (2)如果WCVD粉末會吸附矽甲烷,則所吸附之矽甲烷濃度足以導致火災; (3)前述WCVD粉末堆積於次主管中,而非自動分流管內; (4)前述WCVD粉末平常不會受次主管內氣流擾動,只有在天和公司施工時, 才被擾動而釋出矽甲烷,且釋出之矽甲烷不會立刻燃燒。 1、原告迄未證明WCVD粉末可包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣: (1)原告原先主張:因粉末狀物質以棉花狀附著於輔助管線內,十分蓬鬆,致 使矽甲烷、氫氣等可燃性氣體聚積在粉末上。天和公司切換輔助管線時, 大量空氣進入輔助管線中,擾動並引燃粉末上之矽甲烷而造成火災云云。 然矽甲烷等廢氣如會吸附在所謂「棉花狀、十分蓬鬆」的粉末上,則有大 量蓬鬆粉末的自動分流管何以未曾著火?反而是僅有少量、甚或未堆積粉 末的次主管著火? (2)為了掩飾上開謬誤,原告乃宣稱「大多數矽甲烷流至次主管內」,方法係 :「自動分流管內的矽甲烷會與經由小洞進入的氧氣反應,產生一非結晶 的薄膜,並將未反應的矽甲烷包覆於內,此薄膜之作用如保護膜,可避免 包覆在內的矽甲烷被氧化,這些矽甲烷小球體因密度較低而從分流管流到 十二吋及十八吋次主管,並吸附在管壁上,當天和公司工人換管時,擾動 了這些小球體,使球體破裂,包覆之矽甲烷釋出,與自管線切口流入之空 氣反應,而引起火災」云云。然查: a、原告無法提出次主管內存在「包覆矽甲烷之非結晶薄膜球體」之物理及 科學證據。 b、FM一九九一年版的資料表單中曾提及「矽甲烷在某些流量及濃度下會自 我保護,在外層形成一個有保護作用的氣泡」,卻於二00一年版資料 表單中,刪除「矽甲烷氣泡」存在之概念,並謂「These studies have dispelledseveralmyths about silane behavior...(這些研究已 經破解一些有關矽甲烷行為之迷思(錯誤成見))」等語(被證三十六 )。經被告向曾編輯FM一九九一年資料表單於一九九九年及二00一年 更新版之FM半導體業工程部門主管Heron Peterkin先生確認後,發現: 根據一九九一年資料表單發佈後所做的研究,並未看到任何矽甲烷在外 層形成保護氣泡之證據。故矽甲烷會形成氣泡的說法乃FM嘗試破除有關 矽甲烷的迷思之一,並將看法發表在二00一年五月版的資料表單內( 被證三十七)。足見原告方面亦明知FM早已揚棄「矽甲烷氣泡存在」此 一概念,才未曾引用提及「矽甲烷氣泡」等語之FM一九九一版資料表單 ,反而引用一九八六年的Vickery專利,作為其主張「矽甲烷氣泡」存 在之證據。 c、原告二00二年十月八日(即被告九十一年九月四日簡報後)亦前往訪 談FM人員,因而知悉FM資料表單之所以刪除對「矽甲烷氣泡」之引述, 的確是因缺乏有關此一現象之資料,且沒有任何證據支持此項「氣泡」 理論。原告自知理屈,乃於九十一年十二月九日簡報中,又改回「矽甲 烷被包覆、吸附於粉末中」之理論,並稱:矽甲烷吸附於粉末上是很複 雜的概念,所以之前其專家才以「微球體」說明云云。 d、然而,原告專家陳郁文教授明白表示「SiH4(矽甲烷)在二英吋管內形 成外層為SiO2之小顆粒,流至十二英吋及十八英吋管」(被證四十一之 一);其另一專家Leveen更於初次簡報時,圖示這些「矽甲烷氣泡」附 著於管壁、被擾動、破裂、釋出矽甲烷、引燃火災之過程(被證四十一 之二)。由圖示可知:這些「矽甲烷氣泡」,外層為SiO2(粉末)、內 層為SiH4(矽甲烷氣體),與「矽甲烷吸附於粉末上」截然不同,豈能 狡稱:兩者概念相同,「矽甲烷吸附於粉末上」,就是「微球體」之意 。 e、原告試圖引用SST(被證三十八)及Creighton文章來說明WCVD粉末會累 積、吸附矽甲烷。然SST文章在不同章節討論五種不同CVD製程(PECVD 、WCVD及其他三種),而原告引用的內容為矽甲烷包覆在PECVD粉末內 ,反而未引用WCVD章節,因為WCVD章節之內容未提及矽甲烷會被包覆於 WCVD粉末內,或任何WCVD粉末會導致火災風險(被證三十九)。果如原 告主張「WCVD粉末會累積、吸附矽甲烷」,何以原告引用之文獻,均係 關於其他CVD製程(如PECVD),無一提及「WCVD粉末會累積、吸附矽甲 烷」?至於Creighton文章根本就是在討論矽沉積製程機台及矽粉末, 與WCVD之鎢沉積製程機台及粉末全然無涉。原告專家Hammond於九十二 年九月八日簡報時,徒以聯瑞WCVD製程配方中有使用極少量的矽,即空 言主張「這些『矽CVD』(矽沉積)文獻與聯 瑞WCVD(鎢沉積)製程 有關」云云,純屬牽強附會之詞,殊無可採。 f、原告另於歷次爭點整理狀中,引用一堆不相干文章,企圖說明「本件火 災乃WCVD粉末所包覆、吸附之矽甲烷所引起」,然其中無一提及「WCVD 粉末是可燃的或可吸附矽甲烷」等語,茲析論如下: (a)原證五十五─半導體產業標準F5-1101,未有隻字片語提及「矽甲烷 或其他氣體可被包覆、吸附於管線的固體沉積物中」等語,原告顯係 自行胡亂引申。 (b)原證五十六-「Journal of Non-Crystalline Solids」,原告主張 :其內提到的「SiH族群」以及「微孔洞」與其主張之「聚矽甲烷」 及「微球體」近似云云,然該文章係在討論反應室內晶圓矽薄膜之成 長,全未提及排氣系統中之粉末或粉末吸附氣體之情形(被證三十九 之四)。 (c)原證五十七-「Silicon Particle Formation in Pyrolysis of Silane and DiSilane」,文章中並未提及任何有關WCVD之製程中的 矽甲烷的分解,該文章在其摘要中即說明該研究是以「震波管」( shock tube)去熱裂解矽甲烷及矽乙烷,其熱裂解的溫度為 900~2000K,相當於627~1727oC,遠高於WCVD反應室之450oC,其結果 自無法相提並論,然即使如此,該文章也從未提及矽甲烷分解會產生 衍生物「聚矽甲烷」,原告引用此文章實為誤用且誤導事實。 (d)原證五十八、五十九的文章係關於反應室內晶圓之矽薄膜成長,與排 氣管內粉末可否吸附氣體全然無涉。 (e)原證七十一文章僅提及WCVD粉末會阻塞管線,並未提及WCVD粉末會吸 附矽甲烷、氫氣及其他氣體。但在PECVD機台則明確指出其矽粉末的 危害,此適可證明WCVD是鎢的沉積機台,故WCVD粉末不會有如PECVD 機台矽粉末的危害,否則本文在討論WCVD機台時即會指出WCVD粉具火 災風險。 (f)原證七十四文章所描述之情形「累積的反應副產物暴露於空氣時劇烈 反應,其結果可是小型的爆炸並致生火焰,且釋出腐蝕性微粒」,如 係指WC VD粉末,則在一九九七年十月三日上午天和拆管時,應立即 發生,茲既不然,顯見該文章並非指WCVD粉末能累積矽甲烷並導致起 火。 (g)原證七十五係關於「鋼瓶洩出矽甲烷之意外」,而非「排氣系統之危 害」,故與WCVD粉末會否包覆矽甲烷而導致火災全然無涉。 (h)原證七十六文章所指情形與聯瑞並不相同,且此文章為一般性之描述 ,並無特別針對WCVD機台,故亦無法證明WCVD粉末會累積矽甲烷導致 火災。 (i)原證一二九之文章並未提及矽粉末會吸附氣體,事實上原作者在一九 九四年所發表之另一文章明確說明所產生之矽粉末曝露空氣中數日仍 不會受到氧的影響(被證七十五),足見原告引用原證一二九之文獻 說明矽粉末會吸附矽甲烷,實屬誤導。 (j)綜上所陳,所有原告引用,企圖證明矽甲烷及其衍生物可吸附在WCVD 粉末上之文章,均與系爭聯瑞之製程機台、製程配方或情況無關,毫 無證據價值,故原告迄未提供任何證據證明本件中的WCVD粉末可吸附 瞬間自燃或易燃的物質,而可導致系爭火災。 g、若原告主張WCVD粉末會吸附矽甲烷,則矽甲烷應該會吸附在自動分流管 內之WCVD粉末上,且自動分流管應已著火,因為:(a)未經洗滌的廢氣會先流經自動分流管,再至次主管,故矽甲烷如會被 吸附於粉末上,理應先吸附在自動分流管內的WCVD粉末才是; (b)十二吋或十八吋次主管比管徑僅63mm的自動分流管大上數倍,故如果 矽甲烷 會被吸附,應會被吸附在狹窄、管壁上到處都有粉末堆積的 自動分流管內,而不是吸附在沒有粉末或僅有少量粉末的次主管內。 然而,堆積有大量WCVD粉末的八根自動分流管皆未著火。因此,原告 主張矽甲烷未吸附於自動分流管中之WCVD粉末上,卻可吸附於僅有極 少量或無粉末堆積之次主管中,毫無科學或具體證據,荒謬至極。 2、且WCVD粉末亦不具自燃性,其縱使WCVD粉末會吸附矽甲烷,所吸附之矽甲烷 濃度不足以引起火災: (1)被告專家William Breneman曾做過關於矽粉末的實驗,其反應器的「矽」 進氣量為每分鐘50,000cc,連續十天後,反應槽的內壁累積有四公厘厚的 矽粉末,當這些矽粉末暴露於空氣中,且Breneman先生將粉末刮下來寄給 研究夥伴Britton博士時,矽粉末並未發生自燃現象,故被告專家B reneman早於九十一年九月四日簡報時,即已證稱:「矽粉末須有引火源 才會引燃」(被證七十六)。 (2)甚且,原告專家Hammond主張:「留在輔助管內的矽-矽-氫粒子,持續被 針孔及熔接不良處漏入的濕空氣『氧化』,故這些鍵再也不能引燃火災」 (原證一六O,中譯本第二十五頁),卻又認為「次主管內的矽-矽-氫粒 子,在火災日前,不會被管內更大量的空氣氧化,直到天和切開管線時, 自維修口進入的空氣對矽-矽-氫粒子構成擾動,才使其氧化」云云,然則 ,何以輔助管線內之矽-矽-氫粒子不需擾動,即可與空氣氧化?而次主管 內之矽-矽-氫粒子則需擾動才可氧化?迄未見原告說明,足見Hammond根 本不諳火災爆炸實務,故臨訟編織其火災理論以致自相矛盾。 (3)原告迄無法證明「本案次主管中有足夠的矽甲烷及矽甲烷衍生物可引起火 災」。尤其,所謂「足夠的矽甲烷」係指足夠「自燃濃度 (4.5%)」或「 最低燃燒界限濃度 (1.4%)」的矽甲烷?如為足夠「最低燃燒界限」之濃 度,則引火源為何? (4)實則,WCVD為鎢的沉積製程,非矽的沉積,故僅使用少量的矽甲烷 (每分 鐘30標準毫升),在反應室中已被消耗60%~ 70%,其餘未消耗之矽甲烷被 氮氣稀釋後濃度僅0.02%-0.0 34%,遠低於自燃濃度4.5%。原告為增加廢 氣中的矽甲烷含量,先則主張:「在機台中被消耗的矽甲烷少於70%,因 此流入廢氣系統的矽甲烷量應更多」,嗣又由其專家Ha mmond於九十二年 九月八日簡報中主張:「聯瑞WCVD製程配方中約83%之矽甲烷未經反應而 流入廢氣管中」,「83%之矽甲烷(相當於每片晶圓24cc)未經反應即排 入廢氣管中,依其經驗,只要幾公克的矽甲烷廢氣粉末就足以成為引燃來 源」云云。然查,縱製程配方中矽甲烷有83%均未消耗,其經大量氮氣稀 釋後,濃度至多僅約0.06%而已,仍遠低於自燃濃度。 (5)因未反應之矽甲烷濃度在經氮氣稀釋後,約僅0.02%~0.03 4%(或至多 0.06%),為增加其濃度,原告乃主張「矽甲烷、矽甲烷衍生物與氫氣, 在生產上萬片晶圓之同時,會逐漸在粉末中累積」云云。然查,縱使WCVD 粉末會吸附矽甲烷等製程廢氣,也是「全部廢氣一起吸附」,不會僅選擇 性的吸附矽甲烷及矽甲烷衍生物,故不論WCVD粉末會否吸附矽甲烷,矽甲 烷會否逐漸在粉末中累積,所吸附、累積的矽甲烷其濃度就是維持在 0.02~0.034%間(或至多0.0 6%),非如原告所謂可逐漸累積至「自燃濃 度」 (4.5%)。 (6)矽甲烷濃度既然只有0.02%~0.034%(或至多0.06%),則依原告專家 Hammond所言:「矽甲烷之濃度一旦在氮氣中被稀釋到低於1.5%,嗣後與 空氣混合後,也不會進行明顯的氧化」,足見本件火災絕不可能是矽甲烷 火災。 (7)原告嗣承認廢氣中矽甲烷之濃度已被稀釋到極稀微,故改稱:WCVD廢氣粉 末之風險非來自於被稀釋之矽甲烷,而是「吸附於粉末表面或粉末內,具 可燃性及自燃性之化學物質」,且謂:「這些吸附易燃化學物質(矽甲烷 及其衍生物)的粉末無法像氣體一樣,界定其最低燃燒界限」云云。然查 ,不論是矽甲烷吸附在WCVD粉末上,或被包覆在「微球體」內,原告的火 災理論既係這些被吸附、包覆的「矽甲烷」因受擾動而「釋出」因而引燃 起火,故判斷是否達自燃濃度時,自是以「矽甲烷」本身之濃度,而不是 以「WCVD粉末」的濃度為據,所謂。蓋「WCVD粉末」根本沒有濃度可言, 原告此舉,僅在混淆 鈞院認知而已,殊無足採。 3、WCVD粉末幾乎全部堆積於輔助管線中,次主管內僅有少量或沒有WCVD粉末之 堆積。 (1)WCVD粉末幾乎全部堆積於自動分流管中,十二吋次主管中僅有少量、或甚 至未堆積粉末。故如原告主張:「矽甲烷會被吸附在WCVD粉末中」,理應 吸附在狹窄、管壁上到處都有WCVD粉末堆積的自動分流管內,而不是僅有 少量或沒有WCVD粉末堆積之次主管內。原告雖謂:「因矽甲烷易懸浮在自 動分流管內,而後因靜電作用在管線直徑變更之處沉積」云云,卻未舉證 以實其說,顯係臨訟編織,殊無可採。 (2)原告專家Hammond引用原告另一專家陳郁文教授的粉末分析結果 (原證四 十、六十六),做為「六氟化鎢及矽甲烷粉末會分離,前者留在輔助管線 內,後者則流入次主管內」之證明,然查: a、原證六十六關於十二吋及十八吋次主管之採樣是在火災後進行,故粉末 中之碳成份很高,且其中之二氧化矽 (SiO2)乃上游起火點之 WSix粉末燃燒後之產物,因排氣氣流之方向而被抽送至該處,故此粉末 分析結果無法做為「鎢、矽粉末會分離,且矽粉末會沉積在次主管內」 之證明。 b、關於矽粉末何以不會吸附在自動分流管內大量的鎢粉末 (WO3)內,反而 在流至次主管時,才吸附在自動分流管與次主管之連接口?原告主張: 「因為氣流方向改變且管徑變大時,會產生旋渦,此時再因靜電及重力 ,粉末就會沉積在該處」云云,卻未舉證以實其說,實則,依原告說法 ,在自動分流管內,自管裂處進入之空氣亦應形成小旋渦,使矽粉末沉 積於自動分流管內才是。就此,原告專家陳郁文雖謂:「因裂痕很小, 且因管子內應力會使裂縫夾住,故自裂痕處進入的空氣很少,不會形成 小旋渦」云云。然查,系爭自動分流管上有為數不少之長、縱向大裂痕 ,且這些裂痕並沒有「夾住」的情形,故大量空氣仍可進入(被證七十 七)。足見原告專家主張次主管內才有「旋渦」,且導致矽粉末之沉積 云云,毫無根據。 c、實則,訴訟前,原告於一九九九年十一月一日給被告公證人的報告中承 認「在二吋分流管中發現而未在較大的PP管(即次主管)中發現之物質 堆積現象,歸因於洗滌器快速排氣的效應。此效應只存在於較大的管內 ,而不存在於小分流管內」,足見原告於訴訟前,已承認「大部分甚或 全部的WCVD粉末已被正常排氣氣流抽出次主管外,未堆積於管內」,詎 其在訴訟中,姿意變更,殊無足採。 4、WCVD粉末如附吸足夠自燃濃度之矽甲烷,理應於受擾動而釋出時,立即燃燒 。 (1)原告主張「任何會造成粉末會暴露新表面於空氣中之動作」,都叫「機械 性擾動」。其專家Hammond引用Creighton文章認為:「此外殼會因敲擊、 碰撞或空氣於表面上流動而破裂」,既然「空氣流動」也叫「機械性擾動 」,則次主管內之WCVD粉末如有包覆矽甲烷,理應早在天和公司進行本件 換管工作前,即已受管內氣流影響而釋出,造成火災。足見原告之「矽甲 烷火災」理論純屬虛構。 (2)原告主張:「不是每一個機械性擾動均會造成自燃,要有足量的矽甲烷或 衍生物暴露在空氣中,最後才會導致火災」云云。果若如是,則八十六年 十月三日當天,天和公司約自上午九時三十分開始切除管線,至十一時左 右已全數切除完畢,此時,次主管內之粉末理應在嚴重擾動下,全數釋出 其所吸附之矽甲烷(如有吸附),然當時何以並未「瞬間燃燒」?又,釋 出之矽甲烷縱不會「瞬間燃燒」,何以不會被排氣氣流抽送到大氣中,而 是靜候於原地數小時才導致系爭火災? (3)原告專家Leveen主張本件火災是矽甲烷與空氣反應後「立即」引燃所致( 被證三十二之一),且原告嗣後所引用之文章及製造商警語亦提及矽甲烷 火災係瞬間引燃(被證三十三),足見原告之主張與其所提證據根本自相 矛盾。 (4)原告雖試圖引用Tamanini文章來說明矽甲烷引然會有遲延情形而不會「瞬 間」發生(被證三十一),但在同篇文章中,Tamanini係指「遲延15~120 秒才會自動引燃」(被證三十二),而非遲延數小時。 (5)茲原告見其無法自圓其說,又由其另一專家Hammond於九十二年九月八日 庭訊時改口稱:自燃性物質,一經暴露於足夠空氣中時,並非「立即發生 」燃燒,而是「可能發生」燃燒云云,然則,豈非意味著自燃性物質暴露 於空氣中時,亦「可能不發生」燃燒,則原告到底認為系爭火災如何發生 。如前所述,原告的「矽甲烷火災」倘若未在天和工人切開管線、擾動粉 末時,因矽甲烷之「自燃」而「立即」引燃起火,之後亦不可能發生,因 本案微量之WCVD粉末(或矽-矽-氫粒子)縱然反應,因散熱極快,故不會 有任何累積熱量情形,亦不會如原告所指「累積熱量到溫度足夠就引燃起 火」。 (6)如前所述,原告的「矽甲烷火災」倘若未在天和工人切開管線、擾動粉末 時,因矽甲烷之「自燃」而「立即」引燃起火,之後亦不可能發生,因本 案微量之WCVD粉末(或矽-矽-氫粒子)縱然反應,因散熱極快,故不會有 任何累積熱量情形,亦不會如原告所指「累積熱量到溫度足夠就引燃起火 」。 (四)本件火災與天和公司之施工無涉: 1、原告主張:兩次火災發生時,天和工人均正在該二處次主管進行施工(參 Crawford訪談紀錄,原證七十九)。然查: (1)下午三點發現的火災:Crawford調查報告內的訪談紀錄明載:「第一次火 災時天和工人莊枝來正在測量並彎曲管線,在十二吋次主管WCVD第四個洞 口底部看到火苗,當時更換的管線尚未換上」(被證四十二)。 (2)下午五點半發現的火災:原告迄未清楚說明下午五點半發現的火災其引燃 時間及地點為何?以及當時天和工人正在進行何種工作?實則,三點火災 發生後,因十二吋次主管遭火燒損而須整段卸下更換,且不僅WCVD端,包 括WSix端之自動分流管均須重新安裝,故天和公司工人均集中在十二吋次 主管處工作。 (3)綜上所陳,何以天和公司工人在彎曲、測量管線會造成三點火災?而隨後 在十二吋次主管工作時,又會導致在十八吋次主管發現的火災?迄未見原 告說明。 2、果如原告主張:天和公司在火災當天上午進行管線拆除工作,下午則陸續接 管,故空氣不斷自維修口進入,構成對粉末之擾動云云。則本件火災何以未 於八十六年十月三日當天十一時左右,全部管線均已切除完畢,且粉末受最 嚴重擾動時起火?又,在次主管內原本即有氣流及多項空氣來源(空氣稀釋 管、壓縮空氣、穿孔、Iwatani外櫃抽氣等)之情形下,此等WCVD粉末何以 未受氣流擾動而釋出矽甲烷釀成火災?原告雖謂:「次主管內的粉末受擾動 與否,係因氣流方向之改變,而不是空氣量之多寡」云云,然原告原先引用 之Creighton文章只有提到「此外殼會因敲擊、碰撞或空氣於表面上流動而 破裂」(原證一三七第十六頁),並未區分何種空氣流動之情形才算「擾動 」。從而,原告既主張:「平常次主管內大量且快速的氣流不會對粉末造成 任何擾動,只有維修口切開後進入之空氣才會造成擾動」云云,自應負舉證 之責。 3、被告專家Robbins的初步報告、陳政任博士的文章、工研院資料庫所載災例 及再保險公司人員提出之報告,無一「證實」是天和公司導致火災的發生: (1)被告專家Robbins的初步報告: 被告專家Robbins於一九九七年十月二十二日所提出者,乃是系爭火災發 生後十九天所提出的初步報告。Robbins初步報告第八頁、第十頁中清楚 記載:「目前,我尚未完成鑑定,且沒有足夠證據使我能對八十六年十月 三日在聯瑞發生的兩次火災形成確定意見」,「我須就上述可能起火原因 做進一步調查,且須再至火災現場勘查,我已通知McLarens Asia Pacific Ltd.我擬進行的調查內容」(被證三十九之一)。Robbins嗣經 五年多之調查,進一步調查結果認為:火災係由WSix尾氣造成(詳如後述 ),與天和無關,亦非矽甲烷引發之火災(被證三十九之二)。原告引用 Robbins報告內所載當天天和公司工人施工之若干事項,與本件火災之發 生均無關。原告既未能證明天和公司工人當天所為與本件火災有何關連性 ,被告何須另舉反證證明兩者之間無關連性。 (2)陳政任博士的文章: a、此外,原告並錯誤引用被告專家陳政任博士之文章(被證三十九之三) ,陳博士主張三點火災是WSix尾氣引起,與天和公司無關。。至於五點 半火災,因陳博士在撰寫該篇文章時,聯瑞僅提供其有限的資料,尤其 ,陳博士未被告知WSix機台在三點火災後仍持續運作,直到與被告專家 Robbins討論火災原因時,才得知此事,並向聯瑞工程師查證屬實。依 現有證據資料,陳博士認為五點半火災乃係WSix機台在三點火災後仍持 續運作,並排放廢氣,因廢氣未經洗滌,引燃WSix粉末所致。 b、就此,原告指稱:「陳政任博士是在訟訴過程中(二00二年),未陳 報法院即發表此文章,嗣又臨訟變更其火災見解,故其言不足採信」云 云,然查: (a)被告早在九十一年九月四日的簡報中,說明陳政任博士上開文章係 先於 辦之「第十屆程序工業損失防阻及安全國際研討會」演講中發表( 被證三十九之三之一)。隨後於二00一年五月八日將上開文章投 稿至「Process Safety Progress Journal」期刊,而於二00二 年三月才刊出,並非在二00二年三月才發表。 (b)當陳政任博士於 接受被告 委請,故對與WSix氣體與粉末有關之一些重要事實毫無 所悉。而陳政任博士係於二00一年九月接受被告委請擔任專家證 人,於檢視一些聯瑞提供給Mr Robbi ns,但未提供給他的文件時 ,看到Mr Robbins在火災現場勘查時所拍攝的照片,並進一步與聯 電及天和討論後,才知道這些事實。從而,陳政任博士既係於發表 文章後才得知此一新的關鍵事實,即無原告所指「在未確認文章內 相關資訊之正確性前,即率予發表」之情形,亦無「須事先陳報 鈞院」的問題。詎原告刻意忽略此一事實,誣指陳政任博士於受任 為被告專家後,才於二00二年三月發表此一文章,且臨訟變更見 解云云,顯係刻意抹黑陳政任博士之專業憑信性。 (c)實則,自起訴伊始,數度更易火災理論及變更證據的解釋者,乃原 告自己的專家。其專家或提出毫無根據的假設經被告反駁後又撤回 ,或提出明顯錯誤的計算隨即承認錯誤,或聲稱其他原告專家不具 火災鑑定資格,故提出報告及簡報不足採信。茲原告不檢討自己專 家所犯之疏誤,並嚴格要求其專家提供正確之專業協助,反扭曲事 實,對被告專家進行人身攻擊,殊屬不該。 (3)工研院資料庫災例: 工研究資料庫之災例既係國外顧問公司所提供,而非工研院自己調查後 之正式報告,工研院甚至不能確定該災例是否指聯瑞火災。故該資料庫 之災例缺乏任何證明力,而不得援引為系爭火災原因之證明。 (4)再保險公司人員之報告: 該「營造與營運中之半導體廠之保險」一文,乃原告最大之再保險公司 -瑞士再保 (Swiss Re)之人員所撰寫,該報告只是概略敘述幾個晶圓 廠火災,如華邦電子、聯瑞火災,就聯瑞火災部分僅提及火勢蔓延,無 法撲救之情形,完全未就起火原因為任何判斷,故亦不得為本件火災原因之證明。 (五)WSix機台排放之廢氣─二氯矽甲烷(DCS)及三氟化氯(ClF3)才是造成聯瑞 火災之原因: 1、下午三時發現之火災: (1)火災發生時,DCS及ClF3均有排入十二吋次主管: WSix 01機台自下午二時三分起,於三個反應室同時連續進行二次監測作業 ,於下午三時五十四分結束。而WSix 02機台之生產作業自下午二時二十分 開始直至三時三十一分結束。因監測作業使用之氣體包括清洗用氣體,與生 產作業相同,此業經聯電工程人員確認屬實,(被證四之一第三點),故三 點火災當時,十二吋次主管內有DCS及ClF3等氣體。原告無視於此,一再主 張:「監測作業不可能全程使用製程氣體,更無須使用清洗氣體」云云,殊 無可採。 (2)DCS及ClF3排入時,並未經洗滌: a、火災當天,WSix 01的Centrotherm洗滌器修理中,故持續處於自動分流狀 態,而WSix02的Centrotherm洗滌器於下午二時二十六分跳機至自動分流 模式,故DCS未經洗滌即排入十二吋次主管內(被證四十六之二)。而 WSix ClF3洗滌器於下午二時五十七分跳機,而Iwatani ClF3過濾器亦未 發生作用(此觀十二吋次主管上Iwatani過濾器排氣管連接口有嚴重燒穿 痕跡自明,被證四十七)。故三點火災當時,DCS及ClF3均未經洗滌、過 濾即排入十二吋次主管。 b、原告係以Iwatani過濾器之警報是否有聲響而判斷過濾器是否正常運作。 然 查,為確保ClF3在排至次主管前,業經洗滌,一樓副廠區裝置有一台 Centro therm洗滌器及Iwtani過濾器,以清洗、過濾ClF3廢氣。如果 Centrotherm洗 滌器跳機時,則排入Iwatani過濾器過濾,為免Iwatani 過濾器亦發生故障,致使ClF3未經過濾即排入次主管,故Iwatan過濾器設 計有「安全連鎖(inter lock)」裝置,如果Iwatani亦故障時,則電腦 會發出訊號至三樓生產機台,使生產機台暫停生產,待過濾器修復後,「 安全連鎖」訊號消失,機台才可繼續生產。然查,被告專家Robbins至聯 瑞調查時,發現過濾器的「安全連鎖」裝置被切斷(被證四十七之一), 亦即如果Iwatani過濾器發生故障,將不會有訊號傳送到生產機台,使其 暫停生產,故生產機台可持續運作,不受影響。從而,Iwatani過濾器之 警報系統在同一考量,亦可能被切斷。況且,過濾器之警報有否啟動與過 濾器是否處於正常運作而發揮過濾效果並無邏輯上之必然性。 (3)未經洗滌之DCS及ClF3其濃度已達最低燃燒界限 a、原告指稱DCS及ClF3等氣體經混合(接觸)後之濃度並未達最低燃燒界限 濃度0.3%云云,殊屬錯誤。因二種氣體如濃度足夠,一旦接觸即生反應, 故被告所提文章中已清楚敘述DCS及ClF3的濃度是接觸「前」之濃度,非 指接觸後之濃度(被證五十)。「DCS」或「ClF3」之濃度在接觸前,均 已超過0.3%,而達最低燃燒界限。 b、即使考量自動切換器加入的氮氣後,在330秒鐘(5.5分鐘)的製程配方進 氣中,DCS仍有180秒(三分鐘)的時間其濃度達0.451%,而ClF3在739 秒 (12.3鐘)的製程配方進氣中,有354秒(6.07分鐘)濃度達0.302%(被 證五十之一)。故不論「DCS」或「ClF3」之濃度在接觸前,均已超過 0.3%,而達低燃燒界限。 c、原告雖辯稱該氣體在進入次主管時會被稀釋,但此二種氣體在十二吋次主 管的出口僅鄰12公分,根本未及稀釋即可能相接觸而引燃起火。 d、又,被告所提起火理論,除DCS及ClF3混合起火之外,另一可能為ClF3直 接引燃DCS粉末(見被證五十之二),蓋ClF3為極強之氧化劑,若排放到 次主管即可能直接與DCS粉末反應而引燃DCS粉末。 2、下午五點半發現之火災 (1)火災發生時,DCS及ClF3均有排入十八吋次主管: a、三點火災後,聯瑞即將DCS廢氣用手動分流模式排至十八吋次主管,此有 被告專家Robbins於系爭火災後至現場調查時所拍攝之照片可稽(被證四 十九之一)。原證一00所謂「聯電工程師確認第一次火災後並未將 WSix廢氣改排至手動分流管」云云,僅為聯瑞工程師鄭水松說明「他自己 」並未將廢氣轉換為手動分流,無法證明其他工程師亦沒有轉換,尤其三 點火災後,十二吋次主管已拆卸下來,機台運轉所排放之DCS廢氣不可能 排放到天和工人工作的地點。 b、原告方面所委請之保險公證人-麥理倫公證公司於一九九七年十二月二十 四日報告中亦載:「手動閥在火災後被發現在分流模式 (manual valves were found to be in the bypass position after the fire)」(被證 六十七)。足證第二次火災時,DCS有排入十八吋管。十二吋次主管在下 午三點起火而受損故在下午四點被卸下更換(兩造不爭執)。而WSix機台 至下午四點三十九分為止,尚在運作,並排放廢氣(被證六十一)。十二 吋次主管卸下後,氣體無法從十二吋次主管排放(經聯瑞確認)。聯瑞乃 依業界慣例,以「暫時性連接管」將ClF3改排到同為AT(酸毒)排氣系統 的AT3(十八吋)次主管。此有天和公司出具之說明書(被證四十九之三 )可稽。聯瑞亦不否認廢氣改排之事實,只是指出:「因當時現場管線圖 說已滅失,故無法確認當時 廢氣改排之情形」(被證四之一,第八點) 。 c、十二吋次主管在下午三點起火而受損故在下午四點被卸下更換(兩造不爭 執)。而WSix機台至下午四點三十九分為止,尚在運作,並排放廢氣(被 證六十一)。十二吋次主管卸下後,氣體無法從十二吋次主管排放(經聯 瑞確認)。聯瑞乃依業界慣例,以「暫時性連接管」將ClF3改排到同為AT (酸毒)排氣系統的AT3(十八吋)次主管。此有天和公司出具之說明書 (被證四十九之三)可稽。聯瑞亦不否認廢氣改排之事實,只是指出:「 因當時現場管線圖說已滅失,故無法確認當時廢氣改排之情形」 (被證四 之一,第八點)。 d、原告一直以聯電確認WSix氣體在「第一次火災(三點火災)之後」已關閉 ,而謂「因製程機台於第一次火災後未運作,故天和沒有必要在第一次火 災後施作暫時性連接管」云云。殊不知天和之所以須作暫時性連接管,乃 係因聯瑞於第一次火災後並未立即停機,仍讓WSix機台繼續運作一段時間 (至少至下午四點三十九分)才停機,因此有排放廢氣之需求,卻又無法 排至十二吋次主管 (已卸下),這才要求天和公司施作暫時性連接管,故 WSix機台是否持續運作?廢氣應排放至何處?乃業主聯瑞所決定,非天和 公司所能置喙。 (2)DCS及ClF3排入十八吋次主管時,並未經洗滌: 因DCS及ClF3廢氣在第一次火災後,已分別用手動分流模式及暫時性連接管 排至十八次主管,而手動分流管及暫時性連接管均無洗滌器,故DCS及ClF3 均未經洗滌。 (3)未經洗滌之DCS及ClF3其濃度已達最低燃燒界限: 兩者濃度均達最低燃燒界限,已如前述。 三、原告就其主張之「管裂原因」及「火災原因」負有舉證責任,被告則無: (一)原告既以安裝工程綜合險附加00四「擴大保固保險特約條款」為本件請求之 依據,自應證明天和公司於八十六年十月三日之換管工作係履行保固責任,且 系爭火災係天和公司之保固工作引起。然查: 1、天和公司於系爭火災發生之際,乃依業主(聯瑞公司)指示,進行原管線安 裝合約外之新工程,與原合約之保固責任無關,此情業經天和公司及聯瑞公 司證實,原告無由恣意否認。再者,原告既主張本件管裂乃「熱劣化」所致 ,即應證明這些「熱」產自何處?是否確有高溫粉末之存在,且這些粉末掉 至管壁時仍具高溫所致?無由以「粉末成份有碳」、「紅外線光譜分析」及 「取樣時所生破壞痕跡之電子顯微鏡照片」等不相干之資料,意圖證明管壁 受有「熱」。何況,被告已證明本件管裂另有其因-氟加上內應力所致。原 告雖對各項證明「氟」侵蝕自動分流管管壁之證據多所攻詰,實則,被告專 家將裂管樣品以氫氧化鈉洗掉粉末後,再以光電子能譜 (XPS)分析結果,顯 示管壁上約有19%之氟,已是「氟」侵蝕管壁之鐵證。雖然用氫氧化鈉清洗 管壁會減少管壁內的含氟量,然,此適可證明清洗前,管壁上之含氟量應較 19% 為高。 至原告專家指稱應以電子槍清洗樣品表面云云,更屬無稽,按此種方法會完 全破壞樣品表面,對樣品造成的傷害較氫氧化鈉更大。原告專家如斯主張, 反而暴露出其不明瞭有機高分子材料(如PP)之分析方法相及意義,以致錯 誤解讀此等實驗之結果,並為不實之評論。 2、原告迄未證明火災之發生與天和公司之施工有關,尤其原告主張本件火災乃 「矽甲烷火災」,即次主管內殘留的矽甲烷等易燃氣體引燃起火所致,惟就 矽甲烷於火災時之濃度及究係「自燃」或「引火源引燃」起火,迄仍語焉不 詳。且就起火點、起火時間之判斷,謬誤百出,根本未善盡其舉證之責。 (二)被告就系爭「火災原因」及「管裂原因」並無舉證責任,且已為適足之反證: 1、被告就本件管裂原因及火災原因為何並無舉證責任,雖然被告於訴訟中曾委 託專家對管裂原因及火災起因作成鑑定,然其所為之鑑定僅是站在專家立場 ,協助法院審認原告之舉證是否完足及所提證據是否違背事理而不可採,並 非被告就此應負舉證責任。 2、原告專家憑藉災後採樣及火場調查所架構之「火災原因」及「管裂原因全然 經不起科學之驗證,破綻百出,且就被告提出之種種質疑及反證,根本無法 為合理之解釋,足證原告理論純屬虛構。 3、原告迄未善盡舉證之責,僅一再擴大技術爭端,爭執旁枝末節,其用意無非 在混淆鈞院認知,企圖解免其舉證責任而已。??? (B)法律部分: 一、先位聲明部分: (一)本件不適用安裝工程險附加00四保固保險條款: 安裝工程險所附加之00四條款雖載:「本公司(即安裝險共保人)在保固保 險期間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或損失負賠償責任。一、被保險人 因履行工程合約之保固責任造成之意外事故...」。然本件情形,天和公司 於八十六年十月三日進行換管工作,並非在履行工程合約之保固責任,理由及 證據如下: 1、保固保險條款之適用,至少必須符合以下十二個條件:A、聯瑞主張天和施工有瑕疵 B、天和同意施工有瑕疵 C、天和允諾就施工之瑕疵進行修補 D、天和必須正在履行修補瑕疵之工作 E、火災發生時,天和正在作修補瑕疵之工作 F、天和安裝的管徑是錯誤的 G、針孔構成瑕疵 H、針孔存在才導致空氣進入自動分流管 I、針孔進入的空氣才造成粉末 J、針孔與管裂具有關聯性 K、粉末是高溫的 L、火災事故係天和造成。 本件情形,並無任何證據可以證明前揭十二條件逐一存在,故保固保險條款 並無適用餘地。 2、聯瑞認定天和按合約規定施工: 聯瑞公司空調部課長謝錦泉在火災事故(八十六年十月三日)發生不久,接 受調查時,就在同年十二月十六日簽署英文聲明書,略稱:「Tien Ho Construction Company did install t he original by-pass exhaust pipes correctly, using mat erials as specified in the contract and if Tien Ho Con struction Company invoice UICC for the cost of replaci ng the pipes, UICC will pay this cost. I am the perso n in UICC who has the authority to make a decision on this matter.(天 和公司正確地安裝原始之自動分流管,使用契約所規定之材質。如果天和公 司提出發票,要求聯瑞給付換管之費用,聯瑞會給付費用,我是聯瑞公司內 有權就此事作決定之人)」(附件四),該聲明書係火災發生後二個月左右 接受保險公證人調查時,所作成之聲明書,其時,保險理賠尚在前置作業階 段,謝錦泉與商業財產險或安裝工程險之保險人均無利害關係,渠並無迴護 任何一方之必要,所言之內容自無偏頗之虞,堪信為真正。