102年度保險上更㈡字第4號（損害賠償） - 臺灣高等法院｜2026 司法院判決書查詢系統

臺灣高等法院民事判決　　　　　　102年度保險上更㈡字第4號上　訴　人　AIG Insurance Hong Kong Ltd.(美亞保險香港有限公司;原Chartis Insurance Hong Kong Ltd.) 法定代理人　Tomi Latva-Kiskola 訴訟代理人　張朝棟律師複　代理人　羅淑文律師訴訟代理人　李家慶律師黃欣欣律師陳怡雯律師參　加　人　南山產物保險股份有限公司（原美亞產物保險股份有限公司、友邦產物保險股份有限公司、中央產物保險股份有限公司）法定代理人　蔡漢凌被　上訴人　美商Applied Materials Asia Pacific, LLC.（美商應用材料有限公司）法定代理人　Nancy Ludgus 訴訟代理人　潘正芬律師複　代理人　李杰峰律師訴訟代理人　陳修君律師被　上訴人　天和工程企業有限公司法定代理人　劉天和訴訟代理人　黃建隆律師黃貞季律師上列當事人間請求損害賠償事件，上訴人對於中華民國96年12月31日臺灣新竹地方法院89年度重訴字第34號第一審判決提起上訴，並為訴之追加，經最高法院第2次發回更審，本院於108年7月16日言詞辯論終結，判決如下：主文上訴駁回。被上訴人美商Applied Materials Asia Pacific,LLC.應給付上訴人新臺幣捌仟貳佰柒拾伍萬捌仟元，及自民國九十七年九月三日起至清償日止，按年息百分之五計算之利息。其餘追加之訴駁回。第二審及發回前第三審訴訟費用，關於上訴駁回部分，由上訴人負擔，關於追加之訴部分，由被上訴人美商Applied Materials Asia Pacific,LLC負擔百分之八.三，其餘由上訴人負擔。本判決所命給付，於上訴人以新臺幣貳仟柒佰伍拾捌萬陸仟元為被上訴人美商Applied Materials Asia Pacific,LLC供擔保後，得假執行，但被上訴人美商Applied Materials Asia Pacific,LLC如以新臺幣捌仟貳佰柒拾伍萬捌仟元或等值之有價證券預供擔保後，免為假執行。其餘假執行之聲請駁回。事實及理由壹、程序方面：一、按公司之經理人或清算人，股份有限公司之發起人、監察人、檢查人、重整人或重整監督人，在執行職務範圍內，亦為公司負責人；（無限）公司之清算，以全體股東為清算人。但本法或章程另有規定或經股東決議，另選清算人者，不在此限；（有限）公司變更章程、合併、解散及清算，準用無限公司有關之規定；公司法第8條第2項、第79條、第113條定有明文。被上訴人天和工程企業有限公司（下稱天和公司）經臺北市政府以民國93年12月8日府建商字第09324800600號函准解散登記，由全體股東選任劉天和為清算人，有查詢表、臺北市政府公函、天和公司股東名簿、同意書、就任同意書等可憑（見本院97年度保險上字第4號卷《下稱上字卷》一第324之4頁、卷二第6至11頁），依上規定，劉天和為天和公司之法定代理人。另上訴人請求天和公司損害賠償係在公司清算範圍內，依公司法第25條規定「解散之公司，於清算範圍內，視為尚未解散」，故天和公司有當事人能力。又被上訴人美商Applied Materials Asia Pacific,Ltd.，更名為美商Applied Materials Asia Pacific,LLC.（下稱應材公司），有經公證之公司登記文件可參（見本院卷一第12至14頁），其具狀聲明承受訴訟（本院卷一第11頁）應予准許；另上訴人法定代理人變更為Tomi Latva-Kiskola，其具狀聲明承受訴訟（本院卷九第125頁），亦應准許。二、就兩造之訴訟有法律上利害關係之第三人，為輔助一造起見，於該訴訟繫屬中，得為參加，民事訴訟法第58條第1項定有明文。參加人南山產物保險股份有限公司主張訴外人中央產物保險股份有限公司、富邦產物保險股份有限公司、新光產物保險股份有限公司（下稱共保人）對訴外人聯瑞積體電路股份有限公司（下稱聯瑞公司）之晶圓廠火災所受損失之賠付，係基於承保之商業財產險，賠付對象為該財產險承保之保險標的之毀損滅失。倘非已承保該等保險標的物，參加人即無給付鉅額保險理賠之必要，若非共保人已將應保險理賠如數給付被保險人，被保險人亦無不向共保人追償之理。是再保人若非已依再保契約給付共保人再保險理賠，參加人亦無不訴請再保人給付再保保險理賠，又將權利讓與再保人之可能，故為參加訴訟云云（見上字卷七第123至126頁）。查參加人係共保人之一，共保人以與原商業財產險相同之條款向上訴人辦理再保，上訴人基於再保人身分及後述法律關係向被上訴人請求損害賠償，則參加人就兩造之訴訟有法律上利害關係，為輔助上訴人起見，於本件參加訴訟，合於規定。三、上訴人主張行使保險人與被上訴人間因侵權行為及債務不履行發生債之關係，依其性質屬私法案件，兩造有部分屬外國法人，具涉外因素，為涉外私法案件，故本件應依99年5月26日修正涉外民事法律適用法第63條、第62條規定，依86年10月間本保險事件發生時修正前涉外民事法律適用法第6條定其準據法，以契約履行地法之我國法為據。四、於第二審為訴之變更、追加或提起反訴，非經他造同意，不得為之。但請求之基礎事實同一及擴張或減縮應受判決事項之聲明，不在此限，民事訴訟法第255條第1項第2、3款、第446條第1項定有明文。上訴人於原審依侵權行為法律關係請求被上訴人連帶給付新台幣（除標明幣別外，下同）10億元，上訴後於97年9月2日具狀追加依債務不履行不真正連帶債務之法律關係為請求依據（見上字卷三第256至259頁），並追加備位聲明，核其請求基礎事實同一，應予准許。貳、實體方面：一、上訴人主張：訴外人聯華電子股份有限公司（下稱聯華公司）與聯瑞公司（下合稱聯華等2公司）就聯瑞公司位於新竹市○○○路0號之晶圓生產廠房（下稱系爭晶圓廠）及其機器設備，向共保人投保商業財產險，保險期間自86年1月1日起至87年1月1日止，共保人以相同條款向伊辦理臨時再保。系爭晶圓廠於86年10月3日下午3時許起陸續發生火災（下稱系爭火災），致投保之財物嚴重毀損，共保人於87年7月13 日給付聯華等2公司76億8,000萬元，伊依再保契約賠償共保人71億4,240萬元，共保人簽署代位權讓與合約書，由伊於賠償範圍內代位共保人行使對第三人之損害賠償請求權，並得以共保人名義，請求自負額。系爭火災之發生及擴散係因廠房設計者、機器設備製造商及供應商之日商株式會社日建設計（下稱日建公司）、東京電力公司、中興工程顧問股份有限公司、德商麥士特有限公司（M＋W Zander Facility Engineering Gmbh）、奧地利商亞洛伊斯有限公司（AGRU Alois Gruber Gmbh）、協羽機材工業股份有限公司、德商聖卓特公司（Centrotherm Elektronische Anlagen Gmbh＋Co.）及被上訴人等所提供之設計、機器設備與施工，未注意晶圓廠之安全性要求所致，渠等應負連帶損害賠償責任，經伊屢次催告其等賠償，均未獲置理，爰依保險法第53條、民法債權讓與、共保人授權及民法第184條、第185條、第188 條規定之法律關係，求為命渠等連帶給付10億元，及自88年10月2日起至清償日止之法定遲延利息（日建公司、東京電力公司另外求償，已達成和解或經仲裁判斷）。原審為上訴人敗訴之判決，上訴人不服，提起上訴，上訴後主張併依民法第227條債務不履行之法律關係為請求依據，並為訴之追加，經最高法院第2次發回更審；上訴聲明：㈠原判決廢棄。㈡被上訴人應連帶給付上訴人10億元，及自88年10月2日起至清償日止，按年息5%計算之利息。㈢願供擔保，請准宣告假執行。追加備位聲明：㈠原判決廢棄。㈡應材公司或天和公司應給付上訴人10億元，及自88年10月2日起至清償日止，按年息5%計算之利息。㈢前項聲明，其中任一被上訴人為給付者，於其給付範圍內，另一被上訴人免給付義務。㈣願供擔保，請准宣告假執行（上訴人就中興工程顧問股份有限公司、德商麥士特有限公司、奧地利商亞洛伊斯有限公司、協羽機材工業股份有限公司，於103年12月1日撤回起訴，就德商聖卓特公司亦因和解於107年1月18日撤回起訴）。二、被上訴人方面：㈠應材公司以： ⑴上訴人與財團法人安全衛生技術中心（下稱安衛中心）對起火原因之判斷，不依證據且悖於事實，有明顯重大瑕疵，蓋其主張WCVD鎢氣沈積器排放之廢氣中含有矽甲烷為唯一起火源，此與上訴人於另案臺灣臺北地方法院89年度重訴字第633號（下稱另案）返還不當得利事件主張因為WSIX機台排放大量二氯矽甲烷未經洗滌為火災起火原因矛盾，且本件於本院97年度保險上字第4號（下稱前審）判決亦認火災當日WCVD鎢氣沈積器排放之廢氣係排入手動分流輔助管線內，該管並未與12吋或18吋管道相連結，是WCVD鎢氣沈積器之廢氣既未排入12吋或18吋管道，即與系爭火災之發生無關。而WSIX機台於第一次火災發生前至火災後之下午4時止，均持續排放廢氣至12吋與18吋管道內，WSIX機台之二氯矽甲烷遇熱會分解形成矽甲烷混合物可能引發矽甲烷警報，有可能氣體偵測器的紀錄回報了偵測到矽的存在，但事實上偵測器的反應可能是針對二氯矽甲烷、廢氣排放管中的其他化學物質，WSIX機台連續運作的結果，或是基於大火分解出的化學物質都有可能。內政部消防署的火災調查報告亦指出火災當日四部WCVD機台專用洗滌器是關閉，改用手動輔助分流繞道排放廢氣，未找到的第五台洗滌器也是關閉的，在工人更換自動分流輔助管線時，可能意外的讓WSIX機台排出的廢氣進入12吋管，天和公司施工人員對第4條2吋自動分流輔助管熱焊處理時始會發現12吋管道內部著火，故安衛中心之鑑定報告內容失真不可採。 ⑵且安衛中心之鑑定報告自承不確定現場是否有其他SiH4來源，可見其對晶圓廠之製程、機器設備及事故現場狀況了解不完整，又未依公認NFPA921火災調查準則第2條之3第6項「所有其他合理的起源或導因皆應被排除」、第12條之5「只有具明確證據表明其不可能引發火災下，潛在因素始應被排除」之規則而進行起火點及原因之調查，僅部分回答法院提出之問題，明顯未考量WSIX機台排放至12吋及18吋管的廢氣就位在WCVD機台的上游。另其支持上訴人主張之「矽甲烷的自我包覆理論」認定WCVD機台排放的廢氣中所含矽甲烷為唯一火源，但又稱「無法精確取得火災前反應物總使用量、機台反應轉換率、水解反應比率、累積物清除量…無法推估本案之殘留物數量」及「無法判斷鎢氣沈積器及洗滌器正常運作下，在生產多少片晶圓始會累積致火災發生前之廢氣沈積物」等，顯見其在無法確認矽甲烷的濃度及數量之情況下，驟下結論，益證其鑑定結果不可採。 ⑶內政部消防署之火災調查報告已認定系爭火災之起火原因係天和公司二次施工更換酸毒廢氣管時，不當關閉全部洗滌器及其相連之反應器，造成各種有毒、易自燃氣體，未能完全燃燒致反應後之各種有毒、易自燃氣體，直接流至酸毒廢氣管內，於一樓施工附近開口處與空氣反應造成起火燃燒，新竹地檢署87年2月13日回函亦說明起火處在一樓廢氣處理區之酸毒管運轉異常發生燃燒，係廢氣處理過程中，發生異常，產生酸毒廢氣管內殘留多種自燃或可燃性廢氣與空氣反應造成起火而引燃災情，然上訴人卻曲解調查報告內容，而稱真正引燃火災係12吋或18吋管線內長期累積的「固體沈積物」受到擾動，釋放出矽甲烷並使其達到燃燒濃度所致，當時伊之WCVD鎢氣沈積器排放之廢氣係排入手動分流輔助管線內，並未與12吋或18吋管道相連結，是WCVD鎢氣沈積器與火災之發生無關，故上訴人之主張顯不可採。 ⑷系爭火災事故不在原保險契約範圍，上訴人所為保險給付不符再保險契約，無依再保險契約請求賠償之權利，伊並無不完全給付之違約責任，縱上訴人代替共保人給付聯瑞公司保險理賠金，亦屬對不負理賠責任所為之給付，故上訴人無保險代位權、共保人亦無法將代位權移轉上訴人，且伊得援引受僱人對上訴人主張侵權行為賠償請求權之時效消滅為抗辯，拒絕給付，另上訴人與日建公司等達成和解或經仲裁判斷，和解金或仲裁判斷金額外已拋棄或無依據，自不得再向伊請求，而聯瑞公司向伊購買鎢氣沈積器之訂購單有限制最高賠償額之約定，伊不負超過購買價金之賠償責任等，資為抗辯。應材公司之答辯聲明：⒈上訴及追加之訴均駁回。⒉如受不利判決，願以現金或等值之有價證券供擔保後免為假執行。㈡天和公司以：系爭火災非因伊之員工有何過失行為所造成，伊無侵權行為賠償責任；上訴人於86年12月19日已知系爭火災及賠償義務人，至89年3月13日始起訴請求，已罹於侵權行為賠償請求權2年時效消滅，伊得援引伊之受僱人主張時效消滅之抗辯。縱認上訴人得依保險法第53條或債權讓與規定提起本件訴訟，但就另行投保再保險，且受領再保險金部分，不得代位共保人向第三人為請求；上訴人與日建公司以76億8,000萬元為仲裁標的金額，終以美金1,800萬元和解，對其他請求之債權捨棄讓步，自不可再對伊請求；縱認其僅以美金1,800萬元與日建公司和解，於本件主張債權額62億4,960萬元，然其向再保人取得約70億元再保險金，無由代位共保人向第三人行使保險代位權，且上訴人迄未證明伊有違反契約義務，故伊不負不完全給付責任等語，資為抗辯。天和公司之答辯聲明：⒈上訴及追加之訴均駁回。⒉如受不利判決，願以現金或等值之有價證券供擔保後免為假執行。三、查系爭晶圓廠於86年10月3日下午3時許陸續發生系爭火災，造成系爭晶圓廠內機器設備毀損，上訴人因系爭火災賠付保險金後，依序由日建公司、東京電力公司、德商聖卓特公司受領和解金5億6,001萬6,000元（即美金1,800萬元）、26億8,800萬元、1,624萬8,339元（即歐元46萬4,370.94元）等情，有內政部警政署火災調查報告、和解協議書、匯款通知及匯率資料、仲裁判斷書為憑（見原審卷二第240至243頁、卷四證物袋、上字卷十二第7至8、14至20頁、本院卷五第36至40、41至64頁、卷八第63至72頁），且為兩造所不爭（見本院卷九第108頁），可信為真。四、上訴人主張聯瑞公司向應材公司購買WCVD鎢氣沉積器之訂購單要求必須符合SEMI S2-93及製造國法令規定，但應材公司出售之鎢氣沈積器未裝設與洗滌器間之硬體安全連鎖裝置，不符SEMI S2-93第50.5條、第58條規定，又未盡告知及警示義務，未提供最佳洗滌操作方式，反於操作手冊中表示若洗滌器顯示「無反應動作」時使用者可以「不採取行動」，致使用者誤認可忽略洗滌器之異常訊號，違反SEMI S2-93A第20.4.1條規定；而天和公司未指派富有工程學識及經驗人員施作廢氣排氣管之更換，且明知管線供排放有毒及易燃氣體，未注意避免可能風險即進行施工，致廢氣排氣管內易自燃沈積物因其以鋸、鑿、敲打方式更換管線被擾動，釋放出易自燃氣體與空氣接觸引燃系爭火災，造成系爭晶圓廠所投保之財物嚴重毀損，其等應負連帶賠償責任，共保人於87年7 月13日給付聯華等2公司共76億8,000萬元，伊為再保人已全部賠付，得依再保契約向被上訴人求償等，為被上訴人所否認，並以前詞置辯。經查：㈠系爭火災是否為上訴人之再保險承保範圍： ⑴本件保險由聯華公司為其子公司聯瑞公司投保，由中央產險、富邦產險及新光產險共同承保，並由承保比例最高之中央產險出具編號0000-000A00001的保單予被保險人，於保單附表中載明各共保公司之承保比例，有商業保險單可稽（見原審卷一第14至25頁、證物卷一第47至49頁；新光產險及富邦產險之保單上所載號碼130086FXP000000-0及0000-000A000001為內部行政管理編號，並未另出保單），並有中央產險火險理賠部副理陳峻進所出具聲明書批單及瑞士再保公司Peter Newell出具聲明書可證（見原審卷九第333至335、336至 340頁），且陳峻進證稱「…中央產險及其他兩家共保人承保聯電集團及其所有子公司之財產，保單確實係由中央產險製作後再由共保人聯名出具，各家保險公司不再另出保單…」（見上字卷七第6至7頁），此與參加人之參加書狀第2頁第㈠點所載：「聯瑞公司晶圓廠之財產險確為參加人等共保人承保，因其中參加人承保之比例最高，故由參加人擔任主保險人，保單中並且約定關於系爭保單之所有事宜，包括理賠與否或相關通知之收受等均由參加人決定或以參加人為對象」相符（見上字卷七第124頁）。又共保人於86年9月19日簽署0000-00UAE0008號批單，增列聯瑞公司為被保險人，依驗收日期自86年7月30日起依原承保條件加保本件聯瑞公司晶圓廠之建築物、設施及機具設備（原審卷一第14至24頁、證物卷一第103頁）。又陳峻進亦證稱「…批單係保單『生效後」』變更或修正保單基本條款或特約條款內容而另行書寫於保單空白指定處或加貼於保單之文件，除補充保險契約之內容外，亦用於變更保險契約之內容，如遇被保險人住所變更、保險金額變動或被保險人增加等事項，均得以批單方式變更之，故批單效力大於保單…」（見上字卷七第11頁），是中央產險就聯瑞公司之加保已簽發批單，並出具收據，聯瑞公司確為系爭商業財產保險之被保險人，上開加保聯瑞公司及其財產為被保險人及保險標的物之批單雖於火災發生後簽發，批單製作日期與承保期間雖有不同，因不影響保單效力，故仍應以保單所載承保期間為保險期間。 ⑵系爭保單係商業財產險，除保險契約另有約定之不保風險及不保財產外，承保範圍原則上包括所有保險標的物因任何外來之意外事故而可能遭受的一切實體損失及損害（見外放證物卷一第58頁），證人即英商麥理倫國際公證有限公司（下稱麥理倫公司）總經理陳瑞嫄證稱本件係「全險式」保單，除非是除外風險及不保財產的損失，否則都應理賠（見上字卷九第60頁、原審卷一第14至17頁之英文保單），因系爭火災之發生原因並非不保條款所列之任一除外不保事項，故當然在系爭商業財產險之承保範圍內，是系爭火災於86年10月3日發生時，聯瑞公司已被加保為系爭保單之被保險人，系爭晶圓廠廠房及其內機具設備均為保險標的物之一，且導致損失發生之系爭火災亦非屬不保事項，系爭火災所造成之損失，當然為系爭保險契約所承保。 ⑶本件再保險係由中央產險、富邦產險及新光產險等向上訴人辦理臨時再保險（見原審卷一第22至25頁）。保險人為避免因原保險契約與再保險契約條款不一致，造成藉由再保險移轉之風險竟無法獲得再保險理賠之事，通常除於再保險接洽書中特別說明的自留額、再保險佣金、再保險保費等條件外，其餘均援用原保險契約條款，並以再保險接洽書確認再保人與再保被保險人間之權利義務（見原審卷七第293至294頁），本件再保險接洽書明載：「其他條件及條款均如原保單條款」（other terms and conditions as peroriginal policy，原審卷一第22至25頁）。若發生再保人應負責之保險事故發生，再保之被保險人（即共保人）即得向出單之再保人（即上訴人）請求給付再保之保險金。有關本件再保之事實，證人陳峻進亦證稱「美亞（即上訴人）與中央產物於60幾年起就有再保的合作關係，很多險種都是中央的再保人。他們（即中央產險）在向客戶承保之前就會做好再保的準備，再保人允諾同意再保後，保險公司才確定向客戶承保」（見上字卷七第7頁），是共保人已就承保之晶圓廠向上訴人投保再保險，系爭火災之發生在原商業財產保險契約之理賠範圍內，當屬再保契約之理賠範圍。 ⑷債務人於受通知時，所得對抗讓與人之事由，皆得以之對抗受讓人，民法第299條第1項定有明文。民法係保險法之補充法，保險法無規定者，應適用民法有關之規定。保險法第53條第1項所定之保險人代位權，固屬法律規定之債權移轉，無待乎被保險人另為移轉行為，惟其為債之移轉之性質究無不同，故保險人依該條項規定代位行使被保險人對於第三人之損害賠償請求權時，該第三人即得適用民法第299條第1項規定，援引其於受通知時所得對抗被保險人之事由，對抗保險人（最高法院89年度台上字第1853號裁判要旨）。系爭火災發生後，共保人於87年7月13日依約給付聯電等2公司共76億8,000萬元，上訴人依再保契約賠償共保人71億4,240萬元，共保人於88年9月14日簽署代位權讓與合約書，上訴人就給付共保人71億4,240萬元部分，得依保險法第53條規定，代位行使聯電等2公司對系爭事故之發生應負賠償責任之第三人即被上訴人之請求權，另共保人於再保契約之自留額部分（即7%，5億3,760萬元），共保人已將代位行使聯電等2 公司對被上訴人之請求權讓與上訴人，故上訴人得代位行使聯電等2公司對被上訴人請求金額共76億8,000元（7,142,400,000+537,600,000＝7,680,000,000）。上訴人於起訴狀載明「…本件被告（即被上訴人）等均應就火災之發生及擴散負損害賠償責任，原告（即上訴人）受讓（及代位）共保人之權利，共保人復受讓（及代位）聯瑞公司對被告等之損害賠償請求權，原告自得依法請求被告等賠償損害，原告前曾發函各被告請求彼等賠償原告損失，迺被告等均置之不理…」（見原審卷一第8頁），是被上訴人已受債權讓與通知，依上說明，上訴人固得依保險法第53條、債權讓與規定為本件請求，而被上訴人於受通知時，所得對抗聯電等2公司之事由，皆得以之對抗上訴人。㈡系爭火災之發生，依內政部消防署94年10月24日消署調字第0940021227號函附火災留存資料記載：「…起火當天該公司於一樓真空幫浦區洗滌器附近僱請天和工程公司人員利用吹風加熱式焊接法實施二吋、四吋之酸毒廢氣管更換厚管徑之工程（如照片6、7、8），施工時僅關閉其相關之洗滌器及相連之反應器，即於幹管拆下二吋、四吋支管（即照片9、10），並兩幹管同時施工，現場聯瑞公司人員謝錦泉在旁監工。火災於八十六年十月三日十四時五十九分許，被天和公司人員莊來枝等人發現於拆下支管之幹管內有火舌冒出，該公司人員立即以滅火器搶救，因該管端設有”盲法欄”，火勢瞬間即被撲滅，火勢熄滅後天和工程公司立即全力重新更換該管，直至十七時三十八分許欲再前往隔條幹管施工時，即發見該幹管缺口處及其附近主幹管缺口處冒出火舌，施工人員立即再以大量滅火器搶救無效後，火勢瞬間隨廠內酸毒廢氣管往上蔓延至二、三、四、五樓，火勢於十月四日零時許被撲滅，但由於該廠為密閉式建築，廠內充滿各種毒氣，加上搶救人員採取排煙方式，致造成十月四日三時五十二分及十七時十分二次復燃，直至十月五日二時三十五分完全撲滅火苗，火勢造成整棟廠房內部幾乎全毀，造成財物損失近約新台幣一百億元。