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資料來源:司法院法令判解系統

關於半導體製造業產生之硝酸、磷酸等酸性氣體,目前因國內並無標準檢測方法,因此亦未有經本署認可之檢測公司,可進行檢測

會議日期 89 年 09 月 21 日

內文

全文內容:關於半導體製造業產生之硝酸、磷酸等酸性氣體,目前因國內並無標準檢測方法,因此亦未有經本署認可之檢測公司,可進行檢測。惟因半導體製造業製程所可能排放之酸性氣體,確有管制之必要,本署乃於「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」第四條第二項規定,硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸等廢氣,倘以濕式洗滌設備處理,而無法以檢測方式,證明其符合同條第一項所定排放標準時,基於操作條件與污染物之排放,具有正相關之因果關係,乃規定以實際操作狀況符合該項所定之控制條件,作為符合標準之認定。

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