被告同時商請陳 哲宏律師協助查證此文件之形式上與實質上之真正,陳哲宏律師九十二年十 一月十八日函覆亦稱:「經向謝錦泉工程師詢問,答稱該文件係經其本人確 認內容真實無誤後親自簽名」(附件十一),亦足證明謝錦泉所述內容為真 。 3、聯瑞認定其要求天和在十月三日更換不同規格管線為新工作: 聯瑞公司空調部課長謝錦泉八十九年八月十六日聲明書證稱:「本人於八十 六年十月三日在聯瑞公司擔任空調部門課長,負責廠區配管工程之監督,在 配管工程進行中,聯瑞公司所有配管工程之指示均由我下達予天和公司,本 人於八十六年十月二日指示天和公司更換龜裂管線,當時指示天和公司將龜 裂管線由原合約指定之PN 2.5級規格,變更為PN 10級規格,該工作是因業 主聯瑞公司方面決定改變管線規格而進行,此種情形依往例均會辦理工程款 追加,由業主就更換管線之工作給付工程款,因此天和八十六年十月三日更 換管線工作是一新的管線安裝工作,而非原合約之保固責任。」(被告九十 年十一月二十七日答辯(五)狀附證九)。被告同時商請陳哲宏律師協助查 證此文件之形式上與實質上之真正,陳哲宏律師九十二年十一月十八日函覆 亦稱:「經向謝錦泉工程師詢問,答稱該文件係經其本人確認內容真實無誤 後親自簽名」(附件十一),亦足證明謝錦泉所述內容為真。 4、保固係指維修原提供之物品,而聯瑞公司要求天和公司置換之管線規格與原 使用之管線規格不同,顯非保固工作: 由前揭劉天和、謝錦泉之證詞可知當天是聯瑞公司指示天和公司拆卸原來壁 厚1.8釐米、PN 2.5級規格之PPH管,換上壁厚5.8釐米、PN 10級規格之 PPH管,足見此為新工作,並非天和公司在作修補瑕疵之保固工作。 5、保固工作限於材料粗劣或工作不良而進行修補: 依天和公司與聯瑞公司「製程排氣二次側(12K)配管工程」勞務合約書及 材料合約書第十四條第二項規定:「在工程自驗收合格之日起乙方應出具保 固切結書,保固管線工程二年、設備部分一年。在保固期限內甲方如發現乙 方所使用材料粗劣而發生損壞滲漏龜裂或工作不良其他因素,甲方得立即通 知乙方,乙方應立即重新修改或補妥,其所需一切材料人工費用及因此發生 導致甲方之損害,概由乙方負擔賠償」。本件情形,聯瑞公司在八十六年十 月二日發現二次側排氣管龜裂後,並非以天和所用「材料粗劣」或「施工不 良」為由,要求天和重新修改或補妥,而是自己決定以較原來三倍多厚度的 管材予以替換,而由天和施工,如斯情形,純屬另一件新的工作,根本與保 固工作毫不相干。 依天和公司與聯瑞公司「製程排氣二次側(12K)配管工程」勞務合約書及 材料合約書第十四條第二項規定:「在工程自驗收合格之日起乙方應出具保 固切結書,保固管線工程二年、設備部分一年。在保固期限內甲方如發現乙 方所使用材料粗劣而發生損壞滲漏龜裂或工作不良其他因素,甲方得立即通 知乙方,乙方應立即重新修改或補妥,其所需一切材料人工費用及因此發生 導致甲方之損害,概由乙方負擔賠償」。本件情形,聯瑞公司在八十六年十 月二日發現二次側排氣管龜裂後,並非以天和所用「材料粗劣」或「施工不 良」為由,要求天和重新修改或補妥,而是自己決定以較原來三倍多厚度的 管材予以替換,而由天和施工,如斯情形,純屬另一件新的工作,根本與保 固工作毫不相干。 6、聯瑞公司之工程師亦推斷管裂係因機台所排放:具有腐蝕性廢氣所造成管裂 ,故本擬更換成覆以鐵氟龍之SUS不鏽鋼管可知:天和所為是新工作,且管 裂並非天和工作瑕疵所致: (1)據聯瑞公司「八十六年十月二日鎢氣沈積器之蝕刻機測排氣管修復事件報 告」內載:「八十六年十月二日上午十一時三十分許,鄭水松與製程部門 工程師檢視龜裂之側排氣管,我們原本打算將該側排氣管改由覆以鐵氟龍 之SUS不鏽鋼管取代之。但製程部門工程師無法馬上找到適當的鋼管,經 過討論之後,我們決定在八十六年十月三日早上仍以PPH管線更換該側排 氣管,但管壁厚度乃是5釐米而非1.8釐米」(被告九十年十一月二十七日 答辯(五)狀附證十)。足見聯瑞公司於火災發生前已經查覺PPH管線無 法抗腐蝕,故擬更換為覆以鐵氟龍之SUS不鏽鋼管,只因無法立刻找到材 料,故才改採厚度較厚的PPH管。由此可見,天和公司前來置換管線乃「 新工作」。 (2)聯瑞公司機台工程師鄭水松稱:「WCVD製程機台排放之廢氣具有腐蝕性, 故在管線龜裂後,我告知廠務工程師該廢氣具腐蝕性,選用排氣管材質時 應予考慮」(被證四之一,問題十四之答覆)。 (3)聯瑞公司空調部課長謝錦泉稱:「本公司8D廠WCVD機台之排氣管發生龜裂 ,原打算更換為不銹鋼材質,但因準備不及,乃請天和公司更換管壁較厚 (5.8mm)之PPH管替代原先管壁厚度1.8mm之PPH管」(被證四之一,問題 十三之答覆)。 7、聯瑞公司就本事故為保險理賠申請時,亦不認為有安裝工程險附加00四保 固保險條款之適用: (1)聯瑞公司與天和公司均知龜裂管線更換之工作乃原管線安裝合約外之新工 作,且雙方均同意辦理工程款之追加,就此新工作給付工程款,有當時處 理管工作之聯瑞公司空調部門課長謝錦泉及天和公司負責人劉天和業已書 面詳加說明。至於天和公司事後實際上未向向聯瑞公司給付換管工程款項 (約新台幣十二萬元),乃考量聯瑞公司因大火已遭受百餘億元之慘重損 失,基於人情之常及雙方長期合作關係,實無為區區十二萬元(天和公司 承包聯瑞公司同一廠區之二件配管工程總金額六千萬元),再向聯瑞公司 請款之理。從聯瑞公司本願給付款項,即知天和換裝新管並非保固工作。 原告以聯瑞公司事後實際上未給付新工作工程款為由,推論換管工作非新 工作,顯與事實不符,且背離社會常情。 (2)應予強調者,倘系爭火災肇因於天和司之保固工作,則聯瑞公司依安裝工 程險及商業財產保險保單得請求之保險金,相較於以天和公司非進行保固 工作依商業財產險保單得請求之保險金,前者高於後者十餘億元。蓋若天 和公司非履行保固工作時,聯瑞公司就已安裝完成之工程,僅得向商業財 產險共保人請求賠償,惟商業財產險保單「附加有被保險人(聯瑞公司) 合力保險」之條款,依該條款規定,商業財產險共保人只就聯瑞公司之損 失負百分之八十賠償責任,另百分之二十由聯瑞公司自行負擔損失之風險 。反之,倘天和公司換管工程為保固工作之履行,則聯瑞公司就已安裝完 成之工程損失,可要求安裝工程險及商業財產險共保人按比例負賠償責任 ,而因安裝工程險「無附加被保險人合力保險」之條款,故安裝工程險共 保人需就其比例負全部賠償責任,聯瑞公司可獲得之保險理賠,自可增加 。今聯瑞公司就已安裝完成之工程損失,倘主張安裝險00四保固保險條 款應予適用,要求安裝險共保人依比例賠償,則可增加領取之保險金,為 數可逾十餘億元,茲既不然,而僅向商業財產險共保人請求保險金,適足 證明聯瑞公司明確認知當時指示天和公司換裝新管,並非履行保固工作。 準此,原告稱保險事故肇因於天和公司進行保固工作云云,並不足取。 8、安裝工程附加險係以承攬人「履行工程合約之保固責任」作為條件之一,然 此條件根本未發生: 承攬人究竟是否「履行工程合約之保固責任」,乃定作人與承攬人法律關係 之界定,故當事人間之合意係決定雙方法律關係之重要依據。原告主張是否 「履行工程合約之保固責任」,不應以工程合約當事人所合意之法律關係以 資界定云云,並無任何法律上依據。按天和換管行為之法律性質,在工作當 時即由雙方合意確定,此法律關係乃既成之事實,原告在時隔數年之後憑一 己之念任意誑稱該法律關係,並不足採。實則,聯瑞公司並非以天和工作有 瑕疵為由要求前來換管,因此安裝工程險所定條件並未發生。況客觀上天和 公司更換者為不同規格管線,實非保固工作。 9、天和在下午三時以後所作顯與是否「履行工程合約之保固責任」毫不相干: (1)八十六年十月三日,聯瑞晶圓廠發生兩次火災,一次於下午三點在AT2次 主管發現,隨即撲滅,另一次於下午五點半在AT3次主管發現,火勢已大 而造成巨大損害。換言之,真正造成損害之火災乃下午五點半之火災。茲 因AT2(十二吋)次主管在下午三時之火災遭到毀損,必須卸下更換,從 此,天和已非再作更換自動分流管之工作,而是應聯瑞臨時要求作更換 AT2十二吋次主管之「新工作」。故天和在下午三時以後所作顯係臨時增 加的「新工作」。 (2)下午五時三十分發現之火災係於AT3次主管內發生,天和負責人劉天和證 明書指稱:「第一次火災以後,因十二吋次主管須卸下更換,且洗滌器排 放管線之連接口甚多,故工人都到AT2拆裝新管,並無工人再留在十八吋 次主管處工作」。故火災顯與天和臨時增加之「新工作」不相干。 (3)該十二吋次主管並無施工之任何瑕疵,更無任何裂痕,天和公司本無更換 之義務,故天和公司在下午四時以後所從事者顯非「在履行修補瑕疵之保 固責任」,而是聯瑞公司臨時要求增加之新工作。從而,下午五時三十分 在非天和公司工作地點之十八吋次主管內所發現之火災根本與「履行保固 責任」毫無關聯,其理甚明。 10、有請求履行保固的權利與是否正在履行保固責任不容混淆: 退萬步言,縱令管裂原因如原告所言,原告至多只是陳述「聯瑞對於天和有 合約所定履行保固責任之請求權」而已,並未能證明「聯瑞已經請求天和履 行保固責任且天和於火災發生時『確實在』履行保固責任」,二者顯有極大 差別。原告顯然將二者混為一談,誤以為只要聯瑞有請求天和履行保固責任 的權利,就代表當日天和實際上施作都是履行保固責任之工作。殊不知,究 係履行保固責任,抑係新工作,完全取決於聯瑞之指示,及聯瑞與天和於工 作當時意思表示所約定內容,此乃既成之事實,不容任何人於事後任意翻異 而作對自己有利但違背當事人真意暨既成事實之主張。11、天和於火災發生後未向聯瑞請求新工作之工程款實符經驗法則與常情: (1)天和公司事後未向聯瑞公司請求換管工程款係因本件換管工程款項僅約新 台幣十二萬元,然聯瑞公司因本次大火已遭受百餘億元之慘重損失,而天 和公司承包聯瑞公司二件配管工程總額高達六千萬元,實無必要再為此區 區金額再向聯瑞公司請款,遂而作罷,此種處置合於社會常情,並無不妥 ,原告斤斤指摘,殊無可採。 (2)至聯瑞公司與天和公司八十七年四月十六日會算配管工程尾款會議中,全部 尾款一千九百三十六萬九千四百五十九元,原告所提資料記載天和於會議中 同意折讓三百三十六萬九千四百五十九元,未再提及換管工程款事宜一節, 厥因天和於會議前已與聯瑞達成共識,天和拋棄此部分工程款,故雙方未再 於該次會議中有所討論,原告指稱既未於該次會議中有所討論即屬臨訟虛構 云云,殊屬無稽,蓋謝錦泉同意給付款項之證詞係在火災剛發生時之說明, 並非臨訟虛構。 (3)按火災事故發生後,聯瑞公司尚有工程尾款一千九百餘萬元未付,苟若聯瑞 公司認為天和公司於八十六年十月三日之換管乃履行保固責任而引起火災, 其損失高達一百多億元,衡情豈有不向天和公司索賠,而仍願給付一千六百 萬元(折讓後)工程尾款之理?足見聯瑞公司始終認為管裂及火災與天和公 司毫不相干,故乃願再給付高額工程尾款。原告所提之證據資料,適為天和 公司換新管線並非履行保固責任且管裂及火災與天和無關之佐證。 (4)天和公司負責人劉天和九十年十一月廿三日證明書內容二證稱:「火災事故 發生前一日,聯瑞公司發現天和公司依據前述八十六年『排氣二次 (12K)配 管工程』契約施作完成並經聯瑞公司接收啟用之一組WCVD(二次)側排氣風 管部分管線發生龜裂現象,遂指示天和公司將整組 (共計八條)(二次)側 排氣風管加以更換。而依工程契約之規定,該組(二次)側排氣風管之規格 為壁厚1.8釐米,PN2.5級 (耐壓2.5公斤)之聚丙烯管線。惟聯瑞公司要求天 和公司將整組八條(二次)側排氣風管更換為壁厚5.8釐米,PN10級 (耐壓 10公斤)之聚丙烯管線。火災事故發生時,天和公司正依聯瑞公司指示,進 行上述WCVD(二次)側排氣風管更換工程,而此項換管工程為原配管工程契 約以外之新工作,並非履行八十五年『排氣系統配管工程』契約或八十六年 『排氣二次 (12K)配管工程』契約之保固責任,故天和公司本將依雙方以往 合作之慣例,於完工後向聯瑞公司請求給付該次換管工作之工程款約新台幣 十二萬元(前述二件配管工程契約之總金額逾新台幣六千萬元),並確信聯 瑞公司亦會依雙方合作之慣例給付之。惟因該換管工作尚未完成即發生火災 事故,天和公司在人情事故及與聯瑞公司過去以及未來長期合作關係之考量 下,並未就更換管線之新工作向聯瑞公司請款。」(被告九十年十一月廿七 日答辯 (五)狀附證八),該文書之內容業已就天和公司之換管工作何以未 再向聯瑞公司請款詳述其理由矣。劉天和本人並已表示,如 鈞院認為必要 ,他願意隨時接受傳喚出庭作證,證明前揭事實。 (5)原告主張天和公司之換管工作係履行原合約之保固責任,惟迄今未提出聯瑞 公司或天和公司相關人員出具之任何證明文書,依法顯係空言主張而未盡其 舉證責任。至被告所提之書證只是用以反證原告主張之錯誤而已,並非被告 本身依法有何舉證責任。茲原告就該「劉天和證明書」、「謝錦泉聲明書」 並未爭執其形式真正或指其出於偽造,則其空言指摘該二件書證不具證據能 力云云,即無可採。如 鈞院認為有必要,自可傳喚謝錦泉出庭作證,即明 真相。 12、原告迄未證明管裂與天和施工有關: 詳第二部分技術爭點論述。最重要之關鍵在於,自動分流管內原本就會有空 氣存在,幾個針孔根本無關緊要;另外,黃色粉末沒有高溫,故管裂另有其 原因,與黃色粉末毫無關聯。而且,自動分流管之脆性裂痕不可能是任何與 熱有關之機制所造成。 13、原告迄未證明火災發生與天和之工作有何「因果關係」: (1)安裝工程附加險又以「承攬人履行工程合約之保固責任『所造成』之意外事 故」作為條件之一,則火災事故之發生是否與天和工作有「因果關係」,即 有詳加審究之必要。 (2)原告既主張「安裝工程附加險」有所適用,依法即應就此附加險所列各條件 之存在逐一舉證證明之。茲原告自承不知正確(或大概)之起火時間與起火 位置,如斯情形,原告何能斷言火災事故與天和工作存在因果關係?顯見原 告連最基本之「因果關係」迄未作清楚之陳述與舉證,依法實應即予駁回之 。實則,火災原因係因聯瑞於當日下午並未關閉WSix機台而繼續從事生產, 以致排放之廢氣接觸累積於次主管內之WSix粉末而起火燃燒,被告業於第二 部分技術爭點論述中詳加說明。 14、原告於另案之主張及陳述認定管裂乃其他多家公司之過失: (1)原告另案向台灣新竹地方法院代位被告三家保險公司對八家公司請求損害 賠償,指稱日商株式會社日建設計 (Nikken Sekkei Ltd.)等四家公司對 於本件自動分流管造成管裂有侵權行為及債務不履行之行為,茲節錄原告 在其起訴狀所聲明之主張如下 (詳見被告九十二年十月二十日民事辯論意 旨狀附件一): a、Centrotherm對聯瑞提供之廢氣處理系統有瑕疵,未能有效地燃燒晶圓 製程中產出之六氟化鎢等,且駐派聯瑞之代表使用聚丙烯,而非不銹鋼 管作為連接管材質,當廢氣處理系統運轉發生問題致所有系統均關閉而 進入自動分流管時,即導致有毒氣體及易燃物質積存於自動分流及排氣 系統內,並使聚丙烯管龜裂、引燃火災。 b、奧地利商Agru公司為聚丙烯管之製造商,未對該聚丙烯排氣管之裝設者 提供正確之焊接方法,以避免焊接處縫隙之產生。上述缺失使二吋聚丙 烯管發生龜裂情形。 c、協羽公司進口聚丙烯管供聯瑞之配管承包商使用並設置於聯瑞之投保處 所...未指示正確之焊接方法,致聚丙烯管產生縫隙,起火燃燒而引 發事故。 (2)原告於另案關於管裂原因之前揭主張,俱未見其在本案訴訟中有何陳述, 顯見其於本案獨指天和施工不當造成管裂云云,只是為了肆應保固保險所 定條件而作主張而已。甚且,原告於該案並未主張有保固保險條款之適用 ,故主張其得向該案被告請求七十六億八千萬元,足見原告於本案之主張 並不可採。 15、本件並非「肇因於保險期間而在保固保險期間內發生之意外事故」: (1)原告於九十二年十二月二十二日民事辯論意旨續 (九)狀內遽謂:「天和 就系爭管線施工不當之行為,係發生於工程安裝險之保險期間,並與保險 保固期間所發生之系爭火災有因果關係,故亦符合第二款所規定肇因於保 險期間而在上述保固保險期間內發生之意外事故」云云。此乃新提出之攻 擊方法,依法已不得斟酌而應予駁回。 (2)何況,不論天和安裝管線施工情形如何,與系爭火災根本沒有因果關係, 原告竟指管線施工不當與系爭火災存在因果關係,殊屬無稽。 (二)商業財產險共保人受領給付「有法律上之原因」: 1、按被告固為商業財產險之保險人,但共保人應給付多少保險金給被保險人, 對再保人之利益有甚大影響,且本件商業財產保險之再保金額比例高達總保 險金額之九十三%,故本件火災事故發生後,身為商業財產險再保人之原告 即主導事故原因之調查,並與被保險人磋商商業財產險契約應給付之保險金 。被告則因與原告之間再保險有「理賠合作」之拘束,尚不得與被保險人聯 瑞公司就是否發生理賠責任逕為承認、和解、賠償。嗣經原告積極調查火災 原因並與被保險人磋商後,原告終而同意商業財產險保單應給之保險金為七 十六億八千萬元(請參見原告起訴狀內提出之原證六第六行至第十行)。據 此計算,經原告自己及其本身的所有再保人同意後,再保人才給付七十一億 四千二百四十萬元之再保險金給商業財產險共保人。商業財產險共保人也根 據原告磋商和解之結果,這才與被保險人聯瑞公司簽署和解契約,給付保險 金給被保險人(請參見原證五)。要之,商業財產險共保人受領之再保險金 ,乃基於原告和解同意之結果,具有法律上之原因。又,原告並未否認其主 導調查及磋商和解同意給付金額之事實,併予敘明。 2、原告與聯瑞公司於八十七年五月十四日在協調會中達成共識,確認商業財產 險之保險理賠金額為新台幣七十六億八千萬元,此有當日之協調會議記錄( 附件五)可稽。該和解之協議亦是經原告指示並確認,就此原告並不否認。 3、被告因與原告之間「再保險」有理賠合作之拘束-見原告八十六年一月八日 致被告函及所附「理賠合作條款」(附件十二),故被告尚不得與被保險人 (聯瑞)就是否發生理賠責任逕為承認、和解、賠償。嗣經原告積極調查火 災原因並與被保險人(聯瑞)磋商後,原告終而同意商業財產險保單應給之 保險金為七十六億八千萬元,據此計算,原告應給付之再保險金為七十一億 四千二百四十萬元。此金額乃兩造與被保險人(聯瑞)三方面磋商和解之結 果,故原告係基於履行「磋商和解之結論」而給付再保險金,被告也因此而 受領再保險金,顯具法律上原因。 4、原告於另案之主張及陳述堪認其認 定自己並未溢付「再保險金」: (1)原告另案向台灣新竹地方法院對日商日建設計股份有限公司等八家公司就 本件事故所生損害請求侵權行為及債務不履行之損害賠償,其所持理由係 稱:基於保險法第五十三條代位權及受讓商業財產險共保人轉讓之代位權 ,自得對八家公司請求賠償七十六億八千萬元云云(附件一)。然則,原 告既主張其得代位向第三人請求賠償之金額為七十六億八千萬元,就已承 認其給付之再保險金以及被告給付聯瑞、聯電之保險金並無法律上之瑕疵 ,否則,原告豈有行使七十六億八千萬元代位權之餘地。況且,原告在該 訴訟中,已與被告之一「日商日建設計股份有限公司」達成和解,受領鉅 額賠償金且撤回部分訴訟(附件二),顯見原告自己並不認給付再保險金 有法律上之瑕疵而構成「溢付」且已充分行使該代位權。 (2)按保險法第五十三條第一項所稱之保險人「給付賠償金額後」,係指保險 人依據保險契約之約定,實際所應給付被保險人之賠償額而言,倘非保險 契約所定或保險人原無權為請求之金額,縱保險人基於其他原因為給付, 亦不得計入其所應給付之賠償金額,據以向第三人代位求償(最高法院八 十六年台上字第二O一四號判決要旨參照)。原告於另案既已充分主張並 行使七十六億多元之代位權,即無由於本案主張所給付之再保險金係「無 法律上之原因」。 (三)被告已將再保險金如數給付聯瑞公司,商業財產險共保人並無「現存利益」存 在: 1、民法第一百八十二條第一項規定「不當得利之受領人,不知無法律上之原因 ,而其所受之利益已不存在,免負返還或償還價額之責任。」 2、如前所述,原告主導火災原因之調查,並與被保險人磋商商業財產險契約應 給付之保險金後,原告同意商業財產險保單應給之保險金為七十六億八千萬 元。據此計算,再保人給付七十一億四千二百四十萬元給商業財產險共保人 ,商業財產險受領之再保險金已全部轉付被保險人。商業財產險共保人並無 現存利益存在,依法免負償還責任。 3、原告對於被告是否仍存在「利益」一節,雖不爭執被告早已將受領之「再保 險金」轉付給聯瑞、聯電公司。惟指稱:被告受領之「利益原形」雖已不存 在,然已轉化成「對於聯瑞公司之不當得利返還請求權」(債權)之形式存 在(原告九十年十一月十四日準備 (三)狀第六頁第十一行以下)云云。 然則,原告既稱被告之「現有利益」乃對於聯瑞公司之「不當得利返還請求 權」,核其性質,僅屬「債權」而已,並非被告已自聯瑞取回保險金,原告 何能聲明「被告應給付新台幣五億元」?顯見其訴訟主張與所持理由自相矛 盾,殊無可採。 4、原告另辯稱,其所給付者金錢,其給付被告後已成為被告之財產而難以辨識 云云。惟查學者雖說明給付之標的為金錢者,基於金錢具有高度可替代性, 移入受領人之財產中通常難已辨識,原則上無法判斷利益存在或不存在,但 如故受領人確已將該金錢之同一標的轉給付他人者,則該利益確已不存在( 請參見被告答辯 (八)狀所附被證二十九,王澤鑑教授之說明)。經查,本 件商業財產險再保人給付給共保人之金額乃經由匯款,並為特定標的之金錢 ,本無所謂混同入被告財產而難以辨識之問題,況原告匯款進入特定帳戶, 而共保人亦由該特定帳戶之金額給付被保險人,是共保人受領之款項利益確 已不存在。 5、原告雖辯稱,其溢付金額給被告,被告溢付金額給被保險人,溢付之原因均 為「本件火災之發生應適用安裝險OO四保固條款」,因此商業財產險共保 人仍有利益存在,其利益為「對被保險人之不當得利請求權」。原告此項陳 述,即屬王澤鑑教授所稱之「給付串聯」(請參見被告答辯 (六)狀所附被 證十七),甲給付給乙有瑕疵,乙將同一給付給丙有瑕疵,瑕疵之原因相同 時,此種具有雙重瑕疵之給付串連案型,依據王澤鑑教授之分析,應由甲向 丙請求不當得利,而非由甲向乙請求。倘甲向乙請求,亦僅能請求「乙對丙 之不當得利請求權」,而非請求乙給付特定金額,然查: (1)原告先位聲明並非請求「被告對被保險人之不當得利請求權」,而是請求 被告給付「五億元」,在雙重瑕疵之給付串聯案型,原告先位聲明即顯為 無理由。 (2)實則,原告根本無法請求「被告對被保險人之不當得利請求權」,蓋從原 告提出之原證六文件顯示,被告因給付保險金給被保險人所取得之權利, 已讓與給原告,故原告如請求被告給付對被保險人之不當得利請求權,亦 無理由。 (3)原告雖辯稱王澤鑑教授所分析之「給付串連」案型限於給付特定物,不適 用於本件給付金錢之情形,此由書中以給付花瓶為例即明云云。惟查,王 澤鑑教授書中係分析相同瑕疵之「給付串連」之不當得利應如何處理,完 全未提及該案型僅適用於特定物,原告認為王教授認為該案型限於給付特 定物,應有誤解。實則,倘給付者為金錢,或應返還者為金錢,書中分析 結論並無不同。例如,假設花瓶被打破,則甲應向丙請求返還金錢。 6、被告信賴受領再保險金具有法律上原因,遂於受領後旋向聯瑞給付保險金, 扣除結果已無「現存利益」: (1)按受領利益之不存在,如何判斷,是不當得利法上的重要問題,包括1、 受領標的本身不存在;2、受領人其他財產上之損害。關於此類問題,王 澤鑑教授認為:「通說認為與受益之事實有因果關係之損害,均得列入扣 除,且本書認為受領人得主張扣除者,尚須限於因信賴受利益具有法律依 據而遭受之損害。其理由在於善意受領人所以減輕其責任,乃基於信賴其 受利益具有法律上原因,法律旨在保護善意受領人之信賴,從而其得主張 扣除者,亦應以信賴損害為限。故受領人相信所受利益不致返還,因而將 自己之財產給與他人者,得主張扣除之,例如不知無法律上原因而取得雷 射唱機,因將自己原有之雷射唱機捐贈孤兒院,此時即毌需返還」(附件 十六)。 (2)最高法院也認為:「不當得利之受領人,不知無法律上之原因,而其所受 之利益已不存在者,免付返還或償還價額之責任,為民法第一百八十二條 第一項所明定。故利得人為善意者,僅負返還其現存利益之責任;所謂「 現存利益」,係指利得人所受利益中於受返還請求時尚存在者而言;於為 計算時,利得人茍因該利益而生具因果關係之損失時,如利得人信賴該利 益為應得權益而發生之損失者,於返還時亦得扣除之,蓋善意之利得人祇 須於受益之限度內還盡該利益,不能因此更受有損害...」(最高法院 八十七年度台上字第九三七號判決參照|附件十七)。 (3)本件情形,原告交付再保險金予被告,被告相信受領再保險金具有法律上 原因,旋將此金額作償保險金給付被保險人,按諸前揭學者見解及最高法 院判決意旨,被告已無「現存利益」存在。 (四)原告方面並無「損害」之可言: 1、原告將其對被告所負之再保責任,另又向國際知名之再保險業投保「再保險 」,原告本身之理賠責任,部分係由其自己的「再保險」代為給付,或已獲 得其再保險人之再保險給付,故原告自己之理賠損失,均已獲得填補,就全 部保險理賠之流程觀察,並無「損害」之可言。原告豈可一方面坐擁本身投 保再保險之再保險金,另一方面又對共保人主張不當得利,再一方面又完整 地行使保險法之代位權,在新竹地方法院向「日商日建設計股份有限公司」 等八家公司訴請賠償七十六億八千萬元且已獲得部分之理賠? 2、茲將本件全部保險流程之關係概述如下: (1)聯瑞向中央、富邦、新光投保商業財產險:中央承保七四.八三%、富邦 承保一九.三八%、新光承保五.七九%(原證一)。 (2)中央指定原告為再保險之唯一來源-見Royal Re再保險保單第二頁內說明 (附件二十)。厥後中央將保險金額之七一.八二%向原告投保再保險( 附件二十一),富邦將保險金額之一八.一八%向原告投保再保險,新光 將保險金額之三%向原告投保再保險(原證二)。 (3)原告乃中央、富邦、新光之唯一再保險人,承保「保險金額」之九三%。 (4)原告將自己的理賠責任,至少向二十三家其他再保險人投保「再保險」( 附件六、七、二十),並透過二家再保險經紀人(SAIL及HSBC Gibbs)安 排再保險之事宜(附件六、七)。 (5)中央、富邦、新光與原告自己的再保險人間並無契約關係,故原告自己的 「再保險人」並非原告與被告之間再保契約之「共同再保險人」。同理, 原告也不是被告與聯瑞之間保險契約之「共同保險人」。 3、原告向自己的再保險人收受保險金後再轉付被告: (1)原告於一九九八年元月二十一日致函被告,略謂:「請注意我方付款是基 於再保險人答應支付新台幣五億元理賠金額」(附件十三) (2)原告於一九九八年四月十五日又致函被告,略謂:「再保險業指導委員會 議召開於一九九八年四月九日...委員會對於事情處理的方式及時間流 程很滿意,並且會對於其他再保人支持我們的立場...SAIL(再保經紀 人之一)以及再保委員會之支持與進行以先付新台幣二十億元金額。」( 附件十三) (3)原告於一九九八年六月二十五日再致函被告,略謂:「我們說服再保人於 七月底前有全部且最終的和解,是對保險人和聯瑞公司最有利的。我已經 校正要給再保人有關麥理倫公證公司的最後報告,也會於今日將這份報告 傳遞給中央產物保險公司,這份報告必須在很快的時間內傳遞給再保人, 為了從再保人拿到保險賠款且為了支持我們的再保經紀人 (SAIL)要發給 再保人關於我們五十一億八千萬元的理賠金額。但如同以往,我沒有辦法 作任何保證,但七月底前付款的目標我們可以達到,再保人表示他們會儘 快付理賠金額。」(附件十三) 4、有些原告自已的再保險人直接付款給被告原告自已的再保險人之一「SWISS RE」將新台幣三億五千五百萬餘元直接匯付被告(附件二十二),原告何能 就此部分主張受有損害? 5、原告自己的再保險人並未對原告主張「不當得利」,原告亦無償還任何金額 之情事,依法實無損害可言。 6、原告雖辯稱,其無法保有其他再保人給付給原告之款項,或者其對其他再保 人負有返還之責任,即顯示原告「損害」云云。惟查,就前者而言,倘依原 告之主張,原告本不得依再保契約請求其他再保人給付,亦即原告不應保有 該其他再保人之給付。原告如保有該款項,反屬「不應增加而增加」之財產 ,足見原告稱其無法保有其他再保人之給付為「損害」,並不正確。就後者 而言,原告並未證明其他再保人向原告請求,原告自稱其對他人負有返還責 任而有損害,並不足採。 (五)原告於給付保險金前已自認為有安裝工程險附加OO四保固保險條款之適用仍 給付再保險金予被告,原告即不得再為返還不當得利之主張: 1、原告起訴狀陳述,保險事故發生後,原告依商業財產險之再保險契約,給付 原保險人七十一億餘元。然自原證七Lindsay Leveen鑑定報告(一九九九年 七月六日)出爐後,始知系爭保險事故肇因於天和公司進行保固工作,屬安 裝險承保範圍,原告依再保契約僅需給付二十六億餘元。故就其溢付部分, 原告請求商業財產險共保人返還不當得利云云。 原告於本次(九十二年十月二十日)辯論意旨狀內容又主張:「原告於八十 七年七月十三日(一九九八年七月十三日)依商業財產險保單規定給付商業 財產險保險人七十一億四千二百四十萬元時,並不知系爭損失肇因於天和之 施作保固工作,而亦應為安裝工程綜合險所承保之範圍,直至原證七號 Lindsay Leveen Report之報告(一九九九年七月六日)出爐,始知本件火 災所導致之損失構成保險競合,故原告依比例應僅於二十九億二千五百二十 七萬九千四百三十三元之損失範圍內負有給付保險金之責」云云(原告「辯 論意旨狀」乙實體爭點壹之一之 (三))。 2、原告在理賠前之事故調查過程自己主觀上已片面認定有安裝工程附加OO四 保固保險條款之適用: (1)原告之美國法律顧問一九九七年十二月十九日之書面報告: 原告在本件事故理賠之前,已委託之美國法律顧問在一九九七年(八六年 )十二月十九日就已向原告公司之協理Mr. Mark Handy作報告,指出其曾 委託技術專家(包括LEVEEN)作鑑定,並在書面報告指稱:「顧問們都認 為黃色粒子係廢氣中之六氟化鎢及矽甲烷接觸到空氣而氧化產生之氧化鎢 及二氧化矽,專家們相信氧化係由於排氣管安裝不良,以致於空氣進入排 氣系統所致....專家們一致同意火災發生時排氣管中含有自燃性的矽 甲烷,因排氣管中存在矽甲烷氣體,當黃色粒子被擾動及天和公司切開排 氣管時,矽甲烷被引燃。主要的是,被引燃之矽甲烷即為被黃色粒子吸收 之矽甲烷。專家們相信排氣管中之黃色粒子像海綿一樣吸收矽甲烷氣體, 當天和公司切開排氣管時黃色粒子被擾動,因此使矽甲烷暴露出來。暴露 之矽甲烷被擾動後被切開的排氣管進入之空氣所引燃。以矽甲烷為燃料之 火災接著引燃排氣管線所使用之可燃性PPH管」(附件三)。顯見原告並 非如其所聲稱係在給付保險金後、鑑定報告出爐、始知系爭保險事故肇因 於天和公司進行保固工作,屬安裝險承保範圍,有附加OO四保固保險條 款適用。 (2)一九九八年四月九日原告公司之主要再保險人召開理賠委員會之會議記錄 :原告公司將其承保之再保責任又投保再保險,原告公司之主要再保險人 於一九九八年四月九日曾召開理賠委員會議。 根據該次會議記錄所載,原告公司之Mr. Mark Handy在會議中作報告,指 稱「天和公司係最初安裝這些PP管線的承包商。天和公司發現管線系統並 未完全氣密,一些空氣自針孔滲進管內,但不覺得這是重要的問題。當PP 管線被發現有裂痕時,聯瑞通知天和公司修理。被保險人原先要換成不銹 鋼管,因為他們相信PP管線係因不夠堅固才會龜裂。由於不銹鋼管沒有現 貨,因此改使用較厚之PP管。天和公司開始修理,約下午三時發現第一次 火災。雖然天和公司撲滅了這一次火災,但約下午五時發現另一次火災。 當修理人員以滅火器撲滅第一次火災時,實際上火災已深入管線系統中延 燒至整座廠房,直到燒穿主排氣管後才被發現。美亞保險公司(即原告) 的專家相信起火原因係管中不正常數量之黃色粉末(由從縫隙進入的空氣 與矽甲烷氣體反應而產生)像海綿一樣吸收矽甲烷而在大量空氣被引入時 產生反應」。 該會議記錄另載:「理賠委員會詢問管中裂痕的位置及產生縱向裂痕的原 因。專家們解釋,自針孔進入的空氣足以在與矽甲烷接觸時產生一些反應 。反應產生熱。產生管中的粉末的反應熱足以造成管中之裂痕」。由該會 議記錄可以明顯看出,原告所委託之技術專家顧問Ben Wilkerson與 Lindsay Leveen均出席與會(附件六)。彼二人後來均於 鈞院庭訊時以 專家身分出庭作證。 (3)一九九八年六月十八日原告公司之全體再保險人開會之會議記錄: 原告公司之全體再保險人於一九九八年六月十八日召開會議,由該次會議 記錄內容,可以看出原告與其自己之再保險人之代表普遍認為:「天和履 行之工作應在安裝工程綜合險保單之保固承保範圍內。天和正在進行修理 、保固的工作,因此這個修理工作所引起的火災應在安裝工程綜合險擴大 保固保險特約條款之承保範圍內」。 Mr. Mark Handy補充說:「我已跟理律法律事務所請教過他假定上述火災 應在安裝工程綜合險擴大保固保險特約條款之承保範圍內是否正確。理律 認為這個假定符合邏輯。依照台灣的法律,這個假定行得通,切合實際。 他們認為安裝工程綜合險保單應對全部或絕大部份的損失負賠償責任」。 原告代表在會中並稱:「本公司已嘗試與安裝工程綜合險保險人討論這個 問題,但他們不想協商。本公司會再嘗試協商」。 原告當時之美國首席法律顧問Greg Smith也發言指稱他對這個案子很有信 心(附件七)。 (4)原告公司先後在其理賠前之一九九八年四月廿二日及理賠後之一九九八年 十月廿七日向慕尼黑再保險公司(安裝工程險再保險人之一)要求分擔理 賠損失:原告公司之副總經理Michael J. Misurelli於一九九八年十月廿 七日致函慕尼黑再保險公司之經理Mr. Erich Bergmuller,內容略謂:「 您記得,我曾於 短討論商業財產險再保人對聯瑞/聯電之安裝工程綜合險擴大保固保險特 約條款賠償責任之立場。當時,我們係初步、非正式地討論這件事情。之 後,商業財產險再保人自台灣及美國取得法律意見。本公司謹此通知您商 業財產險再保人對安裝工程綜合險保險人應分擔商業財產險保單已理賠聯 瑞\聯電損失之立場......我們的調查結果顯示發生於 七年十月三日之聯瑞火災之直接原因係興建廠房的管線承包商,天和公司 所使用之疏忽的、不適當的施工方法。天和公司於 日在廠內修理及更換PP管線上一些因出現縱向裂痕而需要更換的管段。這 些管段係作為自動分流管使用,以排放來自清洗製程氣體之洗滌器之廢氣 。當天和公司回到工作現場履行其合約之保固義務時,管線已安裝完成, 由聯瑞使用中。天和公司拆卸下來之管段被黃色粒狀物阻塞。後來發現那 些黃色粒狀物係六氟化鎢及矽甲烷氧化所產生之三氧化鎢及二氧化矽。天 和公司原先安裝管線時,並未適當銲接某些管段之銲道,以致在銲道上留 下小洞或縫隙。經過一段時間後,空氣自這些小洞或縫隙進入管內,導致 粒狀物質氧化及堆積。天和公司在 過程中打開排氣管線,使得大量空氣進入管中與充滿矽甲烷之粒狀物質混 合,因而引起火災。天和公司之人員看到十二吋管線內之底部有一個小火 災。雖然這個火災起初被認為已撲滅,但它持續延燒至整個管線系統,導 致聯瑞廠房損失慘重...