…失火原因之研判：第一次與第二次發現起火位置均在於酸毒廢氣管維修處管道內，因管道內火災若是第一次未完全熄滅，不可能在相隔二小時又四十分後才再度蔓延，因此研判二次起火為相同條件下之獨立火源，也因起火點位於酸毒廢氣管道內，研判遭人故意之可能性不高。平日正常狀態下經洗滌器百分之九十九以上洗滌燃燒後排出之酸毒廢氣，因其危險性極低，所以才使用塑膠製材質，施工前應關閉四部洗滌器及其相連之反應器，惟現場發現五部洗滌器呈關閉狀，研判因洗滌器異常、故障或誤關，造成各種有毒易燃氣體未能完全洗滌燃燒，致使反應後之各種有毒易自燃氣體，直接流至酸毒廢氣管內，於施工附近開口處與空氣反應造成自燃起火之可能性較大。」，有內政部消防署支援火災現場勘查紀錄及刑案現場平面圖等可參（見原審卷七第181至183頁、卷二第244至248頁）。又依內政部警政署保安警察大隊第二總隊91年2月28日檢附系爭火災調查報書所載火災發生時間應於86年10月3日下午3時40分左右，撲滅時間為86年10月5日上午4時20分左右，起火點研判為：「經觀察起火受燒情形，該廠房係四樓桃高式建築物，一樓為初級廢棄處理管路區及化學物品儲藏區；二樓為管路層、三樓為挑高式潔淨生產區，此區共分二層：下層為晶片生產區、上層為無塵室迴風層；四樓為電源供應區與辦公室區；陽台為廢氣再處理區及排風馬達（共有十四具）區；建築物總建坪為29,052.79平方公尺，建物高度為29.2M，其最初起火處為一樓廢氣處理區之酸毒管運轉異常發火燃燒，並沿排風管道間延燒至頂樓排風馬達區產生大火，火勢再延各區排風馬達之排氣管道向下延燒並蔓延至各樓層，其受燒最嚴重部分為一樓廢氣處理區及三樓生產區，其中一樓真空幫浦區部分酸毒廢氣輸送管大部分燒燬，且地板因地下管路筏基發生爆炸隆起裂開，三樓生產區因氣爆及長時間悶燒，夾層地板部分塌陷，生產機台大部分燒燬，頂樓排風馬達區廢氣輸送管全毀，排風馬達9部全毀，各樓層管道間均燒毀並有延燒附近天花現象。根據筆錄（天和公司部分）及監控中心火警受信總機紀錄所示研判下午2時59分於F29W7附近酸毒廢氣管發生第一次火警。根據筆錄及監控中心火警受信總機紀錄所示研判下午5時38分F27V5附近酸毒廢氣管發生第二次火警。…火災期間遇有兩次復燃，分別於十月四日上午3 時52分及十月四日17時10分兩時段，研判可能因排煙效應在酸毒管道內之餘溫熱能促使管內殘留可燃性氣、液體發火復燃。」，而起火原因研判為「：本案研判由於廢氣處理過程中發生異常，產生酸毒廢氣管道內殘留多種自燃（或可燃）性廢氣與空氣反應造成起火之可能性較大。」（見原審卷二第240、242至243頁、卷七第184至186頁），是86年10月3日發生系爭火災係因系爭晶圓廠開始生產後，委由天和公司二次施工更換酸毒廢氣管時，因聯瑞公司派駐現場監工謝錦泉，疏於注意關閉全部洗滌器及其相連反應器，造成各種有毒易自燃氣體，未能完全洗滌燃燒，致反應後各種有毒易自燃氣體直接流至酸毒廢氣管內，於一樓施工附近開口處與空氣反應起火，經撲滅後當日下午17時38分許又發見幹管缺口處及其附近主幹管缺口處冒出火舌，施工人員再以大量滅火器搶救無效後，火勢瞬間隨廠內酸毒廢氣管往上蔓延至二、三、四、五樓，至10月4日零時許火勢被撲滅，但當天清晨3時52分、下午17時10分發生二次復燃，至10月5日2時35分完全撲滅，起火原因為因洗滌器異常、故障或誤關，造成各種有毒易燃氣體未能完全洗滌燃燒，致使反應後之各種有毒易自燃氣體直接流至酸毒廢氣管內，於施工附近開口處與空氣反應造成自燃起火之可能性較大，及因排煙效應在酸毒管道內之餘溫熱能促使管內殘留可燃性氣、液體發火復燃。雖上訴人提出之保險理算人麥理倫公司理算報告（下稱麥理倫報告）第二份稱「…至1997年10月4日星期六清晨稍早，火勢已受到控制，且許多消防設備已自現場撤出，…星期六早晨本公司返回現場時，建築物內已不再排出大量煙霧…為加速建築物之通風，被保險人安排一可移動水力起重機，擊破面對力行三路之輔助建築較高樓層窗戶，雖然上述措施似乎可排所累積之煙氣，但也讓空氣進入建築物內而造成再次引發火災之不良效應。大約17：00時，可見到腐蝕性黑煙自早些時刻由被保險人擊破之窗戶中排出…」（見原審卷八第73頁），指係聯瑞公司為加速建築物之通風，於10月4日17時左右擊破高樓層窗戶，讓空氣進入建築物內再次引發火災之不良效應云云，因與前揭內政部消防署、警政署之火災調查報告認是因採取排煙方式至10月4日3時52分、17時10分復燃等情略有不同，不影響前揭認定。㈢依上訴人提出其委派之鑑識專家Lindsay Leveen於火災發生後進行調查報告：「…於1997年10月2日有人注意到系爭晶圓廠1樓其中一條連接在聖卓特公司洗滌器內部自動補助管邊緣與其上毒廢氣排氣管間之2吋聚丙烯排氣管線，呈縱向破裂且滲出白、黃色粉末（與放置3樓之應材公司鎢氣沈積器相連。關係位置圖可參照上訴人之簡報資料，本院卷四第285至288頁），聯瑞公司決定更換該條破裂的2吋管線，並同時更換其他三條連接至一個供鎢氣沈積器所用火箱之管線。在1997年10月3日早晨，天和公司開始計畫替換這四條2吋的自動補助管，這四條2吋的聚丙烯管線自靠近火箱邊緣處及靠近毒廢氣排氣管處被切斷，在這四條2吋管線被切斷後，天和公司的工作人員即發現其上方的12吋聚丙烯毒廢氣排氣管線著火。其後，施工人員即決定該12吋聚丙烯毒廢氣排氣管線亦應移除替換。在該12吋聚丙烯管線被完全替換之前，晶圓廠的其他區域也發現了火苗，火災在聚丙烯管線中延燒了約數小時，此次火災蔓延至整個晶圓廠，並完全燒毀了無塵室以及晶圓廠中所有的機組。…」（見原審卷一第48頁之Lindsay Leveen火災事故簡要報告），而證人即出具本件火災理算報告之陳瑞嫄於98年12月17日本院前審證稱：「…我知道聯瑞公司晶圓廠於86年10月3日發生火災後又於翌日復燃之事，因為我隔日早上7點就到場，一般火災現場有一點小面積的復燃是常見的。這個現場有無塵室，建築屬於密閉式的，基於火燒後裡面有很多有毒的氣體，它必須要被排出來，所以消防隊就將玻璃打破，空氣進入後會引燃沒有熄滅的火星，現象是突然有黑煙從縫隙冒出，因當時消防隊的人員跟設備並無完全撤離，所以就馬上進行灌救，時間比較短，大概幾個鐘頭就被撲滅…」（見上字卷九第62頁），另消防機關於火災發生後所出具之報告，就起火時間均記載86年10月3日14時59分，及下午17時38分再度起火，並蔓延至晶圓廠之二、三、四、五樓，可見系爭晶圓廠發生二次起火燃燒，而10月4日上午3時52分、下午5時10分之失火，均為復燃（見原審卷二第245頁之火災紀要），麥理倫理算報告第1份亦稱「…系爭晶圓及其內高價設備於前述火災中幾乎全部毀損，而10月4日下午僅晶圓廠內局部區域之復燃，當時因晶圓廠為撲滅火勢打破之窗戶中溢出大量具刺激性的黑色濃煙，故消防隊再次抵達火場控制火勢…」（見原審卷八第56頁中譯文第2段），是消防隊於86年10月4日前往復燃區僅是在確保殘火處理得當而已，並非再次起火燃燒，先前已燒毀之系爭晶圓廠（包含位於晶圓廠3樓之無塵室及其內價值高昂之製程機台），不因復燃而產生額外之損害，且不論何次火災或復燃所造成之損害均在本件保險理賠範圍內，是系爭火災造成之重大損害，係何次火災或復燃所造成，並無不同。㈣應材公司是否應對系爭火災負債務不履行、侵權行為之賠償責任： ⑴依聯瑞公司向應材公司購買設備之訂購單記載「The SystemShould Comply with SEMI S2-93 Safety…」（見原審卷一第133頁），以應材公司曾於本院主張其以上開訂購單所載價金為其所負賠償責任之限制範圍（見本院卷十第10頁），此訂購單應為真正；又聯瑞公司另紙訂購單亦載明品名為「W-CVD」（見原審卷二第342至346頁），再編號AFB96020訂單亦約定適用SEMI之規定（見原審卷六第142至148頁），是依訂購單等所載，可證應材公司提供之WCVD鎢氣沈積器須符合SEMI S2-93之規定。至於應材公司聲請傳訊之證人Bruce L.Gehman固於前審證述「…關於詳細的準則的適用情形與解釋方式，由買賣雙方經協商來決定…」（見上字卷十第16頁反面），因兩造於訂購單已約明WCVD鎢氣沈積器須符合SEMIS2-93之規定，故Bruce L.Gehma前揭證述不影響上開認定。⑵本院於105年3月16日函請安衛中心鑑定系爭火災有關事項，經安衛中心於106年10月20日安衛字第1061023號函覆鑑定報告稱：「㈠系爭晶圓廠之酸毒廢氣排氣管內有無沉積易燃或可自燃沉積物？如有，該易燃或可自燃沉積物之成分與顏色及可能成因為何？如與空氣接觸後，是否會產生反應起火燃燒？且為肇致本件火災發生之原因？於本件火災發生後，是否仍有殘留？數量為何？回覆如下：(a)參考semiconductorinternational,July2000,MKS儀器公司發表之”Manage W-VCD process effluents to boost uptime”。火災前廢氣排氣管內沉積物包含：未反應完全之WF6水解產物，包含：WO3等粉塵、矽甲烷。參考下列論文，粉塵內會包覆未反應完全之製程氣體（例如：矽甲烷）。其中矽甲烷氣體具有自燃性（1.4%達燃燒下限，會引火），而WO3為黃色固體。(b)上述沉積物成因如下，WCVD製程廢排氣管內未反應之WF6會與空氣中的水氣作用產生水解反應，並依反應程度及作用時間產物。參考下列論文，未完全反應之矽甲烷氣體會包覆於粉塵內（the SiH4 gas trapped inside the particles）。…(c)另根據AMSI/CG AG13確認矽甲烷為自燃性氣體與空氣接觸後會產生起火反應。(d)參照氣體偵測系統（Gas Monitoring System, GMS）紀錄顯示，在火災前偵測到大量矽甲烷洩漏，故可判斷火災之原因與矽甲烷接觸到空氣引起的起火反應有關。（除非現場有其他的SiH4來源）(e)本案中WO3沉積物（不可燃）在火災後會殘留。(f)根據物質安全資料表，本件火災發生後，WF6及其相關水解產物皆反應為WO3，SiH4反應為SiO2。上述產物數量可利用反應質量平衡進行理論估算，或藉由實驗取得產物數量。（例如：參考AMSI/CGAG13 在正常運作下，1 lb矽甲烷燃燒產生1.87 1b SiO2。）然而，本案中殘留物數量來源包含平常運轉時未反應的WF6在機台後的管線內因水解反應產生的WO3粉塵，及火災後WF6殘留物在火災燃燒後形成的WO3。因此，估算數量受以下未知條件影響，包含：無法精確取得火災前反應物總使用量、機台反應轉化率、水解反應比率、累積物清除量。同時，本案火災發生後，因各機台採取緊急排放，故在火災事故影響下，無法精確推估本案之殘留物數量。參考以下報告，WCVD製程轉化率約為20%，因此估計約有80%未反應的WF6及SiH 4排出機台，成為排氣管內水解反應的沉積物來源。…㈢本件送鑑定之黃色粉末成分為何？是否為三氧化鎢（WO3）？該黃色粉末是否為生產晶圓時，經鎢氣沉積器所排放，與製程中之廢氣六氟化鎢（WF6）有無關聯？理由為何？回覆如下：(a)引用警察大學鑑識系張敦維教授報告，該黃色粉末包含三氧化鎢（WO3）、二氧化矽及碳之成份。(b)該黃色粉末（WO3 ）並非鎢氣沉積器所排放。黃色粉末主要來源為平常運轉時未反應的WF6在機台後的管線內，會與水氣作用水解反應形成WO3粉塵。