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資料來源:司法院法令判解系統

一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第9條規定,石化製依光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第3條規定,該標準係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者

會議日期 95 年 05 月 11 日

內文

全文內容:一、依揮發性有機物空氣污染管制及排放標準第 9 條規定,石化製依光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準第 3 條規定,該標準係適用於從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者。但僅從事二極體元件製造者不在此限;另半導體製造業空氣污染管制及排放標準之適用對象,則係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。其中積體電路晶圓製造作業為將各種規格晶圓生產各種用途之晶圓之作業,包括經由物理氣相沈積、化學氣相沈積、光阻、微影、蝕刻、擴散、離子植入、氧化與熱處理等製程。

二、本案所詢某公司以矽晶原料,經蝕刻、離子植入、薄膜製作等程序,從事太陽能電池(太陽能板)生產者,因其非屬液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者,故非為光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準之管制對象。但因其製程符合前揭半導體製造業之積體電路晶圓製造程序,倘其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸及氫氟酸等原物料用量符合半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 3 條規定之年用量者,則該項物質應符合該標準規定。

三、另本署 88 年 3 月 18 日環署空字第 15328 號函及 90 年 5 月17 日環署空字第 30697 號函,自即日起停止適用。

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