天和公司為聯瑞僱用安裝廠內排氣管線之承包 商,已安裝完成管線系統位於火災起火點之部份管段,(火災發生當天) 正在進行那些管段之更換工作...安裝工程綜合險有義務賠償 九七年十月三日火災所導致之全部損失。然而,由於商業財產險保單對聯 瑞已使用之財產所發生之損失及毀損有賠償責任,安裝工程綜合險有義務 分擔商業財產險保單已理賠之這些損失。有關理賠金額分攤之二個計算式 請參閱附表」(附件八)。由此信函之內容可以看出,原告在保險「理賠 前」之一九九八年四月廿二日,就已向安裝工程險之再保險人提出分攤理 賠責任之主張,並非在「不知情」之情形下溢付再保險金。 3、原告依法已不得再為返還不當得利之主張: 姑且不論原告所言管裂原因與火災原因已屬謬誤,就以前揭事證而論,原告 於事故發生後、保險理賠前、所委託之技術專家一直提供管裂原因及火災發 生與天和公司有關之見解,原告公司在多次內部會議中就此已有深刻之判斷 與主張,甚且已口頭向安裝工程險之再保險人要求分攤理賠損失。凡此種種 事證,堪以反證原告所主張其乃在「不知情」之情況下而給付七十一億之保 險金,故就「不知情」而溢付再保險金之部分尚可主張不當得利返還云云, 顯係臨訟虛構。茲原告為了勝訴目的,竟隱匿自己在理賠前早就片面認知安 裝工程附加OO四保固保險條款有所適用之事實,編織「不知情」而溢付再 保險金之謊言,以欺蒙法院,實不足取。實則,安裝工程險之再保險人不認 為構成「保險競合」乃另一問題,與原告主觀上是否堅信構成「保險競合」 尚不相干,茲原告顯係在自己主觀上堅信構成「保險競合」之情況下給付再 保險金予被告,按諸民法第一百八十條第三款規定,原告早已不得再為返還 不當得利之主張。 二、備位聲明部分: (一)本件不符合訴之客觀預備合併之要件: 1、客觀預備合併之訴,係指相同原告對相同被告,主張兩以上不能相容之訴訟 標的及訴之聲明,而在同一訴訟中合併起訴,並就各訴訟標的及聲明定有先 後次序,而以先位之訴無理由時,請求法院就備位之訴加以裁判。學說與實 務之通說見解認為,客觀預備訴之合併,以先後位相互排斥為必要。就訴訟 標的不能併存相容而言,例如先位聲明請求撤銷婚姻,如無法撤銷婚姻,則 以備位請求離婚之訴(民事訴訟五百七十二條參照)。就訴之聲明不能併存 相容而言,以侵權行為主張損害賠償回復原狀,如不能回復原狀,則以備位 聲明請求金錢賠償。「預備訴之合併須先位訴之聲明與備位訴之聲明,相互 排斥而不相容」(最高法院八十二年度台上字第一四二九號判決參照)。因 此,倘先後位之訴間並無互相排斥而不能併存之事物關係者,當事人儘可提 起單純訴之合併或分別先後訴請裁判,並無提起預備合併之訴之必要。質言 之,先後位互相排斥乃提起預備合併之訴之合法要件,倘欠缺此項要件,法 院應以民事訴訟第二百四十九條第一項第六款駁回備位之訴。 2、本件原告之先位聲明,以不當得利請求為商業財產保險人之被告中央、富邦 及新光三家公司返還新台幣四十二億餘元,備位聲明則依保險法第五十三條 ,請求安裝險共保人即中央及富邦二家公司給付新台幣四十二億餘元。就訴 之聲明內容而言,原告先後位聲明所請求者均為金錢,並無互相排斥不能相 容之關係。就訴訟標的法律關係而言,先位之訴之不當得利法律關係與備位 之訴之保險代位請求權並無互相排斥不能相容之關係,欠缺預備合併之訴合 法要件。 3、原告辯稱,其先位與備位聲明之法律主張確有互斥關係,倘其先位之訴有理 由,即表示溢付之金額非保險給付,保險法第五十三條保險代位之要件即無 法滿足云云。惟查:先位與備位之訴有無互斥關係,本係從聲明與訴訟標的 (請求權基礎)判斷,原告所謂「法律主張互斥」所指為何,實難明瞭。倘 原告認為當事人無法同時獲得先位及備位之訴之勝訴判決,因此客觀預備合 併之訴合法,則無異將「訴之合法要件」問題與「訴有無理由」問題混為一 談。倘誤以為「無法同時獲得先位及備位之訴之勝訴判決」,來推論先位與 備位之訴互斥,則無異主張客觀預備合併之訴並無任何要件限制,蓋不論當 事人所提之先位及備位之訴是否互斥,當事人均無法同時獲得先位與備位之 訴之勝訴判決,乃屬當然。 至於原告說明本件如有溢付,則溢付之金額並非保險給付,不符合保險代位 之要件,此即被告先前援引說明之實務見解(請參見答辯六狀,被證二十四 及二十五),亦即保險人在其給付之「保險金」範圍內代位取得被保險人對 第三人之請求權,如其給付非「保險金」,本無代位問題,併予敘明。 4、聲明與訴訟標的未互斥:本件先位與備位之聲明均為金錢,並未互斥,應無 爭議。至於不當得利與保險法第五十三條代位被保險人對第三人之請求權, 事實上亦無互斥關係。例如發生保險事故,保險人甲給付一OO元給被保險 人乙,乙對丙、丁有損失賠償請求權。嗣後,甲主張其依保險契約僅需給付 七O元給乙。則就三O元非保險金溢付部分,僅得依不當得利向乙請求,至 於甲給付給乙之保險金,則可依保險法第五十三條代位乙向丙、丁請求。如 果甲給付給乙之一OO元全部為保險金,並無溢付,則甲並無不當得利請求 權,僅能依保險法第五十三條代位乙向丙、丁請求一OO元。不當得利與保 險法第五十三條之代位請求權,乃分別不同對象請求,兩者間並無互斥關係 ,應甚明瞭。 5、實則,原告所提之客觀預備合併之訴不合法,其真正關鍵在於:倘原告先位 之訴無理由,其備位之訴同時無理由,並無後續審理備位之訴問題,蓋原告 所提之先位及備位之訴,均已本件火災之發生適用安裝險OO四保固條款為 前提。倘鈞院審理後認為本件火災之發生不適用安裝險OO四保固條款,則 先位及備位之訴同時無理由,並無先位之訴無理由時繼續審理備位之訴之問 題。 本件火災之發生倘不適用安裝險OO四保固條款,即表示原告應給付七十一 億四千二百四十萬元之「再保險金」予商業財產險共保人,就該「再保險金 」連同保險人負擔之款項共七十六億八千萬餘元之「保險金」,原告如擬主 張受讓保險人依保險法第五十三條取得之權利,而向第三人求償七十六億八 千萬餘元者,即為新竹地方法院之訴訟,而非本案之備位之訴之問題。 本件火災之發生倘不適用保固保險條款,聯瑞公司並無依安裝險保險契約請 求安裝險共保人給付保險金問題,自不生原告代位聯瑞請求安裝險共保人給 付保險金之問題。 (二)本件不適用安裝工程險附加OO四保固保險條款: 詳如前述,不再贅論。 (三)原告如有「溢付」再保險金,該「溢付」部分顯無從依保險法取得代位權: 1、最高法院八十六年台上字第二O一四號判決要旨略稱:「保險法第五十三條 第一項所稱之保險人之『給付賠償金額』,係指保險人依保險契約之約定, 實際所『應』給付被保險人之賠償金額而言。倘非保險契約所定或被保險人 原無權為請求之金額,縱保險人基於其他原因為給付,亦不得計入其所『應 』給付之賠償金額,據以向第三人求償」。 2、原告既主張溢付「四十二億多元」之再保險金且被告也溢付保險金予聯瑞, 則按諸前揭最高法院判決旨意,就所謂「溢付」之範圍,被告根本無從自聯 瑞依法移轉取得「對第三人之損失賠償請求權」,原告更不可能依債權讓與 之結果,受讓取得該「對第三人之損失賠償請求權」。且原告就其給付之二 十九億多元保險金部分,與工程安裝險保險人無關。原告一方面主張就「溢 付」部分代位被保險人向備位之訴被告(安裝工程險保險人)求償,另一方 面又主張就「保險金」部分代位被保險人向備位之訴被告求償,兩者實有矛 盾。 (四)在所謂「保險競合」之情形,原告(再保險人)得行使代位權之範圍仍不包括 被保險人(聯瑞)依安裝工程險得行使之「保險金請求權」: 1、原告主張「保險競合」之法律效果為各保險人應依其承保金額與全部投保金 額之比例對被保險人(聯瑞)負責。準此,則各保險人係各自依分攤額度負 理賠責任,彼此係共同對被保險人負責,豈會存在一部分保險人給付所分攤 額度之保險金額後,竟可代位被保險人(聯瑞)向其他保險人請求給付該保 險人所應分攤之保險理賠之荒謬現象? 2、就以原告所陳述二種保險分攤之保險理賠額為例,原告指稱商業財產險之理 賠範圍係二十九億多元,安裝工程險之理賠範圍是五十一億多元。豈有商業 財產險保險人給付二十九億多元保險金後,竟可代位被保險人向安裝工程險 保險人請求五十一億多元保險金之謬理? 3、苟原告主張之法律見解正確,在「保險競合」情形,豈非形成先為給付之保 險人即可向尚未給付之保險人請求所分攤之保險金而填補其理賠損失? 4、實則,保險法第五十三條代位權係指被保險人因保險事故之發生,而對於「 第三人」有損失賠償請求權之情形,並非指被保險人對於「其他保險人」有 「保險金請求權」之情形,原告顯係曲解法律規定之涵意。 (五)原告行使保險法第五十三條之代位權時,已取得再保險金額給付部分應予扣除 : 1、最高法院六十八年台上字第一五四九號判決要旨略稱:「新光公司依保險法 第五十三條第一項規定,據以代位請求王灥生賠償損害,自屬正當,經核保 險標的物淨損分別由公證公司清點,陳炎山部分八十八萬二千一百十三元、 江盞部分八十四萬九千五百三十元,惟依保險法第五十三條第一項但書規定 ,保險人得代位請求者,以不逾賠償金額為限。新光公司固已將賠償金額分 別付給陳炎山及江盞,但新光公司已由再保險人取得再保險金之給付,計陳 炎山部分七十 五萬九千零八十五元、江盞部分六十六萬九千三百六十七元 ,故新光公司『實際支付賠償金額』為陳炎山部分十二萬三千零二十七元、 江盞部分十八萬零一百六十二元,合計三十萬三千一百九十元,新光公司此 部分之請求為正當,應予准許,逾此部分之請求難謂正當,應予駁回」。 2、查本件原告將其對被告所負之再保責任,另又向國際知名之再保險業投保「 再保險」,經查:原告已向國際知名之再保險業取得約七十億元之再保險金 (見附件十三),故縱認原告得行使保險法第五十三條之代位權,按諸前揭 最高法院判決所示之相同法理,亦應扣除已取得約七十億元再保險金額之部 分。 3、原告代位權之範圍本僅應限於依保險契約應給付之二十九億多元,茲因其又 取得約七十億元之再保險金,扣除結果,原告即無權再行使代位權矣。 (六)備位之訴原告擴張聲明部分已罹於時效 1、原告稱其備位之訴係依保險法第五十三條代位被保險人聯瑞公司請求安裝工 程險保險人少付之保險金四十二億一千七百十二萬零五百六十七元云云,起 訴時先作一部請求五億元,於九十二年十一月二十四日再擴張聲明範圍至四 十二億餘元云云。 2、按所謂一部請求係指以在數量上為可分之金錢或其他代替物為給付目的之特 定債權,債權人任意將其分割而就其中之一部分為請求,但就其餘部分不放 棄其權利者而言。就實體法而言,債權人本得自由行使一部債權,在訴訟上 ,則為可分之訴訟標的,其既判力之客觀範圍,以訴之聲明為限度,自應認 僅就已起訴部分有中斷時效之效果(最高法院九十一年度台上字第六二九號 民事判決要旨參照-附件十八)。按保險法第六十五條規定:「由保險契約 所生之權利,自得為請求之日起,經過二年不行使而消滅」。本件情形,縱 認原告所稱伊得代位聯瑞公司行使安裝工程險之保險金請求云云一節可採, 其於八十九年三月二十八日起訴時僅聲明請求五億元,至擴張聲明部分(四 十二億餘元減去五億元)係九十二年十一月二十四日始作主張,按諸前揭最 高法院判決意旨,該擴張聲明部分早已罹於二年之時效而為無理由。 三、不論先位或備位聲明,原告就安裝工程險之理賠金額計算迄未完足舉證,且所估 算金額亦不正確: (一)被告所委託國際知名之保險公證人GAB ROBINS於九十二年十一月十七日查核原 告提示之資料後,認為部分仍有疑義,原告仍應補提若干資料: 1、原告所列機器與設備毀損之價值部分三億八千六百八十五萬四千四百十三元 部分及機器修理費用五千三百十萬二千零三十九元部分,證據不明,應予核 減。 2、其餘金額也有疑義,原告至少需再提供下列資料: (1)Donoghue及Dichem關於建物修理費用評估之報告。 (2)請麥理倫公司解釋其如何計算出第七次報告第五頁計算式中「估計損失欄 」之金額,並用Donoghue報告證明其就毀損之機器價值的理算並未高估。 (3)若Donoghue仍保存其資料之電子檔案,請其告知機器與設備之實際各別修 理費用。 (二)茲檢呈GAB ROBINS二OO三年十一月十八日之查核報告(附件十四),以供參 考。 (三)GAB ROBINS公司二OO三年十二月十一日又提出書面報告(附件十九),說明倘 本件存在「保險競合」,不應採用「複保險」之計算方法,茲將該公司之意見 摘要臚述如下: 1、麥理倫所引用資料對保險競合之見解並不支持原告所主張採用之「保險金額 比例分攤法」。 2、反之,原告所引用之內容及其他本公司所找到之資料支持本公司 三年十月三十日信函中所持之立場,即計算本案保險競合賠款分攤應採用之 正確方法為「獨立責任比例分攤法」。 3、麥理倫公司選擇性引用兩份技術出版物中之小部分內容來證明其對上開本公 司信函中表達看法之反駁,而未考慮作者之全盤見解。第一本書為 Walmsley所出版之「保險實務之代位權及保險競合」,該書第十章第一頁, Walmsley說有兩種基本計算方式,有關 (1)各保單之獨立責任及 (2)全部 保單之保險責任總額。在該書第一九O頁,Walmsley說:當發生保險競合之 保單有分攤條款時,普遍慣例已將「按比例」這個用語視為與各保單之獨立 責任有關。近年來獨立責任比例分攤法已被接受為計算保險競合金額較合理 之基礎。 4、從三‧一到三‧七節所述本公司之意見可知,Walmsley所指之「普遍被接受 的方法」毫無疑問包括他的明確結論,即當發生保險競合之各保單保險標的 並不相同,但應分攤賠款時,如同本案之情形,應採用「獨立責任比例分攤 法」。本公司認為麥理倫公司僅引用上開三行而做之主張有誤導性,因為 Walmsley的見解可能與該主張相反。 5、「獨立責任比例分攤法」一般適用於保險責任重疊的保單及保險標的不相同 的保單。保險金額比例分攤法在保險標的不相同的情況下被認為是不適當的 ,因其對保單之最高賠償限額較其他保單高,且承保範圍較其他保單大之保 險人不利。 6、本公司認為,上述提及的全部傑出專家顯然亦有相同看法,當有一個或一個 以上的保險競合保單應分攤賠款時,採用責任總額(保險金額)比例分攤法 是完全不適當的。 7、本公司二OO三年十月三十日信函中提出之問題(麥理倫未回應),本案安 裝險已理賠近新台幣二十五億元予被保險人,原告卻認為應將安裝險之全部 保險金額與商業財產險一起併入賠款分攤計算中,實為荒謬之舉。 8、顯然麥理倫公司選擇性引用之專家著作並未支持其回應本公司先前信函所作 之主張。 (四)我國保險法就所謂「保險競合」之解決方式缺乏明文規定: 1、商業財產險及安裝工程險所約定之「僅按比例負賠責任」並非指按「保險金 額」之比例負賠償責任。原告將之解為係按「保險金額」之比例負賠償責任 ,殊不妥適。 2、商業財產險與安裝工程險之保險標的本就不同,其保險金額計算之基礎並不 相同,二份保單發生損害之範圍亦非相同,安裝工程險就尚未完成安裝之設 備又已理賠將近新台幣二十五億元,原告未慮及此,仍以兩件「保險金額」 作為比例分擔之基礎,對安裝工程險之保險人至不公平,殊失情理之平。 3、綜上,本件「商業財產險」與「安裝工程險」之保險事故本就不同,發生損 害之範圍亦不相同,與「複保險」乃指「保險事故相同」、「發生損害範圍 相同」之情形顯有極大區別,本件商業財產險保單有「附加被保險人合力保 險」之條款,安裝工程險並無「附加被保險人合力保險」之條款,二者責任 之內容並不相同,且安裝工程險之保險人已經支付依該保單應付之保險金予 聯瑞公司,自無從再依二者「投保金額」負比例分擔之責。原告援引保險法 第三十八條之規定作為假設有「保險競合」時分攤理賠金額之計算方法,顯 不正確。 (五)GAB ROBINS公證公司認為本件若存在「保險競合」,應採獨立責任比例分攤法 方始合理。 1、依麥理倫公司報告(原證四十五),本件競合部分之標的,若不存在安裝工 程險時,商業財產險單獨之理賠責任為台幣(以下同)七、六八O、OOO 、OOO元。若不存在商業財產險時,安裝工程險單獨之理賠責任為八、 二九七、七一二、五九二元。依此計算,存在保險競合時,商業財產險應分 攤之理賠金額為三、七O九、四八九、二八二元 (8,298,212,592× 7,680,000,000 / (7,680,000,000+8,298,212,592)×93%)。原告前已支付 七、一四二、四OO、OOO元,故其所謂溢付金額為三、四三二、九一O 、七一八元。 2、茲因中央、富邦、新光之再保比例係七一、八二及一八、一八及三,依此比 例計算,中央之金額為二、六五一、O九二、九八六元、富邦之金額為 六七一、O七八、六七五元、新光之金額為一一O、七三九、O五五元。 3、前揭金額係假設原告就損失之認定均正確無誤所作估算,惟原告迄未完足舉 證,併此敘明。 (六)縱如原告所主張構成「保險競合」且類推適用「複保險」,其金額亦不正確 1、構成保險競合部分,商業財產險之保險金額為七、八七六、九一二、OOO 元。 2、構成保險競合部分,安裝工程險之保險金額依麥理倫公證報告只有九、六七 七、一九一、九二二元(見原證四十五),原告竟不當地將之擴張到一二、 九O三、五九五、一OO元,將不構成「保險競合」部分財產之保險金額也 作為「保險競合」相同處理,以致不當擴張安裝工程險保險人之分攤責任。 3、依此計算,商業財產險需分攤之金額應係三、四六二、九三八、九四O元 (8,298,212,592×7,876,912,000/(7,876,912,000+9,677,191,922)×93%) 。原告前已支付七、一四二、四OO、OOO元,故其所謂溢付金額應為三 、六七九、四六一、O六O元。 4、茲因中央、富邦、新光之再保比例係七一、八二及一八、一八及三,依此比 例計算,中央之金額為二、八四一、四九三、四七六元、富邦之金額為 七一九、二七五、二九一元、新光之金額為一一八、六九二、二九二元。 5、當然前揭金額也是假設原告就損失之認定正確無誤下所作估算,惟原告迄未 完足舉證,併此敘明。 (七)關於若構成「保險競合」時,二份保單分攤金額應如何估算始為正確,GAB ROBINS公證公司已出具書面詳加說明。 四、結語 綜上所述,原告並未證明天和公司於火災當日之換管工作係履行保固責任。反之 ,被告之專家業已舉反證證明管裂緣因反應室長期排放含氟之廢氣造成自動分流 管化學侵蝕,以及管線本身之內應力所致。此外,被告專家調查結果,本件火災 實乃聯瑞公司未停止WSix機台運轉,繼續排放廢氣,引燃WSix粉末所致,與天和 之換管工作無關。顯見原告所提之理論無非在拼湊保固保險條款之條件而已,並 無科學上之價值與根據。從而,原告無論先位或備位聲明,俱為無理由。 參、證據及附件: 一、證據部分: 被證一:原告民國九十一年五月九日起火原因簡報第五、六頁。被證二:原告民國九十一年五月九日起火原因簡報第九頁至第十二頁。 被證三:原告專家證人Leveen二00二年二月十四日報告中譯本第十一頁。 被證四:二次側(12k)配管工程材料合約書,被證五、其他說明。 被證四之一:聯瑞人員訪談記錄(影本)計十頁。 被證五:DIN 8077\8078規格說明及Agru使用手冊。 被證六:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第一0二頁。 被證七:原告民國九十一年十二月九日分流管龜裂原因簡報第一0四頁。 被證七之一:原告專家證人Leveen二00二年二月十四日報告中譯本第十頁。 被證七之二:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第七十一頁。 被證七之三:Argu Manual第四頁及Plastic Design Library第一二一頁。 被證七之四:Argu手冊一九九八年版第三至第五頁。 被證七之五:SET於 被證七之六:聯瑞製程排氣系統二次側配管工程說明節本及附圖。 被證八:原告專家證人Leveen二00二年二月十四日報告中譯本第五頁。 被證八之一:台積電工程人員確認函。 被證八之二:原證五十五「半導體產業標準F5-1101」文章第九頁。 被證九:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第六十七頁、六十八頁。 被證九之0:Centrotherm洗滌器上游閥管(Crawford 15-05、15-16、15-18、15-20 、15-33)照片計五張。 被證九之一:美商應材公司Product Safety Notice第二頁及原證六十二「Reactions of Exhaust Deposits formed in Silicon Deposition Tools」文章之 第六頁。 被證十:被告民國九十一年五月九日起火原因簡報第四十五頁至第四十九頁。 被證十之一:原告民國九十一年七月二十九日分流管龜裂原因簡報第一一六頁。 被證十一:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第二十五頁至第二十八頁 。 被證十一之0:原告專家Leveen一九九九年七月六日報告第十頁。 被證十一之0之一:民國九十二年九月八日筆錄第三頁。 被證十一之0之二:原告專家Leveen一九九九年七月六日報告第七頁。 被證十一之一:]Crawford 15-14 管段照片。 被證十二:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第三十四頁至第四十一頁 。 被證十二之一:被告民國九十一年六月三日陳報狀動畫圖八。 被證十二之二:Merrian-Webster及Oxford辭典之定義。 被證十二之三:原證七十一「Solid State Technology」文章之第七頁。 被證十二之四:原證五十五「半導體產業標準F5-1101」文章第四頁。 被證十二之四之一:Comprehensive doenstream effluent management第六頁。 被證十二之五:Centrotherm操作手冊第六十頁。 被證十二之六:Centrotherm操作手冊第六十六頁。 被證十二之七:原證五十五「半導體產業標準F5-1101」文章第四頁。 被證十三:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第五十頁。 被證十四:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日報告第十頁。 被證十五:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日報告第六頁。 被證十五之一:Mechanical Metallurgy文章之節文計二頁。 被證十五之二:Polypropylene一書之封面及第一一八頁。 被證十六:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日報告附錄G第六0九頁、 第六一三頁。 被證十六之一:Products of Thermal Degradation of Polymers文章計二頁。 被證十六之一之一:Polymer Technology Dictionary文章計二頁。 被證十六之二:被告專家陳政任博士對陳郁文教授火災起因鑑定報告之評論第十頁至 第十一頁。 被證十六之三:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第九十六頁及碳之相 關資料計二頁。 被證十六之四:Applied Materials操作手冊第4.1.11 Tungsten Hexafluoride(WF 6)節。 被證十六之五:被告專家陳政任博士之碳元素分析及雙氧水實驗報告計三頁。 被證十六之六:被告專家陳政任博士之雙氧水實驗報告計三頁。被證十六之七:被告專家陳政任博士PP管IR分析表計六頁。 被證十六之八:被告民國九十二年二月十日管龜裂原因簡報第三十三頁。 被證十六之九:英商卜內門化學公司光電子能譜技術分析報告及被告專家Tom Parry 博士民國九十二年七月二十六日對該報告之評論報告及中譯本。 被證十七:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第五十一頁、第五十五頁 至第五十七頁。 被證十七之一:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第八十五頁及Underw riters Laboratories Temperature Index。 被證十八:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第五十一頁。 被證十八之一:Agru Manual第四頁至第五頁計二頁。 被證十八之二:Agru Manual第六頁。 被證十八之三:Agru Manual第四頁。 被證十八之四:IPS及ROCHLING公司網站資料。 被證十八之五:Crawford 15-06、15-13、15-18、15-25照片乙張。 被證十九:原告專家陳郁文教授民國九十一年七月二十九日簡報第五十一頁、第五十 六頁。 被證十九之一:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日報告附錄J。 被證十九之二:Manage W-CVD Process Effluents to Boost Uptime文章計四頁。 被證十九之三:氫氧化學反應之文章。 被證十九之四:被告民國九十一年九月四日分流管龜裂原因簡報第五十二頁。 被證二十:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第十八頁。 被證二一:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第三十二至三十七頁。 被證二二:原告民國九十一年七月二十九日起火原因簡報第四十八頁。 被證二二之一:原證五十七「Silicon Particle Formation in Pyrolysis of Silan and Disilan」文章之第一頁。 被證二三:原告民國九十一年十二月九日管裂原因簡報第八十七頁至第八十八頁。 被證二四:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第四十六頁。 被證二五:被告民國九十一年九月四日分流管龜裂原因簡報第二十八頁。 被證二六:被告民國九十一年十月二十一日分流管龜裂原因簡報第二十二頁至第二 十九頁。 被證二七:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第十一頁(修正版)。 被證二七之一:原證五十五「半導體產業標準F5-1101」文章第五頁。 被證二八:被告民國九十一年十月二十一日分流管龜裂原因簡報第十八頁、第十八 之一頁。 被證二八之一:CDO進出口端氟的波峰圖。 被證二八之一之一:Sematech之報告計四頁。 被證二八之一之二:National Advisory Committee for Aeronautics文章計二頁。 被證二八之二:The Handbook of Infrared and Raman Characteristic Frequencies of Organic Molecules文章計二頁。 被證二八之三:原告民國九十一年七月二十九日分流管龜裂原因簡報第五十八頁。 被證二九:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第二十一頁。 被證二九之一:原告民國九十一年七月二十九日管裂原因簡報第一一八頁。 被證二九之二:HDP裂管樣品之IR分析圖。 被證三十:被告民國九十二年二月十日分流管龜裂原因簡報第二十二頁至第二十四頁 。 被證三一:原告民國九十一年七月二十九日起火原因簡報第四十三頁。 被證三二:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第一O三頁。 被證三二之一:原告專家Leveen二00二年二月十四日報告第三頁。 被證三三:原告民國九十一年十二月九日起火原因簡報第六十二頁至第六十三頁。 被證三四:被告專家證人David Robbins二00二年九月二十七日「外櫃抽氣澄清 報告」附錄四計算式。 被證三五:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第二十八頁。 被證三六:原告民國九十一年七月二十九日起火原因簡報第三十七頁。 被證三七:Heron Peterkin二00二年八月二十日覆Ross Cuff的電子郵件及其中譯 本。 被證三七之一:被告民國九十一年二月十日起火原因簡報第六十八頁。 被證三八:原告民國九十一年十二月九日起火原因簡報第六十二頁、第六十九頁。 被證三九:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第五十四頁至第五十五頁。 被證三九之一:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第六頁至第七頁。 被證三九之二:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第八頁。 被證三九之三:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第九頁。 被證三九之三之一:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第九頁。 被證三九之四:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第六十一頁。 被證三九之五:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日火災起因鑑定報告 第十一頁。 被證三九之六:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第九十三頁。 被證四十:原告專家證人Leveen一九九九年七月六日報告中譯本第九頁至第十頁。 被證四一:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日報告第八頁。 被證四一之一:原告民國九十一年五月九日起火原因簡報第二十九頁。 被證四一之二:原告民國九十一年五月九日起火原因簡報第四十八頁至第五十二頁。 被證四一之三:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第五十七頁。 被證四一之四: 頁。 被證四一之五: ─六頁。 被證四一之六:原告專家證人Leveen一九九九年七月六日報告第六頁。 被證四一之七:原告專家證人Leveen二00二年二月十四日報告第二頁。 被證四一之八:被告民國九十一年六月三日陳報狀動畫圖十八。被證四一之九:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第二頁。 被證四一之十: 至第八頁。 被證四二: 至第二十二頁。 被證四三:原告民國九十一年十二月九日起火原因簡報第九十一頁。 被證四四:原告專家Ben Wilkerson民國九十一年七月二十九日簡報第三十四頁。 被證四五:被告專家證人David Robbins二00二年九月二十七日「外櫃抽氣澄清 報告」中譯本第三頁。 被證四五之一:被告民國九十一年六月三日陳報狀動畫圖六。 被證四六:被告專家證人David Robbins二00二年九月二十七日「外櫃抽氣澄清 報告」附錄三。 被證四六之0:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第三十頁及生產紀錄 。 被證四六之一:被告民國九十一年五月九日起火原因簡報第七頁。 被證四六之二:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第三十一頁至第三十 三頁。 被證四七:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第十三頁。被證四七之一:安全連鎖裝置未連接之照片二張。 被證四八:原告民國九十一年十二月九日起火原因簡報第三十二至第三十三頁。 被證四九:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第三十四至第三十六頁。 被證四九之一:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第十二頁。 被證四九之二:GApplied Materials操作手冊第4.1.9DCS節。 被證四九之三:天和公司負責人劉天和出具之證明書。 被證五十:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第八頁至第九頁。 被證五十之一:WSix機台配方及排氣濃度計算表。 被證五十之二:被告民國九十一年十月二十一日起火原因簡報第八十四頁。 被證五十之三:原告專家陳郁文教授民國九十一年二月二十一日火災起因鑑定報告第 十一頁。 被證五十之四:原告民國九十二年五月十九日爭點整理狀原證六十六第一頁。 被證五一:原告民國九十一年五月九日專家證人陳郁文教授簡報第二十四頁至第二 十五頁。 被證五二:被告民國九十一年九月四日起火原因簡報第八十三頁至第八十四頁。 被證五三: 。 被證五三之一:原告專家Ben Wilkerson九十一年七月二十九日簡報第七頁。 被證五四:被告民國九十二年二月十日起火原因簡報第十七至第二十頁。 被證五五:被告民國九十一年六月六日分流管龜裂原因簡報第八十六頁至第八十七 頁。 被證五六:被告專家Tom Parry博士民國九十二年十月十六日「對原告就ICI XPS分 析結果之解讀及被就聯瑞自動分流管進一步檢測結果證實內管壁表面無 明顯之熱效應之評論」報告及中譯本各一份。 被證五七:原告專家陳郁文教授及陳劉旺教授於九十二年十月七日採樣過程之光碟 片。 被證五八:被告專家Tom Parry博士民國九十二年十月十六日「對聯瑞PPH自動分流 管之SEM照片解讀之評論」報告及其中譯本各一份。 被證五九:「An Atlas of Polymer Damage」書引用之兩張照片。 被證六十:Crawford 15-9照片二張。 被證六一:聯瑞生產紀錄。 被證六二:麥理倫公證公司一九九八年二月十二日調查報告第六頁。 被證六三:Polypropylene 一書之封面及第六十一頁。 被證六四:原告專家陳郁文教授民國九十一年五月九日簡報第四十七頁。 被證六五:SST文章全文。 被證六六:Y.Xu文章-Thickness metrology and point control in W chemical vapor deposition process from SiH4/WF6 using in situ mass spectrometry. 被證六七:麥理倫公證公司一九九七年十二月二十四日調查報告第七頁。 