火災後，WF6殘留物及粉塵在火災燃燒後最終都成為WO3。(c)引用高等法院民事判決97年度保險上字第4號：『WCVD配方需使用六氟化鎢，若未經洗滌與空氣或濕氣反應後即會產生三氧化鎢之黃色粉末堆積，此黃色粉末不可燃』。㈣造成系爭晶圓廠大規模毀損之原因，係因86年10月3 日下午3時許、下午5時許之火災？或翌日下午5時許之火災？亦或其他原因所造成？回覆如下：(a)下午3點之火災根據紀錄當場被撲滅，並非造成大規模毀損之原因。同時，若此為大規模毀損之原因，則下午3點到5點間應會產生大量的黑煙並被偵測到；CCTV影像中亦沒有發現此現象，亦沒有偵煙器作動的紀錄，再次驗證此時的火災並非造成大規模毀損之原因。(b)下午5點之火災明顯引燃聚丙烯（Poly propylene，以下簡稱PP）風管，為造成大規模毀損之原因。研判該時火災發生原因為自燃性氣體矽甲烷起火（可參考GMS紀錄）。引火源點燃PP風管，因此造成大規模毀損。(c)翌日下午5時許之火災為火災復燃，並非造成大規模毀損之原因。(d) 根據PP風管燃燒實驗，若PP風管被燃燒後15分鐘內就會有大量濃煙產生及燃燒，故下午3點之火災延遲至下午5點才復燃造成大規模毀損的可能性不高。㈤系爭晶圓廠內之鎢氣沉積器有無裝設安全連鎖裝置，有無違反86年間半導體設備安全標準（SEMI S2-93）之規範？回覆如下：根據MVCD Centura1.1 Tier1 Start up Manual（AIU000000-000000- AMM CVDCentura 1.1 Tier1 Start up Manual.pdf），其Section 0Verification Of Faults, warnings,and Interlocks有以下的連鎖，但無法確認其為SEMI S2-93A所定義的安全連鎖裝置（Fail-safe hardware safety interlock）。因SEMI S2-93A要求安全連鎖必須是Fail-safe且為硬體裝置。㈥系爭晶圓廠內之洗滌器（火箱）如有故障，其《鎢氣沉積器》操作手冊所示，建議使用者選擇事項包括「不採取行動」，「不採取行動」是否適當？若使用者依此建議「不採取行動」，是否會造成易燃或可自燃沉積物之累積，此與系爭火災之發生原因有無關連？回覆如下：洗滌器（locals crubber）如有故障，如其操作手冊所示”不採取任何行動”是不恰當，因為會造成可燃性或自燃性氣體蓄積藏在粉塵內。洗滌器存在之目的為將高風險製成排氣處理成為低風險排氣或是無風險排氣，經過洗滌器處理後的排氣幾乎沒有粉塵及可燃性氣體，無引火之風險；但此”不採取任何行動”之處理方法會使排氣系統風險增加。㈦系爭晶圓廠內之洗滌器有無裝設安全連鎖裝置，有無違反86年間半導體設備安全標準（SEMI S2-93）規範？該洗滌器加裝輔助模式，使製程機台於洗滌器未發生作用（即未處理廢氣）時仍可持續運作之設計，是否符合上開半導體設備業安全標準規範？洗滌器未具安全連鎖裝置或加裝輔助模式之設計，是否為廢氣排氣管內積存易燃或可自燃廢氣沉積物之原因？並為肇致本次火災之發生原因？回覆如下：(a)根據Instruction Manual FL AWAMAT E300K2,其Section 1.2.4.2 Sensors and sensor functions有下列的偵測器（sensor），且連線至中央電腦系統。但該偵測器並不是SEMI S2-93A定義的安全連鎖裝置（Fail-safe hardware safety interlock）。(b)依據Alexander報告，洗條器（local scrubber）沒有在手冊中說明安全連鎖，機台內部是否有安裝安全連鎖目前已經不可考，但是手冊中並沒有說明安全連鎖的章節，故應不符合SEMI S2-5.3要求。“5.3Each type of safety interlock and its operation should be fully explained in the operations and maintenance manuals.”(c)此外SEMI S2-93A亦沒有說明是否需要安裝輔助模式或機台間安全連鎖的相關章節。(d)根據Instruction Manual FLAWAMAT E300K2，Bypass line如下左圖Fig.lGeneral view和右圖Fig.7 Reactor overview 所示。(e)故此，洗滌器設置之目的為將高風險製成排氣處理成為低風險排氣或是無風險排氣，依據FLAWAMAT手冊顯示經過洗滌器處理後的排氣，已無引火之風險。(f)未具安全連鎖裝置允許機台在洗滌器停機時仍可運作，會使排氣系統風險增加；使用加裝輔助模式亦會使排氣系統風險增加。…㈨本件火災發生於當日之上午約9時許，含有黃色粉末之12 吋管線即被人員切開，遲至下午3時始發生本件火災，原因為何？回覆如下：根據目前貴院提供之相關紀錄，聯瑞公司於當日上午約9時許並沒有發生火災。而下午3時發生的火災，研判是因為管線中包覆於粉塵內之SiH4（the SiH4 gas trapped inside the particles）受天和公司施工擾動或其他擾動影響，使SiH4由管線內附著的黃色粉末內擴散出來。部分SiH4更因施工時管線缺損導致外洩並擴散到無塵室環境中，因此下午約3時無塵室氣體偵測系統（GMS）在施工管線附近區域偵測到SiH4洩漏警報，並因SiH4自燃引火造成本件火災。㈩依系爭晶圓廠之生產紀錄，有無顯示WSIX機台使用之SiH2 CI2，比WCVD使用之SiH2 CI2多，如有，其倍數為何？回覆如下：經確認WCVD機台中並沒有使用SiH2 CL2。因此無須比較WSIX與WCVD使用SiH2 CL2之倍數。…」（見本院卷七第53至63頁，鑑定報告所依資料見該報告資料來源卷）。是系爭火災發生前廢氣排氣管內沉積物包含未反應完全之WF6水解產物、WO3等粉塵、矽甲烷，其中矽甲烷氣體具有自燃性（1.4%達燃燒下限，會引火），WCVD製程廢排氣管內未反應之WF6會與空氣中的水氣作用產生水解反應，並依反應程度及作用時間產物，在火災前偵測到大量矽甲烷洩漏，故可判斷火災之原因與矽甲烷接觸到空氣引起的起火反應有關；黃色粉末主要來源為平常運轉時未反應的WF6在機台後的管線內，會與水氣作用水解反應形成WO3粉塵，86年10月3日下午5點之火災明顯引燃聚丙烯風管（即PP），為造成大規模毀損之原因；而應材公司之鎢氣沉積器因未有裝設硬體之安全連鎖裝置，不符86年間半導體設備安全標準（SEMI S2-93）規範，且洗滌器（local scrubber）如有故障，依鎢氣沉積器操作手冊所示”不採取任何行動”，是不恰當的。 ⑶雖應材公司稱：鑑定報告就如何確認矽甲烷濃度及數量足以引起自燃？10月3日下午3時火災撲滅，被天和公司施工擾動擴散之SiH4從哪條廢氣管來？如何推論造成巨大損失之下午5時火災也是SiH4所引起？氣體偵測系統下午5時偵測到大量矽甲烷洩漏數量為多少？濃度是否已達到1.4%的燃燒下限？氣體偵測器位置在哪、資料是否完整？鑑定報告均未說明；且本院前審判決認火災當日WCVD鎢氣沈積器排放之廢氣排入手動分流輔助管線內，未與12吋或18吋管道相連結，與系爭火災之發生無關，上訴人於另案主張WSIX機台排放大量二氯矽甲烷，未經洗滌為起火原因，另鑑定報告自承不確定是否有其他SiH4來源，可見其對晶圓廠之製程、機器設備及事故現場狀況了解不完整，且未依公認NFPA921火災調查準則進行起火點及原因之調查，未考量WSIX機台排至12吋及18吋管的廢氣就位在WCVD機台的上游，而上訴人主張「矽甲烷的自我包覆理論」認WCVD機台排放的廢氣中所含矽甲烷為唯一火源，並無證據；況消防署火災調查報已認起火原因係天和公司二次施工更換酸毒廢氣管，不當關閉全部洗滌器及相連反應器，造成各種有毒易自燃氣體直接流至酸毒廢氣管內，於一樓施工附近開口處與空氣反應造成起火，上訴人卻曲解報告內容，稱係12吋或18吋管線內長期累積的「固體沈積物」受到擾動釋放出矽甲烷使其達到燃燒濃度致引燃火災，顯不可採。又系爭晶圓廠於86年10月3日由天和公司施作更換酸毒廢氣排氣管前，如依伊之WCVD鎢氣沉積器檢附之MCVDCentura安全手冊第4章『有毒及危險物』所載安全事項指引4.1.3、4.1.11、4.1.19之使用說明，完成適當矽甲烷等循環性洗滌程序，於打開排氣管線進行維護前，用乾氮氣循環洗滌至少1小時，即不致造成系爭火災之發生，或能減少系爭火災之可能性；伊委由李昌鈺博士所做報告亦認鎢氣沈積器與系爭火災無關，故系爭火災之發生與伊無關云云。惟： ⒈安衛中心就上開問題於107年6月29日函覆意見：「㈠就鑑定問題一部分，如何確認矽甲烷的濃度及數量足以引起自燃。回覆如下：⑴由本案提供的相關資料分析起火點區域僅鎢金屬化學氣相沉積系統（以下簡稱WCVD）製程使用矽甲烷（SiH4），故研判矽甲烷的來源與WCVD製程有關。目前並無相關文獻參考資料或WCVD的設備供應商可說明在洗滌器（local scrubber）處於Bypass模式（失效狀態下）運作，酸毒廢氣排氣管內不會殘留沉積物及矽甲烷。⑵根據安全資料表，本件火災發生後，WF6及其相關水解產物皆反應為WO3，SiH4反應為SiO2。上述產物數量可利用反應質量平衡進行理論估算，或藉由實驗取得產物數量。例如：參考ANSI/CGAG13/CGAG13在正常運作下，1 1b矽甲烷燃燒產生1.87 1bSiO2。由WCVD製程排放廢氣中約有80%未反應的WF6及SiH4排出機台，且因洗滌器未正常運作長期處於Bypass模式（失效狀態下），使上述矽甲烷排放氣體無法適時處理，造成矽甲烷殘留於酸毒廢氣排氣管的粉塵內，該粉塵殘留的矽甲烷接觸空氣後產生自燃。⑶根據Hartman等人在“Stoichiometry and Possible Mechanism of SiH4-O2 Explosions,”Comb.Flame,68,43-56（1987）研究指出，矽甲烷在高濃度（貧氧）的條件下，微量之水氣可使矽甲烷與氧氣混合產生燃燒，因此推判空氣環境中的水氣為造成矽甲烷自燃與否的條件之一。⑷由Tamanini,F.,J.L.Chaffee,與R.L.Jambor,在Reactivity and Ignition Characteristics of Silane/Air Mixtures,”Process Safety Prog.,17（1998）p243-258.相關研究指出矽甲烷燃燒反應方程式為SiH4+2O2+N2—> SiO2(s)+2H2O+N2,式中燃燒熱為-341仟卡/莫耳（或-44.42仟焦耳/克），當矽甲烷濃度介4.5%～38%（最高測試濃度）之間處於亞穩態（Metastable）時會發生延遲引燃，延遲時間介於15～120 秒，而延遲時間與矽甲烷濃度成反比，當矽甲烷濃度越高時其延遲時間則越短。由文獻之測試結果顯示矽甲烷立即自燃特性與初始壓力、洩漏出口條件、洩漏濃度有關，與外洩環境的通風條件無關。⑸另根據CGAG13,2015說明『矽甲烷可在空氣中濃度範圍於1.37%至96%（容積比）時燃燒。