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資料來源:司法院法令判解系統

一、電子管、半導體製造業及具從事晶片、晶圓製造、晶圓包裝、二極體、電晶體、液晶顯示器、積體電路或其他電子半導體之生產,係屬本署公告應申請設置變更及操作許可之固定污染源,其為新設或變更者屬第二批公告範圍,其為已設立者則屬第三批公告範圍

會議日期 86 年 10 月 14 日

內文

全文內容:一、電子管、半導體製造業及具從事晶片、晶圓製造、晶圓包裝、二極體、電晶體、液晶顯示器、積體電路或其他電子半導體之生產,係屬本署公告應申請設置變更及操作許可之固定污染源,其為新設或變更者屬第二批公告範圍,其為已設立者則屬第三批公告範圍。

二、本案之二極體製造流程,其晶片依序經清洗、成長氧化層、第一道微影成像、溝槽蝕刻、上玻璃膠、第二道微影成像、玻璃燒結、低溫氧化、第三道微影成像、無電鍍鎳及測試後,再經包裝即為產品。其中溝槽蝕刻及無電鍍鎳雖委託其他廠商處理,但其他作業程序仍排放空氣污染物且符合公告應申請設置變更及操作許可之條件。

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