被證六八:被告專家二00三年十一月二四日對管裂原因之評論報告。 被證六九:被告專家二00三年十一月二四日就Hammond火災報告之評論報告。 被證七十:原告九十一年七月二十九日管裂簡報第十四頁之照片。 被證七十之一:WCVD機台之真空工程管路與排氣工程管路之說明。 被證七一:原告專家Armstrong二OO二年一月廿九日報告第一-一頁及其中譯本。 被證七二:原告專家Armstrong二OO二年一月廿九日報告第六-一頁及其中譯本。 被證七三:美國能源部手冊中關於「pyrophoric」及「spontaneous combustion」 的解釋計三頁。 被證七四:"Chemical Process Safety Fundamentals with Applications"一書,第 二四九頁,關於「自氧化」之解釋。 被證七五:Onischuk一九九四年文章-「Analysis of Hydrogen in Aerosol Partic les of a Si:H Forming daring the Pyrolysie of Silane」全文。 被證七六:被告專家九十一年九月四日火災原因簡報第六十九至七十一頁。 被證七七:被告專家九十一年六月六日管裂原因簡報第十七頁。二、附件部分: 附件一:原告向新竹地方法院提起代位求償訴訟起訴狀(影本)一件。 附件二:原告對日商日建設計股份有限公司之撤回起訴狀(影本)一件。 附件三:原告之美國法律顧問一九九七年十二月十九日書面報告及部分中譯文(影本 )一件。 附件四:謝錦泉一九九七年十二月十六日聲明書影本一件。 附件五:聯瑞公司一九九八年五月十四日協調會議紀錄影本一件。 附件六:美亞保險公司一九九八年四月九日理賠委員會會議記錄影本一件。 附件七:商業財產險再保人一九九八年六月十八日會議記錄影本一件。 附件八:美亞保險公司一九九八年十月二十七日致慕尼黑再保險公司函影本一件。 附件九:Mr.Mark Handy一九九年五月五日致中央保險公司副總經理函影本一件。 附件十:GAB ROBINS二00三年十月三十日覆博正法律事務所函影本一件。 附件十一:聯電公司陳哲宏律師九十二年十一月十八日電子郵件(影本)一件。 附件十二:原告一九九七年元月八日函(影本)一件。 附件十三:原告一九九八年元月廿一日、一九九八年四月十五日、一九九八年六月廿 五日函(影本)及部分中譯共三件。 附件十四:GAB ROBINS二00三年十一月十八日查核報告(影本)一件。 附件十五:被告爭點整理及辯論意旨狀內全部證據之整理表一件。 附件十六:王澤鑑著「不當得利」第二O三-二O六頁。 附件十七:最高法院八十七年度台上字第九三七號民事判決(影本)一件。 附件十八:最高法院九十一年度台上字第六二九號民事判決(影本)一件。 附件十九:GAB ROBINS公司二OO三年十二月十一日說明函及附證。 附件二十:原告向Royal Re 投保再保險之文件。 附件二一:中央與原告之再保險單。 附件二二:一九九八年七月二十二日致被告之傳真文件。 理 由 甲、程序方面: 一、有關承受訴訟部分: 按「當事人喪失訴訟能力或法定代理人死亡或其代理權消滅者,訴訟程序在有法 定代理人或取得訴訟能力之本人,承受其訴訟以前當然停止,第一百六十八條至 第一百七十二條及前條所定之承受訴訟人於得為承受時,應即為承受之聲明」, 民事訴訟法第一百七十條、第一百七十五條分別定有明文。查本件被告中央產險 公司之法定代理人原為乙○○,於訴訟中變更為白文仁;被告富邦產險公司之法 定代理人原為丁○○,於訴訟中變更為石燦明。是被告中央產險公司之法定代理 人白文仁、被告富邦產險公司之法定代理人石燦明具狀聲明承受訴訟,要無不合 ,合先敘明。 二、有關擴張聲明部分: (一)按訴狀送達後,原告不得將原訴變更或追加他訴,但擴張或減縮應受判決事項 之聲明者,不在此限,民事訴訟法第二百五十五條第一項第三款定有明文。本 件原告原起訴聲明為:「先位聲明:一、被告中央產物保險股份有限公司應給 付原告新台幣三億七千四百一十五萬元,被告富邦產物保險股份有限公司給付 原告九千六百九十萬元,被告新光產物保險股份有限公司給付原告新台幣二千 八百九十五萬元,及均自起訴狀繕本送達之翌日起至清償日止,按年利率百分 之五計算之利息。備位聲明:一、被告中央產物保險股份有限公司應給付原告 新台幣四億元,被告富邦產物保險股份有限公司給付原告新台幣一億元,及均 自起訴狀繕本送達之翌日起至清償日止,按年利率百分之五計算之利息」,嗣 於訴訟進行中之九十二年十一月二十五日具狀聲請擴張訴之聲明為:「一、被 告中央產物保險股份有限公司應給付原告新台幣三十一億五千五百六十七萬一 千三百二十萬元,被告富邦產物保險股份有限公司給付原告新台幣八億一千七 百二十七萬七千九百六十六元,被告新光產物保險股份有限公司給付原告新台 幣二億四千四百十七萬一千二百八十一元,及均自起訴狀繕本送達之翌日起至 清償日止,按年利率百分之五計算之利息」。 (二)原告認其得為擴張之理由為:原告起訴時即已表明係先為一部請之求,保留將 來擴張之權利,且原告請求之標的為可分之債,基於處分權主義,實務見解向 來肯定當事人得為一部請求,而於起訴時先請求部分金額,故原告聲明之擴張 為合法。被告則抗辯:「金錢損害賠償之訴」如因計算困難,固得依民事訴訟 法第二百四十四條第四項之規定,在原因事實之範圍內,表明其全部請求之最 低金額,而於第一審言詞辯論終結前補充其聲明,暫為一部之請求,然本件原 告訴訟標的之法律關係為不當得利與保險代位之請求權,並非金錢損害賠償之 請求權,且原告所得請求之金額甚為明確,並無因涉及損害原因、過失比例、 損害範圍等之認定,加以舉證困難,損害具體數額甚難預估之情形,原告稱其 得自由決定先為一部請求之金額,於法不合。經查:原告擴張其請求之金額, 並未變更其訴訟標的,僅為擴張應受判決事項之聲明,於民事訴訟法第二百五 十五條第一項第三款之規定並無違背,爰認原告所為聲明之擴張,應予准許。 至兩造有關擴張部份之請求權是否已罹於時效之爭執,係屬實體問題,容後述 之。 三、有關預備合併之訴是否合法部分: (一)原告主張:被告認原告所提之本件請求為主觀預備合併之訴,無非係認本件先 位聲明之被告為「商業財產險保險人」,備位聲明之被告為「安裝工程綜合險 保險人」。先位聲明與備位聲明之被告不相同,故本件屬主觀預備合併之訴。 然查,判定被告是否同一,應係以被告之人格是否同一,而非以被告契約當事 人之身分斷之。本件先位聲明之被告為中央產險公司、富邦產險公司及新光產 險公司;備位聲明之被告為中央產險公司及富邦產險公司。備位聲明之被告, 已涵蓋於先位聲明之被告中,具有相同法人人格,故應認原告本件請求應非主 觀預備合併之訴。又是否可以提主觀預備合併之訴,雖法院有不同見解,然最 高法院向採取肯定之見解(詳原證二十七)。反對主觀預備合併之訴之最力主 張乃承認主觀預備合併之訴,將導致備位聲明之被告處於地位不安定之情形。 惟本件備位之訴之被告亦為先位之訴之被告,勢必始終參與訴訟,且亦將因參 與訴訟而獲得判決(不論係針對先位之訴所獲得之判決或備位之訴所獲得之判 決),故縱就備位之訴之被告言,亦無地位不安定之情形,故應無礙兩造攻擊 防禦之進行。且如原告就先位之訴勝訴,先位被告應返還不當得利予原告,則 就保險競合存在乙事,對先位被告即生拘束力,後位被告因同為先位被告,自 不得再爭執保險競合不存在,其地位並無不安定。又可藉本件訴訟一次解決。 關於客觀訴之合併要件,我國民事訴訟法第二百四十八條規定:「對同一被告 之數宗訴訟,除定有專屬管轄外,得向其中一訴訟有管轄權之法院合併提起。 」,客觀預備合併之訴之合法性,司法實務早已承認該類訴訟型態之合法性。 不論係何種型態,僅需符合民事訴訟法僅於第二百四十八條所規定之要件,即 無不合法之問題。又民事訴訟法研究會第七次研討會指出預備合併之型態係就 主張二個互相排斥的攻擊方法,為求一次審理,於起訴階段就請求權選擇本身 ,原告不加以明確的指定,而委諸於法院審理的過程及最後結果來取決、處理 (原證四十二號)。是先後位訴之聲明是否互斥,應係就原告所主張之具體原 因事實及法律效果是否不能並存而為判斷。 判斷先備位聲明是否互斥,應以該二聲明相關之法律主張是否可能同時併存為 據,本件原告如請求返還不當得利之先位聲明獲得勝訴,即表示溢付金額在法 律評價上並非保險給付,保險法第五十三條行使代位權之構成要件即無法滿足 ,而使備位聲明無理由。被告主張本件先備位請求不具有互斥關係,實無足採 。 所謂預備合併訴訟,係指原告預防其提起之訴訟無理由,而同時提起不能併存 之他訴,以備先位之訴無理由時,可就備位之訴獲得有理由之判決,最高法院 六十四年台上字第八十二號判例,闡釋甚詳,原告主張以該二聲明相關之法律 主張是否可能同時併存,以判斷先備位請求是否互斥,洵屬有據,被告辯稱應 從聲明與訴訟標的為斷,即乏根據。實則,關於預備合併訴訟之要件,實務近 來更進一步認為「按現行民事訴訟法之規定,提起訴之預備合併之訴本非必以 互相排斥之請求為成立要件。縱非互相排斥之數請求,如提起預備合併,而將 之排列為先後位,對當事人有實體上、程序上其他基本要求時,在處分權主義 下,應予准許」(鈞院九十二年度訴字第一四九號判決參照;原證四十六號) ,因此被告拘泥於本件先備位兩項請求是否互斥而抗辯本件預備合併訴訟不合 法云云,顯非有理。 (二)被告抗辯:客觀預備合併之訴,係指相同原告對相同被告,主張兩以上不能相 容之訴訟標的及訴之聲明,而在同一訴訟中合併起訴,並就各訴訟標的及聲明 定有先後次序,而以先位之訴無理由時,請求法院就備位之訴加以裁判。學說 與實務之通說見解認為,客觀預備訴之合併,以先後位相互排斥為必要。就訴 訟標的不能併存相容而言,例如先位聲明請求撤銷婚姻,如無法撤銷婚姻,則 以備位請求離婚之訴。就訴之聲明不能併存相容而言,以侵權行為主張損害賠 償回復原狀,如不能回復原狀,則以備位聲明請求金錢賠償。「預備訴之合併 須先位訴之聲明與備位訴之聲明,相互排斥而不相容」(最高法院八十二年度 台上字第一四二九號判決參照)。因此,倘先後位之訴間並無互相排斥而不能 併存之事物關係者,當事人儘可提起單純訴之合併或分別先後訴請裁判,並無 提起預備合併之訴之必要。質言之,先後位互相排斥乃提起預備合併之訴之合 法要件,倘欠缺此項要件,法院應以民事訴訟第二百四十九條第一項第六款駁 回備位之訴。 本件原告之先位聲明,以不當得利請求為商業財產保險人之被告中央、富邦及 新光三家公司返還之,備位聲明則以法定(保險法第五十三條)及約定債權讓 與,請求安裝險共保人即中央及富邦二家公司給付之。就訴之聲明內容而言, 原告先後位聲明所請求者均為金錢,並無互相排斥不能相容之關係。就訴訟標 的法律關係而言,先位之訴之不當得利法律關係與備位之訴之法定或約定債權 讓與間並無互相排斥不能相容之關係,欠缺預備合併之訴合法要件。且備位之 訴之被告雖與先位之訴相同,然法律關係不同,非屬同一人。 本件原告先位聲明無理由時,其後位聲明並無審理裁判之必要。因先位聲明無 理由有兩種情形,一是本案根本不適用安裝險附加00四保固條款。二是本案 適用安裝險附加00四保固條款,然商業財產險共保人並未受有利益。備位聲 明仍係以適用安裝險附加00四保固條款為前提,如本案不適用安裝險附加0 0四保固條款,則備位聲明並無審理之必要。如本案可適用安裝險附加00四 保固條款,原告依法應僅在二十六億元餘元之範圍內受讓商業財產險保險人所 取得對第三人之損失賠償請求權,不論原告得否向第三人主張,該第三人當然 不包括安裝險之保險人,因而備位聲明亦無審理之必要。故本件不符合預備合 併之訴之要件,應予駁回。 (三)按原告以單一之聲明,主張數項訴訟標的,並未請求法院選擇其中之一裁判, 亦未定有先後之順序,而係請求法院就各該訴訟標的同時為裁判者,此為訴之 重疊之合併。如原告為預防其提起之訴訟無理由,而同時提起不能併存之他訴 ,以備先位之訴為無理由時,可就備位之訴獲得有理由之判決者,則為訴之預 備之合併。 (四)關於主觀預備合併之訴,實務上雖有以備位被告雖仍須與先位當事人同時為言 詞辯論,但備位被告最後可能未獲得任何裁判,不僅備位被告之當事人地位不 安定,且原告與先位被告間之裁判對備位被告亦無從發生任何法律上效力,則 就備位被告而言,徒費無益之訴訟程序為由,而不准許主觀預備合併之訴之提 起。惟按民事訴訟法第二百四十八條前段規定:「對於同一被告之數宗訴訟, 除定有專屬管轄者外,得向就其中一訴訟有管轄權之法院合併提起之。但不得 行同種訴訟程序者,不在此限。」,其所謂「同一被告」,並未規定以相同法 律關係主體之當事人為要件。本件備位之訴之被告中央產險公司、富邦產險公 司同時為先位之訴之被告,且先備位訴訟標的法律關係之基礎事實復相同,又 均以是否適用安裝工程險附加00四保固條款為前提,因此,就備位之訴之被 告而言,並無徒費無益訴訟程序及當事人地位不安定之問題,是被告抗辯原告 提起主觀預備合併之訴,不應准許云云,尚非可採。 (五)至客觀預備之訴,通說認為備位之訴須屬不能併存之他訴,所謂「不能併存」 ,有認為係指備位之訴以先位之訴無理由為裁判之停止要件;有認為係以先備 位聲明不能併存為要件,究以何者為當?按現行民事訴訟法就此並無明文規定 ,就「備位之訴」之文義而言,乃原告以獲勝訴判決為目的,在同一訴訟程序 中,於前一訴訟無法獲得勝訴判決時,預備以另一訴訟合併請求法院審判,故 備位之訴以先位之訴無理由為其裁判要件即為已足,至其聲明是否與先位之訴 之聲明相互為斥,似無加以限制之必要。又原告之聲明雖分成先位聲明及備位 聲明,然法院就原告所主張起訴原因之事實判斷其法律上之效果,不受原告所 述法律上見解之拘束(最高法院二十六年諭上字第六五○號判例參照),因此 ,若原告先、備位聲明不合預備合併要件,其真意乃係基於請求權競合,法院 仍得依其代種類訴之客觀合併之方式處理為宜。本件原告係為預防其提起之先 位之訴無理由,而同時提起備位之訴,以備先位之訴無理由時,可就備位之訴 獲得有理由之判決,不僅原、被告當事人無異,其為法律關係之基礎事實亦同 一,為符合訴訟經濟之原則,防止裁判衝突,並兼顧原告實體法上權益,實無 以先備位聲明必須互斥為必要。綜上所述,原告提起本件備位之訴,應予准許 。 乙、實體方面: 壹、原告主張之重點: 一、本件聯瑞公司系爭晶圓廠為被告中央產險、富邦產險及新光產險等三家保險公司 出具之商業財產險保險單下之投保處所,而原告則為系爭商業財產險保險單之再 保險人。系爭晶圓廠於八十六年十月三日發生火災發生時,晶圓 廠內已有部分 工程已經完工處於投片試生產階段,同時有部分工程尚在進行中。聯瑞於八十六 年十月二日發現一樓副廠區連接WCVD生產機台之廢氣處理系統Centrotherm洗滌 器上之二吋聚丙烯自動輔助管線(automatic bypass)之一有龜裂及滲漏現象, 並有粉末散布於龜裂的管線中,經聯瑞派人於該區域檢視後,發現四台處理WCVD 廢氣之Centrotherm洗滌器上之八根輔助管線均已破裂,因該管線原係由天和公 司提供材料及人力為聯瑞投保處所施作,且管線材料及施工均尚在保固期間內, 故聯瑞遂要求天和派人於八十六年十月三日就前開龜裂及滲漏之排氣管進行換管 保固工作。天和委派之換管工人於十月三日進行換管過程中,於下午三點左右, 在輔助管線維修口處之十二吋次主管內發現有著火情形,此火經工人迅速撲滅。 在當天下午五點半左右,工人在輔助管線所連接之十八吋次主管內發現有火,緊 接者又發現有多處著火情形,經撲滅無效,火災持續延燒,致造成重大損失。 二、系爭火災發生後,原告委請專家就火災發生之原因為調查,根據專家之鑑定報告 ,系爭輔助管線破裂乃肇因於天和派遣之人員於初次安裝輔助管線時,即未正確 地執行各個管線之熱熔接工程,而在管線銜接處產生針孔/小細縫,使空氣經由 管線之針孔/小細縫進入而與管線中之六氟化鎢及矽甲烷進行反應,該等高放熱 反應所形成之熱效應,造成管線在使用六個月後即告破裂。(一)管線破裂原因: 1、天和公司使用錯誤管徑之管線,造成管線內流速變慢,使管線內氣體停留 在管線內之時間增加,而加速管線破裂。 2、天和公司安裝輔助管線,因施工不當,於輔助管線連接處留有針孔,不符 合約規定,致使管線外空氣(濕氣)進入管線與管線內廢氣產生反應,造 成管線破裂。 3、排氣系統的輔助管線應無經常性之空氣來源,然因天和公司施工不當,於 輔助管線連接處留有針孔,致使管線外空氣(濕氣)進入管線與管線內廢 氣產生反應,造成管線破裂。 4、管壁上之針孔與管裂間具有關連性。因為輔助管線存在針孔,空氣得以由 針孔進入,而與管線中之氣體反應,對管壁形成熱效應,造成管壁破裂。 5、空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會造成局部管壁受熱而 產生熱效應。 6、系爭破裂管線因持續承受與管線破裂應力相當之熱應力、內應力及懸吊應 力,最終造成管線破裂。 7、輔助管線並無氟存在,故氟並非導致本案管線破裂之原因。綜上所述,本 件管裂原因確實係因天和安裝不良所產生熱效應所致,並無任何證據顯示 管線係因氟侵蝕而破裂。 (二)火災發生原因:原告專家認定本件火災發生原因,係因天和工人於八十七年十 月三日之換管施工,自輔助管線之維修口引進大量空氣至十二吋及十八吋次主 管中,並擾動沈積在次主管內具有自燃性及可燃性之WCVD廢氣粉末,致引燃火 災: 1、本件火災之引燃機制為「具自燃性及可燃性之廢氣粉末+擾動+空氣」: (1)WCVD製程廢氣粉末因包覆、吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣而具有 自燃性與可燃性。 (2)WCVD製程廢氣粉末具有可燃性與自燃性。 (3)WCVD製程廢氣粉末濃度足以導致火災。 (4)天和人員之換管工作對次主管中堆積之粉末構成了機械性擾動。火災 引燃時,天和之工作人員係在二處次主管工作。(5)從WCVD維修口進入之空氣與火災之關連性:從WCVD維修口進入之空氣 改變管線內之氣流方式。從WCVD維修口進入之空氣提供火災燃燒所需 之氧氣。 (6)天和施工確實導致本案火災之發生。 2、被告所主張之WSix機台之廢氣(ClF3及DCS)引燃機制事實上無法成立, 故非造成本案火災之原因。 3、聯瑞火災之起火點:本案火災均係由天和工人於施作換管時所發現,並均 發生於施作中之十二吋及十八吋次主管,而起火燃燒之次主管內均存在大 量粉末堆積,故判斷本件火災之發生確實與天和公司施作換管工作有關。 (三)查聯瑞公司針對建廠工程所投保之安裝工程綜合險,適用於因施工對晶圓廠之 財產及設備所造成之一切損失。依聯瑞、聯電與安裝險共保人所簽訂之安裝工 程綜合險基本條款第四條之規定,安裝工程綜合險共保人之保險責任自保險標 的在保險期間內,經卸置於施工處所後開始,至定作人接收時或至第一次試車 或負荷試驗完畢時終止。此時相關之機器、設備即進入商業財產險之保險範圍 。然該安裝工程綜合險尚加保00四條款:「本保險單承保工程或其一部份自 啟用、接管或驗收之日起算十二個月為保固保險期間,並以較先者為準。本公 司在該保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或滅失負賠償責任: 被保險人因履行工程合約之保固責任造成之意外事故。肇因於保險期間而在上 述保固期間內發生之意外事故。」,因此00四條款之適用,將延長安裝險保 險人之保險責任,而會發生同一保險標的同時為安裝工程綜合險及商業財產險 所涵蓋之保險競合之情形。故天和之換管工作係在進行保固工作,且該保固工 作之施工為本件火災發生之原因,故此事故應為安裝工程綜合險所承保之範圍 。 (四)原告於八十七年七月十三日依商業財產險保單規定給付商業財產險保險人七十 一億四千二百四十萬元,給付當時不知系爭損失肇因於天和之施作保固工作, 應屬安裝工程綜合險所承保之範圍,直至原證七號Lindsay Leveen Report之 報告出爐,始知本件火災所導致之損失構成保險競合,故原告依比例應僅於二 十九億二千五百二十七萬九千四百三十三元之損失範圍內負有給付保險金之責 ,因此原告溢付保險金四十二億一千七百一十二萬零五百六十七元,即受有損 害。 (五)按民法第一百七十九條規定:「無法律上之原因而受利益,致他人受損害者, 應返還其利益,雖有法律上之原因,而其後已不存在者,亦同。」本件原告就 系爭火災構成保險競合之部分,既僅在二十九億二千五百二十七萬九千四百三 十三元之範圍內負有給付保險金之義務,則原告就本件再保險金之溢付自得依 民法第一百七十九條之規定請求中央、富邦、新光分別按承保比例返還其所受 利益。 (六)備位聲明部分: 1、商業財產險共保人既已對聯電及聯瑞給付商業財產保險之賠償金額,自得 依保險法第五十三條規定代位行使聯電及聯瑞對應就本件事故之發生負賠 償責任之第三人之請求權。而原告已依再保契約賠償商業財產險共保人, 原告於理賠範圍內,基於保險法第五十三條之代位權,得行使聯瑞及聯電 對第三人之損害賠償請求權。 2、聯瑞、聯電就系爭火災所致生之損失,依其與中央、富邦間之安裝工程綜 合險00四條款,得在中央、富邦依比例應負擔之保險範圍內,請求彼等 依保險契約給付保險金,原告復取得聯瑞、聯電對第三者之請求權,故原 告代位聯瑞公司得向安裝工程保險人請求少付的保險金額為四十二億一千 七百十二萬零五百六十七元。是原告自得依保險法第五十三條之規定及民 法關於債權讓與之規定,請求中央及富邦分別依百分之八十及百分之二十 之承保比例向原告給付系爭保險金三十三億七千三百六十九萬六千四百五 十四元及八億四千三百四十二萬四千一百十三元。 (七)綜上所述,原告先位聲明請求:被告中央產險公司給付三十一億五千五百六十 七萬一千三百二十元,被告富邦產險公司給付八億一千七百二十七萬七千九百 六十六元,被告新光產險公司給付二億四千四百十七萬一千二百八十一元,及 均自起訴狀繕本送達之翌日起至清償日止,按年利率百分之五計算之利息。備 位聲明請求:被告中央產險公司應給付三十三億七千三百六十九萬六千四百五 十四元,被告富邦產險公司給付八億四千三百四十二萬四千一百十三元,及均 自起訴狀繕本送達之翌日起至清償日止,按年利率百分之五計算之利息。並願 供擔保,請准宣告假執行。 貳、被告抗辯之重點: 一、原告提起本件訴訟,主張聯瑞公司發生火災後,其依再保險契約給付七十一億四 千二百四十萬元予商業財產險共保人,但本件應適用安裝險OO四保固條款,因 此其溢付四十二億一千七百十二萬零五百六十七元,依不當得利及代位權之規定 ,請求被告給付如其聲明所示之金額。原告之請求無非係認本件有「安裝工程險 附加OO四保固保險條款」之適用,將天和公司於火災當天所為之置換管線工作 解釋為保固工作,並基於管線上四個「針孔般小洞」,建構其管線破裂及火災發 生之理論。然原告對於其所提出之「針孔-粉末-管裂」理論,迄今無法證明。 二、管線破裂及火災發生的原因: (一)管線破裂原因: 1、天和公司原先所安裝之管線「材質」、「規格」並無錯誤:天和公司所施作 之工程管路,係屬於EXH工程,非屬真空工程,原告之管裂理論無法成立。 天和公司安裝的管線材質、規格,係由聯瑞公司指定,無「安裝錯誤管徑, 導致流速變慢,因而加速管線破裂」之問題。 2、管線上「針孔般小洞」並不影響排氣功能,故縱有「針孔般小洞」,亦非瑕 疵。 3、排氣系統的自動分流管內原本即有空氣存在,空氣並非只能從四個「針孔般 小洞」進入自動分流管內:排氣系統通常即存在若干細縫,故空氣可從這些 細縫進,管壁上的針孔與管裂間並無位置及數量上之關聯性,系爭管裂與針 孔無關。 4、系爭自動分流管並無「熱劣化」情形,且「熱劣化」不會造成管裂:「熱劣 化」係指管材因「長期無間斷的」暴露於高溫下,而逐漸導致管材機械強度 減損的過程,且其結果是管材機械強度減損,而非管子裂開。熱劣化、熱疲 勞、熱衝擊等原告主張之「熱」的機制,在本案均不存在。 5、粉末的存在只能證明有空氣與廢氣進行反應,而空氣之來源不一,管裂後大 量進入的空氣才是粉末增加之原因,黃色粉末與管裂完全無關。 6、靠近管壁的藍綠色粉末並非碳,而是WO2.98,示差掃描熱量測定法 (DSC)顯 示管壁未曾暴露在高溫下,所以「管內粉末成分有碳」、「管壁紅外線光譜 分析(IR)」及「管壁裂痕之電子顯微鏡照片」,無法作為管壁受熱之直接 證明。 7、原告並未證明系爭自動分流管所承受的懸吊應力、熱應力、內應力之總和已 大於破裂應力,而足以使管子破裂。 8、本案WCVD機台排氣管龜裂原因,乃機台排放廢氣具腐蝕性及管子製造殘留之 「內應力」所致。系爭分流管上的裂痕係屬於「長、縱向」的「脆性裂痕」 ,「長、縱向」是由管子的「內應力」所致,而「脆性裂痕」則來自於化學 侵蝕。本案自動分流管中確有「氟」存在;聯瑞公司證實本案WCVD台排放之 廢氣具腐蝕性而導致管裂。 (二)火災原因: 1、原告之火災理論與起火時間相互矛盾:原告迄無法解釋矽甲烷遲延自燃之問 題。原告迄無法證明下午五點半發現的火災其引燃之時間。如果原告專家主 張的不是「自燃」,而是「自氧化」,且氧化產生的熱量極小,需累積熱量 ,使溫度足夠才能引燃起火。 2、原告迄無法證明下午五點半發現的火災其引燃之時間:原告專家認定下午三 點發現之火災起火點在WSix端次主管,將上游的WSix端與下游之WCVD端相互 錯置。並以「證人目擊」方式而謂WCVD端第四個洞口為起火點,然證人於 WCVD端第四個洞口看到的火勢,並非起火點,而是WSix區段「Iwatani過濾 器排氣管」與「十二吋次主管」之連接口始為起火點。又原告專家認定下午 五點半發現之火災,起於十八吋次主管上游,然十月三日當天並無WCVD廢氣 排入十八吋次主管,起火點並非十八吋次主管之WCVD排氣口,依原告矽甲烷 火災理論,起火點應在自動分流管,而不在次主管。原告認定之起火點錯誤 ,故其火災理論不可能正確。 3、本案絕非矽甲烷火災:原告迄未證明WCVD粉末可包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷 衍生物、氫氣。且WCVD粉末亦不具自燃性,其縱使WCVD粉末會吸附矽甲烷, 所吸附之矽甲烷濃度不足以引起火災。WCVD粉末幾乎全部堆積於輔助管線中 ,次主管內僅有少量或沒有WCVD粉末之堆積。WCVD粉末如附吸足夠自燃濃度 之矽甲烷,理應於受擾動而釋出時,立即燃燒。 4、本件火災與天和公司之施工無涉:原告主張兩次火災發生時,天和工人均正 在該二處進行施工。然第一次發現火災時,更換的管線尚未換上。而原告又 未說明第二次發現火災時,火災引燃的時間、地點及當時天和工人正在進行 何種工作。被告專家Robbins的初步報告、陳政任博士的文章、工研院資料 庫所載災例及再保險公司人員提出之報告,無一「證實」是天和公司導致火 災的發生。 5、WSix機台排放之廢氣─二氯矽甲烷(DCS)及三氟化氯(ClF3)才是造成聯 瑞火災之原因。 (三)先位聲明部分: 1、天和公司之管線工程係按合約規定施工。其於八十六年十月三日進行換管工作 係依聯瑞公司要求置換管線係新工作,並非在履行工程合約之保固工作。且保 固工作限於材料粗劣或工作不良而進行修補,天和公司換管之規格與原使用之 管線規格不同,聯瑞公司亦認定其要求天和公司更換不同規格管線為新工作, 故本件不適用安裝工程險附加00四保固保險條款。又安裝工程附加險係以承 攬人「履行工程合約之保固責任」作為條件之一,天和在下午三時以後之工作 與是否「履行工程合約之保固責任」無關。且原告迄未證明管裂與天和施工有 關,及火災發生與天和施工有何「因果關係」。聯瑞公司之工程師亦推斷管裂 係因機台所排放具有腐蝕性廢氣所造成。況原告於另案之主張及陳述均認定管 裂乃其他多家公司之過失,故本件並非「肇因於保險期間而在保固保險期間內 發生之意外事故」。 2、本件火災事故發生後,原告即主導事故原因之調查,經同意後始給付再保險金 給商業財產險共保人,商業財產險共保人亦根據磋商結果與被保險人聯瑞公司 簽署和解契約給付保險金。因此,商業財產險共保人受領給付具有法律上之原 因。原告在另案之主張及陳述堪認其認定自己並未溢付「再保險金」,被告已 將再保險金如數給付聯瑞公司,商業財產險共保人並無「現存利益」存在。而 原告將其對被告所負之再保責任另投保「再保險」,原告之理賠損失,已獲得 填補,並無「損害」之可言。且原告於給付保險金前已自認為有安裝工程險附 加OO四保固保險條款之適用仍給付再保險金予被告,原告即不得再為返還不 當得利之主張。故原告先位聲明之請求並無理由。 (四)備位聲明部分: 1、原告先後位聲明所請求者均為金錢,並無互相排斥不能相容之關係,故不符合 訴之客觀預備合併之要件,欠缺預備合併之訴合法要件,且備位之訴原告擴張 聲明部分已罹於時效應駁回其備位之訴。 2、本件不適用安裝工程險附加OO四保固保險條款。 3、原告所謂「溢付」之金額,被告無從自聯瑞依法取得「對第三人之損失賠償請 求權」,則原告自無法依債權讓與之結果,受讓取得該「對第三人之損失賠償 請求權」。 4、保險法第五十三條代位權係指被保險人因保險事故之發生,而對於「第三人」 有損失賠償請求權之情形,並非指被保險人對於「其他保險人」有「保險金請 求權」之情形。在所謂「保險競合」之情形,各保險人係各自依分攤額度負理 賠責任,彼此係共同對被保險人負責,原告得行使代位權之範圍不包括聯瑞公 司依安裝工程險得行使之「保險金請求權」。商業財產險保險人給付保險金後 ,亦不能代位被保險人向安裝工程險保險人請求保險金。況原告行使保險法第 五十三條之代位權時,已取得再保險金額給付部分應予扣除,經扣除後,原告 即無權再行使代位權。 (五)不論先位或備位聲明,原告就安裝工程險之理賠金額計算迄未完足舉證,且所 估算金額亦不正確:原告提出之計算資料仍有疑義,我國保險法就所謂「保險 競合」之解決方式缺乏明文規定,本件存在「保險競合」,不應採用「複保險 」之計算方法,而應採獨立責任比例分攤法方始合理。商業財產險與安裝工程 險之保險標的不同,保險金額計算之基礎亦不同,二份保單發生損害之範圍亦 非相同,安裝工程險就尚未完成安裝之設備已理賠將近新台幣二十五億元,原 告未慮及此,仍以兩件「保險金額」作為比例分擔之基礎並不公平。 (六)綜上所述,原告無論先位或備位聲明俱為無理由,請求駁回原告之訴及假執行 之聲請。 參、茲就兩造有關技術方面之爭點整理如下(其中一至七為管裂原因,八至十三為火 災原因): (管裂原因) 一、天和所安裝的管徑有無錯誤,如有其影響為何? 二、輔助管線安裝是否符合合約「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定? 三、排氣系統的輔助管線是否本來沒有空氣的存在? 四、管壁上之針孔與管裂間是否具有位置上及數量上之關聯性?五、空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會否造成管壁受熱而產生熱劣 化? 六、輔助管線破裂應力為何?輔助管線所承受的懸吊應力、熱應力、內應力是否大於 破裂應力? 七、輔助管線中是否有F2存在?若有,是否會形成本案管線破裂的情形? (火災原因) 八-一、WCVD廢氣粉末是否會包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣? 八-二、前述WCVD廢氣粉末是否具有可燃性及自燃性? 八-三、前述WCVD廢氣粉末之濃度是否足以導致火災? 八-四、前述WCVD廢氣粉末是否堆積於次主管? 八-五、前述WCVD廢氣粉末如被擾動是否會立刻燃燒? 九、天和人員之換管工作是否構成對粉末之機械性擾動?火災引燃時天和人員是否正 在該二處次主管進行何種工作? 十、下午五點半發現之火災,其被引燃之時間為何? 十一、從WCVD維修口進入的空氣與火災之關連性? 十二、WSix廢氣( DCS加ClF3)是否為造成聯瑞晶圓廠火災之原因? (一)下午三點發現之火災: 1、火災發生時,DCS及ClF3有無排入十二吋次主管? 2、如有排入,是否已經洗滌? 3、如未洗滌,DCS及ClF3的濃度是否達最低燃燒界限? (二)下午五點半發現之火災: 1、火災發生時,是否有DCS及ClF3排入十八吋次主管? 2、如有排入,是否已經洗滌? 3、如未洗滌,DCS及ClF3的濃度是否達最低燃燒界限? 十三、聯瑞火災之起火點為何處? (一)下午三點發現之火災起火點在何處? (二)下午五點半發現之火災起火點在何處? 參、茲就兩造有關技術方面之爭點加以整理如下(其中一至七為管裂原因,八至十三 為火災原因),並就兩造之主張及本院之心證分述之: 一、爭點: (一)天和所安裝的管徑有無錯誤,如有其影響為何? (二)輔助管線安裝是否符合合約「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定? (三)排氣系統的輔助管線是否本來沒有空氣的存在? (四)管壁上之針孔與管裂間是否具有位置上及數量上之關聯性? (五)空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會否造成管壁受熱而產生 熱劣化? (六)輔助管線破裂應力為何?輔助管線所承受的懸吊應力、熱應力、內應力是否 大於破裂應力? (七)輔助管線中是否有F2存在?若有,是否會形成本案管線破裂的情形? (八-一)WCVD廢氣粉末是否會包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣? (八-二)前述WCVD廢氣粉末是否具有可燃性及自燃性? (八-三)前述WCVD廢氣粉末之濃度是否足以導致火災? (八-四)前述WCVD廢氣粉末是否堆積於次主管? (八-五)前述WCVD廢氣粉末如被擾動是否會立刻燃燒? (九)天和人員之換管工作是否構成對粉末之機械性擾動?火災引燃時天和人員是 否正在該二處次主管進行何種工作? (十)下午五點半發現之火災,其被引燃之時間為何? (十一)從WCVD維修口進入的空氣與火災之關連性? (十二)WSix廢氣( DCS加ClF3)是否為造成聯瑞晶圓廠火災之原因? 1、下午三點發現之火災: (1)火災發生時,DCS及ClF3有無排入十二吋次主管? (2)如有排入,是否已經洗滌? (3)如未洗滌,DCS及ClF3的濃度是否達最低燃燒界限? 2、下午五點半發現之火災: (1)火災發生時,是否有DCS及ClF3排入十八吋次主管? (2)如有排入,是否已經洗滌? (3)如未洗滌,DCS及ClF3的濃度是否達最低燃燒界限? (十三)聯瑞火災之起火點在何處? 1、下午三點發現之火災起火點在何處? 2、下午五點半發現之火災起火點在何處? 二、原告主張: (一)天和所安裝的管徑有無錯誤,如有其影響為何? 1、天和所安裝管線之管徑不符規格。依據合約要求,天和所應安裝管線直徑為 二英吋管(原證一),然實際所安裝者為直徑2.5英吋(63mm)之管線。 被告雖主張因CDO洗滌器更改為Centrotherm洗滌器之故,現場施工圖說乃隨 之變更,然變更洗滌器並不當然會變更管線尺寸,Centrotherm洗滌器上輔 助管線之連接管接頭僅為25mm,與輔助管線之管徑無涉。且查,聯瑞公司與 天和公司間之合約附件所有圖說中之小管線均標示為二英吋,並無2.5英吋 (原證一─一)之管線。