在濃度1.37%與約4.5 %之間時，若提供點火源，此矽烷混合物即會進行反應。當空氣中的矽烷濃度大於約4.5%時，混合物為亞穩態在某些延遲後會進行大量的自燃，在較高濃度下，其點火延遲較短。』⑹本案事故當天WCVD雖未運作，但WCVD製程中矽甲烷來源分別來自廢氣排放端中殘留於管線粉塵內及製程氣體供應端配氣箱（Valve Manifold Box,以下簡稱VMB）及其管線中。VMB為一完全封閉但有排氣的密閉空間設施，內部有閥、接頭、壓力調節裝置、監視及流量控制系統。VMB以管線連接一個以上的機台或工作站。另事故當天氣體偵測系統（Gas Monitor System,以下簡稱GMS）在VMB箱體內亦有偵測到矽甲烷洩漏的紀錄，而WCVD製程端使用VMB設備及其管線內矽甲烷氣體濃度為100%。⑺根據上述說明，矽甲烷氣體外洩引發自燃僅與矽甲烷濃度有關，與數量無關。㈡下午三時之火災撲滅，被天和公司施工擾動擴散出來的SiH4從哪條廢氣管來？是否已燃燒殆盡？回覆如下：根據人證及物證資料，判斷下午三時火災的SiH4擴散位置與起火位置相同，來自洗滌器長期處於Bypass模式（失效狀態下）12吋廢氣排放管內。下午三時火災被撲滅後，並無記錄可證明管線內SiH4氣體是否已燃燒殆盡，可能仍有未燃燒的矽甲烷殘留於管線中或擴散至其它管線及區域。㈢下午五時真正造成巨大損失之火災，如何推論也是SiH4自燃所引起？此次之SiH4從哪條廢氣管來？回覆如下：⑴下午五時火災，當天雖然WCVD並未運作，但WCVD製程氣體供應端配氣箱（VMB）及18吋酸毒廢氣排氣管線附近的GMS偵測器皆有測得SiH4的紀錄（當下並無其他可能引起火災的證據或紀錄），故推論矽甲烷洩漏為唯一引燃本次火災的來源。⑵根據美國FM7-7相關要求，半導體廠製程氣體供應端VMB不可設置於潔淨室內，必須設於潔淨室下一層或RAP回風層內。且VMB應該設預警及連鎖控制功能，以降低VMB氣體在室內洩漏風險。VMB內應裝設氣體檢知器以監控洩漏及設有連鎖關閉開關，並應裝置差壓計以檢視排氣之正常與否及具有連鎖關閉功能；管線至使用點間關斷裝置應裝置壓力指示器監控壓力或流量是否異常及可連鎖關閉。矽甲烷供應系統應在每個使用點（point of use）及在容器處設置緊急遮斷閥，緊急遮斷閥應設置於顯明易見之處且易於操作。用於供應矽甲烷管線系統需要有雙重防漏構造，設置雙重防漏或雙重管時，應使用金屬結構，且應根據系統之主要管線或管路故障時之系統設計，額定壓力應為最高之預期壓力。設置矽甲烷雙重防漏管時，不允許使用空氣作為內外管管線間之迫淨氣體，因其可能使空氣與矽甲烷發生反應而造成火災、爆炸，及/或導致雙重管間之環狀空間阻塞問題。故根據前述說明，研判造成VMB箱體內矽甲烷洩漏引發火災可能性偏低。⑶排除製程氣體供應端VMB 箱體內矽甲烷洩漏引發火災可能性外，僅剩18吋酸毒廢氣排氣管線中粉塵殘留的矽甲烷外洩接觸空氣或與水氣後產生自燃引發火災的可能性較高。㈣下午三時氣體偵測系統偵測到矽甲烷洩漏，下午五時氣體偵測系統也偵測到大量矽甲烷洩漏？回覆如下：本案在兩次火災前，氣體偵測系統（GMS）均有偵測到矽甲烷洩漏的紀錄。㈤所謂『大量矽甲烷』洩漏之數量為多少？回覆如下：⑴關於本案矽甲烷洩漏數量估算，根據氣體偵測系統（GMS）相關資料僅有矽甲烷氣體外洩擴散時濃度記錄，並無矽甲烷數量的量測紀錄。此外，GMS 氣體偵測器安裝偵知位置並非矽甲烷洩漏源（氣體洩漏濃度與洩漏距離三次方成反比），研判事故發生當時，矽甲烷洩漏源的實際洩漏濃度遠超過GMS所偵知顯示濃度記錄。⑵根據美國Factory Mutual公司的Tamanini與Chaffee（1996a,b）針對矽甲烷外洩至有通風條件的空間下進行測試研究，發現外洩壓力低於50psi以下會立即引燃、外洩壓力高於300psi時不會立即引燃，立即引燃的外洩特性與矽甲烷洩漏初始壓力及濃度有關，與通風流速及管線中限流孔（RFO）的尺寸無關。⑶造成本案矽甲烷外洩自燃引發火災原因，僅與矽甲烷洩漏濃度有關，與數量無關。㈥矽甲烷的濃度是否已達到1.4%的燃燒下限？回覆如下：因事故當天WCVD並未運作，但由於洗滌器長期處於Bypass模式（失效狀態下），造成殘留於酸毒廢氣排氣管線內粉塵的矽甲烷濃度長期蓄積可達燃燒界限。㈦氣體偵測系統偵測到的大量矽甲烷洩漏的偵測器明確位置在哪裡？回覆如下：偵測到High alarm或High High alarm的矽甲烷偵測器位置可參考下圖：【圖內紅色標示點為F28Y2、F28X5、F28W2、F28V5】…㈧氣體偵測系統資料是否完整無缺，可以顯示不同位置之偵測器的偵測紀錄？該系統之偵測紀錄是否儲存於火災事故現場？回覆如下：根據已取得的資料研判為火災前的氣體偵測系統紀錄，偵測時間為大規模火災前民國86年10月3日下午01:06至17:48之間紀錄。氣體偵測系統可以顯示不同位置之偵測器的偵測紀錄，本中心無法判斷該系統之偵測紀錄是否完整無缺或儲存於火災事故現場。㈨氣體偵測系統偵測紀錄資料係由何人提供？回覆如下：氣體偵測系統紀錄資料係由Glew Engineering Consulting Inc.的Dr.Alexander Glew所提供。」（見本院卷八第181至188頁）。 ⒉嗣安衛中心於108年4月25日再函覆補充說明如下「…聯瑞公司之系爭廠房於86年10月3日由天和公司施作更換酸毒廢氣排氣管前，如有依美商應用材料公司之WCVD鎢氣沉積器所檢附之MCVD Centura安全手冊第4章『有毒及危險物』所載安全事項指引之4.1.3、4.1.11、4.1.19等使用說明，完成適當的矽甲烷等循環性洗滌手續，及於打開排氣管線進行維護之前，需用乾氮氣循環洗滌至少1小時，天和公司施作更換排氣管工程是否即不致於造成系爭火災之發生，或能減少系爭火災之可能性，其依據及理由為何？回覆如下：2.1根據美商應材公司CENTER安全手冊內容相關說明，評估分析第4.1.3節內容所指應為供應源管線，循環洗滌對象為gasline（廠務氣體供應源到設備反應腔那一段管線），沒有提及排氣管線。2.2另根據CENTER安全手冊中4.1.11內容說明氣體供應管線中WF6具有毒及腐蝕性，但沒有提到排氣管線。2.3根據CENTER安全手冊4.1.19內容提及打開排氣管線進行維護之前乾氮氣循環洗滌至少1小時。但實際WCVD機台在日常運作時都必須循環洗滌排氣管線段的前置管線（fore line）與真空管線（pumping line），否則會因WCVD機台運轉時產生粉塵累積於管線中導致背壓（back pressure）不足，造成WCVD機台當機無法運作。即使在打開排氣管線進行維護之前，沒有用乾氮氣循環洗滌至少1小時，WCVD機台在平時例行運作時都必須進行循環洗滌程序，才能維持機台正常運轉。2.4因事故當天WCVD並未運作，但由於洗滌器長期處於Bypass模式（失效狀態下），造成殘留於酸毒廢氣排氣管線內粉塵的矽甲烷濃度長期蓄積，已達到火災燃燒界限（LFL～UFL）。2.5由WCVD機台操作程序與前述美商應材公司CENTER 安全手冊中所記載4.1.3、4.1.11、4.1.19等使用說明，在完成適當的矽甲烷等循環性洗滌程序，及於打開排氣管線進行維護之前，需用乾氮氣循環洗滌至少1小時（係指機台端局部排氣2吋管線），與天和公司施作更換排氣管工程（無塵室內12吋與18吋次/主排氣風管）即不致於造成系爭火災之發生，或能減少系爭火災之可能性之間，並無直接關聯。關於美商應材公司指稱聯瑞公司於火災發生一日前發現自動輔助管線發生裂縫並滲出白黃色粉末之現象，次日即指示天和公司於晶圓廠製程未停止之情形下在12吋與18吋排放酸毒廢氣的管線上，鋸切、開鑿、利用熱熔槍焊接以進行更換2吋自動輔助管線之工作，事前未採取任何適當安全防護措施，違反當時相關法令眾多，經安衛中心比對確認後，美商應材公司引用法規部分有誤，特此釐清說明如下:3.1勞工安全衛生設施規則第15條，雇主對於作業場所有易燃液體之蒸氣、可燃性氣體或爆燃性粉塵滯留，而有爆炸、火災之虞者，應依危險特性採取通風、換氣、除塵等措施外，並應於作業前指派專員測定前述氣體之濃度是否達爆炸下限。回覆如下：經確認應為勞工安全衛生設施規則第117條，並非勞工安全衛生設施規則第15條，法規引用錯誤。3.2勞工安全衛生設施規則第29條之6，雇主使勞工進入局限空間從事焊接、切割、燃燒及加熱等動火作業，應指定專人確認無發生危害之虞，並由雇主、工作場所負責人或現場作業主管確認安全，簽署動火許可後，始得作業。回覆如下：勞工安全衛生設施規則第29條之6為93年10月20日由主管機關（原行政院勞委會）修訂，本案事故發生當時86年10月3日並無此法規。3.3又如聯瑞公司於晶圓廠的管理階層於第一場火災撲滅後，僅目視檢測12吋與18吋管線，未探究火災起火之原因、詢問承包廠商引發火災之可能原因為何（參原證61，第3部分，聯瑞公司晶圓廠廠務工程協理謝錦泉訪談記錄），在不清楚為何引起火災之狀況下，仍未採取任何安全措施，指示天和公司繼續進行管線更換、焊接工程，違反當時：勞工安全衛生設施規則第29條之6，未確認有無發生危險之虞，並取得勤火許可。回覆如下：勞工安全衛生設施規則第29條之6為93年10月20日由主管機關（原行政院勞委會）修訂，本案事故發生當時86年10月3日並無此法規。3.4又如聯瑞公司未遵守美商應材手冊之警告，關閉製程氣體之源頭、踐行矽甲烷循環洗滌步驟，以氮氣重複洗滌一個小時以上，以消除待維修管線內之酸毒廢氣，導致本件火災發生，違反當時相關法令：3.4.1毒性化學物質管理辦法第19條規定，毒性化學物質之運作過程中，應維持其防止排放火或洩漏設施之正常操作之義務；回復如下：本案事故發生當時86年10月3日，聯瑞公司僅能參考主管機關（原行政院環保署）於77年11月16日所頒布毒性化學物質管理辦法第10條規定，而美商應材公司所指毒性化學物質管理辦法第19條規定，『應維持其防止排放火或洩漏設施之正常操作之義務』，為聯瑞火災發生之後，主管機關（原行政院環保署）於86年11月19日修訂條文，故本案事故發生當時無法適用。3.4.2勞工安全衛生設施規則第173條，雇主對於有危險物火可燃性粉塵等其他危險物存在之虞之配管，從事熔接、熔斷或使用明火之作業或有發生火花之虞之配管，應事先清除該等物質，並確認無危險之虞；同規則第11條規定，『危險物』，係指爆炸性物質、著火性物質、氧化性物質、引火性物質、可燃性氣體等。回覆如下：美商應材公司引用勞工安全衛生設施規則第11條規定，『危險物』，係指爆炸性物質、著火性物質、氧化性物質、引火性物質、可燃性氣體等。經確認當年86年應為勞工安全衛生設施規則第10條規定（現已刪除），並非第11條規定。另『危險物』於當年86年法規有定義，與現今於民國96年後由主管機關（原行政院勞委會）所頒佈化學品全球調和制度（GHS）危害性分類定義不同。」（見本院卷九第233至245頁）；是安衛中心之鑑定報告及補充說明，就應材公司提出各項問題，均已詳細說明，並與前揭內政部警政署及消防署之火災調查報告大致相符，是應材公司上開所辯，並不可採。 ⒊另李昌鈺博士所做分析報告（見上字卷六第209至229頁）並未審閱系爭火災全部有關資料（如外放證物卷二、三之62~69、85及91號證物），且排放廢氣之18吋管雖有19個連接點，但其中9個連接點未與任何機台相連，該9個連接點開口處均以「法藍」密封，此由上訴人所提出之原證61號第1本第47頁編號308照片可知，是不可能有機台將製程廢氣經由被封口之9個連接點排放至18吋管中，而上開報告有多處誤認證物，如系爭2吋輔助管乃天和公司於當日更換管線時所卸下，該管線於火災發生前已卸下，非進行火災調查時才卸下，又李昌鈺博士稱阿姆斯壯實驗室分析黃色粉末攜帶的矽烷，在受到震動時會釋放出自由矽烷並自燃起來，但黃色粉末係不可燃或被引燃，此由本院更審前於101年1月6日履勘聖卓特公司事後採集黃色粉末等之採樣證物（見更上卷四第173 至178、180至198頁），並有聖卓特公司於前更審101年12月4日陳報狀中所附中央警察大學鑑識科學系張維敦教授報告可據（見更上卷五第165至188頁），阿姆斯壯實驗室所分析、攜帶矽甲烷乃「白色」粉末，並非「黃色粉末」，李昌鈺博士於98年12月17日言詞辯論就阿姆斯壯報告檢驗為黃色粉末，竟稱是筆誤（見上字卷九第181至182頁），但黃色粉末係堆積於聖卓特洗滌器的「2吋」輔助管線內（即聯瑞公司於火災前一日發現管裂現象並要求換管之原因及地點），主要成分為三氧化鎢（WO3），係水氣與六氧化鎢（WF6）反應後之固體沈積物，不具可燃性，有證人Martin Hammond於前審98年12月10日之證詞（見上字卷九第12頁反面），及91年1月29日阿姆斯壯實驗室報告可稽（見更上卷六第31至38頁），白色粉末則沈積於「12吋及18吋管線」中（即天和公司兩次發現火源之處）的廢氣「沈積物」，主要成分為二氧化矽（SiO2），乃鎢氣沈積器使用後排出之矽甲烷（SiH4）與水氣發生化學作用後之沈積物，包含之發火氣體受擾動會自燃，具可燃性，有阿姆斯壯實驗室及陳郁文教授之檢驗報告及檢驗結果可稽（外放證物卷之原證61、66及67號及98.11.30所附「火災起因鑑定報告」），上述兩種粉末不同，且於不同尺寸的管線中被發現，黃色粉末為不可燃，累積於火災發生前已卸下之2吋管，而白色粉末因可燃，且沈積於12吋及18吋廢氣管線內，多已隨管線及晶圓廠燃燒，李昌鈺博士未能區分兩種化學品之不同，其就上開事項既有誤認之處，可見其所做報告並不完全正確，尚非可採。 ⑷按民法第227條於89年修訂為「因可歸責於債務人之事由，致為不完全給付者，債權人得依關於給付遲延或給付不能之規定行使權利。因不完全給付而生前項以外之損害者，債權人並得請求賠償。」，而最高法院82年度台上字第2364號裁判要旨已指明：所謂不完全給付係指債務人雖為給付，然給付之內容並不符合債務本旨而言；如債務人根本未為給付，其給付已陷於不能者，是為給付不能，給付若仍可能，則為遲延給付。已認債權人得依該條原規定債務人不為給付或不為完全之給付者請求損害賠償，是前揭民法227條之修訂，係使債權人得就不完全給付所受履行利益及固有利益之損害，請求債務人負賠償責任。又債務人之履行義務可分為主給付義務、從給付義務及附隨義務，主給付義務係決定債之關係之基本義務；從給付義務又稱獨立之附隨義務，在使債權人之利益獲得最大之滿足；至於附隨義務，稱為非獨立之附隨義務，其主要功能一為輔助功能：促進實現主給付義務；二為保護功能：保護他方當事人之人身或財產上利益。債務人違反附隨義務，所生之損害賠償責任應為債務人負賠償債權人固有利益損害之義務。而「上訴人於交付系爭買賣標的物時，對於買受人應告知及說明買賣標的物之容許性危險，發展上漏洞，使買受人得以防免，此為買賣契約中出賣人之附隨義務，出賣人之上訴人未盡此義務而給付，屬不完全給付，其因而致生損害於被上訴人，自應負責。」，有最高法院92年度台上字第2356號判決可參。本件應材公司係全球知名半導體設備製造商，參與SEMI安全準則之制訂，在全世界銷售晶圓製程機器，實際擁有可運作之製程機組及廢氣系統之工廠設施，以利用此等工廠設施進行研究並展示其銷售機器生產晶圓之能力，包括本件鎢氣沉積器在內之製程機台於洗滌過程中可能產生的危險、製程中所產生的各種廢氣沉積物的化學性質，乃至半導體設備製造協會的各項安全規範，均知之甚詳，且依聯瑞公司之訂購單約定，就鎢氣沈積器應遵守SEMI S2-93A安全準則之要求，竟未設有或告知應安裝安全連鎖硬體裝置，使鎢氣沈積器得於洗滌器未能處理有毒廢氣時自動停止運轉，以防止操作設備過程中發生危險，顯未盡其保護及告知之附隨義務；且未能提供聯瑞公司處理鎢氣沉積器排放製程廢氣的最佳操作方式，對於「洗滌器無法運轉時應停止鎢氣沈積器之操作以避免危險」此一具重要意義資訊，未盡告知及警示義務，反於操作手冊中表示若洗滌器顯示「無反應動作」時，使用者可以「不採取行動」，誤導使用者以為可以忽略危險氣體之排放，造成鎢氣沉積器排放可燃性或自燃性氣體蓄積藏在粉塵內，使排氣系統風險增加，違反其通知、指示、建議、警告、解釋之附隨義務，是應材公司應就違反附隨義務所造成聯瑞公司之損害，負不完全給付之賠償責任，故上訴人依修正前民法第227條規定，請求應材公司負不完全給付之損害賠償責任，應屬有據。 ⑸上訴人主張應材公司為系爭晶圓廠內製程設備鎢氣沈積器之製造商，就其受僱人於執行提供聯瑞公司設備之職務時，怠於業務上應盡之注意致發生系爭火災，使聯瑞公司受有晶圓廠全毀之重大損害，應材公司就其受僱人之過失侵權行為應負連帶賠償責任云云。查： ⒈民法第184條規定因故意或過失，不法侵害他人之權利者，負損害賠償責任。故意以背於善良風俗之方法，加損害於他人者亦同。違反保護他人之法律，致生損害於他人者，負賠償責任。但能證明其行為無過失者，不在此限。惟損害賠償之債，以有損害之發生及有責任原因之事實，並二者之間，有相當因果關係為成立要件。故原告所主張損害賠償之債，如不合於此項成立要件者，即難謂有損害賠償請求權存在。最高法院48年台上字第481號判決先例可參。 ⒉系爭火災之發生，係因聯瑞公司之晶圓廠開始生產後發見一樓酸毒廢氣排放管有裂痕，乃委由天和公司於86年10月3日下午2時59分二次施工更換酸毒廢氣管時，聯瑞公司派駐現場監工謝錦泉疏於注意關閉全部洗滌器及相連反應器，造成未完全洗滌燃燒之各種有毒易自燃氣體直接流至酸毒廢氣排放管內，於一樓施工附近開口處與空氣反應造成起火，雖即以滅火器撲滅，但當日下午17時38分許更換廢氣排氣管施工時，發見該幹管缺口處及其附近主幹管缺口處冒出火舌，經施工人員以大量滅火器搶救無效後，火勢瞬間隨廠內酸毒廢氣排放管往上蔓延至二、三、四、五樓，火勢至10月5日零時許始完全撲滅，此見系爭火災報告即明（見原審卷七第 181至183頁），是系爭火災之起火原因，乃天和公司施工人員更換酸毒廢氣排氣管施工時所造成，並非應材公司之受僱人製造或設置鎢氣沈積器時有何過失行為所致。此外，上訴人復未敘明並舉證應材公司之受僱人就職務之執行有何過失行為，及該過失行為與系爭火災之發生有因果關係之存在，故其主張應材公司應依民法第184條、第188條規定負侵權行為之連帶賠償責任，自屬無據。㈤上訴人主張天和公司與聯瑞公司簽訂86年工程契約書第7條約定天和公司應派代表負責人常駐工地，並由富有工程學識與施工經驗之施工人員施作，天和公司違反約定，應負不完全給付責任，另天和公司為具有晶圓廠配管工程經驗之專業公司，明知貼有危險標示之管線係排放有毒及易燃氣體，卻疏未確認管線內有無危險沈積物或殘留有毒、易自燃物質，即以「鋸、鑿、敲打」方式進行更換管線，致擾動管線內具有易自燃性粉末與空氣接觸，而不論安衛中心或伊所提出之專家報告均分析過各項火災現場取得之粉末、管線、製程機台報表、並訪問相關人等（包括聯瑞、聯電公司、天和公司之員工，乃至聖卓特公司之技師），排除不可能原因後，始確定唯一可能起火原因為管線內沈積的矽甲烷釋放、自燃，此係因天和公司施工不當所致，故天和公司應就系爭晶圓廠所受損害負連帶賠償責任。然： ⑴依聯瑞公司與天和公司（勞務部分）工程契約書第14條第2 項約定「…在保固期限內甲方（聯瑞公司）如發現乙方（天和公司）所使用材料粗劣而發生損壞、滲漏龜裂工作不良其他因素，甲方得立即通知乙方，乙方應立即重新修改或補妥，其所需一切材料人工費用及因此發生導致甲方之損害，概由乙方負擔賠償。」（見原審卷一第165頁），另雙方簽訂「製程排氣二次配（12K）配管工程」（材料部分）工程契約書第14條第2項約定「在工程自驗收合格之日起乙方應出具保固切結書，保固管線工程二年、設備部分一年。在保固期限內甲方如發現乙方所使用材料粗劣而發生損壞滲漏龜裂或工作不良其他因素，甲方得立即通知乙方，乙方應立即重新修改或補妥，其所需一切材料人工費用及因此發生導致甲方之損害，概由乙方負擔賠償。」（見原審卷三第324之57 頁）。本件係因聯瑞公司於86年10月2日發現廢氣排放管有滲漏現象，委由天和公司施作更換排放管線工作，並非以天和公司初次安裝管線有「材料粗劣」不合規定或「施工不良」之瑕疵致管裂為由，要求天和公司修改或補妥之保固工作，而係決定改用較厚之管材替換先前施作完成之管線，屬於新的工作項目，與勞務部分、材料部分工程契約書所載之保固工作並無關係。 ⑵又聯瑞公司空調部課長謝錦泉於火災事故發生後接受調查時，於86年12月16日簽署英文聲明書記載「Tien Ho Construction Company did install the original by-pass exhaust pipes correctly,using materials as specified in the contract and if Tien Ho Construction Company invoice UICC for the cost of replacing the pipes,UICC will pay this cost.I am the person in UICC who has the authority to make a decision on this matter.（天和公司正確地安裝原始之自動分流管，使用契約所規定之材質。如果天和公司提出發票，要求聯瑞公司給付換管之費用，聯瑞公司會給付費用，我是聯瑞公司內有權就此事作決定之人）」（見上字卷十二第92至94頁），聲明書係系爭火災發生後2月餘接受保險公證人調查時所作，謝錦泉為聯瑞公司之空調課之課長，聲明書經聯電公司委任之陳哲宏律師查證其形式與實質之真正，於92年11月18日函覆黃建隆律師稱「經向謝錦泉工程師詢問，答稱該文件係經其本人確認內容真實無誤後親自簽名」（見上字卷十二第95頁），是聲明書可信為真，則依聲明書所載，天和公司之換管工程屬於原管線安裝合約外之新工程，非原合約之保固工程。至於聯瑞公司於87年4月16日與天和公司結算給付未結工程款時，未追加給付此部分款項，乃天和公司考量聯瑞公司因大火受有重大損失，基於長期合作關係（天和公司承包聯瑞公司同一廠區之二件配管工程總金額6,000萬元），故未向聯瑞公司請求給付12萬元（見上字卷七第221頁之臺北地院89年度重訴字第633號被告中央產險答辯理由），尚與社會常情無違，是不能以天和公司未向聯瑞公司請求新換管之工程款12萬元，即謂換管工作係原工程之保固工項。 ⑶依Hammond報告記載「已知矽CVD製程產生的廢氣物質中某些化學物質（含未氧化矽-氫鍵）在受到機械性擾動及空氣存在下（可提供氧化劑）；會自動地、無法預期地起火，此種行為稱為自燃行為」、「含矽氫鍵的自燃性化學物質因為天和工人在WCVD系統的輔助系統及部分聯瑞廢氣系統的施工，而受到機械性擾動並暴露在空氣中」（見上字卷八第117頁），顯見天和公司只是於更換管線時因「擾動行為」導致在廢氣管內之自燃物質與空氣接觸開始氧化自燃，而天和公司當天所為更換管線之施工行為，係其業務上之行為，衡以通常之一般更換管線之施工行為，本不致有起火燃燒之情形。又依安衛中心函文及補充說明，強調系爭火災係因廢氣排放管內有可燃性物質矽甲烷(SiH4)接觸到空氣而造成起火，並謂WCVD製程氣體供應端配氣箱(VMB)及18吋酸毒廢氣排氣管線附近GMS偵測器皆有測得矽甲烷(SiHU)的紀錄，故推論矽甲烷洩漏為唯一引燃本次火災之來源，更謂事故當天WCVD雖未運作，但由於洗滌器長期處於Bypass模式（失效狀態下），造成殘留於酸毒廢氣排氣管線內粉塵的矽甲烷濃度長期蓄積可達燃燒界限，故依上開起火原因之推測，天和公司既非矽甲烷之使用者，亦非鎢氣沈積器或洗滌器之供應者，對於矽甲烷如何使用及未有效洗滌而殘留廢氣排放管一事，自無從知悉；上訴人復未提出聯瑞公司與天和公司間就新工作有何契約存在，則其主張天和公司違反其依原工程契約書勞務部分、材料部分第7條第1項「乙方（天和公司）應派富工程學識與施工經驗之全權代表負責人常駐工地…」（見原審卷一第163頁、卷三第324之55頁）之約定，依修正前民法第227條規定，請求天和公司負不完全給付之損害賠償責任，於法無據。 ⑷又天和公司係依聯瑞公司之要求更換廢氣排放管，於換管工程進行期間，聯瑞公司均派員陪同在旁，確認廢氣已未從擬更換管線排放，無安全顧慮後，方命天和公司進場施工，此有謝錦泉之聲明書可憑（見上字卷十二第89頁），倘聯瑞公司未告知管線內是否殘留自燃、可燃性物質及必須如何防範，天和公司自無從針對無法知悉之可能危險採取防範措施。且系爭晶圓廠內洗滌器製造商聖卓特公司維修技師Werner Zulch證稱「1997年10月3日早上，所有的蝕刻機已啟動，但已有人將真空幫浦轉到手動分流模式，這樣就算蝕刻機再度啟動，還是可以阻止廢氣流進蝕刻機」（見原審卷四第90頁），聯瑞公司之設施工程師Roger Cheng與謝錦泉互相協商更換管線之後勤事務，與資深設施經理Charlie K.Chang討論，Chang認為進行此一更換工程應該是安全的，因為他相信自動輔助管線已「失靈」，矽化物機器已關閉，且WCVD機器正運行清潔配方（見原審卷八第115頁），另西元1997年12月15日Crawford調查報告中之謝錦泉訪談記載「…1997年10月3日早上，他（謝錦泉）的印象是他只須關閉與受損管線相連接的四部蝕刻機，他並不知道通往這些蝕刻機的管線係源自何處，也不知道這些蝕刻機是否已減壓…」（見原審卷四第89頁），謝錦泉於86年火災事故發生接受訪問時稱：「1997年10月3日早上，他的印象是他只須關閉受損管線相連接的四部洗滌器，他並不知道通往這些洗滌器的管線係源自何處，也不知道這些洗滌器是否已減壓、…與鄭水松確認所有洗滌器都已停止運轉後，他便通知承包商將材料搬進一樓，開始進行更換作業…」（見原審卷三第500至513頁，即原證61.Leveen報告書中譯本第3-2至3-3頁），謝錦泉於本院復證稱：「…（86年10月3日天和公司進行換管工程時，有無關閉洗滌器及其相連之反應器之必要？是否需要關閉？需關閉之範圍多大？原因為何？）是否要關閉洗滌器及其相連之反應器不是我負責的範圍，所以我不清楚是否要關閉。上游排氣管內的關斷閥要關，關閉之後才能換下游的排氣管。要關閉關斷閥是因為我們配任何一段管線時，上游關斷閥一定要關閉我們才能配置，如果沒有關閉，會抽到其他空間的一般空氣，所以關斷閥才要關閉。…（是否知悉廢氣排氣管之分佈情形？手動分流輔助管有無連接到12吋或18吋管？）廢氣排氣管的分佈是我負責的，但我現在無法回答詳細的分佈情形。手動分流輔助管有無接到12吋或18吋管我不記得了。…（提示本院卷二第65頁《原證六十一》Lindsay Leveen報告的人有跟你作過訪談，當時你所作的陳述是否正確？）關於排氣管線的部分應該是沒有錯。（關閉之後，管線有無經過抽空、氮氣循環清洗？）沒有，排氣管線不需要氮氣循環清洗。（你知道排氣管內會有殘留的化學物質？）這個我也不知道，我們只負責管線配置，至於洗滌器會反應什麼東西出來，我不清楚，我只負責管路的銜接與維持，我是現場更換管線的監工。（有無告知天和公司施工人員管線內會有什麼物質？）沒有，因為我自己也不知道。（有無告知他們需要注意那些事情？）因為換管時他們站在梯子上面，所以我只告訴他們上、下時要注意安全，換管時下面要有人接手放置在地面上，再配置新管。（是否知道關閉管線之後，上面的洗滌器的排氣經由哪些管線排出去？）當時設備工程師告訴我洗滌器已經關閉不會再排氣，所以我才更換管線。設備工程師是鄭水松。（是否知道洗滌器何人關閉？）不知道，因為不屬於我的設備。…」（見本院卷五第8至9頁），可見聯瑞公司駐廠負責管線之相關人員亦不知管線內有殘留易燃及可燃性物質，認只須將WCVD機台排放之廢氣以手動分流模式改排放他處，並確認更換管線之環境狀態屬於安全，更換管線無危險性後，即命天和公司人員進場施工；則以負責系爭晶圓管線之聯瑞公司專業人員都不知廢氣排放管線內有毒及易自燃之化學物質，受其指示僅負責更換管線之天和公司施工人員，自不可能知悉，既不可能知悉，當無苛求其須負擔應避免廢氣排放管內有毒易自燃化學物質與空氣接觸致引燃火災之注意義務，是上訴人主張天和公司應負過失侵權行為賠償責任，亦不可採。五、上訴人依修正前民法第227條規定請求應材公司負不完全給付之損害賠償責任，因屬有據，已如上述；則其主張因發生系爭火災，共保人已於87年7月13日依約給付聯電等2公司共76億8,000萬元，伊依再保險契約賠付共保人71億4,240萬元，共保人於88年9月14日簽署代位權讓與合約書，另共保人已將再保險契約之自留額（即7%之5億3,760萬元）代位行使聯電等2公司對應材公司之請求權讓與，故伊得依保險法第53條規定代位行使聯電等2公司請求第三人即應材公司賠償76億8,000元（7,142,400,000+537,600,000＝7,680,000,000 ）。為應材公司所否認，辯稱上訴人主張賠付76億8,000萬元，僅請求其中10億元，其既為一部請求，應具體表明損害賠償額，始能特定訴訟標的，如未能特定，應依民事訴訟法第463條準用第249條第1項第6款或第2項規定裁定或判決駁回。又聯瑞公司之8吋晶圓廠，係由聯電公司負責建立，包括廠房設計及建造，人員之培訓亦由聯電公司負責，故系爭火災之發生應由統包設計晶圓廠之聯電公司負責，而上訴人與東京電力公司在日本仲裁判斷，伊雖非該案當事人，但基於伊與仲裁判斷之日本東京電力公司間可能有連帶債務關係，伊可主張仲裁判斷有利於伊部分之反射效，即仲裁判斷認聯端公司有65%之與有過失責任，伊得予援引，並依民法第217條第1項請求減輕或免除伊之賠償責任；另上訴人請求10 億元，就其他66億8,000萬元債權已罹於時效，縱對伊與訴外人之連帶債務關係成立，對全體連帶債務人亦僅10億元債權，而10億元經上訴人其他連帶債務人和解清償而消滅；另日建公司、中興工公司、德商麥士特有限公司、奧地利商亞洛伊斯有限公司、協羽公司及德商聖卓特公司均應負部分責任，然安衛中心鑑定意見均未判斷其等間之責任分擔比例云云。查：㈠就系爭火災造成損害之理算經過及損失金額： ⑴保險法第10條規定本法所稱公證人，指向保險人或被保險人收取費用，為其辦理保險標的之查勘、鑑定及估價與賠款之理算、洽商而予證明之人。是有關調查與確認保險標的物之受損原因及程度既為保險公證人之業務範圍，則以公證人做成之理算報告自得為火災受損金額之證明；系爭火災發生後，共保人即指派保險公證人麥理倫公司處理本件理賠事宜，麥理倫公司陸續對本件損失提出8份理算報告，就本件有無除外不保事項、不同保單之保單責任如何認定、如何委請其他領域專家判斷火災起因經過、殘值如何估算及損失程度之確定等，理算報告內均有詳盡說明（見原審卷八第54至64、65至106、107至146、147至160、161至182、183至193、194至217、218至227頁），是麥理倫公司所做之理算報告應可採信。 ⑵證人即麥理倫公司台灣分公司總經理陳瑞嫄證稱「…保險公證人受任處理理賠案時，必須先取得保單，確定保單責任（如損失之發生是否為不保事項所引起等）以及不保財產，再理算保險公司應理賠之保險金額，由於本件火燒之晶圓廠係新廠，因此理算損失之公證人會特別留意何等機器業經測試驗收（轉由商業財產險承保）、以及何等機器尚未完成驗收（由安裝工程綜合險所承保），以區別兩張保單之保險人責任…」（見上字卷九第60至61頁），且稱「…被保險人申報之新增財產雖成為保險標的物，然是否應予理賠，仍應視其是否符合保單承保之規定，且公證人判斷機器、設備及廠房的驗收與否均有不同之標準…、安裝工程險及商業財產險保險人雖分別委請麥理倫公司及羅便士公證公司理算損失金額，為確認機台於受損當日驗收與否之狀態，避免（對機台狀態及其價值）發生認定上的疑義，兩邊的當事人共同委託了一組專家確認，此部分於麥理倫公司理算報告中亦有詳細說明（原審卷八第78頁）。這些專家包括了Buchanan（布坎南）、Donoghue及Dichen等公司，他們審閱了發票及契約等文件…」（見上字卷九第62至63頁）；另證人即中央產險公司副理陳峻進稱「…因渠等確認機台驗收與否及其價值之工作涉及安裝工程險保單與商業財產險保單之責任分配，因此費用亦由雙方依一定比例分攤（原審卷八第124頁）。故已驗收機台之明細雖未附於批單之後，然保險公司仍可於保險事故發生後加以查核。且機台若未確實經過驗收，被保險人實無必要申報為已驗收，並自驗收日起開始繳納商業財產險下之保費…」（見上字卷七第7頁），是上訴人檢附30餘冊布坎南報告已臚列各受損機台驗收與否（若已完成驗收，尚包括驗收日期）之狀態（因報告達43冊，上訴人以本院前審之100年4月12日上訴理由㈡狀檢附光碟為之），理算結果最後根據布坎南報告之數字為據（見上字卷九第62頁、上字卷八第199頁計算表），共保人理賠被保險人金額為76億8,000萬元（見上字卷九第61頁及卷八第219頁）。 ⑶證人John Buchanan係布坎南公司合夥人，證稱「…他們受任審閱了相關的發票及契約等文件。雖該等文件是用中文做成的，但他們有與聯瑞公司的財務及會計人員一起工作，他們自己也請了懂中文的人；如有問題，尚可詢問Wendy（即麥理倫公司總經理陳瑞嫄）…」（見上字卷九第58頁）。證人John Buchanan等人先取得聯瑞公司的資產明細，該明細表載明了各資產的編號、位置及價值，再將資產分成「已受損的」及「未受損的」兩大類，其中「已受損的」一類又分成「production ready」及「nonproduction ready」。Production ready是指經聯瑞測試且驗收合格的機器，必須是火災發生當時在現場的機器。