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資料來源:司法院法令判解系統

函詢固定污染源設置與操作許可證管理辦法許可證登載之各項許可條件、數值得有百分之十之容許誤差管制疑義案。

會議日期 106 年 08 月 23 日

要旨

函詢固定污染源設置與操作許可證管理辦法許可證登載之各項許可條件、 數值得有百分之十之容許誤差管制疑義案,請查照。

內文

主 旨:函詢固定污染源設置與操作許可證管理辦法許可證登載之各項許可條件、數值得有百分之十之容許誤差管制疑義案,請查照。

說 明:一、依固定污染源設置及操作許可證第 22 條規定,固定污染源設置及操作許可證記載之各項許可條件、數值,得有 10% 之容許差值,但仍應符合相關管制及排放標準之規定。另依半導體製造業空氣污染管制及排放標準(以下簡稱半導體排放標準)第 4 條規定,半導體製造業產生之空氣污染物應由密閉排氣系統導入污染防制設備,其中揮發性有機物排放標準為排放削減率應大於 90% 或工廠總排放量應小 0.6 kg/hr (以甲烷為計算基準)始得排放。因半導體製造業之揮發性有機物經密閉排氣系統導入污染防制設備處理至排放削減率大於 90% 或工廠總排放量應小 0.6 kg/hr (以甲烷為計算基準)係為排放標準規定,因此,並不適用於許可證記載之各項許可條件、數值得有 10% 容許差值之彈性。

二、本案貴轄○○半導體股份有限公司係屬半導體排放標準管制對象,其晶圓製造程序(M01) 排放之揮發性有機物經由密閉排氣系統導入活性碳纖維布濃縮焚化系統(A009)處理,排放削減率應大於 90% 係屬排放標準規定,倘經貴局檢測結果處理效率僅為 87.2% ,已違反半導體排放標準規定。本案請貴局依前揭規定,本權責依實際情形判定。

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