足見被告主張管線直徑因變更洗滌器而變更,且主 張現場施工圖說亦隨之變更,應無可採。 2、合約所要求之規格明訂「PP材質風管以PN2.5以上為製作標準」,而非限於 PN2.5等級(原證二)。另根據管線製造商Agru之規格,PN3.2以上之等級即 有直徑二英吋(50mm)之管線(原證三),因此被告主張聯瑞要求之PN2.5 管線之最小管徑係63mm云云,以正當化天和擅自更改管徑,顯屬無據。 3、安裝較大管徑管線之影響: ⑴ 使輔助管線內之氣體流速自每秒鐘41公分降低到每秒鐘25公分(原證四)。 流速減慢使管線內氣體停留在管線內之時間增加,自然增加與管線內空氣及 濕氣反應之機會,而加速管線破裂。 ⑵ 此外,管線內之流速降低,也會導致熱傳速率降低,加以矽甲烷有聚集之傾 向(原證一一七之一),及六氟化鎢之比重為空氣之十點六倍,較其他氣體 高出許多(原證一一七之二),因此矽甲烷及六氟化鎢在廢氣中會有局部濃 度較高之情形,因而在局部區域有較高的顆粒濃度與較多的顆粒聚集,而加 速管線破裂。 (二)輔助管線安裝是否符合合約「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定? 1、依據二次配配管工程契約書之「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定,「 所有風管...其外表必須平整且不得漏氣」(原證一)。管線製造商Agru 手冊,指示施工者於熱熔接完成後必須進行測漏與目視檢測(原證五)。PP 管熱熔接之規範,要求熔接處形狀應為二對稱之突起,銜接誤差並應小於管 壁厚度之百分之十。被告所提出聯電工程師陳述亦指出:管線接縫處「在外 觀上不能有漏洞」(被證四之一第十一點)。 2、兩造專家在檢視過本案輔助管線熱熔接處後,均發現有熱熔接不良所造成之 針孔或細縫(原證六號)。被告專家雖主張若干小細縫並非熔接不良所致, 但依「塑膠管線系統(Plastic Piping System)」一書所載,「熔接型管 線上的細縫(leaks),乃係安裝技巧不良所致」(原證九十八)。鑑於上 述事實,可知輔助管線熔接處所發現的針孔或細縫,係因天和公司安裝管線 不良所致。 3、只需管線銜接處未密合(包含空氣流入管內或管內氣體流出管外),即不符 合合約所規定「不得漏氣」之要求。迺被告主張只要氣體沒有外漏,合約要 求即已滿足。此項主張不僅已違反合約之明文規定,亦同時忽視了空氣流入 管內,使六氟化鎢、矽烷、氫氣等氣體會在輔助管線中發生反應的高度危險 (原證九十九之一及原證九十九之二、被證九之一)。(三)排氣系統的輔助管線是否本來沒有空氣的存在? 1、如無針孔\細縫,輔助管線內並無經常性之空氣來源:黃色粉末之存在表示濕氣(空氣)之存在,在正常情況下,輔助管線中不會 有經常性之空氣來源,被告專家就此與原告專家之意見一致:如無針孔\細 縫,輔助管線內並無經常性之空氣來源: (1)Robbins火災報告確認大部分沒有破裂的聚丙烯管,只有一層薄薄的、不 明顯(可忽略的)黃色粉末。(原證七)。 (2)Parry管裂原因報告中亦承認,輔助管線在正常情形下(無針孔、無破裂 )之情形,係屬於一個氧氣不足的環境(原證八)。(3)被告主張在管裂之前,輔助管線係屬於氧氣不足的環境,故因此形成了藍 綠色的粉末;嗣又主張空氣早已由輔助管線之上游進入管線中,輔助管線 上游閥門處並發現有大量黃色粉末足以佐證。然對照其前後主張,顯有矛 盾。且如果輔助管線上游已存在經常性之空氣來源,足以形成大量黃色粉 末,則八個輔助管線最上游的閥處,均應有黃色粉末堆積。然而,事實是 ,原告保管於貨櫃廠中之輔助管線,其中亦有無黃色粉末堆積者(原證十 二),此事實即足證明被告主張之謬誤。 ⑶依美商應材警語所載,造成粉末堆積之濕氣,其來源之一即係來自「廢氣 系統 的漏氣(leas)」(被證九之一)。本案輔助管線上之針孔及細縫 ,即屬該警語中所欲警告之漏氣。此與原告之主張相一致。 2、被告主張來自輔助管線上游之空氣來源為氮氣,然而,用於稀釋反應氣體的 一般氮氣純度高達99.99999%(原證九)。被告專家Robbins主張此種氮氣中 含有氧氣、水氣等顯著污染物(原證十),顯屬謬誤。原告不同意被告有關 注入氮氣的管子及管子上之閥門並非完全氣密之主張。裝置在真空幫浦中之 不銹鋼閥,在安裝前係經過氦氣測漏,空氣不會從其間漏入原證九:工研院 一般氮氣成份表乙份。原證十:Robbins民國九十一年四月十一日火災原因 報告中譯文第六頁。 3、因為Centrotherm機台之維修並不涉及輔助管線(原證一三一),且機台維 修及運作而可能存在於Centrotherm清潔氣體之管線(clean gas pipe)中的濕氣,並不會進入輔助管線中,因為此二種管線彼此間並不相通 。 4、被告所引用有關廢氣管線中粉末阻塞之警語,均未說明係因「輔助管線」中 「經常存在空氣、濕氣」而造成,是該等警語並不能用以證明輔助管線內經 常有空氣及濕氣存在。被告專家Robbins另以其在聯電8A廠「次主管」中所 採得之黃色粉末,證明黃色粉末在輔助管線中係普遍且可預期的(原證二十 一)。惟本案之黃色粉末係發現於僅使用六個月之輔助管線中,在十二吋與 十八吋次主管中反而僅發現少量的黃色粉末。足見二者黃色粉末產生之條件 完全不同,更可見被告一再將「廢氣系統」等同於「輔助管線」之論述之謬 誤。 (四)管壁上之針孔與管裂間是否具有位置上及數量上之關聯性? 1、如前所述,因為輔助管線存在針孔,空氣得以持續由針孔進入,而與管線中 之氣體反應,對管壁形成熱效應。因此,所有發現有針孔之管線均有大量反 應產物(粉末)堆積,且所有有大量粉末堆積之管線均有管線破裂現象(原 證十三)。 2、針孔與管線位置不必然具有上下游之關係: (1)被告有關針孔與管裂間關連性之主張,均係以被切割為片段之管線為基礎 ,將之當成一根完整的輔助管線來作評論。此種以偏蓋全之主張不僅毫無 意義,亦有誤導之嫌。 (2)被告主張針孔必須係緊靠或在裂痕的上游,此項主張毫無根據。事實上, 從針孔進入的空氣,並不會停留在針孔附近,而是源源不絕的進入管線中 ,且空氣中之濕氣會累積於管壁上及管壁上之黃色粉末(原證一三二及參 被證十九之二),當六氟化鎢流入輔助管線時即會與管線中之濕氣反應, 形成粉末。被告主張在管線破裂處所看到的黃色粉末,必然是在針孔附近 形成而飄到下游管線破裂破處,顯有重大誤會。 (3)自針孔流入的空氣會流向輔助管線的下游,同時也會流向上游(尤其是管 線內沒有氣體流經,不在輔助模式時),此因為輔助管線上下游間的壓力 差非常小,而管線外的壓力(一個大氣壓)比管線內的上、下游壓力都大 (原證十四)。此外,原告專家所提出之管線破裂機制顯示,管裂係起始 於管線最弱之點(小細紋),因受應力而成長成較大裂痕(詳見爭點六及 爭點十之說明)。此一破裂機制並不會使裂痕必然形成於針孔的下游。 3、被告專家同意在正常的操作下,輔助管線內氣體之溫度約與室溫相同。但是 ,原告專家在輔助管線之管壁上發現有熱劣化之現象(包括管裂處的電子顯 微鏡照片、管線樣品之紅外線光譜分析,以及從靠近管壁側取下之粉末樣本 中偵測出碳成分等,詳見爭點五之說明),唯一可能之熱源,即是管線內之 製程廢氣與空氣反應所釋放之反應熱。 4、被告一再質疑在管中僅有少數之針孔卻有許多大的裂痕。實則,濕氣是每天 二十四小時持續自針孔進入管線中,並附著在管壁及粉末上,已如前述。再 者,依據聯瑞的WCVD製程配方,並假設40%的六氟化鎢消耗率,六氟化鎢在 輔助管線中之平均流速為每分鐘17cc(參原證七十二)。此時,只需有流速 為每分鐘51cc之水氣(相當於每分鐘0.04cc的液態水)即足以與管線中全部 的六氟化鎢完全反應。換言之,只要有少量的水氣經由幾個肉眼看得見的針 孔或許多肉眼看不見的針孔進入管線中,即足以造成上述反應、產生熱效應 並導致管裂的發生。 (五)空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會否造成管壁受熱而產生 熱劣化? 1、空氣與六氟化鎢及矽甲烷反應形成高溫粉末,此等高溫粉末與管壁接觸時, 使管壁受熱,而在管壁使用之六個月期間對管壁形成熱效應,包括熱衝擊、 熱疲勞及熱劣化。 2、粉末之溫度: (1)僅就六氟化鎢之反應而言,無論顆粒大小如何,三氧化鎢剛形成時,顆粒 的溫度均為攝氏162度。被告原先同意初生粉末之溫度為162度,惟現在又 辯稱反應熱係逐漸生成,初生粉末顆粒溫度並非162度云云。實則,化學 反應速率極度快速(原證一0三)。由於濕氣會附著在管線表面,也會被 管內之粉末所吸附(參被證十九之二)。因此,粉末極可能會在靠管壁處 形成,而於接觸管壁時仍保持高溫。 (2)矽甲烷的反應對於粉末溫度有重大影響,蓋從輔助管線取得之黃色粉末樣 本中,測得存有微量之二氧化矽(原證四十)。此即可證明少部分矽甲烷 在輔助管線中被氧化。 (3)至於粉末附著於管壁時之溫度,與顆粒大小、粉末形成之位置與管壁間的 距離、參與反應的六氟化鎢、矽甲烷及氫的數量及氣體混合不均勻之效應 等因素有關。被告專家亦承認「起始的粉末與繼續反應或碰撞其他粉末的 速度或頻率無從計算」(原證一0八)。故粉末到達管壁之溫度的理論計 算,無法涵蓋上述所有因素,而僅能以單一、特定體積的顆粒為計算基礎 。原證四十一係陳郁文教授所計算之粉末附著到管壁時幾個可能的溫度。 計算結果顯示,粉末溫度足以對管壁造成熱效應。 (4)初生顆粒一經生成,會因為靜電力或凡得瓦爾力在瞬間碰撞、聚集,在極 短的時間內形成較大顆粒(原證一0七、原證一0九)。 3、管壁受熱之證據:被告專家同意在正常操作下,輔助管線應處於室溫。但具 體證據及樣本分析均顯示,管壁確曾暴露在超過室溫的高溫下(參見下文說 明),由此可證反應熱確係造成輔助管線破裂之原因:(1)靠近管壁的粉末樣本以EDX及ESCA均偵測到碳成分: a、被告專家錯誤地主張EDX無法適當地偵測到碳元素(原證三十)。事實 上,以EDX偵測碳元素在文獻上已有詳細記載(原證三十一)。 b、陳郁文教授所採樣本是直接從管壁上取下,而碳係從樣本中顏色較深的 那一側所偵測到,故不可能如被告所稱受火災黑煙污染。 c、碳成分不可能來自於高純度的一般氮氣(參原證九)。 d、在黃色粉末樣本中亦偵測到有少量矽元素的存在,證明有部分矽甲烷在 輔助管線中氧化。此等氧化反應為高放熱反應,再加上WO3粉末的溫度 ,即會使管壁分解產生碳。 (2)貼進管壁那一側的粉末顏色較深,亦證明碳的存在:a、被告主張深色粉末為WO2.98,惟本案輔助管線並不存在生成WO2.98之環 境(即氧氣不足)。 b、倘這些深色粉末為WO2.98,則應早已轉變成WO3。由此可見被告主張之 謬誤。 c、陳郁文教授以一片黃色粉末樣本進行與陳政任副教授同樣的實驗,結果 深色粉末並未變成黃色。 (3)管線樣品SEM照片顯示熱劣化之現象: a、管線樣本在電子顯微鏡(SEM)下,可看到熱劣化所造成之非脆性破壞 之現象(原證三十二)。此外,部分樣品上的粉末很緊地粘附在管壁上 ,很難去除。這亦顯示粉末附著到管壁時有相當高的溫度。 b、前述管線樣本係沿著管線裂痕處採集,故上述樣品上之裂痕,絕不可能 是因為天和工人在移除管線時凹折管線所造成。 c、由於初生裂痕受熱應力而成長,故本件管裂也會有脆性裂痕。被告圖以 脆性裂痕存在否認管壁有熱劣化之現象,實屬誤導。 (4)管線樣品紅外光譜分析顯示熱劣化現象: a、熱劣化之反應結構如原證一三三所示,亦即,熱劣化會使PP的C-C鍵斷 裂,而形成C-O-H鍵。暴露在沈積粉末的管壁樣本以紅外光譜(IR)分 析,顯示與上述熱劣化反應結構相一致之結果(原證三十三)。此外, 暴露在沈積粉末的管壁比同樣本中未暴露的部分有較高結晶度,亦證明 熱劣化之存在。 b、被告主張紅外光譜中1241 cm-1之波峰係C-F鍵,顯有錯誤(參被證二十 八之二及原證一二二)。 (5)管線樣品XPS分析顯示沒有C-F波鋒:被告另提出ICI公司進行之XPS樣品檢 測結果,其檢測數據顯示有一個微小的F波峰,因而認定系爭管壁係受氟 的侵蝕。然查該波鋒應為附著在管壁上之粉末含有氟成分之化合物所致, 而非PP之C-F 鍵。此由以下事實可知: a、該F波峰極小,與被告主張之氟裂化應有強烈的F波峰不符。 b、ICI檢測數據上存在多個強烈的鎢的波鋒,表示檢測樣品上有粉末附著 ,並一併顯示於檢測結果中。 c、陳郁文教授以Crawford15-9樣本進行相同之檢測,顯示樣本中粉末較多 的點檢測出與ICI類似之結果,但同一樣本中粉末較少的點,即無F的波 (原證一三四)。另查,陳郁文教授先前所做黃色粉末成分分析,同時 顯現鎢及氟的波峰相同(原 證一三五)。上述檢測結果顯示,管線 樣本經XPS檢測並沒有C-F波峰。 (六)輔助管線破裂應力為何?輔助管線所承受的懸吊應力、熱應力、內應力是否大 於破裂應力? 1、管線破裂所需的應力稱為破裂應力。原告專家先前所提出破裂應力之數值, 係保守地選用PP彈性模數的1\30作為估計值,即43.3N\mm2。Parry引述的 高分子手冊,指出PP的拉力強度範圍在29.3至38.6 N\mm2間,系爭管線製 造商Agru手冊上記載之拉力強度為30N\mm2(原證三十四)。當PP材料疲勞 時,其所能承受之應力,亦隨之下降。Parry在其九十二年二月二十日報告 中引述的「聚丙烯-使用者手冊及資料集」指出:「粗略估計,多數塑膠的 疲勞強度僅為短期拉力強度的百分之二十至三十之間。」(參原證二十五) 因此,PP的破裂應力將因材料疲勞而降至6-9 N\mm2。2、本案輔助管線所承受之熱應力與內應力: (1)系爭輔助管線承受熱應力、內應力及懸吊應力(參原證三十三)。依照原 告專家之計算,在溫差為35度至136度時,所產生熱應力已有6.37N\mm2 至24N\mm2。而內應力約為13至26 N\mm2間(原證一三六)。上述應力 數值與輔助管線破裂應力相當。 (2)破裂從小細紋的尖端處(tip)開始,並形成一個「應力集中點」(原證 一二三)。當管線持續週期性地承受與破裂應力同等級之應力時,管線就 會因應力集中之效應(應力集中點承受較強之應力)以及材料疲勞(破裂 應力大幅降低時)而產生管裂現象。 (3)被告引用一篇文章,主張當管壁溫度從145度降至25度時,需要一千萬次 的熱冷循環才會發生熱疲勞,惟觀其全文,均無此敘述。反而是,依據被 告所引用參考資料,PP管線在重複承受22N\mm2之應力時,只需一百次就 會破裂(原證一0二)。而溫降120度所產生之熱應力為21N\mm2,依據 上述資料,PP管線在經過二百次左右這樣的熱冷循環,便會造成材料失效 。 (4)被告另主張PP受熱衝擊所造成之脆性裂痕必須在攝氏零下十七度以下。惟 查,高分子學裡有一個基本觀念稱為「時間-溫度相等原理」(time- temperature equivalence theory)。亦即,Tg點以上瞬間加力於高分子 材質的效應,與在Tg點以下緩慢加力之效應相同(原證二十八)。因此, 即使溫度高於零下17度,PP 仍會在室溫之上發生脆性破裂。 3、被告主張PP管亦使用作為熱水管,在持續熱冷循環下並不會發生破裂(原證 三十六),然Agru手冊已載明本件PPH管不適用於「衛生裝置的冷熱水供水 管」(原證三十七)。被告專家前述主張,顯屬無稽。4、本案水平方向之輔助管線,其裂痕係普遍出現在六點及十二點鐘方向(軸向 )成長,而被告專家Parry在其報告中亦同意此點(原證三十八)。懸吊應 力使管壁在六點鐘及十二點鐘位置受力最大(原證三十九),因而使管子在 在六點鐘及十二點鐘位置破裂,而PP管由於聚丙烯分子係軸向排列,其破裂 也延軸向破裂。 5、截至目前為止,並未見被告專家就其所主張「環境引發之應力破裂」說明如 何大於管線破裂應力。依照被告專家之理論,則管線上游垂直管處因氟的濃 度較高而應有較嚴重的侵蝕。然而,為何管線破裂未普遍發生在管線上游垂 直管處?反而多發生在水平管線之六點鐘及十二點鐘方向? (七)輔助管線中是否有F2存在?若有,是否會形成本案管線破裂的情形? 輔助管線內要有氟存在,必須WCVD機台反應室確有未消耗的氟釋出;而且若有 任何剩餘的氟,必須在進入輔助管線前維持不與其他物質反應。本案輔助管線 中,並無氟存在,其理由茲說明如下: 1、聯電工程師之陳述(參被證四之一第十二點)無法用以證明自WCVD反應室排 出之廢氣中仍有氟存在。 2、依據被告估算,本案可能剩餘未使用之氟濃度約為0.01%。然查氟係極活躍 的元素,若有任何氟從反應室釋放出來,如此低濃度之氟,當會在三樓生產 機台後端、一樓真空幫浦與洗滌器前之廢氣管線內與其他氣體或物質(不鏽 鋼管、管道內粉末等)反應,而無法留存至輔助管線而侵蝕PP管壁。 3、陳政任博士有關WCVD廢氣分析的文章及一篇相關的碩士論文中,均支持自洗 滌器入口處及出口處之WCVD廢氣中並未檢測出氟(原證四十六)。 4、系爭輔助管線內存在空氣與濕氣,輔助管線內若有任何氟,亦會與溼氣反應 (原證四十七、原證四十八、原證一二六、一二七)。被告錯誤引用NACA文 章主張氟與濕氣反應極慢,顯有錯誤。 5、兩造均已就系爭輔助管線樣品以IR及XPS進行材料分析,結果均為發現PP管 壁上沒有C-F鍵(詳參爭點五),足見本件管裂與氟侵蝕無關。 6、因氟係極活躍之元素,若管裂係因氟裂解PP所造成,管線上游處為氟濃度較 高之處,在輔助管線上游端應會有較嚴重的裂痕,且在管壁四週到處均會發 生裂痕。本案中,管裂普遍出現在水平管線的六點鐘及十二點鐘方向,而非 出現在上游垂直管線上(垂直管只有一根Crawford 15-18破裂)。由上所述 可知,被告所提出的破裂機制與本案之管線破裂情況不符合。 7、再者,如被告理論為正確,則在粉末較少或甚至無粉末的管段應該會有較嚴 重的破裂現象,因為管線表面在覆蓋黃色粉末之後,氟會先與黃色粉末中之 二氧化矽及水氣反應,也會吸附在三氧化鎢上或與之反應,而保護管壁免於 氟之裂解。然而,系爭管線在發生嚴重破裂的管段均有較多粉末堆積,可見 被告所主張之破裂機制,又與實體證據不符。 (八-一)WCVD廢氣粉末是否會包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣? (八-二)前述WCVD廢氣粉末是否具有可燃性及自燃性? (八-三)前述WCVD廢氣粉末之濃度是否足以導致火災? (八-四)前述WCVD廢氣粉末是否堆積於次主管? (八-五)前述WCVD廢氣粉末如被擾動是否會立刻燃燒? 1、WCVD製程廢氣粉末會包覆、吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣: (1)已有多篇文獻描述矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣會包覆於製程廢氣粉末中 或吸附於粉末表面上,而形成具有可燃性及自燃性之物質(原證五十六、 五十七、五十九、六十二、六十三及原證一二九)。此種吸附或吸收之複 雜機制,在原告所引用之文獻中均有詳細論述(參原證五十六、五十七及 一二九),且當廢氣物質中存在有Six-Hy成分時,經由氫鍵結之吸附作用 ,廢氣中之矽甲烷及氫氣將會被吸附至廢氣物質中(參原證三七, Hammond簡報第十二頁)。 (2)前述文獻中提及:在中性(氮氣)或還原性(氫氣)氣體的製程反應室中 ,經加熱後,矽甲烷會分解不完全;該等矽甲烷衍生物在廢氣管內會沉積 ;及沈積於廢氣管內的矽甲烷衍生物已知具有自燃性或易燃性,當空氣存 在,且受到機械性擾動時,會以無法預測的方式燃燒及/或爆炸。反應不 完全之矽甲烷衍生物可稱為聚矽烷或聚矽氧烷(含有Six-Hy-Oz鍵結之化 學物質)。被告主張原告所提出之文獻均係關於矽沈積機台之文獻,與本 件鎢沈積機台(WCVD)無關,然查聯瑞WCVD配方中含有數個使用矽甲烷的 步驟,步驟3至8及步驟17至19有30 sccm的矽甲烷流量。上述製程步驟均 使用熱分解矽甲烷;未使用六氟化鎢;及使用氫氣(步驟3除外),此與 矽沈積步驟並無二致。雖然其中間(步驟9及10)有一個使用鎢的步驟, 此中間的鎢步驟,不會促使前後的矽甲烷步驟變成完全不具危險性。故原 告所引用文獻可證明本件WCVD製程廢氣具自燃性。原證五十六號Koynov一 文中,說明此種具可燃性、自燃性之物質在廢氣管中如何聚集,原證五十 七號Frenklach及一二九號Onishuck文章中則論述在攝氏四百五十度之溫 度下,熱分解矽甲烷所產生之化學物質,而此溫度與聯瑞製程配方所使用 溫度相同。故該等文章與WCVD廢氣粉末之可然性及自燃性具有關連性。 2、WCVD製程、廢氣粉末具有可燃性與自燃性: (1)被告爭執本案次主管內存在許多空氣,WCVD製程廢氣中之矽甲烷一旦遇到 空氣便會完全氧化,故廢氣粉末不具可燃性及自燃性。然查,半導體產業 標準F5-1101已明確指出,矽甲烷在氮氣中之濃度一旦稀釋到低於1.5%時 ,隨後遇到空氣時不會進行明顯的氧化作用(原證五十五號)。此一文獻 已明確駁斥被告之主張。 (2)對於累積在廢氣粉末中之矽甲烷及其衍生物,為何能在廢氣管內維持長時 間不氧化?原證五十六及原證一二九之文章中均提到,這些具自燃性之物 質,除非受到擾動,係被保護而不受氧化作用。Creighton原證六十三之 文章中則以「鈍化之外殼」(Passivating Crust)來描述此一現象。原 告專家前以「微球體」來描述之,亦是類似之概念。被告試圖以FM資料表 單改版,刪除矽甲烷「氣泡」,證明上述現象並不存在,然而F代表已確 認其研究與廢氣管線中之矽甲烷被吸附於粉末中完全無關(原證七十)。 (3)除前述所引文獻外,美商應材及Centrotherm的警語中也提及這些具可燃 性及自燃性之氣體可能出現在粉末中(原證六十,Centrotherm的警語如 原證六十一)。由是可證,矽甲烷等易燃物質可累積於廢氣管線中,因被 擾動及空氣之存在而引燃。 3、WCVD製程廢氣粉末濃度足以導致火災: WCVD廢氣粉末之火災風險並非來自於被稀釋廢氣本身,蓋該等廢氣中之矽甲 烷濃度均已被稀釋至其最低燃燒界限之下。故被告一再以本件矽甲烷廢氣濃 度極低,不足以引燃置辯,顯有重大誤解。按WCVD廢氣物質之危險性,係來 自於吸附於粉末表面或吸收於粉末內之具可燃性及自燃性之化學物質。因此 ,如果廢氣經常未經洗滌,將有足夠之具可燃性及自燃性之化學物質累積於 廢氣管線內。原告專家Hammod博士依據聯瑞WCVD製程配方計算,約有百分之 八十三之矽甲烷(相當於每片晶圓24cc)未經反應即排入廢氣管中。而在他 的經驗中,只要幾公克的矽甲烷廢氣粉末即足以成為引燃來源。 4、前述製程廢氣粉末是否累積於次主管中?或輔助管線中? 十二吋次主管自WCVD第四個輔助管線至WSix端(原證六十八)以及十八吋次 主管內均有大量粉末堆積及燃燒之痕跡: (1)這些粉末乃是經過火災後完全氧化的二氧化矽。由於管線內氣流之關係( 包括回流),WCVD與WSix粉末並無法明確區分,而二者成分除WSix粉末因 使用二氯矽甲烷而含有氯分子外,二者極為相似。兩造均同意WSix粉末具 有可燃性,且有文獻指出WSix粉末有時具有自燃性。因此,WCVD與WSix粉 末之混合,應具有可燃性與自燃性。自管線內有粉末堆積之管段均發生燃 燒之現象,可證明管線內之粉末濃度已足以引起火災。而需進一步探究者 ,乃係引燃來源為原告所主張之施工擾動,抑或被告所主張之ClF3。 (2)證據顯示:輔助管線內之粉末為黃色粉末,鎢的含量很高,矽的含量卻很 低。取自輔助管線內的樣本,其平均重量百分比,鎢占77.4%及矽占1.5% (參原證四十)。十二吋及十八吋次主管中之粉末,則為灰白色,鎢的含 量相當地低,大多數為矽(原證六十六)。被告質疑為何易燃物質未吸附 於輔助管線之黃色粉末中,而是大部分吸附於次主管之白色粉末中?此乃 因為六氟化鎢與水氣之反應較矽甲烷與水氣之反應快,所形成之三氧化鎢 具有高質量,故大部分黃色 粉末沈積於其形成之處。含有Six-Hy成分之 粒子為低質量,較易懸浮於輔助管線中,而後因靜電作用在管線直徑變更 之處(輔助管線進入次主管之交會處)沈積。 5、廢氣粉末被擾動之時點不當然是引燃之時點: (1)次主管內之廢氣物粉末中,同時包含矽甲烷及其衍生物(聚矽烷與聚矽氧 烷),該等物質已知具有可燃性與自燃性,已如前述。這些廢氣沈積物為 吸附易燃化學物質之粉末,因此沒有辦法像氣體一樣,界定其最低燃燒界 限。就可以查到的聚矽烷與聚矽氧烷之相關資料,顯示其最低燃燒界限係 低於矽甲烷的。舉例而言,有關三矽甲烷之物質安全資料表記載:「相較 於矽甲烷與二矽甲烷,三矽甲烷在室溫與大氣壓下具有較不安定之化學性 質」(原證七十七)。由是可知,矽甲烷衍生物較矽甲烷更不安定。 (2)Creighton在其所著另一篇標題為「More on Reactions of Exhaust Deposits Formed Silicon Deposition Tools」之文章中指出(原證六 十三),矽沈積機台廢氣管線中發生副產物的堆積,乃半導體產業中相當 普遍的現象。作者並提及:視溫度、壓力、反應氣體、操作流速與製程配 方的不同,副產物之反應性將會隨之改變。縱然副產物之反應性與反應量 會因機台之系統及製程不同而不同,其反應機制卻是相當一致的。此等反 應通常發生在機台維修時或系統重新啟動運轉時,偶而會發生在晶圓生產 過程中。每種情形之反應程序機制或有不同,但卻均由暴露於空氣中開始 。自暴露於空氣後,視副產物類型與燃料所在之位置,將有可能引發一連 串劇烈的化學反應。聚矽甲烷與聚矽氧烷之氧化不一定會產生火或可見的 火焰,此有原證六十三、六十四及七十五文獻可資佐證。蓋其氧化作用如 果是緩慢進行,就不會起火,因為單位能量尚不足以將局部溫度提升至適 當的燃點。但如果有較大粉末區域在短時間內暴露於高濃度的氧化氣體中 (例如在有空氣存在時,發生機械擾動),局部溫度就有可能被提升至該 局部氣體混和物適宜的燃點。一旦被引燃,藉由持續將更多尚未反應的粉 末暴露於空氣中,並維持局部引燃溫度,火就會擴散。 (3)按火災的引燃並不必然立即發生在機械性擾動的時點,且本案之機械性擾 動亦不限於當日早上十一點(詳見爭點九),而是火災當天所有的施工動 作。一旦在有空氣的情況下發生機械性擾動,不穩定的矽-矽鍵及矽-氫鍵 就會開始氧化。如果氧化的速率足以將溫度提升至使臨近物質開始燃燒的 溫度,就會引燃。當有空氣存在且發生機械性擾動時,氧化即開始進行, 但真正有火焰的燃燒,則要等到引燃來源、空氣及燃料等條件均具備時才 會發生。 (九)天和人員之換管工作是否構成對粉末之機械性擾動?火災引燃時天和人員是 否正在該二處次主管進行何種工作? 1、依據相關參考文獻(參原證六十二及六十三)及製造商警語(原證六十一) ,所謂「機械性擾動」,係指任何會造成粉末暴露新表面於空氣中之動作, 包含敲擊、刮擦、氣流等。因此,天和公司在火災之前及當時之施工,包括 鑿、刮、鋸、鎚、熱熔及自維修口引進之氣流等,均足以構成機械性擾動。 兩次火災發生之時及之前,天和工人均正在該二處次主管進行施工(參見 Crawford訪談紀錄,原證七十九)。依據Crawford訪談紀錄,天和公司在火 災當天上午進行管線拆除工作,下午則陸續進行接管工作,且在此期間,空 氣不斷自維修口進入,在在均構成對於具自燃性粉末之機械性擾動。 2、被告專家Robbins的初步報告(原證五十一);陳政任博士的文章(原證五 十二);工研院之資料庫所載災例(原證五十四);與系爭工程險保單之再 保險公司,瑞士再保與慕尼黑再保之人員,於1999年所發表之報告「建造與 營運中之半導體廠之保險」(原證一一一),在在佐證本件易燃粉末起火與 天和工人施工之關連性。 (十)下午五點半發現之火災,其被引燃之時間為何? 發現火災的時間並不等於引燃時間。 1、本件火災均起源於具可燃性與自燃性廢氣粉末,於被擾動後逐漸氧化,最後 引燃,故其實際引燃之時間事實上無從得知。此種引燃機制已於爭點八-五 描述,茲不贅述。 2、就第二次火災實際引燃之時間,原告早已指出第二次火災在五點半被發現之 前,即已在管內燃燒相當長的時間,只是未被注意而已。依據被告主張,其 引燃機制乃二不相容之氣體混合燃燒,此種燃燒速率極快,且有強烈異味, 不可能在聚丙烯管內悶燒超過一個時而不被發現,被告專家亦同意此看法( 參原證一一二及一三0)。故被告所主張之引燃時間WSix機台之操作時間不 吻合。 (十一)從WCVD維修口進入的空氣與火災之關連性? 1、在移除輔助管線之前: (1)WCVD與WSix廢氣粉末均排入相同之次主管,加以在天和移除輔助管線之前 ,次主管內便已發生WCVD廢氣(粉末)回流之現象(參陳郁文教授九十一 年十二月十日實驗錄影帶),故二根次主管內之WCVD與WSix粉末是混合在 一起的,該等粉末具有可燃性與自燃性。 (2)被告否認上述回流現象,但其氣體回流實驗以六吋管取代十二吋次主管, 並不符合現場管線大小比例。 2、在移除輔助管線之後: (1)自維修口進入之大量空氣,使回流現象更為顯著(參陳郁文教授九十一年 七月二十九日實驗錄影帶),此種氣流之改變,依據原證六十二及六十三 Creighton文章構成對次主管內粉末之擾動。被告專家陳政任副教授,在 其發表之文章中指出:經由維修口進入的空氣導致次主管內氣流的停滯, 因而引燃火災。並認為如施工時能在維修口上覆蓋膠片,即可避免該次火 災(原證一三八及參原證五十二)。則見被告專家亦認為天和施工維修口 引進之空氣與火災之發生具有關連性。 (2)被告辯稱在天和打開WCVD維修口前,已有相當多空氣(80~97%)存在於次 主管內,故打開維修口與火災之發生無關云云。姑不論被告在此答辯中完 全忽略打開維修口對管內氣流之影響,單就空氣量而言,被告之主張亦有 明顯之錯誤。查被告前所主張之空氣來源,其中C ntrotherm外櫃抽氣及 一般氮氣,被告現已承認並非次主管內之空氣來源,但仍主張Centr otherm之壓縮空氣、穿孔及空氣稀釋管,以及Iwatani外櫃抽氣,提供大 量空氣來源,然就Centrotherm之部分,原證八十五、原證八十四之一、 原證八十四,可證明被告所稱空氣來源並非正確,且其所主張該等空氣來 源之總量之總和早已超過Centrotherm洗滌器清潔氣體管線之最大流量500 slm。至於Iwatani外櫃抽氣是否連接至12吋次主管,聯電公司人員表示無 法確認(參原證一00)。被告另主張有大量空氣存在次主管內,已足以 使所有矽甲烷、矽甲烷衍生物在管線內完全氧化而不會產生易燃物質,此 主張與半導體產業相關之眾多參考文獻顯然相左(參爭點八-二)。 (十二)WSix廢氣( DCS加ClF3)是否為造成聯瑞晶圓廠火災之原因? 1、下午三點發現之火災: (1)火災發生時,是否有DCS及CLF3排入十二吋次主管? 依據被告所主張之起火機制,下午三點發現之火災係WSix01機台所釋放 出之DCS與Iwatani清潔管線所排出ClF3所引燃。然查,WSix01機台於二 點零三分至三點五十三分之間係處於監控(Monitor)階段。按監控階 段的大部分時間都用於測量,基本上,僅會在監控階段的初期,使用製 程配方中一個循環的製程氣體。因此,在三點火災發生時,WSix01機台 並沒有DCS釋出,被告所稱之起火原因不可能成立。 (2)如有,排入前是否經過洗滌? 被告主張之引燃機制建立在ClF3未經洗滌之前題上。然查,聯電已確認 Iwatani機台在當天運轉正常(參原證一00),故ClF3在三點火災被 發現之前,如有任何ClF3,均已被洗滌。被告空言臆測Iwatani未正常 運作,卻提不出任何機台操作紀錄及其他實證,以實其說。 (3)如未洗滌,DCS及CLF3濃度是否達最低燃燒界限? 依被告之主張,DCS及ClF3濃度必須均大於0.3%才能引燃火災。然查, 被告有關此二廢氣之濃度係以百分之十之消耗率為前提,計算出DCS濃 度為0.451%,ClF3濃度為0.302%。惟查,被告假設ClF3在反應室中僅消 耗10%,係明顯低估,事實上,大部分的ClF3會在反應室中消耗掉,因 此,其在進入次主管前之濃度應遠低於0.3%。且據被告主張,Iwatani ClF3連接管緊鄰Iwatani外櫃抽氣,每分鐘會吸入3723公升之空氣,故 任何自Iwatani ClF3連接管排出之廢氣,將立刻被大量稀釋,不可能達 到0.3之濃度。 2、下午五點半發現之火災: (1)被告主張第一次火災之後,聯瑞將DCS及ClF3以手動分流管及暫時管改 排至十八吋次主管。被告並已就此事項詢問聯電,但未獲聯電確認。相 反的,聯電已確認ClF3並無輔助管線,且在第一次火災發生之後,聯瑞 並未將WSix廢氣(包括DCS與ClF3)改排至手動分流管(參原證一00 )。故ClF3並不存在十八吋次主管中,DCS亦未改排至手動分流管。 被告所稱之引燃機制不可能發生。 由於聯瑞在第一次火災後已決定移除十二吋次主管,並關閉WSix機台( 參原證一00及原證一一五)。因此,聯瑞並無理由或動機要求天和公 司安裝一暫時管連接到十八吋次主管,以排放ClF3。被告強辯聯瑞以暫 時管改排CLF3至十八吋次主管,惟並未提出任何證據。另依據WSix生產 記錄顯示,WSix02在下午3:22開始及Wix01在下午3:52生產當日最後一 批晶圓,分別生產製十三片及七片晶圓後,因關機而停止生產。至於關 掉機台的時間,自通常晶圓生產所需時間估算(二十五片晶圓約需五十 到六十分鐘),及鄰近十二吋次主管之矽甲烷偵測器(偵測H離子)在 四點左右天和工人移除十二吋次主管時,警報器被啟動之事實(原證一 一四),可合理推論WSix氣體被關掉的時間約在下午四點左右。被告先 後提出二份WSix生產記錄,其一顯示二機台停止時間下午5:0及另一顯 示停止時間為下午4:39。 被告並未說明此二資料歧異之原因,但可以確定的是此二時間點均非反 應氣體實際被關閉之時間,否則為何生產二十五片晶圓只需五十到六十 分鐘,生產七片及十三片晶圓卻需要一個多小時?由上述可知,WSix氣 體在四點左右即被關閉,依據被告主張,其引燃機制乃二不相容之氣體 混合燃燒,此種燃燒速率極快,且有強烈異味,不可能在聚丙烯管內悶 燒超過一個時而不被發現(參原證一一二及一三0)。故五點半發現之 火災與WSix生產至下午四時左右關閉應無任何關連性。 (2)如前所述,ClF3已被Iwatani洗滌。 (3)如前所述,ClF3縱未經洗滌,其濃度亦低於0.3%最低燃燒界限。 ㈢ 綜上,下午五點半發生之火災不可能是WSix機台廢氣所引起。陳政任副教授於 其文章中,論及此火災之起火原因時,亦認為,第二次火災起火源很可能係由 矽甲烷與氫氣所引燃。而此正與原告之主張一致。(參原證五十二) (十三)聯瑞火災之起火點為何處? 1、下午三點發現之火災起火點在何處? (1)本次火災發生於12吋次主管內,該次主管自WCVD第四個輔助管線至WSix 端均有大量粉末堆積及燃燒之痕跡。根據原告專家所研判之引燃機制, 火災源於天和施工擾動,引燃WCVD端第四個輔助管線附近所累積之具有 可燃性及自燃性之粉末。由於WSix端亦存在有易燃粉末,提供額外燃料 ,使得火勢自WCVD端向上游燃燒至WSix端(參原證一三九號示意圖及照 片)。