資料來源：司法院法令判解系統
有關半導體製程研磨機台使用後之研磨液再生使用過程，是否屬於廢棄物管理範疇乙案
要旨
有關半導體製程研磨機台使用後之研磨液再生使用過程，是否屬於廢棄物 管理範疇乙案，請查照。
內文
主 旨：有關半導體製程研磨機台使用後之研磨液再生使用過程，是否屬於廢棄物管理範疇乙案，請查照。
說 明：一、本署 100 年 2 月 25 日環署廢字第 1000012048 號函（如附）略以：半導體廠於製程使用後之研磨液，如送回原供應商調整成分與濃度後，再返回循環使用，則非屬廢棄物範疇。特再補充說明：半導體廠將製程使用後之研磨液，送回原供應商再製後，再返回該半導體廠循環使用，則非屬廢棄物；若該研磨液非交由原供應商或再製後非返回原事業使用，則該研磨液之再生使用過程應依廢棄物清理法第 28條及第 39 條規定辦理。
二、使用後之研磨液若符合前述循環使用用途，則非屬廢棄物範疇，相關業者應檢視廢棄物清理計畫書內容（如廢棄物清理方式、質量平衡等）必要時應辦理變更。
