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資料來源:司法院法令判解系統

函詢貴轄○○股份有限公司○○廠從事半導體製造程序之機械設備生產作業,是否屬固定污染源設置及操作許可管制對象疑義案

會議日期 101 年 09 月 26 日

要旨

函詢貴轄○○股份有限公司○○廠從事半導體製造程序之機械設備生產作 業,是否屬固定污染源設置及操作許可管制對象疑義案,請查照。

內文

主 旨:函詢貴轄○○股份有限公司○○廠從事半導體製造程序之機械設備生產作業,是否屬固定污染源設置及操作許可管制對象疑義案,請查照。

說 明:一、依本署公告第一批至第八批應申請設置、變更及操作許可之半導體製造程序,係指從事晶片製造、晶圓製造、晶圓封(包)裝、積體電路或其他半導體之生產者。上述積體電路晶片封(包)裝作業中若未涉及導線電鍍、浸錫、有機溶劑清洗或酸洗等步驟者,不在此限。其管制目的係針對半導體製程中可能產生之揮發性有機物及其他空氣污染物排放,加以管制,並未排除實機測試或實驗室之作業。

二、有關貴轄○○股份有限公司中科廠從事半導體製造程序之機械設備生產作業,雖其機台設備屬測試作業,惟倘其機械設備生產作業包含從事晶片製造、晶圓製造、晶圓封(包)裝、積體電路或其他半導體之生產者,則屬應申請固定污染源設置、變更及操作許可證之固定污染源。本案請貴局依個案實際情形本權責查明後逕復該公司。

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