被告主張本次火災之起火點為WSix之Iwatani ClF3連接管,然查 其主張之引燃機制所必須之ClF3並不存在,故其主張之起火點並非正確 。 (2)被告主張Iwatani ClF3連接管已被燒穿,為本次火災起火點之直接證明 。然查,NFPA已明揭,燃燒最嚴重之處未必為起火點(參原證九十四、 九十五及九十六),起火點之判斷必須回歸本案相關事實及引燃機制綜 合判斷。 2、下午五點半發現火災起火點在何處? (1)本火災發生於十八吋次主管內,該次主管內有大量粉末堆積及燃燒之痕 跡。由於WCVD及WSix廢氣管線係交錯連接在18吋次主管上,故天和之施 工同時擾動累積於其內之WCVD及WSix製程廢氣物質(原證一四0示意圖 及照片),而終致引燃該等廢氣物質。 (2)被告主張起火點為DCS之手動分流管,然而聯電工程師已證實DCS並未被 改排至手動分流管(參原證一00)。且被告所主張之引燃機制所必須 之DCS及ClF3在火災發生當時均不存在於此次主管中,其起火點之判斷 自亦屬錯誤。再者,依被告之「燒穿理論」,十八吋次主管有多個管線 被燒穿(原證一四一),然該手動分流管反而未燒穿,顯見原告以是否 燒穿作為判定起火點之謬誤。 三、被告主張: (一)天和所安裝的管徑有無錯誤,如有其影響為何? 1、天和所安裝的管線其管徑並無錯誤,理由如下: (1)聯瑞合約明定應用「PN2.5級以上」之PPH管(原證二)。 ㈡ 系爭配管工程使用PN2.5級、管徑63mm之PPH管,乃聯瑞公司指定使用,且 符合合約規定,此業經聯電確認無誤(被證四之一,問題十)。 ㈢(2)原告如主張系爭Centrotherm洗滌器之自動分流管,係採用二英吋之PPH 管,而非63mm之PPH管,自應提出實際合約圖說為憑,而不得以未採用之 CDO洗滌器之圖說充數。 2、天和公司既未安裝錯誤管徑之管線,即無「安裝錯誤,是否加速管線破裂」 之問題。 何況,原告迄未證明自動分流管內有氣體混合不均勻之情形,且此混合不均 勻係來自於管徑的變更,復未能證明混合不均勻會導致「熱效應」,故其主 張管徑錯誤會加速管子破裂云云,實屬無稽。 (二)輔助管線安裝是否符合合約「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定? 1、「不得漏氣」係指「排氣管內之廢氣不得漏出」,而非「排氣管外之空氣不 得進入管內」,按管內廢氣逸出,會對人體產生危害,故合約規定「不得漏 氣」。茲原告一直誤以為「不得漏氣」表示排氣管內絕不能有空氣存在,並 以此建構其管裂理論,且據以指稱天和公司違反合約規定,而應負保固責任 云云,殊屬無稽。 2、至原告主張:合約圖說載明該管線系統屬「真空工程」,表示「不應有空氣 由外部進入,否則即非真空」云云,更屬無稽。按該合約工程範圍4已明白 約定「真空管路除外,詳附件界面說明」(被證七之六),對照附圖之說明 ,顯然天和之施工範圍僅限於附圖所示「屬於EXH工程」部分,而不及於附 圖所示「屬於真空工程」部分。原告不察,竟謂天和應依「真空」標準施工 ,施作其合約上並無義務之「真空工程」,並以自動分流管內屬「真空」狀 況來建構其一切管裂理論,至屬荒謬。 (三)排氣系統的輔助管線是否本來沒有空氣的存在? 1、如自動分流管上游的排氣管線內有空氣,將流到下游的自動分流管內。 2、聯電工程人員業已確認排氣管線(含輔助管線)內原先即有空氣存在(被證 四之一,問題十一)。 3、濕氣可能來自於維修/運作WCVD機台,原告專家Leveen亦認同此點(被證十 之一),故其主張:「停機後重開機以及修理機台、打開機台」時,均會有 空氣及水氣殘存於輔助管線內。 4、美商應用材料公司警語係載:「濕氣極可能來自廢氣系統內的細縫( Moisture is most likely to be introduced into exhaust lines through exhaust system leaks)」(被證九之一),該警語為一般性警語 ,足見排氣系統通常即存在若干細縫,故空氣可從這些細縫進入,核與被告 一向主張「排氣系統並非密閉,其內原本即有空氣存在」相符。 5、在自動分流管上游的幫浦、消音器及排氣管彎頭內,普遍存在黃色粉末(被 證九之一),足證在自動分流管上游已有空氣與所排放之廢氣反應。 6、在Centrotherm洗滌器機台上方連接不銹鋼分流管與PPH分流管之七根閥管內 (Crawford 15-03、15-05、15-07、15-16、15-18、15-20、15-33)即已產 生黃色粉末(被證九、被證九之0),亦可證明上游即有空氣之存在。至於 第八根閥管可能是原證十二照片所示之閥管,然因原告提出之照片模糊不清 ,難以辨識,且被告專家從未檢視過,故將待原告提出該閥管後,再作評論 。 (四)管壁上之針孔與管裂間是否具有位置上及數量上之關聯性? 1、如原告不能證明「系爭自動分流管內原本並無空氣存在,空氣只能從管上幾 個針孔般小洞進入」,則續予討論本題並無實益。 2、俟原告證明空氣只能從針孔般小洞進入後,其「針孔導致管裂」的理論如要 成立,必須證明: (1)每一段有裂痕的管子均有針孔存在:原告迄今只能證明四個針孔( Crawford 15 -6、15-13、15-20、15-30),但未能證明此四個針孔均在 不同自動分流管上。縱然可以,本案卻有八根自動分流管,其他四根分流 管並無針孔,足見原告「針孔導致管裂」之理論絕不可能正確。 (2)針孔位置須緊靠近裂痕:因原告專家Leveen主張:六氟化鎢、矽甲烷「在 針孔附近」(close to the pin holes)反應,導致粉末狀物質的累積( 被證十一之0)。其專家陳郁文又於九十二年九月八日庭訊時陳稱:「初 生的粉末溫度很高,但量不到溫度,可能是因散熱太快」(被證十一之0 之一)。故如粉末在針孔附近反應形成,而自粉末產生的「熱」造成裂痕 ,則裂痕應緊靠針孔,否則這些「高溫粉末」飄浮至較下游時已散熱冷卻 ,如何造成裂痕? (3)針孔須位於裂痕上游:因晶圓廠屋頂裝有風扇,將廢氣氣流抽送至大氣中 ,故原告專家Leveen認為空氣及濕氣才能持續地經由管上針孔般小洞被抽 進管內(被證十一之0之二)。從而,因管內氣流方向之故,原告所謂「 自針孔進入的空氣與廢氣反應而成的高溫粉末所造成的裂痕」,自應在針 孔下游。 (4)為解決客觀上針孔與管裂位置並無關聯之窘境,原告專家提出實驗錄影帶 ,企圖證明「氣流會逆流而上」,但其用以實驗的管子尺寸及壓力狀況均 與實際不符,故所謂「氣流向上逆流」乃係因實驗用之管子尺寸過小,致 粉末撞到管壁而向上彈開之結果。故被告專家以接近尺寸之管子做實驗時 ,即顯示正確之氣流方向。 3、就上述情形分述如下: (1)Crawford 15-04、15-11、15-21、15-22、15-26、15-36等六個管段有裂 痕,卻無焊接處、無針孔,這些管段平均超過二米長,如原告主張針孔係 造成上開管裂的原因,自應證明針孔與管裂之關聯性,而不能藉口管線已 切成數段,所以憑空猜測「針孔必在上游某處」。 (2)又Crawford 15-14管段全長495公分,上下游皆無針孔,僅在管段中央有 一25公分長裂痕(被證十一之一),果如原告主張「其更上游必有針孔」 云云,則自動分管全長僅五米,其針孔到底在那裏。(3)原告提出Crawford 15-6、15-13、15-30、15-25、15-18、15-20六段管子 (原證十三),意圖證明「針孔∣粉末∣管裂」理論,然查:①Crawford 15-20、15-30之管子有針孔有粉末,但無裂痕,適可證明原告所謂「針孔 -粉末-裂痕」之理論,並不正確。②Crawford 15-06、15-13的管子上 雖有針孔,但15- 06的針孔與裂痕之上下游位置不明,而15-13裂痕在針 孔上游,均無法證明原告理論。 (五)空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會否造成管壁受熱而產生熱 劣化? 1、被告專家陳政任博士業已實地至晶圓廠WCV機台的廢氣排氣管線,注入足量 空氣後,測試管內廢氣氣流(含粉末)及管壁溫度,均未測得任何高溫,足 見原告主張:六氟化鎢與空氣反應可產生高溫粉末使管壁受熱而裂開云云, 殊屬不實。 2、粉末顆粒大小攸關飄浮時間及散熱之速度,粉末顆粒越小,飄浮時間越久, 散熱速度越快,進而影響粉末掉至管壁之溫度。然原告專家就顆粒尺寸及散 熱情形一直基於錯誤的假設而有誤導情形,業經被告專家雷敏宏教授提出相 關計算式及文獻證明其謬誤,茲謹略述如下: (1)原告專家先則假設每顆粉末有一公克重(直徑6.44釐米),以致算出粉末 掉至管壁時尚有161oC之高溫,進而導致管裂(請見被證十九)。茲原告 自知其謬,乃聲稱其從未如斯主張,而放棄以粉末每顆一公克重為其計算 依據。 (2)原告嗣又任意假設粉末尺寸約為100微米(0.1釐米),縱然如此,透過對 流及輻射方式散熱後,100微米大小的粉末在飄浮過程中早已降到室溫。 (3)實則,依文獻記載的實驗結果,初生粉末的直徑僅約0.5~1奈米( 0.0000000~ 0.000001釐米)。 (4)初生粉末在飄浮過程中,透過靜電及凡得瓦力或水氣,互相碰撞而結合成 長至20~50奈米(0.00002~0.00005釐米)間(被證二十一),原告引用的 文獻亦載明粉末結合後約為38奈米(被證二十二)或100~400埃(相當於 10~40奈米,被證二十二之一)。 (5)原告引用的原證一0九的文章指出:「1cc體積中所含1014之顆粒可在20 微秒之極短時間內聚集成一半數目之顆粒」,然如六氟化鎢及水氣的濃度 足夠,在20微秒可形成約6微米大的三氧化鎢(WO3),但其冷卻時間約為 1.5~5.5微秒,比顆粒結合所需的時間(20微秒)還要短暫,故顆粒未結 合到6微米前早已冷卻到室溫。 (6)故原告如欲主張:初生顆粒一經生成,會因凡得瓦力在「瞬間」碰撞、聚 集,「所需時間極為短暫」,因此結合而成之次級顆粒在與管壁接觸時仍 維持高溫云云,自應證明初生粉末「結合速度」較「冷卻速度」快,故結 合後的粉末還是熱的。 3、原告為提高粉末的溫度,乃加計矽甲烷的反應熱,然原告既引用原證五十五 之文章而主張:「矽甲烷之濃度一旦在氮氣中被稀釋到低於1.5%,嗣後與空 氣混合後,也不會進行明顯的氧化作用」,則計算粉末溫度時,即無由加計 矽甲烷之反應熱。 4、原告專家因無法證明高溫粉末的尺寸及掉落管壁時之溫度,乃企圖以「管內 粉末成分有碳」、「管壁紅外線光譜分析(IR)」及「管壁裂痕之電子顯微 鏡照片」,作為管壁受熱之直接證明,然查: (1)靠近管壁的藍綠色粉末並非碳,而是WO2.98,因: a、此等藍綠色粉末(WO2.98)經被告專家陳政任博士以元素分析儀分析結 果,看不出有明確碳的波峰存在,且在加入雙氧水後,即轉變為黃色粉 末(WO3)(被證十六之五),如藍綠色粉末是碳,縱然加入雙氧水, 亦不可能變色。 原告之專家陳郁文嗣亦做了相同之實驗,而得到相同 之結果。 b、只有在超過PPH的燃燒溫度-328。C時,才會產生碳(被證十六之一), 此為原告所不爭執。而被告專家檢視系爭分流管時,亦未發現管壁有任 何灼傷痕跡。且原告迄未證明系爭粉末掉至管壁時,仍具有328oC之高 溫。 (2)C-O-H鍵反而為「氟」侵蝕管壁的證明。 a、PP管的IR分析在997與973cm-1雖可看出結晶度的差異,但其差異係由製 造過程中冷卻的差異或氟侵蝕管壁所致,與「熱」無關。 b、被告專家就系爭管壁所進行之紅外線光譜儀(IR)分析顯示有C-F氟的 波峰,就是氟侵蝕PP管之直接證據,因氟破壞C-C鍵因而產生C-F鍵。 C-F鍵顯示有氟的存在,而C-O-H鍵只能表示有空氣存在,且氟侵蝕PP管 結果,部分碳分子會與空氣反應形成C-O-H鍵,足見C-O-H鍵不僅無法為 「熱劣化」之證明,反而為「氟」侵蝕管壁的證明。 (3)原告專家目前僅提出Crawford 15-18、15-21、15-24、15-25的裂痕顯微 鏡照片,主張該照片即為管子因熱劣化而裂開之證明云云,然因原告專家 當時未提供其自上開管線取樣之樣本供被告專家以電子顯微鏡檢視,故被 告專家將於實地檢視後再做評論。 (4)「熱劣化」不等於「裂痕」: a、PPH的「熱劣化」係指管材的強度、重量逐漸耗損的過程,而非造成任 何裂痕。故原告如主張「熱劣化」可造成系爭自動分流管上之裂痕,自 應負舉證之責。 b、原告主張:內應力可造成系爭管段上的「長、縱向」「脆性裂痕」云云 ,殊不知: (a)內應力是造成管段上的「長、縱向」裂痕,而與裂痕是否「脆性」無 關,蓋「脆性裂痕」是來自於化學侵蝕(氟)(詳請見本狀第柒點) 。 (b)「熱」會釋放內應力(被證十六之一之一),故如本件管段確然受有 「熱」時,其內應力將被抵消,也就不會出現「長、縱向」裂痕。 (六)輔助管線破裂應力為何?輔助管線所承受的懸吊應力、熱應力、內應力是否大 於破裂應力? 1、原告稱:「破裂應力」為管線破裂所需的應力,從而,假使管子之「熱應力 」、「內應力」及「懸吊應力」之總和大於破裂應力,管線即會破裂云云。 詎其計算時,將破裂應力之數值低估十倍,以為只有4.3 N\mm2,故其主張 系爭自動分流管之內應力(6.37 N\mm2)加上熱應力(0.26 N\mm2)之總 和6.63 N\mm2大於破裂應力(4.3 N\mm2),因而導致管裂云云。 2、嗣原告知悉其計算時,將破裂應力之數值低估十倍(應為43 N\mm2),乃 試圖降低破裂應力數值,並提高內應力、熱應力之數值: (1)原告引用Argu手冊主張:PP的破裂應力只有30 N\mm2,並謂:因多數塑 膠的疲勞強度僅為短期破裂應力的20%~30%,故PP的破裂應力將因「熱疲 勞」而降至「6~9 N\mm2」云云。然查,被證十五之二指出PP管須經一千 萬次熱冷循環才會使PP的疲勞強度降至50%,亦即15 N\mm2。這一千萬次 熱冷循環須連續進行。管壁須在一秒鐘內加熱至145oC,然後在下一秒鐘 內降溫至25oC(溫降120oC)。這個過程須在PP管內精確的同一位置上重 覆連續進行一千萬次。而聯瑞晶圓廠在火災前僅生產二萬五千片晶圓,依 原告主張每片晶圓有三次熱冷 循環,故總共只有七萬五千次熱冷循環。 但是這些熱冷循環僅於洗滌器跳至分流模式時才發生,且不會發生在管壁 同一點,足見原告主張PP管因熱疲勞而使破裂應力降到6~9 N\mm2,並不 實在。 (2)原告另將「熱應力」由6.37 N\mm2提高至24 N\mm2(溫降由35oC改為 136 oC);內應力由0.26 N\mm2提高至13~26 N\mm2,故主張:「熱應 力」加「內應力」(37~50 N\mm2)業已大於破裂應力(6-9 N\mm2)云 云,然查: a、原告未證明本件自動分流管內溫降有136oC(由161oC降到室溫25oC)。 b、「內應力」會被「熱」所釋放,故管子如受熱,則「內應力」將被抵消 而不存在,如無「內應力」,即不會造成系爭管段上所見之「長、縱向 」裂痕。 c、懸吊應力與內應力之方向不同,故懸吊應力會導致「圓周向裂痕」,而 非本件之「長、縱向裂痕」。 d、故原告主張「熱應力」、「內應力」、「懸吊應力」可併存且加計其應 力數值云云,實屬荒謬。 (七)輔助管線中是否有F2存在?若有,是否會形成本案管線破裂的情形? 1、系爭分流管上的裂痕係屬於「長、縱向」的「脆性裂痕」,「長、縱向」是 由管子的「內建應力」所致,而「脆性裂痕」則來自於化學侵蝕。因WCVD製 程係用「氟」來清洗反應室,未消耗完畢的氟即排入酸毒排氣管中。故系爭 「脆性裂痕」應是來自於廢氣氣流中的「氟」侵蝕管壁所致。 2、本案自動分流管中確有「氟」存在,理由如下: (1)氟為實際用來清洗反應室之氣體如反應室未清洗乾淨,將導致晶圓上有太 多微粒污染,而無法使用。所以,為確保反應室清洗乾淨,總是使用過量 的氟,未消耗完畢之氟及活性物即排入酸毒排氣系統中。 (2)聯電工程師亦確認「未消耗的氟會排放到洗滌器,如洗滌器跳機,進入自 動分流模式,則未消耗的氟及其他活性物經由自動分流管而排入AT2及AT3 次主管中」,且「管線發生龜裂後,告知廠務工程師廢氣具腐蝕性,選用 管材時應予考慮」(被證四之一,問題十二及十四)。 (3)被告專家陳政任博士曾對聯瑞WCVD機台進行過廢氣的分析,當時廢氣分析 質譜儀中出現「氟的波峰」,故可證明氟的存在。 (4)依據IR之文獻(被證二十八之二之一),氟侵蝕所造成的C-F鍵之頻率約 在0000- 0000cm-1,故被告專家對未使用過之PP管、聯瑞之PP管與曾曝露 在0.01%F2之PP管分別進行IR檢測,結果如被證十六之七所示,未使用過 之PP管在1240cm-1處並無波峰,但聯瑞之PP管及曝露過氟的PP管則在 1241cm-1處增加一明顯的波峰,顯示1241cm-1處即為C-F鍵、氟的波峰, 這也是聯瑞PP管有受氟侵蝕的直接證據。 (5)為進一步確認前揭IR分析之結果,被告材料專家Tom Parry博士將 Crawford 15- 21及同材質、尺寸之PPH管送至英商卜內門化學工業股份 有限公司(ICI)進行「光電子能譜技術(XPS)」分析,以偵測材料表 面或非常靠近表面之元素。ICI公司被公認是XPS領域之世界權威,擁有進 行這類分析之最新型設備與專業技術。分析結果顯示Crawford 15-21管子 龜裂表面上有氟的存在,但未使用過之管子則沒有。足見本案自動分流管 中確實存在有氟,故使管壁受有「化學侵蝕」而產生「脆性裂痕」。 (6)實則,原告專家亦肯認自動分流管內有氟的存在,且為管裂原因之一,只 是主張「化學劣化非管裂主因」而已(被證二十八之三)。 3、被告專家陳政任博士為半導體工安專家,熟諳晶圓廠運作情形及工安實務, 因而經常受邀至各晶圓廠參與調查或演講,並發現只要使用氟化合物的機台 ,其PPH 排氣管均常發生龜裂而須更換,例如: (1)聯電8E廠之HDP製程排氣系統之PPH管在生產一個月後,即發生龜裂並掉落 。新管於更換一星期後再度龜裂(因HDP機台使用之三氟化氮清洗氣體較 WCVD機台多,所以龜裂時間較快)。聯電對此情形所做之內部報告,證實 是氟破壞PPH管之鍵結而造成(被證二十九)。且依據被告專家陳政任博 士所留該HDP裂管之樣品進行紅外線光譜儀(IR)分析,結果如被證二十 九之二所示,在1240cm-1處的確有一明顯的C-F鍵、氟的波峰,顯示該HDP 的PP管的確是受到氟的侵蝕而裂化。 (2)HDP機台排氣管龜裂情形尚發生在使用三氟化氮清洗製程之台積電三廠及 七廠、華邦電第四廠。 (3)WCVD機台排氣管龜裂情形尚發生在聯電8A、8B廠及台積電三廠。台積電人 員已證實該廠發生排氣管龜裂事件後經調查發現龜裂與NF3有關(請見被 證八之一)足資參考。 (八-一)WCVD製程廢氣粉是否會包覆、吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣? (八-二)前述WCVD廢氣粉末是否具有可燃性及自燃性? (八-三)前述WCVD廢氣粉末之濃度是否足以導致火災? (八-四)前述WCVD廢氣粉末是否堆積於次主管? (八-五)前述WCVD廢氣粉末如被擾動是否會立刻燃燒? 1、WCVD製程廢氣粉是否會包覆、吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物及氫氣? (1)關於WCVD廢氣粉末是否會包覆或吸附矽甲烷、矽甲烷衍生物、氫氣,原告 於歷次爭點整理狀中,均引用不相干之文章,其內無一提及「WCVD粉末可 吸附矽甲烷」等語,關於各該文章之反駁,詳見各爭點整理狀之爭點二十 一,茲不贅述。故原告迄未提供任何與聯瑞之製程機台、製程配方或情況 有關之文章,以證明本件的WCVD粉末可吸附自燃或易燃的廢氣物質。原告 已證明唯一的矽甲烷衍生物為二氧化矽,而原告承認其為惰性。 (2)原告引用的Creighton文章根本就是在討論矽沉積製程機台及矽粉末,與 WCVD之鎢沉積製程機台及粉末全然無涉。而其引用的SST文章在不同章節 討論五種不同CVD製程(PECVD、WCVD及其他三種),而原告引用的內容為 矽甲烷包覆在PECVD粉末內,反而未引用WCVD章節,因為WCVD章節之內容 未提及矽甲烷會被包覆於WCVD粉末內,或任何WCVD粉末會導致火災風險( 被證三十九)。其專家Hammond於九十二年九月八日簡報時,徒以聯瑞 WCVD製程配方中有使用極少量的矽,即空言主張「這些『矽CVD』(矽沉 積)文獻與聯瑞WCVD(鎢沉積)製程有關」云云,純屬牽強附會之詞,殊 無可採。 (3)若原告主張WCVD粉末會吸附矽甲烷,則矽甲烷應該會吸附在自動分流管內 之WCVD粉末上,因為: a、未經洗滌的廢氣會先流經自動分流管,再至次主管,故矽甲烷如會被吸 附於粉末上,理應先吸附在自動分流管內的WCVD粉末才是; b、十二吋或十八吋次主管比管徑僅63mm的自動分流管大上數倍,故如果矽 甲烷會被吸附,應會被吸附在狹窄、管壁上到處都有粉末堆積的自動分 流管內,而不是吸附在沒有粉末或僅有少量粉末的次主管內。 (4)然而,堆積有大量WCVD粉末的八根自動分流管皆未著火。因此,原告主張 矽甲烷未吸附於自動分流管中之WCVD粉末上,卻可吸附於僅有極少量或無 粉末堆積之次主管中,毫無科學或具體證據,荒謬至極。 2、前述WCVD製程廢氣粉末是否具有可燃性與自燃性? (1)原告起火理論為足量矽甲烷與空氣反應,「自燃」所致,故WCVD粉末「本 身」是不具「自燃性」的。問題應該是如果WCVD粉末會吸附矽甲烷,則所 吸附矽甲烷之濃度是否會導致火災(詳述於后)。 (2)WCVD粉末是不可燃的,此為兩造所不爭的事實,且被告專家David Robbins將WCVD粉末直接以烘箱加熱至480oC以上,亦未見粉末燃燒(被證 三十七之一)。 (3)原告引用的SST及Creighton以及原證七十一等文章(被證三十八)均未提 及WCVD粉末具可燃或自燃性,而有導致火災的風險。(4)況且,如WCVD粉末具可燃性或自燃性,何以堆積最多WCVD粉末的自動分流 管並未著火? 3、前述製程廢氣粉末濃度是否足以導致火災? (1)原告迄無法證明本案次主管中有足夠「自燃濃度(4.5%)」的矽甲烷及矽 甲烷衍生物可引起火災。 (2)WCVD製程為鎢的沉積,非矽的沉積製程,故僅使用極少量的矽甲烷(每分 鐘30標準毫升),在反應室中已消耗了60%~70%(在聯電量測的結果), 故在WCVD製程的廢氣氣流中,僅存在0.02%~0.034%的矽甲烷。遠低於上開 「自燃濃度」(4.5%)。原告為增加廢氣中的矽甲烷含量,乃由其專家 Hammond於九十二年九月八日簡報中主張:「聯瑞WCVD製程配方中約83% 之矽甲烷未經反應而流入廢氣管中」云云,除未舉證以實其說外,更與聯 電量測結果有悖。 (3)實則,原告專家Hammond引用原證五十五文章所載:「矽甲烷之濃度一旦 在氮氣中被稀釋到低於1.5%,嗣後與空氣混合後,也不會進行明顯的氧化 」,足見其已自承廢氣氣流中的矽甲烷濃度遠低於自燃濃度(4.5%)。 (4)原告又謂「矽甲烷、矽甲烷衍生物與氫氣,在生產上萬片晶圓之同時,會 逐漸在粉末中累積」云云,然查縱使WVD粉末會吸附製程廢氣,也是「全 部廢氣一起吸附」,不會僅選擇性的吸附矽甲烷及矽甲烷衍生物,故不論 WCVD粉末會否吸附矽甲烷,矽甲烷會否逐漸在粉末中累積,所吸附、累積 的矽甲烷其濃度就是維持在0.02~0.034%間,非如原告所謂可逐漸累積至 「自燃濃度」(4.5%)。 4、前述製程廢氣粉末是否累積於次主管中?或輔助管線中? WCVD粉末幾乎全部堆積於自動分流管中,十二吋次主管中僅有少量、或甚至 未堆積粉末。 5、前述廢氣粉末如被擾動,是否會立刻燃燒? (1)原告專家Leveen主張本件火災是矽甲烷與空氣反應後「立即」引燃所致( 被證三十二之一),且原告嗣後所引用之文章及製造商警語亦提及矽甲烷 火災係瞬間引燃(被證三十三),足見原告之主張與其所提證據根本自相 矛盾。 (2)原告雖試圖引用Tamanini文章來說明矽甲烷引然會有遲延情形而不會「瞬 間」發生(被證三十一),但在同篇文章中,Tamanini係指「遲延15~120 秒才會自動引燃」(被證三十二),而非遲延數小時! (3)茲原告見其無法自圓其說,又由其另一專家Hammond於九十二年九月八日 庭訊時改口稱:自燃性物質,一經暴露於足夠空氣中時,並非「立即發生 」燃燒,而是「可能發生」燃燒云云,然則,豈非意味著自燃性物質暴露 於空氣中時,亦「可能不發生」燃燒,則原告到底認為系爭火災如何發生 ? (4)八十六年十月三日當天,天和公司約自上午九時三十分開始切除管線,至 十一時左右已全數切除完畢,此時,次主管內之粉末理應在嚴重擾動下, 全數釋出其所吸附之矽甲烷(如有吸附),然當時何以並未「瞬間燃燒」 ?又,釋出之矽甲烷縱不會「瞬間燃燒」,何以不會被排氣氣流抽送到大 氣中,而是靜候於原地數小時才導致第一次火災? (九)天和人員之換管工作是否構成對粉末之機械性擾動?火災引燃時天和人員是否 正在該二處次主管進行何種工作? 1、原告主張「任何會造成粉末會暴露新表面於空氣中之動作」,都叫「機械性 擾動」。其專家Hammond引用Creighton文章認為:「此外殼會因敲擊、碰撞 或空氣於表面上流動而破裂」,既然「空氣流動」也叫「機械性擾動」,則 次主管內之WCVD粉末如有包覆矽甲烷,理應受管內氣流(包括從自動分流管 上裂痕進入之空氣)影響而釋出,早已造成火災。退步而言,縱使天和人員 之換管工作對粉末造成機械性擾動,亦應在八根分流管全部卸下時即已發生 火災,何以數小時後才發生火災?原告迄今無法提出合理解釋。 2、原告主張:兩次火災發生時,天和工人均正在該二處次主管進行施工(參 Crawford訪談紀錄,原證七十九)。然查: (1)下午3:00發現的火災:Crawford調查報告內的訪談紀錄明載:「第一次火災 時天和工人莊枝來正在測量並彎曲管線,在十二吋次主管WCVD第四個洞口 底部看到火苗,當時更換的管線尚未換上」(被證四十二)。 (2)下午5:30發現的火災:原告迄未清楚說明下午5:30發現的火災其引燃時間 及地點為何?以及當時天和工人正在進行何種工作?實則,第一次火災發 生後,因十二吋次主管遭火燒損而須整段卸下更換,且不僅WCVD端,包括 WSix端之自動分流管均須重新安裝,故天和公司工人均集中在十二吋次主 管處工作。 ⑶綜上所陳,何以天和公司工人在彎曲、測量管線會造成第一火災,而隨後在十 二吋次主管工作時,又會導致十八吋次主管的第二次火災,迄未見原告說明。 (十)下午五點半發現之火災,其被引燃之時間為何? 1、原告必須先了解火災引燃時間及地點為何,才能在當時、當地找出是何種因 素造成火災。故縱使原告無法百分之百精準的認定起火時間,也應就第二次 火災可能的、大概的起火時間提出合理解釋,否則如何建構其火災理論? 2、被告專家係以火災被發現時之火勢大小以及擴散速度而判斷第二次火災被發 現之前已燃燒0.5~1.5小時,按: (1)第一次火災發生數分鐘後即被發現而撲滅,故被告專家研判第二次火災應 係燃燒約0.5~1.5小時後,火勢才會大到蔓延整個晶圓廠而無法撲滅。 (2)第一次火災被撲滅後,聯瑞工程師隨後檢查十二吋及十八吋次主管,確定 兩根次主管中皆無火災燃燒,故第二次火災應該是第一次火災被撲滅後才 發生。 3、原告專家主張的起火機制是「次主管內包覆矽甲烷之WCVD粉末受擾動而釋出 矽甲烷」,則在早上十一點全部自動分流管均已卸下,擾動應最嚴重,如當 時十八吋次主管內已生火苗,又豈會延至下午5:30才被發現?足見原告無法 交待下午530發現的火災其引燃時間為何,益加顯示其根本無法提出正確的 火災理論。 (十一)從WCVD維修口進入的空氣與火災之關連性? 1、次主管內有來自空氣稀釋管、壓縮空氣、穿孔、Iwatani外櫃抽氣等多項 來源的空氣,所以自WCVD維修口進入的空氣與本件火災並無關聯。 2、原告係因其專家陳郁文教授錯將上游的WSix端次主管當作是下游的WCVD端 次主管,且以「嚴重燃燒痕跡」認定該Wix端次主管為起火點。為解釋何 以起火點在下游的WCVD端次主管,而上游的WSix端次主管卻有燃燒痕跡, 原告這才提出次主管內氣流會逆流而上之說法。然查: (1)從WCVD維修口導入的空氣並不會流向上游而改變管內氣流方向,此由被 告專家陳政任博士於九十二年二月十日簡報之氣流實驗錄影帶可以清楚 看到。原告專家陳郁文之前雖提出所謂「氣流向上游迴流」的錄影帶, 然因其係以粉末及尺寸過小(二吋管)的管子做實驗,且管內壓力及排 氣情形與聯瑞排氣系統內均不同,以致粉末撞擊到管壁而往旁邊彈開, 形成所謂「氣流向上迴流」之假象。 (2)被告專家陳博士之氣流實驗是採用與聯瑞近似之抽氣壓力與管線配置, 從而,陳博士以六吋管實驗時若無迴流,則聯瑞十二吋次主管內將更不 可能有迴流。原告批評被告專家以六吋管做實驗不符合現場狀況,然則 原告專家以二吋管做實驗豈非更不切實際? (3)原告誤用陳政任博士之文章,由陳博士之文章可看出進入維修口的空氣 仍係往下游流,並未逆流至上游。 (十二)WSix廢氣( DCS加ClF3)是否為造成聯瑞晶圓廠火災之原因? 火災的時間、地點是建構火災理論的要素。原告無法說明正確的起火時間及 地點,而被告可以,按:兩次火災均發生在當天下午,且第二次火災是在第 一次火災被撲滅後才發生。第一次火災時,WSix廢氣排入十二吋次主管;而 第一次火災後,因聯瑞將WSix廢氣切換、改排至十八吋次主管,故十八吋次 主管發生第二次火災。十二吋次主管及十八吋次主管連接WSix廢氣排放口之 處均有嚴重燃燒痕跡。 1、下午三點發現之火災: (1)WSix 01機台自下午二時三分起,於三個反應室同時連續進行二次監測 作業,於下午三時五十四分結束。而WSix 02機台之生產作業自下午二 時二十分開始直至三時三十一分結束。因監測作業使用之氣體包括清 洗用氣體,與生產作業相同(經聯電確認,被證四之一第三點),故三 點火災當時,十二吋次主管內有DCS及ClF3等氣體。 (2)火災當天,WSix 01的Centrotherm洗滌器修理中,故持續處於自動分流 狀態,而WSix 02的Centrotherm洗滌器於下午二時二十六分跳機至自動 分流模式,故DCS未經洗滌即排入十二吋次主管內(被證四十六之二) 。而Six ClF3洗滌器於下午二時五十七分跳機,而IwataniClF3過濾器 亦未發生作用(此觀十二吋次主管上Iwatani過濾器排氣管連接口有嚴 重燒穿痕跡自明,被證四十七)。故三點火災當時,DCS及ClF3均未經 洗滌、過濾即排入十二吋次主管。 (3)即使考量自動切換器加入的氮氣後,在330秒鐘(5.5分鐘)的製程配方 進氣中,DCS仍有180秒(三分鐘)的時間其濃度達0.451%,而ClF3在 739秒(12.3鐘)的製程配方進氣中,有354秒(6.07分鐘)濃度達 0.302%。故不論「DCS」或「ClF3」之濃度在接觸前,均已超過0.3%, 而達最低燃燒界限。原告雖辯稱該氣體在進入次主管入會被稀釋,但此 二種氣體在十二吋次主管的出口僅鄰十二公分,根本未及稀釋即可能相 接觸而引燃起火。 2、下午五點半發現之火災: (1)十二吋次主管在下午3:00起火而受損故在下午4:00被卸下更換(兩造不 爭執)。而WSix機台至下午四點三十九分為止,尚在運作,並排放廢氣 。十二吋次主管卸下後,氣體無法從十二吋次主管排放(經聯瑞確認) 。聯瑞乃依業界慣例,以「暫時性連接管」將ClF3改排到同為AT(酸毒 )排氣系統的AT3(十八吋)次主管。此有天和公司出具之說明書(被 證四十九之三)可稽。聯瑞亦不否認廢氣改排之事實,只是指出:「因 當時現場管線圖說已滅失,故無法確認當時廢氣改排之情形」(被證四 之一,第八點)。 ② 至於DCS廢氣,在第一次火災後,已用手動分流模式排至十八吋次主管 ,此有被告專家Robbins於系爭火災後至現場調查時所拍攝之照片可稽 (被證四十九之一)。原證一00所謂「聯電工程師確認第一次火災後 並未將WSix廢氣改排至手動分流管」云云,僅為聯瑞工程師鄭水松說明 「他自己」並未將廢氣轉換為手動分流,無法證明其他工程師亦沒有轉 換,尤其第一次火災後,十二吋次主管已拆卸下來,機台運轉所排放之 DCS廢氣不可能排放到天和工人工作的地點。 (2)因DCS及ClF3廢氣在第一次火災後,已分別用手動分流模式及暫時性 連接管排至十八次主管,而手動分流管及暫時性連接管均無洗滌器, 故DCS及ClF3均未經洗滌。 (3)兩者濃度均達最低燃燒界限,已如前述。 (十三)聯瑞火災之起火點為何處? 1、下午三點發現之火災起火點在何處? (1)依原告矽甲烷火災理論,起火點應在自動分流管(因堆積最多WCVD粉末 ,且最可能吸附製程廢氣),而不在次主管。 (2)原告專家就起火點提出之證據,不僅無法支持其火災理論,反而支持被 告之理論: a、由原告專家陳郁文教授於十二吋次主管(Crawford 15-38)內之樣品 成份分析表(被證五十之三)之及其自繪的採樣地點管線圖示(被證 五十之四),可知:其係以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡 」為判斷起火點之依據,因而認定第一次火災起火點在WSix端次主管 ,且火勢往下游延燒(被證五十一)。然其將上游之WSix端誤以為係 WCVD端(被證五十二),因而錯誤指稱起火點在WCVD端次主管。顯見 原告對聯瑞副廠區管路配置之情形並不了解,才會將上游的 WSix端與下游之WCVD端相互錯置。 b、然而,第一次火災之起火點如在上游之WSix端,即與原告之起火理論 有悖,原告乃放棄以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡」作為 判斷起火點之證據,改以「證人目擊」方式而謂WCVD端第四個洞口為 起火點,且提出「氣流向上迴流」之錄影帶企圖證明火勢會往上游延 燒。然則: (a)原告既以「粉末成份分析結果」及「嚴重燃燒痕跡」為據,而自認 WSix端之十二吋次主管為第一次 火災之起火點,殊無再予狡賴之理。 (b)證人於WCVD端第四個洞口看到的火勢,係火勢往下延燒的結果,並 非起火點,因檢視火災後卸下之十二吋次主管內部燃燒情形,其 WCVD區段之各個連接口及內部根本沒有燃燒痕跡,反倒是WSix區段 「Iwatani過濾器排氣管」與「十二吋次主管」之連接口有嚴重燒 穿現象,顯見該處確為起火點。因自WCVD維修口進入的空氣不會流 向上游而改變氣流方向,已如前述。 c、Wilkerson於九十一年七月二十九日簡報中向 鈞院提出一張火災起 火點的照片,而謂「起火點是WCVD第四根分流管的連接洞」,實則該 張照片所示之處為WSix端次主管第二個洞口,Wilkerson嗣又承認錯 誤,而撤回那張照片。足見Wilkerson自始也認為起火點在WSix端次 主管,後來只是為配合原告之火災理論才又改口。 d、原告見無法證明確切之起火點,茲竟狡稱:「在本案中,火災型式可 能係表象式的,很難追溯至任何特定的起火點」云云,然,如果連起 火點都無法確定,又如何確認何種物質導致火災,及火災機制為何? 