本條例第五條第一項所稱節約能源之機器設備，指下列各款之全新機器、設備： 一、製程省能設備。 二、汽電共生設備。 三、省能公用設備。 四、能源回收設備。 五、省能監控設備。 六、移轉尖峰用電設備。 七、專為節約能源而增置或更新之部分設備且列為固定資產者。 本條例第五條第一項所稱利用新及淨潔能源之機器設備，指下列各款之全新機器、設備： 一、風力發電設備。 二、地熱能利用設備，包括地熱探勘、開發、發電、熱利用、空調等設備。 三、廢棄物能源回收利用相關設備，包括發電、熱利用及各類衍生燃料設備。 四、太陽光發電設備。 五、太陽能熱利用設備，包括集蓄熱裝置冷卻空調系統。 六、燃料電池發電裝置。 七、生質能利用設備，包括生質物發電、酒精汽油及生質柴油生產設備。八、海洋能利用設備。 九、小水力發電設備。 十、使用新及淨潔能源之運送工具。 十一、專為利用新及淨潔能源而增置或更新之部分設備且列為固定資產者。
根據促進產業升級條例施行細則第8條，該條例針對節約能源及利用新及淨潔能源的機器設備進行了具體定義。下列為該條例中所提及的機器設備範例： 節約能源之機器設備：製程省能設備、汽電共生設備、省能公用設備、能源回收設備、省能監控設備、移轉尖峰用電設備、專為節約能源而增置或更新之部分設備且列為固定資產者。 利用新及淨潔能源之機器設備：風力發電設備、地熱能利用設備（包括地熱探勘、開發、發電、熱利用、空調等設備）、廢棄物能源回收利用相關設備（包括發電、熱利用及各類衍生燃料設備）、太陽光發電設備、太陽能熱利用設備（包括集蓄熱裝置冷卻空調系統）、燃料電池發電裝置、生質能利用設備（包括生質物發電、酒精汽油及生質柴油生產設備）、海洋能利用設備、小水力發電設備、使用新及淨潔能源之運送工具、專為利用新及淨潔能源而增置或更新之部分設備且列為固定資產者。 以上所述的範例來自於促進產業升級條例施行細則第8條中的具體定義，並可使用最新版本的法規文件作為依據。
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