

資料來源:司法院法令判解系統
一、依據半導體製造業空氣污染管制及排放標準第2條第1款規定,半導體製造業指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者
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全文內容:一、依據半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 2 條第 1 款規定,半導體製造業指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。及依同條第 2 款規定,積體電路晶圓製造作業係指將各種規格晶圓生產各種用途之晶圓之作業,包括經由物理氣相沈積、化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理等製程。
二、本案該廠從事發光二極體晶圓之製造,倘包括前揭製造程序者,則屬半導體製造業空氣污染管制及排放標準管制對象,並應符合前揭標準相關規定。