何況,原告專家Ben Wilkerson於九十一年七月二十九日簡報時,自 己引用NFPA 921的「基本方法論」指出:「適當之火災或爆炸調查方 法,首先必須決定及證實火災之起源,然後調查原因」(被證五十三 之一)。足見原告故意忽略十二吋次主管只有ClF3排氣管連接處嚴重 燒穿,其上、下游均無燒穿此一「不可辯駁的物理證據」,才會主張 「很難追溯任何特定起火點」。 2、下午五點半發現火災起火點在何處? 實則,原告所指第二個火災之起火點為第十二個洞,亦即WSix手動分流 管之連接口,又與被告主張起火理論相符。 四、本院心證: (一)天和所安裝的管徑有無錯誤?如有其影響為何? 1、天和所安裝的管徑有無錯誤? (1)經查:依原告所提出之「聯瑞與天和製程排氣二次配管工程契約書」施工說 明規格材料所示:「PP材質風管以PN2.5級以上為製作標準」。雖原告主張 :「此規定並非限定僅得使用PN2.5等級,根據管線製造商Agru之規格, PN3.2以上之等級即有直徑2英吋(50mm)之管徑」云云。惟聯瑞與天和製程 排氣二次配管工程契約書施工說明規格材料所規定之「PN2.5級以上」,既 未有排除本數之規定,自應解為俱連本數計算,而包含「PN 2.5級」在內。 參照原告提出之原證三:Agru管線規格說明所示,「PN2.5級」包含63mm之 管徑在內。是依合約要求「PP材質風管以PN 2.5以上為製作標準」,自不限 於PN2.5級,選用PN2.5級自亦不能認為有錯誤。 (2)又「二次側(12k)配管工程材料合約書」之五、其他說明4之記載:「所 有管件、材料、另件、於施工前必須經業主同意或審查合格,始予採用」, 而聯瑞公司空調部課長謝錦泉於接受訪談時證稱:「聯瑞公司於配管工程合 約中即指定應使用PN 2.5級聚丙烯(PPH)管」、「因配管工程合約要求應 使用PN 2.5級排風管,而PN 2.5級排風管最小管徑就是63mm,不是二英吋」 等語(參見被證四之一:聯瑞人員訪談記錄),顯見天和公司安裝的管線使 用PPH材質及管徑63mm之規格,於施工前確實有經業主聯瑞公司之同意及審 查合格。 (3)次查:原告主張:「依合約圖說(原證一、一─一、被證一), Centrotherm洗滌器之自動分流管應選二吋管,而非63mm管」云云,惟觀諸 原告所提出之二吋管圖說,係屬原欲使用之CDO洗滌器之配管圖說,而非後 來使用之Centrotherm洗滌器之合約圖說,雖變更洗滌器並不當然會變更管 線尺寸,但本件洗滌器既係使用Centrotherm洗滌器,為兩造所不爭執,似 不能以CDO洗滌器之配管圖說標示自動分流管為二吋管,而認Centrotherm洗 滌器之自動分流管亦必須使用二英吋管徑。是天和採用施工材質管徑時,仍 應以前揭聯瑞與天和製程排氣二次配管工程契約書施工說明規格材料為依循 標準,而非原欲使用之CDO洗滌器配管圖說為依循標準。 (4)另原告引用:「聯瑞公司就系爭輔助管線之設計要求為二英吋管,此為聯瑞 公司謝錦泉、天和公司劉天和、天和公司莊枝來、Centrotherm公司Werner Zulch及被告專家陳政任博士所認同」,而於九十一年二月二十二日提出法 律部分原證四一附件B為證。惟查:原告法律部分原證四一附件B係記載: 「嘉福湯瑪遜公司於聯瑞公司發生火災後,八十六年十月十七日訪談天和公 司謝錦泉時,謝錦泉表示其於火災當日負責之工作為晶圓廠D一樓之『二英 吋』管線之更換,並確認『二英吋』管線之位置及十二點前天和公司僅完成 二根『二英吋』管線之更換;天和公司劉天和於八十六年十月十六日接受訪 談時表示,原先管線為『二英吋』管;天和公司莊枝來於八十六年十月十六 日接受訪談時表示,其與另一名同事一同將『二英吋』管線自十二英吋管線 上取下;Centrotherm公司Werner Zulch於八十六年十月十六日接受訪談時 表示,其餘火災發生時前一天發現『二英吋』管線破裂」等語;而被告專家 陳政任博士於九十一年四月十五日評論報告第33、34;及5.3節分係記載: 「『二英吋』管線粉末堆積、『二吋管』粉末的成分及SiH4在『二吋管』內 流動比WF6快」等語。然而綜觀前開資料及報告上下文之文句,謝錦泉、劉 天和、莊枝來、Werner Zulch及陳政任博士等人所稱之「二英吋」或「二吋 管」,係區別性用語,並無規格上之確切涵意,應非渠等談話及欲表達之內 容所欲強調的重點。自不能據以認為該等專業人士竟同時將二.五英吋管線 誤認為係二英吋管線。原告引用前開資料及報告指稱前揭人士均誤認為天和 安裝之二.五英吋管線即為合約所要求之二英吋管線,殊非可採。 (5)綜上所述,天和公司原先所安裝之管線「材質」、「規格」係依合約之規定 ,並無錯誤。 2、天和所安裝的管徑有何影響? (1)原告主張:「安裝較大管徑管線,使輔助管線內之氣體流速自每秒鐘41公分 降低到每秒鐘25公分,流速減慢使管線內氣體停留在管線內之時間增加,自 然增加與管線內空氣及濕氣反應之機會,而產生較高濃度之熱粉末,加速管 線破裂」云云。然查:聯瑞使用系爭管線之製程中,在氮氣自幫浦上八個不 同入口注入後,六氟化鎢及矽甲烷已與氮氣混合,該混合之氣體在流經六米 長之二英吋管需十五秒,流經四米長之二‧五英吋管則需十六秒,在該混合 氣體流經自動分流管所須之十餘秒內,是否會使製程廢氣與氮氣在廢氣管線 中產生分離、混合不均勻,及製程廢氣矽甲烷、六氟化鎢是否會有局部濃度 較高之情形,未見原告提出證據加以說明。且廢氣流在經前開六米、四米長 度之自動分流管時,輔助管線中之氮氣流速,須緩慢至何種速度,始會產生 上述狀況,原告亦未提出相關實際數據可供參酌,則原告主張:安裝較大管 徑管線,使輔助管線內之氣體流速減慢使管線內氣體停留在管線內之時間增 加,而產生較高濃度之粉末,加速管線破裂之理論顯無可採。 (2)再者,二.五英吋之管徑較二英吋管徑大,其管內氣體之流速較二英吋管內 氣體之流速慢係屬事實,惟是否使用二‧五英吋之管線即會導致管線破裂, 使用二英吋之管線即不會導管線致管裂,換言之,二‧五英吋與二英吋在管 徑上之差別,是否為系爭管線破裂之關鍵原因,原告似未提出證據證明此點 。退步言之,縱使二.五英吋之管線因其管徑較大而會導致管線破裂,然而 ,天和公司安裝管線所使用之材質與尺寸既無錯誤,已如前述,則縱使其使 用二‧五英吋管線因管內氣體流速較慢導致管裂,亦非可歸責於天和公司。 (3)綜上所述,天和公司初次安裝之管線「材質」、「規格」均無錯誤,亦不足 以認定系爭管線之破裂與其安裝二‧五英吋管徑之管線有何關聯。 (二)輔助管線安裝是否符合合約「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定? 1、依據二次配配管工程契約書之「工程規範及施工法」第2.3(a)之規定,「 所有風管...其外表必須平整且不得漏氣」,此有原告提出之原證一在卷 可證。系爭管線之製造商Agru手冊,指示施工者於熱熔接完成後必須進行測 漏與目視檢測,此亦有原告提出之原證一、原證五在卷可證。而PP管熱熔接 之規範,亦要求熔接處形狀應為二對稱之突起,銜接誤差並應小於管壁厚度 之百分之十。惟經本院會同兩造至保管系爭管線之新竹貨櫃廠檢視系爭管線 後,發現系爭管線之接合處係以熱熔接方式接合,且接合處確實有接合不平 整之情形,經以目測檢視,發現存有肉眼可見之針孔,依卷附原告提出之原 證六「管線照片五張」所示,Crawford #15-6、#15-13、#15-20、#15- 30 、#15-25、#15-18管線上有肉眼可見之針孔;被告專家Parry就其所取樣之 幾片管線熔接處樣本,帶回倫敦以SEM儀器及目測方式檢測後,亦承認在 Crawford #15-6、#15-13、#15-20之管線樣本上發現有肉眼可見之針孔,而 在Crawford #15-24、#15- 25、#15-34之管線樣本之SEM照片上發現三處「 小細縫(leaks)」。而依「塑膠管線系統(Plastic Piping System)」一 書所載,熔接型管線上的細縫(leaks),乃係安裝技巧不良所致」(參見 原告提出之原證九十八)。被告專家Parry雖主張該等小細縫並非管線接合 不良所致,惟未解釋為何有該等針孔或小細縫存在,是其否認自非可採。因 此,天和公司輔助管線之安裝,就合約所規定「不得漏氣」之要求一點,有 不符合之處,堪予認定。 2、原告主張:「依據二次配配管工程契約書合約圖說上載明,系爭管線系統係 『屬於真空工程』,亦即不應有空氣由外部進入,否則即非真空」云云。惟 為被告所否認。究竟系爭合約上述所謂「不得漏氣」之規定,是否表示排氣 管內絕對不能有空氣存在,而應屬「真空」狀態?經查:天和公司施工之管 線,依合約工程範圍4之規定:「真空管路除外,詳附件界面說明」,此有 被告提出之被證七之六「聯瑞製程排氣系統二次側配管工程說明節本及附圖 」在卷可證,對照該附圖及說明,天和之施工範圍係限於附圖所示之「屬於 EXH工程」部分,而非附圖所示之「屬於真空工程」部分,此亦有原告於九 十一年七月二十九日管裂原因簡報第十四頁所示照片在卷足參。是天和所施 作之管線應屬一般排氣工程管路,非「真空工程管路」,「真空工程管路」 乃係另外由其他家公司承作。按「一般排氣工程管路」系統之用途係將腐蝕 性及毒性氣體抽出廠外及預防氣體洩漏至大氣中,主要功能並非為使排氣系 統內不含空氣而設計。又流經系爭管線之廢氣係經過洗滌之氣體,此亦為系 爭管線與未經洗滌之酸毒氣體須流經真空管線有所區別之原因。故「一般排 氣工程管路」與「真空工程管路」二者之目的、承作範圍、施工方法均不相 同,其要求自亦有所不同,因此「一般排氣工程管路」與「真空工程管路」 不應混為一談。 3、次查:兩造專家均同意「真空」意指「負壓」狀態,系爭聯瑞排氣系統包括 自動分流管及次主管均屬負壓狀態,亦為兩造所不爭執,然原告認為「負壓 」狀態下之次主管可以有空氣存在,而同屬「負壓」狀態之自動分流管內卻 不得有空氣進入。顯見「負壓」與「空氣不能進入」非屬同一定義。且被告 專家Parr提出之HVCA規格,表示聯瑞公司之排氣系統為一低壓系統,依HVCA 之標準,關於PP材質之工排煙及排氣系工程部分指出:「低壓排氣系可以有 6%之滲漏」,而其對「低壓」之定義為「壓力500Pa ~ -500Pa之間」(被證 六十八,附件A),由此益見PP材質之工排煙及排氣系工程並非真空,而容 許有6%之滲漏。本件系爭自動分流管上雖存在數個小針孔,但並無證據足以 證明由該等針孔流入之空氣已超過6%之標準,自難認天和初次安裝工程有何 違反合約規定及業界標準。 4、綜上所述,天和公司在初次安裝管線過程中,於管線接合處雖留下「針孔般 小洞」,不符合合約所規定「不得漏氣」之要求。然天和安裝之管線係屬「 一般排氣工程管路」,非屬「真空工程管路」,縱有「針孔般小洞」存在, 使空氣得由針孔進入,然空氣流入的量多寡?是否足以將會使六氟化鎢、矽 甲烷、氫氣等氣體在輔助管線中與之發生反應而產生高度危險,容後述之。 (三)排氣系統的輔助管線是否本來沒有空氣的存在? 1、天和安裝之管線係屬「一般排氣工程管路」,非屬「真空工程管路」,已如 前述。美商應用材料公司警語係載:「濕氣極可能來自廢氣系統內的細縫 (Moisture is most likely to be introduced into exh aust lines through exhaust system leaks)」(被證九之一),該警語為一般性警語 ,足見一般排氣系統有可能存在細縫,在有細縫存在之情形下,空氣即可自 此細縫進入。聯電之工程師謝錦泉於接受訪談時稱:「因排氣系統不是完全 密閉,在排氣系統原本即有空氣的情況下,無法做測漏試驗」等語(參見被 證四之一,問題十一)亦與美商應用材料公司之警語相符。 2、查用於稀釋反應氣體而注入幫浦之氮氣,並非完全不具濕氣及雜質,且無證 據證明注入氮氣的管子及管上之閥門均係完全氣密。原告主張一般氮氣純度 高達99.99999%(爭點整理表原證九)云云,惟其提出之原證九係「純氮氣 表」之純度,尚不能證明本案之所使用之氮氣係屬純氮氣,非普通氮氣而含 有氧氣、水氣等物質。另原告主張:「裝置在真空幫浦中之不銹鋼閥,在安 裝前係經過氦氣測漏」,惟安裝時之測漏狀況,並不能代表其嗣後使用時之 狀況。 3、次查:原告主張第八根閥管無堆積黃色粉末,並提出原證十二之照片為證, 惟在Centrotherm洗滌器機台上方連接不銹鋼分流管與PPH分流管之數根閥管 內(Crawford 15-03、15-05、15-07、15-16、15- 18、15-20、15-33)均 有黃色粉末(參見被證九之報告及被證九之O之照片),因此,在自動分流 管上游的幫浦、消音器及排氣管彎頭內,即普遍存在黃色粉末,足證在自動 分流管上游已有空氣與所排放之廢氣存在而產生反應。另原告所提之 Crawford 15-5、15-16二截閥管,仍有少量黃色粉末堆積,原告稱其為「可 忽略的」,然雖係少量仍無解其有黃色粉末堆積之現象,而不容忽略,逕將 該二管線歸為「無黃色粉末堆積」之管線。又原告雖主張:「堆積於上游閥 管的黃色粉末乃空氣經由針孔及管線上之裂痕進入管內,逆流而上與廢氣反 應之結果」,提出實驗結果之錄影帶為證,惟該實驗並未能說明閥管之下游 究有多少針孔及多少裂痕?分別距離閥管有多遠?空氣可否逆流而上等問題 。此外,原告迄未提出「未堆積粉末」之閥管作為其論點之證據,是原告並 不能證明自動分流管上游並無空氣存在。 4、原告自承:「維修機台時,因為需清潔火箱及與其相連接之清潔氣體管線( clean gas pipe),而可能使空氣中之濕氣進入管線中,Centrotherm機台 之運作,亦可能會有洗滌用之水氣進入清潔氣體管線」等語;原告專家 Leveen於報告「正常晶圓廠的粉末堆積情形」時亦稱:「停機後再重開機, 會有微量的空氣與水氣殘存於管線內、修理WCVD機台時,打開機台此時也會 有微量的空氣與水氣殘存於管線內」等語(參見被證十之一原告之簡報內容 )。雖原告又稱輔助管線與清潔氣體管線彼此間並不相通,濕氣並不會進入 輔助管線云云,然前開殘存之空氣或水氣於機台開始運作時,將經由洗滌器 ,而在洗滌器跳機時,將經由自動分流管排至次主管,此種情形將如何避免 ,未見原告有所說明。則原告主張濕氣不會進入輔助管線,及主張Leveen之 上述見解僅係針對「次主管」中之空氣而言,並非指「輔助管線」中之空氣 等節,似無證據。 5、被告專家Robbins自聯電8A廠之次主管中採得黃色粉末,因8A廠未使用 Centrotherm洗滌器,無自動分流管之裝置,廢氣流入次主管,與空氣反應 形成黃色粉末,。因而主張:「大部分沒有破裂的聚丙烯管,都帶有一層薄 薄的、不明顯的黃色粉末」等語(參見原證七)。雖原告主張「自動分流管 」與「次主管」二者產生黃色粉末之「條件」不同,不可相比擬云云,惟被 告專家Parry於九十一年四月九日之管裂原因報告中亦承認,輔助管線在正 常情形下(無針孔、無破裂),係屬於一個氧氣不足的環境,其所謂氧氣不 足與完全沒有空氣不能等同論之。故原告以「自動分流管」與「次主管」二 者產生黃色粉末之「條件」不同否認之,尚乏依據。因此,在WCVD製程機台 之排氣管線內,如有空氣存在,不論次主管或自動分流管內均會沉積黃色粉 末,堪予認定。 6、綜上所述,系爭自動分流管內之空氣非僅來自於管線上之「針孔」,而空氣 與六氟化鎢等廢氣反應後產生黃色粉末之沉積均可見之。雖系爭管線中所存 在之黃色粉末為數頗多,然黃色粉末之存在僅能證明管線中有空氣與廢氣進 行反應,而空氣之來源既不僅管線所存在之針孔而已,尚有其他來源,且自 針孔流入之空氣量有多寡未見證明,則以針孔之存在斷言其為管裂之原因, 顯有未足。 (四)管壁上之針孔與管裂間是否具有位置上及數量上之關聯性? 1、系爭自動分流管內所存在之空氣,並非僅能從管上之「針孔般小洞進入」, 已如前述。 2、經查:系爭自動分流管共分為三十二個管段,其中十七段有裂痕,十五段無 裂痕,而因系爭八根自動分流管於天和公司換管時,即已切割成數段,故本 案所存留之管線均係已被切割為片段之管線,業經本院會同兩造至保管管線 之貨櫃廠檢視確認無訛,此有兩造分別提出之照片多張附卷可稽,則兩造有 關各段管線上下前後之判斷是否正確已有可疑,其對於管線整併後將之當作 一根完整的管線所為針孔與管裂間有無關連性之主張或陳述,自亦難遽予採 認。至於管線內之「氣流」是否會「逆流而上」之點,兩造專家用以實驗之 管線尺寸及壓力狀況均與實際管線不符,故兩造實驗之結果亦無可參考。 3、次查:Crawford 15-04、15-11、15-21、15-22、15-26、15-36等六段管線 有裂痕,但無焊接處,亦無針孔;Crawford 15-14段管線全長495公分,上 下游皆無針孔,僅在管段中央有一25公分長之裂痕;Crawford 15-20、 15-30之管段有針孔、有粉末,但無裂痕;Crawford 15-06、15-13之管段上 有針孔,但前者之針孔與裂痕上下游位置不明,後者之裂痕在針孔之上游。 綜上現狀,本案八根自動分流管,其上有四個針孔(Crawford 15 -6、 15-13、15-20、15-30),此四個針孔不僅無證據證明係分別在不同自動分 流管上,亦無法證明每一段有裂痕的管子上均有針孔存在。又原告專家自 Crawford 15-6管壁內之焊條取下一截長條形之樣本,將之直立放到顯微鏡 下觀察,放大50倍時,可看到焊條之頂端及其上覆蓋的黃色粉末,放大1500 倍及3500倍時,照片上有白色的點及黑色區域,原告主張照片上白色的點係 屬粉末,而黑色區域則係「肉眼看不見之針孔」,不知依據為何,故不予採 信。故原告所建構「針孔導致管裂」之理論即難認為正確。至被告主張在管 線破裂處所看到的黃色粉末,必然是在針孔附近形成而飄到下游管線破裂處 ,亦屬推測之詞,其強調針孔必須係緊靠或在裂痕的上游,並無根據,亦不 予採信。 4、綜上所述,兩造均未能提出確切證據證明管線上之針孔與管裂間是否具有位 置上及數量上之關聯性。 (五)空氣與六氟化鎢及矽甲烷等氣體反應所生成之顆粒會否造成管壁受熱而產生 熱劣化? 1、兩造對於系爭管線內空氣及水氣與機台製程排放之六氟化鎢(WF6)及矽甲 烷(SiH4)反應,分別產生黃色及白色粉末,此初生粉末顆粒生成後,會因 為凡得瓦爾力、重力及濕氣在瞬間碰撞、聚集,均不爭執。但此初生顆粒聚 集成較大顆粒,掉至管壁而與管壁接觸時,是否維持「高溫」或於附著到管 壁前已全部「冷卻」,及系爭PPH材質之管線是否因「熱」而劣化,進而導 致龜裂,兩造則有爭議。 2、經查:原告主張:「初生顆粒的溫度均為攝氏162度,惟因本案六氟化鎢濃 度僅0.19%,與大量氮氣相較,其比例是1:500,故初生粉末之溫度均為 162oC」云云。惟初生粉末顆粒之溫度,在大量氮氣氣流下,及顆粒飄浮所 需時間經過後,將因散熱而降溫;原告並不能證明初生粉末「結合速度」較 「冷卻速度」快及快多少,又所餘溫度為多少;且原告專家陳郁文教授於九 十二年九月八日庭訊時亦承認:「初生的粉末溫度很高,但量不到溫度,可 能因散熱太快」(參見被證十一之0之一),故原告主張初生粉末顆粒之溫 度均為攝氏162度,並無確切證據足以證明。 3、次查:被告專家陳政任博士至晶圓廠WCVD機台之廢氣排氣管線,注入足量空 氣後,測試管內廢氣氣流溫度,並未測得任何高溫,而提出此項主張。惟該 晶圓廠WCVD機台因其製程、管徑、材質、氣流形式、溫度控制裝置等各項條 件均與聯瑞晶圓廠輔助管線不同,尤其陳博士所量測之時間不可能與聯瑞系 爭管線經過六個月期間之受熱情形相同,此部分測試之結果不予採認。而被 告專家雷教授之粉末溫度計算並未考慮顆粒之碰撞與聚集在漂浮與沈降之過 程中會一直發生(原證一0七),因此雷教授認為所有顆粒直徑20到50奈米 之顆粒在漂浮過程中,因初生粉末極小、散熱極快、縱使粉末於靠近管壁處 形成,亦不會使管壁受熱之主張,非無缺失,亦不足採。另被告主張:「如 六氟化鎢及水氣之濃度足夠,在20微秒可形成約6微米大的三氧化鎢(WO3) ,但其冷卻時間約為1.5~5.5微秒,較顆粒結合所需時間(20微秒)短暫, 因初生粉末散熱極快,故結合後之次級粉末是冷的,對管壁不生任何影響」 云云,惟其所舉六氟化鎢及水氣之濃度係屬假設,與事實未必相符,所得之 結論顯難遽信。故被告有關粉末顆粒之溫度會降至室溫之主張均非可採。至 被告要求:「可將溫度計(熱電偶)放置於管壁上測量粉末溫度」即能量測 云云,惟粉末之直徑(為微米級尺寸)遠小於一般熱電偶尖端接點之直徑( 為毫米級尺寸),熱電偶縱能測得溫度亦非準確,故本院未予准許,附此說 明。 4、有關矽甲烷部分:被告以半導體產業標準F5-1101所載,主張:「矽甲烷在 氮氣中之濃度一旦稀釋到低於1.5%時,遇到空氣將不會進行明顯的氧化作用 」,惟前述文獻並非說明經稀釋之矽甲烷遇到空氣「完全不會進行氧化作用 」,而僅表示氧化作用不明顯,亦即不會全部氧化,但仍有可能部分氧化。 又粉末樣本顯示,確實有少量之矽甲烷在輔助管線中氧化,形成二氧化矽, 原告從輔助管線取得之黃色粉末樣本中,亦測得存有微量之二氧化矽(參見 原證四十),故就兩造有關此部分所提之證據觀之,確有少部分矽甲烷會在 輔助管線中被氧化。 5、有關粉末顆粒之大小與溫度之關係:原告主張:「文獻顯示粉末在聚集之後 的大小係38nm(奈米)」云云;被告則抗辯:「該文獻所載之38奈米顆粒,係 受熱分解後的二氧化矽顆粒的直徑,而非三氧化鎢的直徑,該篇文獻與三氧 化鎢粉末大小根本無關」等語。經查,原告所引用之文獻,其所指之顆粒係 在特殊條件下所製造,而非在廢氣管線中形成,與本案情形不同,故難採認 。而被告主張:「依據於輔助管線中採得之黃色粉末之SEM照片,黃色粉末 之直徑在10到50微米(參見原證一0六)」云云。因該黃色粉末係被告於火 災生後採得,非初生粉末之顆粒,係其據為主張粉末顆粒大小之理論,並非 無疑。至被告引用專家雷教授計算SiO2/ WO3之公式,主張二氧化矽\三氧 化鎢顆粒在漂浮的過程中即已降至室溫云云,原告以其在運用此公式時,必 須設定顆粒之終端速度,直徑小於0.1微米之顆粒並不會有終端速度(參見 原證一0四)為由,質疑雷教授前項計算公式並不適用於顆粒直徑小於0.1 μm(微米)之情形,並非無據。因此,兩造有關粉末顆粒之大小與溫度之 關係,均無明確之證據。 6、有關粉末之溫度,原告已承認:「粉末之溫度,由於在管線中與水氣反應而 形成之三氧化鎢,其附著至管壁之溫度隨著顆粒大小、顆粒聚集及沈降於管 壁之速度、粉末與管壁間的距離、六氟化鎢與矽甲烷的反應量及氣體混合不 均勻之效應等因素而會產生變化」等語,即其已不再堅持初生粉末顆粒之溫 度均為攝氏162度之主張。被告專家亦承認起始的粉末與繼續反應或碰撞其 他粉末的速度或頻率無從計算(參見原證一0八)。因此,系爭管線內空氣 與六氟化鎢及矽甲烷反應形成粉末,該等粉末具有某種溫度,僅原告不能舉 證證明其確實溫度;被告亦無法證明該粉末已冷卻或降至室溫。 7、有關「熱劣化」部分: (1)經查:據Agru手冊之記載:PPH管的操作溫度最高可到100oC。如果操作溫 度為100oC,則PPH管將逐漸劣化,在連續操作十一年後,其機械強度將耗 損50%,而非裂開 (被證十七之一)。故「熱劣化」是指材質長期、無間斷 的暴露在某高溫下,其機械強度、重量逐漸耗損之過程,並非一旦達某溫 度,即立生熱劣化之結果。故熱劣化須有二個機制-「高溫」及「時間」 。原告主張系爭自動分流管之管壁若受有120oC之高溫時,即立生熱劣化 之效果,而管子裂開,然並未提出實證。又其提出之「管內粉末成分有碳 」、「管壁紅外線光譜分析(IR)」及「管壁裂痕之電子 顯微鏡照片」 ,無法作為管壁受熱之直接證明。至其主張PPH管在160oC~165 oC時,即 開始熔化及坍陷(被證五十五)乙節,因本案自動分流管並無任何熔化或 坍陷之痕跡,又僅使用數月,且非均屬自動分流之模式,顯與熱劣化所須 條件「長期無間斷的暴露在高溫下」不符。 (2)次查:兩造不爭執「只有在超過PPH的燃燒溫度至328。C時,才會產生碳 (被證十六之一)」,原告並未證明系爭粉末掉至管壁時,仍具有328oC 之高溫,而被告專家檢視系爭分流管時,亦未發現管壁有任何灼傷痕跡。 雖原告專家陳郁文教授原主張藍綠色粉末係碳,惟經被告專家陳政任博士 以元素分析儀分析結果,並無明確碳的波峰存在,隨後陳郁文教授做相同 實驗,發現經過三十分鐘顏色變淡,其已同意顏色較該粉末一般來說不是 碳。故原告不能證明系爭管線中有因熱效應而產生碳。 至管線樣本之紅外線光譜(IR)分析結果,PP管內壁表面的結晶成份高於 管壁中間的結晶成份,此結晶度之差異有可能係管線內壁有受熱現象(原 證三十三);亦有可能係由製造過程中冷卻的差異所致(被證五十六、第 一.八點、被證五十六,第三.三點),因此,兩造就此部分之攻防即不 具實質意義。原告專家主張:「非脆性破壞是熱劣化造成的」云云,惟迄 未證明「熱劣化」與「非脆性破壞」間之關連性。 由上可知,原告主張系爭管線因前開粉末之溫度足以產生熱劣化導致管裂 ,證據尚嫌不足。 8、綜上所述,系爭管線內空氣來源非僅能從「針孔般小洞」進入。而管線內存 在之空氣與廢氣反應所產生黃色粉末,具有相當之溫度,但原告不能證明自 針孔進入之空氣量多寡,與廢氣產生反應後之溫度究竟有多高。則原告主張 系爭管線因針孔-粉末-受熱-產生熱裂化-導致管裂,其所舉之證據顯然 不足。 (六)輔助管線破裂應力為何?輔助管線所承受的懸吊應力、熱應力、內應力是否 大於破裂應力? 1、原告雖主張:當PP材料疲勞時,其所能承受之應力,亦隨之下降。當管線持 續週期性地承受與破裂應力同等級之應力時,管線就會因應力集中之效應( 應力集中點承受較大之應力)以及材料疲勞(破裂應力大幅降低時)而產生 管裂現象。本案輔助管線所承受之熱應力與內應力,聚丙烯為高結晶物質, 於結晶形成時及熱劣化時,產生小細紋,當其長期持續受力,破裂從小細紋 的尖端處(tip)開始,並形成一個「應力集中點」(原證一二三),在結 晶與結晶間伸長。因管線持續週期性地承受與破裂應力同等級之應力,管線 就會因應力集中之效應(應力集中點承受較大之應力)以及材料疲勞(破裂 應力大幅降低時)而產生脆性裂痕。PP管線在重複承受22 N/mm2之應力時, 只需一百次就會破裂(原證一0二)。而溫降120度所產生之熱應力為 21N/mm2,PP管線在經過二百次左右這樣的熱冷循環,便會造成材料失效。 若熱冷循環時間非常短,稱為熱衝擊,熱衝擊有較大的瞬間溫度變化(原證 二十六、原證一二一)。即使溫度高於零下17度,PP仍會在室溫之上發生脆 性破裂。懸吊應力則是聚丙烯管在六點鐘與十二點鐘位置形成管裂之原因。 管壁在軸向及徑向都會產生懸吊應力(原證三十九),在徑向上之應力(與 重力方向相同)稱為剪斷力,在軸向上之應力(與重力方向垂直)稱為彎曲 力。剪斷力在水平管線之中段最大,彎曲力使管線十二點鐘及六點鐘位置受 到最大應力(原證一四四號),因而導致聚丙烯管在六點鐘與十二點鐘位置 ,沿聚丙烯分子排列方向形成管裂。而認為若管線之「熱應力」、「內應力 」及「懸吊應力」之總和大於破裂應力,管線即會破裂云云。並提出計算數 值:系爭自動分流管之內應力(0.26 N/mm2)加上熱應力(6.37 N/mm2)之 總和為6.63N/mm2,大於破裂應力(4.3 N/mm2),因而導致管裂云云。 2、惟查:原告未能證明系爭自動分流管內之溫度為何,已如前述。則其主張管 線內之溫度如何產生熱效應,及溫降有35 oC,甚或136oC(由161oC降到室 溫25oC)之情形等,均無明確依據。且原告已自承:「PP的破裂應力並無確 切、固定之數值。破裂應力之數值與施加應力之方法有關,如管線條件發生 變更,破裂應力之數值亦會隨之改變」等語。則PP管之破裂應力既無確切、 固定之數值,則原告所計算之「內應力(0.26 N/mm2)加上熱應力(6.37 N/mm2 )之總和為6.63N/mm2,大於破裂應力(4.3 N/mm2)」,即有疑問。 3、綜上所述,管線內存在之空氣與廢氣反應所產生黃色粉末,雖具有相當之溫 度,但溫度為何尚屬未明,則原告主張系爭管線承受之熱應力係針孔、粉末 造成,即不足採。至除了熱應力以外,管線之內應力及懸吊應力之總和是否 大於破裂應力而造成管線破裂,係屬管線材質選用之問題。天和公司初次安 裝之管線材質,係依合約之規定,已如前述,因此,管線材質選用之問題如 引起內應力及懸吊應力之總和大於破裂應力而造成管線破裂,亦非可歸責於 天和公司。 (七)輔助管線中是否有F2存在?若有,是否會形成本案管線破裂的情形? 1、氟係用以清洗反應室之氣體,避免晶圓上有太多微污染而無法使用。依聯瑞 公司機台工程師鄭水松稱:「本公司WCVD製程所用之清洗氣體為三氟化氮, 該氣體在反應室中以高溫及電漿將三氟化氮分解為氟及其他衍生物。氟在反 應室內未消耗完畢,即排放到三氟化氮之Centrotherm洗滌器,但如洗滌器 跳機而進入自動分流模式時,氟及衍生物即會經由自動分流管而排入AT 2及 AT3次主管中;管線發生龜裂後,告知廠務工程師廢氣具腐蝕性,選用管材 時應予考慮」(參見被證四之一,問題十二、問題十四)。 2、被告專家陳政任博士曾對聯瑞WCVD機台進行過廢氣的分析,當時廢氣分析質 譜儀中出現「氟的波峰」,故可證明氟的存在。原告亦承認「過量的氟經水 洗滌後,仍有少數殘餘,故洗滌後廢氣仍可測得「氟的波峰」,僅係洗滌器 出口端的氟較進口端少(被證二十八之一)。雙方為進一步確認前揭IR分析 之結果,被告材料專家Tom Parry博士將Crawford 15-21及同材質、尺寸之 PPH管送至英商卜內門化學工業股份有限公司 (ICI)進行「光電子能譜技術 (XPS)」分析,分析結果顯示有氟的存在(被證十六之九)。原告專家以相 同方法檢測Crawford 15-9樣本後,發現管子內部有粉末之處,同時顯示鎢 及氟之波峰。 3、足見本件自動分流管中確實有氟存在。至於系爭自動分流管中所存在的氟, 會否因「氟加上內應力」而造成管裂,兩造均提出諸多證據作為攻防,惟此 點無關兩造本件之勝敗,本院不予一一論述。 (八-十三)火災原因: 1、就本件火災發生之原因,原告專家認定係因天和工人於八十七年十月三日之 換管施工,自輔助管線之維修口引進大量空氣至十二吋及十八吋次主管中, 並擾動沈積在次主管內具有自燃性及可燃性之WCVD廢氣粉末,致引燃火災。 此外,次主管內之WSix廢氣粉末亦具有可燃性或自燃性,而提供本件火災蔓 延之燃料,當其具有自燃性時,亦可能與WCVD廢氣粉末同為本案火災之引燃 來源。被告則認為起火與工人施工無涉,而係因WSix機台持續運作所排放出 之廢氣ClF3及DCS,因未經洗滌而濃度均高於0.3%,混合在一起而引燃,或 未經洗滌之ClF3引燃WSix廢氣粉末所致。 2、經查:美商應材及Centrotherm的警語中警告廢氣粉末中含有矽甲烷、氫氣 等具可燃性及自燃性氣體之危險性(原證六十、原證六十一)。本件自原證 七十二聯瑞公司之WCVD配方中觀之,其步驟3至步驟8及步驟17至步驟19,均 使用30 sccm之矽甲烷,步驟4至步驟8及步驟17至步驟19並使用氮氣、氬氣 與氫氣作為載流氣體,而反應室所使用之溫度則約攝氏450度。此等步驟所 使用之反應氣體、反應環境與矽沈積機台之矽甲烷沈積步驟相似。因此,原 告提出之原證五十六Koynov之文獻、原證一二九Onischuk之文獻中,有關使 用矽甲烷之CVD機台,其廢氣粉末具有自燃性與可燃性之見解即具有參考價 值,足以證明WCVD製程中所排出之矽甲烷廢氣,如未經洗滌,會在廢氣管線 中形成具有自燃性及易燃性之廢氣粉末。故原告主張:「矽甲烷(SiH4)在 使用惰性氣體或還原性氣體而缺乏氧氣之環境中,經熱分解後,會產生 Si-Si-H粒子,SixHy(聚矽氧烷)化學物質會被包覆在Si-Si-H粒子中。當 廢氣粉末進入輔助管線時,因輔助管線存有空氣及水氣,部分尚未被包覆之 SixHy化學物質即被完全氧化或部分氧化,而形成氧化矽或聚矽氧烷。當廢 氣物質中含有Six-Hy成分時,經由氫鍵結之吸附作用,廢氣中之矽甲烷、矽 甲烷衍生物及氫氣會被包覆在製程廢氣粉末中或吸附於粉末表面,而形成具 可燃性及自燃性物質」等情,即非無據。而被告辯稱前開文獻係關於「矽沈 積機台」之文獻,與本件鎢沈積機台(WCVD)無關云云,則不足採信。 3、被告雖提出Onischuk於一九九四年所著之文章,認為含有較低氫含量之粒子 ,會受到氧的影響,氫含量較高之粒子放在空氣中數日未見氧化反應,據此 主張高氫含量粒子是穩定的;及將含有矽-氫鍵之粉末置於空氣中,未見燃 燒現象云云。惟矽-氫鍵是使廢氣粉末具有自燃性之原因,高氫含量粒子穩 定係因其外面形成一層鈍化的氧化層,然矽-氫鍵一旦受到擾動,氧化層即 會破裂而開始氧化(參見原證一三七之簡報)。又其將含有矽-氫鍵之粉末 置於空氣中,未見燃燒現象,係因其粉末以過濾器取得次微米粉末進行觀察 ,粉末量極小,與本案在廢氣管中累積之大量矽-氫鍵不同。故被告提出 Onischuk文章之見解部分,與原告專家Hmmond博士所說明之粉末包覆矽甲烷 之機制並無互斥之情形。 4、又原告提出原證七十一之SST文章,介紹加熱管線之裝置,其中討論五種CVD 製程時,在總論中指出CVD製程廢氣問題可能引起嚴重的安全問題,並舉例 說明PECVD粉末包覆矽甲烷之火災風險(「Effluent problems can also create serious safety issues.For example, Plasma enhanced chemical vapor Deposition(PECVD) of silicon nitride (Si3N4) can trap pyrophoric silane...」),該文章有關CVD製程廢氣問題係既係 於總論中敘述,而未排除WCVD機台之使用,則WCVD機台之使用,其製程廢氣 問題可能引起嚴重的安全問題,自亦包含在其說明範圍內。 5、次查:依保存管線現場採得之證據顯示:輔助管線內之粉末為黃色粉末,鎢 的含量高達94-98%,矽的含量則為2-6%,此有原證四十「輔助管線內粉末成 分EDS分析結果」附卷可參。則輔助管線中之鎢成分高,六氟化鎢在與水氣 反應後形成之三氧化鎢,因質量較高,而與黃色粉末一同沈積於輔助管線中 ,故輔助管線內有較多之黃色粉末沈積;二氧化矽粉末相對的就少許多。而 矽甲烷或其衍生物之質量相對較低,較不易沉降於輔助管線中,在流入次主 管時,始因靜電作用及重力作用在次主管內沈積,所以十二吋及十八吋次主 管中矽的含量高,鎢的含量低,粉末呈現灰白色,其理論一貫,堪予認定。 故原告所提出之原證一七0「十八吋次主管WCVD輔助管線連接口粉末堆積情 形」與上述情形相符,即可證明具易燃性與自燃性之矽甲烷廢氣粉末大部分 係累積在次主管中。由上可知,輔助管線中之黃色粉末含矽成分低,縱於火 災發生前粉末中含有未經氧化之矽甲烷,因在大量三氧化鎢中,即不具引燃 之條件。被告雖質疑上述論點,然並未提出有力之反證,而其主張所有次主 管內之易燃粉末均為WSix粉末,實無所據而不可採信。6、又依半導體產業標準F5-1101之記載,矽甲烷在氮氣中之濃度一旦稀釋到低 於1.5%時,遇到空氣將不會進行明顯的氧化作用(原證五十五號)。但所謂 「不會進行明顯的氧化作用」並不表示完全不會氧化。