此部分又分成「可修復」及「不可修復的」兩大類。不可修復部分，其機台價值由布坎南公司根據帳冊、訂單、報關文件及交貨單審定；至於可修復之機器，其修復成本則由Donoghue公司、聯瑞公司人員及賣方代表共同決定，有關機台的未用保固金額及殘值也會加以評估後扣除。最後理算的結果，屬於production ready（即系爭保險所承保者）的受損機器價值就有83億569萬2,593元，有44冊的相關文件可證明（見上字卷九第57頁，及參照原審卷八第197至199頁）。是證人及上訴人所提理算報告不但均與參加人於書狀中所述之理算及委請專家之經過一致，且對照證人陳瑞嫄、John Buchanan之證詞及麥理倫公司第7份理算報告可知，僅在商業財產險部分（指業經測試通過並予驗收之機具及設備），被保險人因本件火災所受之損失已達83億元，其中除建物以外，設施、機台及設備均已達全損之程度，縱使扣除機台殘值或以修復方法降低理賠金額，共保人仍須理賠聯瑞公司76億8,748萬元（見原審卷八第199頁之上表），共保人及被保險人同意以76億8,000萬元為本件損失之最終理賠金額，被保險人放棄其他項目及利息之請求（見原審卷八第202至219頁），上開有關理算方式及經過，並有麥理倫公司之國際理算師Peter Newall先生所出具之聲明書為證（見原審卷九第337頁），故上訴人稱共保人已賠付系爭火災所受損害共76億8,000萬元，應屬有據。㈡民法第217條第1項所定過失相抵之適用，不以侵權行為之法定損害賠償請求權為限，即契約所定之損害賠償，除有反對之特約外，於計算賠償金額時，亦難謂無其適用。且此項基於過失相抵之責任減輕或免除，非僅視為抗辯權之一種，亦有可使請求權全部或一部為之消滅。法院應斟酌雙方原因力之強弱，與過失之輕重，以定賠償金額應減至何程度，抑為完全免除，有最高法院90年度台上字第122號裁判要旨可參。系爭火災之起火原因係由於廢氣處理過程中發生異常，產生酸毒廢氣排放管道內殘留多種自燃（或可燃）性廢氣與空氣反應造成起火之可能性較大（見原審卷二第243頁之火災調查報告），且依安衛中心鑑定報告「㈣…(a)下午3點之火災根據紀錄當場被撲滅，並非造成大規模毀損之原因。同時，若此為大規模毀損之原因，則下午3點到5點間應會產生大量的黑煙並被偵測到；CCTV影像中亦沒有發現此現象，亦沒有偵煙器作動的紀錄，再次驗證此時的火災並非造成大規模毀損之原因。(b)下午5點之火災明顯引燃聚丙烯風管，為造成大規模毀損之原因。…」（見本院卷七第55至56頁），又該次火災是「…系爭晶圓廠開始生產後，委由天和公司二次施工更換酸毒廢氣管時，因聯瑞公司派駐現場監工謝錦泉，疏於注意關閉全部洗滌器及其相連反應器，造成各種有毒易自燃氣體，未能完全洗滌燃燒，致反應後各種有毒易自燃氣體直接流至酸毒廢氣管內，於一樓施工附近開口處與空氣反應起火，且當日下午17時38分許發見幹管缺口處及其附近主幹管缺口處冒出火舌，施工人員再以大量滅火器搶救無後，火勢瞬間隨廠內酸毒廢氣管往上蔓延至二、三、四、五樓…」（見麥理倫理算報告第二份）。再系爭晶圓廠係由聯華公司電子設計組與日建公司共同負責（原審卷八第69頁），聯電公司評估利弊得失後，選擇聚丙烯為廢氣管線之材質，復為避免水損，管內酸毒氣體具有腐蝕性，安裝自動灑水頭有容易鏽蝕損壞及維護不易等缺點，聯電公司評估後選擇未裝自動灑水頭，未採納聖卓特公司之風險報告所載【建議更換管材，改採用無襯鋼管、鋁製管或經核可之強化玻璃纖維管材，或者在既有聚丙烯管線中加設自動灑水頭】（見上字卷十第206、213頁）；另麥士特公司之契約及日建公司之基本設計報告，未要求加裝極早期偵煙系統，聯瑞公司駐廠相關人員不知管內有殘留之易燃及可燃性物質，認祇將WCVD機台排放之廢氣以手動分流模式改排他處並確認更換管線之環境狀態係屬安全，且更換管線無危險性之後，即命天和公司人員進場施工，終因擾動管內具自燃性及易燃性之粉末與空氣接觸而引燃火災。又聯瑞公司為加速建築物之通風，擊破高樓層窗戶，讓空氣進入建築物內引發火災復燃，加上無塵室通風地磚、無塵室內揮發性燃料源、生產過程產生之化學物質及溶劑、機器及製程管線內塑料之大量使用所造成等情（見Leveen報告書、阿姆斯壯實驗再報告、Alex專家報告等），顯然系爭火災之發生或擴大，聯瑞公司、其代理人或使用人均與有過失；而應材公司應與系爭晶圓廠之設計者日建公司、其他設備提供者如東京電力公司、德商聖卓特公司等同負不完全給付責任（此由上訴人與日建公司、聖卓特公司和解，及與東京電力公司經仲裁判斷等即明），衡以上開各項情事，本院認聯瑞公司就系爭火災之發生應負與有過失之責任比例以百分之五十為適當；則上訴人行使被代位人聯瑞公司求償金額76億8,000萬元，以百分之五十過失比例相抵後為38億4,000萬元。至於應材公司稱本件應比照上訴人與東京電力公司在日本東京地方法院撤銷仲裁判斷之法院判決認聯瑞公司過失比例為65%辦理云云；然日本東京地方法院判決（見上字卷七第84至87頁，更上卷一第250至257頁）於本案並無拘束力，且該案係認聯瑞公司與東京電力公司就其出售機台為WSIX應負責任之過失比例，與本件所認之聯瑞公司與應材公司所應負賠償責任之過失比例情況不同，自無比照其所認定責任比例之必要。㈢不真正連帶債務因祇有單一之目的，各債務人間無主觀之關聯，而連帶債務則有共同之目的，債務人間發生主觀的關聯，二者不同，故連帶債務之有關規定，於不真正連帶債務，並不當然適用。就不真正連帶債務人與債權人間之外部關係而言，債權人對於不真正連帶債務人之一人或數人或全體，得同時或先後為全部或一部之請求。不真正連帶債務人中之一人為清償，滿足債權之給付，同時滿足不真正連帶債務之客觀上單一目的時，發生絕對效力。就不真正連帶債務相互間之內部關係而言，不真正連帶債務人間互無分擔部分，因而亦無求償關係（見最高法院85年度台上字第975號裁判要旨）。系爭火災發生原因，已詳述如上，除聯瑞公司公司應負之責任比例外，應由應材公司與系爭晶圓廠設計者日建公司、其他設備提供者東京電力公司、德商聖卓特公司等就聯瑞公司所受損失同負不完全給付之賠償責任，其等間所負賠償責任之目的單一，各債務人間無主觀上之關聯，為不真正連帶責任，並無區分各賠償義務人應負責任比例之必要，縱上訴人與日建公司、東京電力公司、聖卓特公司等賠償義務人和解或仲裁判斷，依上開說明，仍得對其他應負賠償責任之義務人請求其餘損害之賠償，上訴人所受損害固因日建公司等和解等而獲得部分賠償，惟迄未全部受償，故應材公司就其餘損害之賠償責任，不因日建公司等之和解、仲裁判斷而消滅，仍應就其餘損害負賠償責任。另上訴人否認與日建公司等之和解、仲裁判斷，有免除和解、仲裁判斷賠付金額外債務之意思，而應材公司並未舉證和解、仲裁判斷金額外之債務已經免除，故其辯稱上訴人已因和解、仲裁判斷而免除其餘賠償金額云云，並不可採。㈣上訴人因系爭火災可得請求之賠償金額為38億4,000萬元，已如上述，而上訴人自承因系爭火災已依序由日建公司、東京電力公司、聖卓特公司獲取賠償金5億6,001萬6,000元（即美金1,800萬元）、26億8,800萬元、1,624萬8,339元（即歐元46萬4,370.94元）等，有和解協議書、匯款通知及匯率資料、仲裁判斷書可據（見原審卷四證物紙袋、上字卷十二第7至8、14至20頁、本院卷五第36至40、41至64頁、卷八第63至72頁），且為兩造所不爭（見本院卷九第108頁），則扣除上訴人已取得之賠償金後，上訴人可請求其餘賠償金額為5億7,573萬5,661元（即38億4仟萬元－5億6,001萬6,000 元、26億8,800萬元、1,624萬8,339元）。惟應材公司稱伊於98年12月23日提出辯論補充六狀主張伊之賠償責任依買賣契約之責任限制條款，係以出售WCVD鎢氣沈積器價金260萬美元為範圍（見本院卷十第12頁、上字卷十第227頁），而依應材公司提出之買賣契約，確於第20條約定賠償責任以出售機器價金為限（見上字卷十第235頁反面），則以聯瑞公司向應材公司購買WCVD鎢氣沈積器訂購單所載價金為260萬美元（見原審卷一第127頁），應材公司主張其應負賠償之責任範圍為260萬美元，應屬有據，上訴人係於97年9月2日主張依不完全給付債務不履行請求賠償而為訴之追加（見上字卷三第256頁），翌日美元兌換新臺幣之買入匯率為1元比31.83元，故上訴人得請求應材公司賠償金額為8,275萬8,000元（2,600,000×31.83＝82,758,000），上訴人逾此範圍之請求，應屬無據。六、綜上所述，上訴人依保險法第53條、債權讓與及共保人之授權法律關係，併依民法第184條、第185條、第188條規定，請求被上訴人連帶給付10億元，及自88年10月2日起至清償日止，按年息5%計算利息，應屬無據，不應准許，其假執行之聲請，應併予駁回；原審為上訴人敗訴之判決，並駁回其假執行之聲請，核無不合，上訴意旨指摘原判決不當，求予廢棄改判，為無理由，應予駁回。惟上訴人於上訴後追加主張依民法第227條不完全給付債務不履行之法律關係為請求依據，追加備位聲明請求應材公司給付8,275萬8,000元，及自97年9月3日起至清償日止，按年息5%計算之利息，為有理由，應予准許，其餘追加部分為無理由，應予駁回，該部分假執行之聲請，亦失所附麗，應併予駁回；另依兩造聲請，就判命應材公司給付部分，酌定供擔保金額後為准、免假執行之宣告。七、應材公司聲請傳訊內政部警政署製作火災調查報告之人員及安衛中心製作鑑定報告之人員到場接受訊問、對質，以查明系爭火災真正發生原因云云，因安衛中心鑑定報告及補充說明已詳述明確，並有相關證人及物證可憑，且與警政署之火災調查報告並無不符之處，已說明如上，故無傳訊之必要。另本件事證已臻明確，兩造其餘攻擊、防禦方法及所用證據，經斟酌後，認均不足以影響本判決結果，爰不逐一論列，附此敘明。八、據上論結，本件上訴為無理由；追加之訴為一部有理由、一部無理由，依民事訴訟法第449條第1項、第78條、第79條、第463條、第390條第2項、第392條第2項，判決如主文。中華民國 108 年 9 月 11 日民事第十九庭審判長法官魏麗娟法官朱耀平法官潘進柳正本係照原本作成。如不服本判決，應於收受送達後20日內向本院提出上訴書狀，其未表明上訴理由者，應於提出上訴後20日內向本院補提理由書狀（均須按他造當事人之人數附繕本）上訴時應提出委任律師或具有律師資格之人之委任狀；委任有律師資格者，另應附具律師資格證書及釋明委任人與受任人有民事訴訟法第466 條之1第1項但書或第2項（詳附註）所定關係之釋明文書影本。中華民國 108 年 9 月 12 日書記官廖婷璇附註：民事訴訟法第466條之1（第1項、第2項）：對於第二審判決上訴，上訴人應委任律師為訴訟代理人。但上訴人或其他法定代理人具有律師資格者，不在此限。上訴人之配偶、三親等內之血親、二親等內之姻親，或上訴人為法人、中央或地方機關時，其所屬專任人員具有律師資格並經法院認為適當者，亦得為第三審訴訟代理人。

臺灣高等法院102年度保險上更㈡字第4號

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