且矽甲烷CVD機台之 廢氣粉末之結構,使吸附在廢氣粉末中之矽甲烷及其衍生物等具自燃性之物 質,除非受到擾動,係被保護而不會氧化的,已在上述Koynov之文獻、 Onischuk之文獻中敘明,此等物質遇到空氣,又受到機械性擾動時,會以無 法預測的方式燃燒及\或爆炸,亦有卷附「Reactions of Exhaust DepositsFormed Silicon Deposition Tools」文獻可佐(參見原證六二) 。被告雖辯稱WCVD廢氣中之矽甲烷不具火災風險,矽甲烷濃度須達4.5%始 能自燃云云,然並未提出明確證據加以證明,則原告此部分主張即屬可採。 7、再查:依據Crawford訪談紀錄記載:「兩次火災發生之時及之前,天和工人 均持續在該二處次主管進行施工。天和公司在火災當天上午進行管線拆除工 作,下午則陸續以熱熔槍進行接管工作。在撲滅下午三點區域之火災後,天 和工人並置換因火災受損之十二吋次主管,在完成十二吋次主管之換管工作 後,又繼續進行在十八吋次主管之換管工作」(原證七十九)。被告專家 Robbins之初步報告亦記載:「一九九七年十月三日承包商天和及其員工開 始移除輔助管線,並使用電鋸,重新配管時則使用聚丙烯熱熔接方法。下午 三點左右承包商正在將更換管線連接至二條次主管時,一名工人發現,其中 一條次主管著火。工人們以手提式滅火器滅火。火被撲滅後,該次主管及某 些連接管被發現有變形及燒穿現象。天和工人拆下被火損壞的次主管,裝上 一條新管,並重新連接洗滌器管線。在即將完工時,又發現第二次火災。第 二次火災發現處在發生三點火災的次主管旁的一條次主管,亦即當天工人施 工的二根次主管之一。火災發生在承包商當天施工的二處管段,於此情況下 ,起火原因可能與他們的施工有關,另有證據顯示第一次火災的次主管內亦 有粉末存在。我認為起火原因很可能與此等沉積物有關」(參見原證五十一 Robbins初步報告全文)。此二紀錄及報告顯示,系爭火災被發前及發現時 ,天和公司之人員正在持續施作換管的動作。依據原證六十二及原證六十三 之文獻及原證六十一製造商警語所載:具自燃性及可燃性之粉末,在受到機 械性擾動時,如同時存在空氣,即會引燃。此所謂「機械性擾動」,係指任 何會造成粉末暴露新表面於空氣中之動作,包含敲擊、刮擦、氣流等。因此 ,天和公司人員在火災發現之前及當時在現場之持續施工,包括對管線的鑿 、刮、鋸、鎚及熱熔,及使空氣自維修口進入等,均足以構成對於廢氣粉末 中之具自燃性及易燃性物質之機械性擾動。 8、另查:Creighton在其所著之文章「More on Reactions of Exhaust Deposits Formed Silicon Deposition Tools」之文章中指出(原證六十 三):「視溫度、壓力、反應氣體、操作流速與製程配方的不同,副產物之 反應性將會隨之改變。惟縱使副產物之反應性與反應量會因機台之系統及製 程不同而不同,其反應機制卻是相當一致的,‧‧‧,亦即均由暴露於空氣 中開始。自暴露於空氣後,視副產物類型與燃料所在之位置,將有可能引發 一連串劇烈的化學反應‧‧‧,聚矽甲烷及可能存在之聚矽氧烷之氧化,不 一定會產生肉眼可見的火焰即知」(原證六十三、六十四)。因此,當廢氣 粉末受擾動,且暴露於空氣中時,廢氣粉末中未氧化之矽-矽鍵及矽-氫鍵即 會開始氧化作用。如果在局部區域有足夠的自燃性物質,如矽甲烷衍生物, 即可能產生小氣爆 ("pop")而開始燃燒過程。故當只有少量的廢氣粉末被擾 動時,不一定會立即起火,因為單位能量尚不足以將局部溫度提升至適當的 燃點;當局部氧化增加使溫度被提升至適宜的燃點時始會引燃,使其他尚未 反應的粉末接續引燃,火始會擴散。此與被告專家Robbins於其火災原因報 告中肯認矽甲烷氧化作用之進行會釋放出熱而不會有火的現象(原證一七三 ),及被告於九十二年十月二十一日簡報中所稱此類廢氣粉末:「反應可能 會釋出熱,可能由完全沒有熱至非常大量的熱」(原證一七二)之理論相符 。足證在有空氣的情況下,又發生機械性擾動,廢氣粉末中之具自燃性及易 燃之物質即會開始氧化、引燃、以致於燃燒,此等物質自開始氧化、引燃、 以致於燃燒,須要一段時間,並非一引燃即能以肉眼看到燃燒的火。故被告 辯稱:本案廢氣管內之粉末如果不是立即引燃,就應該不會引燃,似無依據 。綜上所述,當天和公司在火災發現之前及當時在現場之持續施工,對於廢 氣粉末中之具自燃性及易燃性物質構成機械性擾動,即會產生上述之開始氧 化、引燃、以致於燃燒之情形。被告雖質疑本案之機械性擾動係在當日早上 十一點卸下輔助管線時,為何當時未發生火災,而在下午三點及五點半始發 現火災云云,關於此點,由火災調查專家於火災現場所拍攝到十八吋次主管 上第三個WCVD輔助管線接口處熱熔接進行到一半,並留下未切斷的焊條(原 證一七一),與上述說明相符,可知天和工人於火災前在次主管上之施工是 持續進行的,不限於早上移除管線之施工動作。且上述廢氣粉末中具自燃性 及易燃物質從開始氧化、引燃、燃燒到肉眼可見的火,須要一段時間,此即 兩造同意以「三點發現的火災」「五點半發現的火災」稱之,而不是以「三 點發生的火災」「五點半發生的火災」稱之,其原因即在此。是被告之質疑 已獲得說明。 9、被告又辯稱,以原告之引燃機制無法確定實際引燃時間及起火點。然而,被 告提出之引燃機制即ClF3與DCS持續流入次主管中混合燃燒,其速度極快, 何以在管內燃燒一個多小時而未被發現,被告亦無法說明。雖被告嗣以WSix 機台之操作時間推估第二次火災引燃之時間,稱第二次火災引燃時間係在四 點到五點之間,惟其所稱時間亦非確定,且所舉證據明顯薄弱。且被告專家 陳政任博士在其發表之文章中亦指出:經由維修口進入的空氣導致次主管內 氣流的停滯,因而引燃火災,建議如施工時能在維修口上覆蓋暫時檔板,即 可避免該次火災等語(原證一三八及原證五十二),此與被告所持之火災理 論不同,但被告就此項與其理論矛盾之見解,並未予以說明。另被告雖稱次 主管中在天和打開維修口前即已存在大量空氣,然Centrotherm機台上覆蓋 碟片,空氣無法進入次主管中(原證八十四之一Centrotherm操作手冊), 至於Iwatani外櫃抽氣是否連接至十二吋次主管,業經聯電公司人員已表示 無法確認(原證一00),被告又未舉證說明其依據何在,則其有關次主管 內原先即有相當多空氣之理論即不足採。 10、綜上所述,本件火災發生原因,與天和公司人員之換管施工,使維修口進入 大量空氣至次主管,並對沈積在次主管內具有自燃性、可燃性之WCVD廢氣粉 末,受到機械式擾動,不無關連。 至下午三點及五點半發現之火災,其被引燃之時間及起火點究竟為何,兩造 雖提出許多攻防,惟無關兩造本件之勝敗,而係原告繫屬在台灣新竹地方法 院另案之爭點,該案現尚在審理中,為免影響該案審理心證之形成及避免法 院間意見之歧異,是本院於此不予一一論述,併此說明。 肆、法律部分: 一、聯電公司及聯瑞公司就新竹市○○○路八號晶圓廠作為投保處所及其機器設備向 被告中央產險公司、富邦產險公司及新光產險公司(以下合稱商業財產險共保人 )投保商業財產險,承保之危險包含火災險,保險期間自八十六年一月一日起至 八十七年一月一日止。商業財產險共保人再以與原商業財產險相同之條款向原告 投保再保險。又聯電及聯瑞就同一投保處所及其機器設備另向被告中央產險公司 、富邦產險公司(以下合稱安裝險共保人)投保安裝工程綜合險,承保危險為被 保之機器設備於投保處所內,因安裝工程意外事故直接所致之毀損或滅失,保險 期間自八十五年二月八日至八十六年十二月三十一日止。依安裝工程綜合險基本 條款第四條規定:「安裝險共保人之保險責任自保險標的在保險期間內,經卸置 於施工處所後開始,至定作人接收時或至第一次試車或負荷試驗完畢時終止」, 而安裝工程綜合險有加保00四條款,亦即:「本保險單承保工程或其一部份自 啟用、接管或驗收之日起算十二個月為保固保險期間,並以較先者為準。本公司 在該保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或損失負賠償責任:被保 險人因履行工程合約之保固責任造成之意外事故。肇因於保險期間而在上述保固 期間內發生之意外事故」。 二、聯瑞於八十六年十月二日發現投保處所一樓做為連接廢氣處理系統( FLAWMAT/Waste gas purification system)中之火箱(burn box)與其上之有 毒廢氣排氣管間之二吋聚丙烯內部自動補助管線邊線(internal automatic bypass flange)之一有龜裂及滲漏現象,並有粉末散布於龜裂的管線中,派人 於該區域檢視後,發現共有八處自動補助管線有如上之情形,即請天和公司派人 於八十六年十月三日就前開龜裂及滲漏之排氣管為換管工作。天和公司派工人於 十月三日進行換管工作,於下午三時許發現臨近開口處之十二吋管線內有著火情 形,經工人撲滅後,於下午五點半又發現有多處著火情形,經撲滅無效,火災持 續延燒,致造成重大損失。火災發生後,商業財產險共保人於八十七年七月十三 日給付聯電及聯瑞七十六億八千萬元以賠償其於該次事故中所受損失,原告亦依 再保契約賠償商業財產險共保人共七十一億四千二百四十萬元,以上事實有原告 提出之商業財產險保險單及批單影本各乙份、再保通知單影本乙份、安裝工程綜 合險保險單影本乙份、科學園區管理局函影本乙份、聯瑞、聯電同意書影本乙份 、代位權讓與合意書影本乙份附卷可稽。 三、原告主張:聯瑞公司針對建廠工程所投保之安裝工程綜合險,適用於因施工對晶 圓廠之財產及設備所造成之一切損失。依聯瑞、聯電與安裝險共保人所簽訂之安 裝工程綜合險基本條款第四條之規定,安裝工程綜合險共保人之保險責任自保險 標的在保險期間內,經卸置於施工處所後開始,至定作人接收時或至第一次試車 或負荷試驗完畢時終止。此時相關之機器、設備即進入商業財產險之保險範圍。 然該安裝工程綜合險尚加保00四條款:「本保險單承保工程或其一部份自啟用 、接管或驗收之日起算十二個月為保固保險期間,並以較先者為準。本公司在該 保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程之毀損或滅失負賠償責任:被保險人 因履行工程合約之保固責任造成之意外事故。肇因於保險期間而在上述保固期間 內發生之意外事故。」,因此00四條款之適用,將延長安裝險保險人之保險責 任,而會發生同一保險標的同時為安裝工程綜合險及商業財產險所涵蓋之保險競 合之情形。故天和之換管工作係在進行保固工作,且該保固工作之施工為本件火 災發生之原因,故此事故應為安裝工程綜合險所承保之範圍。 1、先位聲明:原告於八十七年七月十三日依商業財產險保單規定給付商業財產險 保險人七十一億四千二百四十萬元,給付當時不知系爭損失肇因於天和之施作 保固工作,應屬安裝工程綜合險所承保之範圍,直至Lindsay Leveen Report 之報告出爐,始知本件火災所導致之損失構成保險競合,故原告依比例應僅於 二十九億二千五百二十七萬九千四百三十三元之損失範圍內負有給付保險金之 責,因此原告溢付保險金四十二億一千七百一十二萬零五百六十七元,即受有 損害。按民法第一百七十九條規定:「無法律上之原因而受利益,致他人受損 害者,應返還其利益,雖有法律上之原因,而其後已不存在者,亦同。」本件 原告就系爭火災構成保險競合之部分,既僅在二十九億二千五百二十七萬九千 四百三十三元之範圍內負有給付保險金之義務,則原告就本件再保險金之溢付 自得依民法第一百七十九條之規定請求商業財產險共保人分別按承保比例返還 其所受利益。 2、備位聲明:商業財產險共保人既已對聯電及聯瑞給付商業財產保險之賠償金額 ,自得依保險法第五十三條規定代位行使聯電及聯瑞對應就本件事故之發生負 賠償責任之第三人之請求權。而原告已依再保契約賠償商業財產險共保人,原 告於理賠範圍內,基於保險法第五十三條之代位權,得行使聯瑞及聯電對第三 人之損害賠償請求權。聯瑞、聯電就系爭火災所致生之損失,依其與安裝險共 保人中央、富邦間之安裝工程綜合險00四條款,得在中央、富邦依比例應負 擔之保險範圍內,請求安裝險共保人依保險契約給付保險金,原告復取得聯瑞 、聯電對第三者之請求權,故原告代位聯瑞公司得向安裝工程保險人請求少付 的保險金額為四十二億一千七百十二萬零五百六十七元。是原告自得依保險法 第五十三條之規定及民法關於債權讓與之規定,請求安裝險共保人分別依百分 之八十及百分之二十之承保比例向原告給付保險金。 四、被告抗辯:原告之請求無非係認本件有「安裝工程險附加OO四保固保險條款」 之適用,將天和公司於火災當天所為之置換管線工作解釋為保固工作,並基於管 線上四個「針孔般小洞」,建構其管線破裂及火災發生之理論。然原告對於其所 提出之「針孔-粉末-管裂」理論,迄今無法證明。 1、先位聲明部分:天和公司之管線工程係按合約規定施工。其於八十六年十月三 日進行換管工作係依聯瑞公司要求置換管線係新工作,並非在履行工程合約之 保固工作。且保固工作限於材料粗劣或工作不良而進行修補,天和公司換管之 規格與原使用之管線規格不同,聯瑞公司亦認定其要求天和公司更換不同規格 管線為新工作,故本件不適用安裝工程險附加00四保固保險條款。且原告迄 未證明管裂與天和施工有關,及火災發生與天和施工有何「因果關係」。本件 火災事故發生後,原告即主導事故原因之調查,經同意後始給付再保險金給商 業財產險共保人,商業財產險共保人亦根據磋商結果與被保險人聯瑞公司簽署 和解契約給付保險金。因此,商業財產險共保人受領給付具有法律上之原因。 被告已將再保險金如數給付聯瑞公司,商業財產險共保人並無「現存利益」存 在。而原告將其對被告所負之再保責任另投保「再保險」,原告之理賠損失, 已獲得填補,並無「損害」之可言。且原告於給付保險金前已自認為有安裝工 程險附加OO四保固保險條款之適用仍給付再保險金予被告,原告即不得再為 返還不當得利之主張。 2、備位聲明部分:原告備位之訴擴張聲明部分已罹於時效,應駁回其備位之訴。 本件不適用安裝工程險附加OO四保固保險條款。原告所謂「溢付」之金額, 被告無從自聯瑞依法取得「對第三人之損失賠償請求權」,則原告自無法依債 權讓與之結果,受讓取得該「對第三人之損失賠償請求權」。保險法第五十三 條代位權係指被保險人因保險事故之發生,而對於「第三人」有損失賠償請求 權之情形,並非指被保險人對於「其他保險人」有「保險金請求權」之情形。 在所謂「保險競合」之情形,各保險人係各自依分攤額度負理賠責任,彼此係 共同對被保險人負責,原告得行使代位權之範圍不包括聯瑞公司依安裝工程險 得行使之「保險金請求權」。商業財產險保險人給付保險金後,亦不能代位被 保險人向安裝工程險保險人請求保險金。況原告行使保險法第五十三條之代位 權時,已取得再保險金額給付部分應予扣除,經扣除後,原告即無權再行使代 位權。 五、本院心證: (一)先位聲明部分: 1、本件是否有安裝工程險附加00四保固保險條款之適用:(1)經查:聯瑞公司以投保處所之晶圓廠及其機器設備向商業財產險共保人投保 商業財產險,承保之危險包含火災險,保險期間自八十六年一月一日起至八 十七年一月一日止。另向安裝險共保人投保安裝工程綜合險,承保危險為被 保之機器設備於投保處所內,因安裝工程意外事故直接所致之毀損或滅失, 保險期間自八十五年二月八日至八十六年十二月三十一日止。依安裝工程綜 合險基本條款第四條規定:「安裝險共保人之保險責任自保險標的在保險期 間內,經卸置於施工處所後開始,至定作人接收時或至第一次試車或負荷試 驗完畢時終止」,而安裝工程綜合險有加保00四條款,亦即:「本保險單 承保工程或其一部份自啟用、接管或驗收之日起算十二個月為保固保險期間 ,並以較先者為準。本公司在該保固保險期間內,僅對因下列所致承保工程 之毀損或損失負賠償責任:被保險人因履行工程合約之保固責任造成之意外 事故。肇因於保險期間而在上述保固期間內發生之意外事故」。00四保固 條款既規定保險期間自「本保險單承保工程或其一部份自啟用、接管或驗收 之日起算12個月為保固保險期間,並以較先者為準」,自應包括承保工程之 一部份經被保險人接管啟用後未驗收前之期間在內。而聯瑞之投保處所係於 八十六年十月三日發生火災,造成損害。次查:系爭輔助管線所屬之「製程 排氣二次(12K)配管工程」於八十五年十二月十五日起動工,而於八十六 年十月三日火災發生日前,已完成部分配管工程並經聯瑞公司接收啟用之事 實,為兩造所不爭執。是該工程已進入系爭安裝工程綜合險附加00四保固 保險條款所規定之「保險保固期間」,而且尚未逾期,因此,火災發生日係 在商業財產險之保險期間內,亦在安裝工程綜合險之保險期間內,且為00 四保固保險條款所規定之保險期間內。被告辯稱00四保固條款之保險期間 尚未起算云云,尚非可採。 本件安裝工程綜合險基本條款係承保安裝中之工程,直至工程完成試驗、負 荷試驗或經啟用後,即不再承保。惟本件聯瑞公司所投保之安裝工程綜合險 另附加00四「擴大保固保險」特約條款,以增加承保之期間及範圍。安裝 工程綜合險之被保險人乃「聯瑞積體電路股份有限公司及其承包商、分包商 及各次承包商」(參見原證三之「被保險人」欄)。依該條規定,倘被保險 人於十二個月保險保固期間內,因履行工程合約之保固責任而肇致保險事故 之發生,或因保險期間內之施工不良導致於保固保險期間發生保險事故,就 此所生毀損滅失,安裝工程綜合險保險人仍負給付保險金之責。本件天和公 司承包聯瑞公司之製程排氣二次配(12K)配管工程,並負責提供所有排氣 管線,有原證十六天和公司與聯瑞公司所簽署之「製程排氣二次配(12K ) 配管工程契約書」可稽,是天和公司即為安裝工程險之被保險人。 (2)天和公司之換管工作是否為保固工作: a、按民法四百九十三條第一項規定:「工作有瑕疵者,定作人得定相當期限 ,請求承攬人修補之」,本件工程契約書第十四條第二項規定:「... 在保固期限內甲方如發現乙方所使用材料粗劣而發生損壞、滲漏龜裂工作 不良其他因素,甲方得立即通知乙方,乙方應立即重新修改或補妥,其所 需一切材料人工費用及因此發生導致甲方之損害,概由乙方負擔賠償」。 惟定作人與承攬人之法律關係,乃取決於當事人間之合意。本件聯瑞公司 委請天和公司為換管工作之行為究竟係委請天和公司履行修補瑕疵之保固 責任或係另一新工作,自應取決於聯瑞公司委請天和公司為換管工作時雙 方之意思表示為何而定。 b、經查:依天和公司與聯瑞公司「製程排氣二次側(12K)配管工程」勞務 合約書及材料合約書第十四條第二項規定:「在工程自驗收合格之日起乙 方應出具保固切結書,保固管線工程二年、設備部分一年。在保固期限內 甲方如發現乙方所使用材料粗劣而發生損壞滲漏龜裂或工作不良其他因素 ,甲方得立即通知乙方,乙方應立即重新修改或補妥,其所需一切材料人 工費用及因此發生導致甲方之損害,概由乙方負擔賠償」。本件聯瑞公司 於八十六年十月二日發現管線有滲漏現象,委請天和公司為換管工作時, 並非以天和公司初次安裝之管線有何「材料粗劣」不合規定或「施工不良 」之瑕疵致管裂為由,要求天和重新修改或補妥之保固工作,而是決定以 較厚之管材予以替換由天和施工,自屬新工作,而與保固工作無關。雖原 告主張:解釋系爭保險條款之適用及決定保險人之責任,應以所發生之保 險事故是否為保單原所欲承保之風險範圍判斷之,而不應以工程合約當事 人主觀之認知為準云云,顯無依據,故不足採。 c、次查:天和公司初次安裝之管線「材質」、「規格」均係依合約之規定, 並無錯誤,不足以認定系爭管線之破裂與其安裝二‧五英吋管徑之管線有 何關聯。天和公司在初次安裝管線過程中,於管線接合處雖留下「針孔般 小洞」,不符合合約所規定「不得漏氣」之要求。然天和安裝之管線係屬 「一般排氣工程管路」,非屬「真空工程管路」,縱有「針孔般小洞」存 在,使空氣得由針孔進入,然空氣流入的量多寡?是否足以將會使六氟化 鎢、矽甲烷、氫氣等氣體在輔助管線中與之發生反應而產生高度危險。系 爭自動分流管內之空氣非僅來自於管線上之「針孔」,而空氣與六氟化鎢 等廢氣反應後產生黃色粉末之沉積均可見之。雖系爭管線中所存在之黃色 粉末為數頗多,然黃色粉末之存在僅能證明管線中有空氣與廢氣進行反應 ,而空氣之來源既不僅管線所存在之針孔而已,尚有其他來源,原告不能 證明自針孔進入之空氣量多寡,與廢氣產生反應後之溫度究竟有多高。則 原告主張系爭管線因「針孔-粉末-受熱-產生熱裂化-導致管裂」,其 所舉之證據顯然不足。至於除了熱應力以外,管線之內應力及懸吊應力之 總和是否大於破裂應力而造成管線破裂,系爭自動分流管中所存在的氟, 是否會因「氟加上內應力」而造成管裂,均係屬管線材質選用之問題,天 和公司初次安裝之管線材質既係依合約之規定,則如因管線材質選用之問 題如引起內應力及懸吊應力之總和大於破裂應力而造成管線破裂,亦非可 歸責於天和公司。已於上述技術部分闡述甚詳,不再贅述。故聯瑞公司於 八十六年十月二日所發現之管裂滲漏並非天和公司初次安裝管線有何材料 上或施工上之瑕庛,則天和公於八十六年十月三日所為之換管工作自非保 固工作。是原告主張:系爭輔助管線所以需要置換,係因天和安裝管線之 初施工不當肇致管線破裂所致,該管線之更換既係為修改補妥因天和公司 之前施工不當所生之瑕疵,當然係屬原工程契約下之保固工作云云,即不 足採。況原告於辯論意旨狀亦承認:聯瑞當時並不知管裂原因為何,對於 管裂之真正原因乃天和公司施工不當乙事根本毫無所悉等語,聯瑞公司委 請天和公司換管當時既不知管裂原因為何及天和公司有無施工不當,又如 何能認定其委請天和公司換管係請天和公司為保固工作。益見原告此部分 主張委無足採。 d、次查:聯瑞公司空調部課長謝錦泉於八十九年八月十六日之聲明書中稱: 「本人於八十六年十月三日在聯瑞公司擔任空調部門課長,負責廠區配管 工程之監督,在配管工程進行中,聯瑞公司所有配管工程之指示均由我下 達予天和公司,本人於八十六年十月二日指示天和公司更換龜裂管線,當 時指示天和公司將龜裂管線由原合約指定之PN 2.5級規格,變更為PN 10 級規格,該工作是因業主聯瑞公司方面決定改變管線規格而進行,此種情 形依往例均會辦理工程款追加,由業主就更換管線之工作給付工程款,因 此天和八十六年十月三日更換管線工作是一新的管線安裝工作,而非原合 約之保固責任。」等語,此有被告九十年十一月二十七日答辯(五)狀之 附證九附卷可稽,且該文件經聯電公司陳哲宏律師查證其形式上與實質上 之真正,陳哲宏律師九十二年十一月十八日函覆被告稱:「經向謝錦泉工 程師詢問,答稱該文件係經其本人確認內容真實無誤後親自簽名」(參見 被告附件十一之電子郵件),是謝錦泉所為聲明內容堪信為真正。而聯瑞 公司之「八十六年十月二日鎢氣沈積器之蝕刻機測排氣管修復事件報告」 內亦記載:「八十六年十月二日上午十一時三十分許,鄭水松與製程部門 工程師檢視龜裂之側排氣管,我們原本打算將該側排氣管改由覆以鐵氟龍 之SUS不鏽鋼管取代之。但製程部門工程師無法馬上找到適當的鋼管,經 過討論之後,我們決定在八十六年十月三日早上仍以PPH管線更換該側排 氣管,但管壁厚度乃是5釐米而非1.8釐米」等語(參見被告九十年十一月 二十七日答辯(五)狀附證十)。另天和公司負責人劉天和九十年十一月 廿三日證明書稱:「火災事故發生前一日,聯瑞公司發現天和公司依據前 述八十六年『排氣二次 (12K)配管工程』契約施作完成並經聯瑞公司接收 啟用之一組WCVD(二次)側排氣風管部分管線發生龜裂現象,遂指示天和 公司將整組 (共計八條)(二次)側排氣風管加以更換。而依工程契約之 規定,該組(二次)側排氣風管之規格為壁厚1.8釐米,PN2.5級 (耐壓 2.5公斤)之聚丙烯管線。惟聯瑞公司要求天和公司將整組八條(二次)側 排氣風管更換為壁厚5.8釐米,PN10級 (耐壓10公斤)之聚丙烯管線。火災 事故發生時,天和公司正依聯瑞公司指示,進行上述WCVD(二次)側排氣 風管更換工程」等語,綜觀上述證據,足證聯瑞公司委請天和公司換管, 及決定使用與原管線規格不同之PN10級,壁厚5.3釐米之管線,係新工作 ,而非保固工作。 e、又聯瑞公司空調部課長謝錦泉在火災事故發生後,接受調查時,於同年十 二月十六日簽署英文聲明書,略稱:「Tien Ho Construction Company did install the original by-pass exhaust pipes correctly, using mat erials as specified in the contract and if Tien Ho Con struction Company invoice UICC for the cost of replaci ng the pipes, UICC will pay this cost. I am the perso n in UICC who has the authority to make adecision on this matter.(天和公司正確地 安裝原始之自動分流管,使用契約所規定之材質。如果天和公司提出發票 ,要求聯瑞給付換管之費用,聯瑞會給付費用,我是聯瑞公司內有權就此 事作決定之人)」(參見被告附件四謝錦泉八十六年十二月十六日聲明書 ),該聲明書係火災發生後二個月左右接受保險公證人調查時所作成之聲 明書,謝錦泉與商業財產險或安裝工程險之保險人均無利害關係,無迴護 任何一方之必要,且該聲明書經聯電公司陳哲宏律師查證其形式上與實質 上之真正,陳哲宏律師九十二年十一月十八日函覆被告稱:「經向謝錦泉 工程師詢問,答稱該文件係經其本人確認內容真實無誤後親自簽名」(參 見被告附件十一之電子郵件),是謝錦泉所為聲明之內容實無偏頗之虞, 堪信為真正。自前開謝錦泉之聲明書內容可知,聯瑞公司與天和公司就此 換管工程,均有意辦理工程款之追加,故天和公司之換管行為屬於原管線 安裝合約外之新工程,而非原合約下之保固工程。雖聯瑞公司嗣後於八十 七年四月十六日與天和公司結算並付清未結工程款,而未追加此部分款項 ,就此被告辯稱:「至於天和公司事後實際上未向向聯瑞公司給付換管工 程款項(約新台幣十二萬元),乃考量聯瑞公司因大火已遭受百餘億元之 慘重損失,基於人情之常及雙方長期合作關係,實無為區區十二萬元(天 和公司承包聯瑞公司同一廠區之二件配管工程總金額六千萬元),再向聯 瑞公司請款之理」等語,與社會常情無違,似不無可採。 f、況聯瑞公司委請天和公司換管若果真係請其履行保固工作,則聯瑞公司就 其火災所受之損失,本可要求安裝工程險及商業財產險共保人按比例負賠 償責任,而可獲得更高之理賠金額,何以聯瑞公司事後未為要求,益見聯 瑞公司委請天和公司換管係請其為新工作,而非履行保固責任之工作。 g、原告又主張天和公司之換管行為縱無00四保固條款第一款之適用,亦有 第二款規定之適用云云。經查:00四保固條款第二款規定:「肇因於保 險期間而在上述保固保險期間內發生之意外事故」,係指意外事故之「原 因」肇始於保險期間,而在保固保險期間內發生,並非指所有在保固保險 期間內發生之意外事故,均有保固保險條款之適用。本件火災並非肇因於 保險期間而在保固保險期間內發生,自亦無00四保固條款第二款之適用 。原告此部分主張亦無理由。 (3)綜上所述,天和公司於八十六年十月三日進行換管工作,並非在履行工程合 約之保固責任,而係新工作,無安裝工程險附加00四保固保險條款之適用 。 2、原告是否得依不當得利之規定,請求商業財產險共保人返還其「溢付」之金額 : (1)按「無法律上之原因而受利益,致他人受損害者,應返還其利益。雖有法律 上之原因,而其後已不存在者,亦同」,民法第一百七十九條定有明文。 (2)經查:聯瑞公司就投保處所及其機器設備向商業財產險共保人投保商業財產 險,商業財產險共保人再以與原商業財產險相同之條款向原告投保再保險。 本件再保金額比例為總保險金額之九十三%,為兩造所不爭執。因此,商業 財產險共保人於系爭火災發生後,究應給付多少保險金予被保險人,攸關再 保人原告之利益。被告主張:本件火災事故發生後,再保人原告即主導事故 原因之調查,並與被保險人磋商商業財產險契約應給付之保險金額。經原告 調查火災原因,並與聯瑞公司於八十七年五月十四日在協調會中達成共識, 確認商業財產險之保險理賠金額為七十六億八千萬元,原告始依再保之九十 三%比例給付再保險金七十一億四千二百四十萬元予商業財產險共保人,商 業財產險共保人即被告亦給付七十六億八千萬元與聯瑞等事實,為原告所不 否認,復有被告提出之附件五即協調會議記錄、原告所提出之原證六即代位 權讓與合意書等件附卷可稽。是被告主張商業財產險共保人受領原告給付之 再保險金,非無法律上之原因,應屬可採。 (3)次查:原告主張其「溢付」再保險金四十二億一千七百一十二萬零五百六十 七元,係因為原告認其於八十七年七月十三日依商業財產險保單規定給付商 業財產險保險人七十一億四千二百四十萬元,給付當時不知系爭損失肇因於 天和之施作保固工作,應屬安裝工程綜合險所承保之範圍,直至Lindsay Leveen Report之報告出爐,始知本件火災所導致之損失構成保險競合,故 原告依比例應僅於二十九億二千五百二十七萬九千四百三十三元之損失範圍 內負有給付保險金之責,而溢付保險金四十二億一千七百一十二萬零五百六 十七元。惟天和公司之換管工作係屬新工作而非保固工作,無安裝工程險附 加00四保固保險條款之適用,已如前述。則商業財產險與安裝工程綜合險 並不構成原告所稱之保險競合,原告依商業財產險再保比例給付七十一億四 千二百四十萬元之再保險金予商業財產險共保人即被告,即無溢付之情事。 是原告主張其因溢付保險金四十二億一千七百一十二萬零五百六十七元而受 有損害,殊非可採。 (4)綜上所述,被告受領原告給付之再保險金,非無法律上之原因,而原給付七 十一億四千二百四十萬元之再保險金予被告,並無溢付,即未受有損害。原 告之請求與不當得利之規定不符。 3、從而,原告主張依不當得利之規定,請求被告中央產險公司、富邦產險公司、 新光產險公司分別返還三十一億五千五百六十七萬一千三百二十元、八億一千 七百二十七萬七千九百六十六元、二億四千四百十七萬一千二百八十一元即為 無理由。 二、備位聲明部分: 1、被告明擴張金額部分是否已罹於時效: (1)按「由保險契約所生之權利,自得為請求之日起,經過二年不行使而消滅」 ,保險法第六十五條定有明文。 (2)經查:本件被告主張:所謂一部請求係指在數量上為可分之金錢或其他代替 物為給付目的之特定債權,債權人任意將其分割而就其中之一部分為請求, 但就其餘部分不放棄其權利者而言。就實體法而言,金錢請求之債權人本得 自由行使一部債權,在訴訟上,則為可分之訴訟標的,其既判力之客觀範圍 ,以訴之聲明為限度,自應認僅就已起訴部分有中斷時效之效果。本件原告 之請求非金錢請求或損害賠償之請求,而係不當得利之請求權及保險法上之 代位權,其起訴時僅聲明請求五億元,至三十七億一千七百十二萬零五百六 十七元之擴張聲明部分係九十二年十一月二十四日始主張,該擴張聲明部分 早已罹於二年之時效而為無理由云云。 (3)惟查:本件保險金額高數十億元,所涉及保險事故之損害原因、損害範圍、 保險及再保險之比例、應負擔之賠償金額等之認定,計算複雜,須經長時間 之蒐證及計算,始能確定。此由被告辯論意旨狀所載:「不論先位或備位聲 明,原告就安裝工程險之理賠金額計算迄未完足舉證,且所估算金額亦不正 確:被告所委託國際知名之保險公證人GAB ROBINS於九十二年十一月十七日 查核原告提示之資料後,認為部分仍有疑義,原告仍應補提若干資料:原告 所列機器與設備毀損之價值部分三億八千六百八十五萬四千四百十三元部分 及機器修理費用五千三百十萬二千零三十九元部分,證據不明,應予核減, 其餘金額也有疑義,...」等語即明。故本件原告關於其應受判決事項之 聲明,於起訴時僅請求一部金額,而表明保留嗣後再為擴張之權利,嗣於第 一審言詞辯論終結前擴張其請求之金額,其擴張聲明部分,如逕認已罹於時 效,顯屬過苛。本院考慮上述因素,爰認原告備位聲明之擴張尚非屬另行起 訴,僅係起訴後請求數額之增加,而無消滅時效之適用。 2、原告是否得依保險法及民法關於債權讓與之規定取得代位權,請求安裝險共保 人分別給付保險金: (1)按保險法第五十三條代位權係指被保險人因保險事故之發生,而對於「第三 人」有損失賠償請求權者,係指就保險事故之發生,應負賠償責任之人而言 ,例如對於侵權行為人請求損害賠償,並非指被保險人得對於同一保險標的 之「其他保險人」有「保險金請求權」。原告上述見解顯係對保險法第五十 三條之規定有所誤解。況原告所稱其溢付之再保險金,與工程安裝險保險人 並無關涉。縱商業財產險與安裝工程險如原告所稱係構成保險競合,依原告 所陳保險理賠金額之分攤比例,商業財產險之理賠額係二十九億餘元,安裝 工程險之理賠金額係五十一億餘元,商業財產險保險人給付保險金後,亦不 得依保險法第五十三條之規定代位被保險人向安裝工程險保險人請求給付五 十一億餘元之保險金。 (2)本件無安裝工程險附加00四保固保險條款之適用:天和公司於八十六年十 月三日進行換管工作,並非在履行工程合約之保固責任,而係新工作,無安 裝工程險附加00四保固保險條款之適用,已如前述。則聯瑞公司就系爭火 災所致生之損失,無法依其與安裝險共保人間之安裝工程綜合險00四條款 ,在安裝險共保人依比例應負擔之保險範圍內,請求安裝險共保人依保險契 約給付保險金,原告自亦無法取得聯瑞公司對安裝險共保人之請求權。故原 告主張其得依保險法第五十三條之規定及民法關於債權讓與之規定,請求安 裝險共保人分別依百分之八十及百分之二十之承保比例向原告給付保險金, 顯無理由。 (3)從而,原告主張依保險法及民法關於債權讓與之規定,請求安裝險共保人即 被告中央產險公司給付三十三億七千三百六十九萬六千四百五十四元,被告 富邦產險公司給付八億四千三百四十二萬四千一百十三元為無理由。 伍、綜上所述,本件系爭管線之管裂原因非天和公司初次安裝有何瑕庛所致。雖火災 原因與天和公司人員之換管施工,使大量空氣流入次主管,及使沈積在次主管內 之廢氣粉末受到機械式擾動,不無關連。惟天和公司所為之換管工作既非履行保 固責任而係新工作,其施工行為縱有可歸責之事由,亦係天和公司是否成立侵權 行為之另一法律問題,而係原告在台灣新竹地方法院起訴之另案,與本案無涉, 併此說明。 陸、本件事證已臻明確,兩造其他攻擊防禦方法及提出之證據,經斟酌後核予判決結 果不生影響,爰不再一一論述,併此敘明。 丙、結論:本件原告先位聲明及備位聲明之訴均無理由,應予駁回。原告之訴既經駁 回,其假執行之聲請亦失所附麗,應併予駁回。 丁、據上論結:本件原告之訴為無理由,依民事訴訟法第七十八條,判決如主文。 中 華 民 國 九十三 年 二 月 二十 日 民事第二庭法 官 丁蓓蓓 右為正本係照原本作成。 如對本判決上訴,須於判決送達後廿日內向本院提出上訴狀 中 華 民 國 九十三 年 二 月 二十 日 書記官 陳素卿

用完 AI 分析後回來繼續 — 法律人 LawPlayer 有判決書全文與相關法規連結,AI 摘要無法取代原文閱讀
一鍵將「臺灣臺北地方法院八十九年度重訴…」送入 AI 平台,深度解析法條邏輯、構成要件與實務應用


