政府計畫開發工業用地時，由工業區主管機關擬具詳細徵收計畫書，附具計畫開發用地綱要計畫圖及徵收土地清冊，依規定分別送請省 (市) 政府核定，或送由內政部轉行政院核定，發交當地直轄市或縣 (市) 地政機關，依左列程序辦理徵收，並於辦理完畢後，層報行政院備查： 一、直轄市或縣 (市) 地政機關，於接到核定徵收土地案時，應即定期召集土地所有權人協議補償地價；未能達成協議者，提請標準地價評議委員會評定之。 二、直轄市或縣 (市) 地政機關，於接到核定徵收土地案時，應即派員調查一併徵收之土地改良物實況，作為計算補償費之依據；土地所有權人或利害關係人不得拒絕或妨害其調查。 三、直轄市或縣 (市) 地政機關，應於補償地價及土地改良物補償費協議成立或評定後十五日內公告徵收，並通知土地所有權人及土地他項權利人。公告期間為三十日；土地所有權人及利害關係人認為徵收有錯誤、遺漏或對補償地價或補償費有意見時，應於公告期間內申請更正或提出異議。直轄市或縣 (市) 地政機關，應即分別查明處理或提請標準地價評議委員會復議。 四、公告期滿確定徵收後，由直轄市或縣 (市) 地政機關通知土地所有權人，於二十日內繳交土地所有權狀及有關證件，具領補償地價及補償費；逾期不繳交者，宣告其權狀及證件無效，其應補償之地價及補償費依法提存之。 五、被徵收土地原設定之他項權利，因徵收確定而消滅；其權利價值，由直轄市或縣 (市) 地政機關於發給補償費時代為補償，並以其餘款交付被徵收土地之所有權人。 六、被徵收土地承租人之損失補償，由直轄市或縣 (市) 地政機關依第六十五條之規定處理。 七、補償地價及補償費發給完竣後，由直轄市或縣 (市) 地政機關逕行辦理土地權利變更登記。
根據獎勵投資條例第 55 條的規定，政府計畫開發工業用地時，需要由工業區主管機關擬具詳細徵收計畫書，附具計畫開發用地綱要計畫圖及徵收土地清冊。該計畫書需要送請省（市）政府核定，或者送由內政部轉行政院核定，然後再發交當地直轄市或縣（市）地政機關。地政機關在接到核定的徵收土地案時，應定期召集土地所有權人協議補償地價，如果無法達成協議，則需要提請標準地價評議委員會評定。地政機關還應派員調查一併徵收的土地改良物實況，作為計算補償費的依據。在補償地價及土地改良物補償費協議成立或評定後的十五日內，地政機關應公告徵收並通知土地所有權人及土地他項權利人。公告期間為三十日，土地所有權人及利害關係人如果認為徵收有錯誤、遺漏或對補償地價或補償費有意見，應在公告期間內申請更正或提出異議。地政機關應即分別查明處理或提請標準地價評議委員會復議。公告期滿確定徵收後，地政機關要通知土地所有權人，在二十日內繳交土地所有權狀及相關證件，然後領取補償地價及補償費。如果逾期不繳交，則宣告其權狀及證件無效，應依法提存其應補償之地價及補償費。被徵收土地原設定的其他權利，在徵收確定後消滅，其權利價值需要由地政機關在發給補償費時補償，並將其餘款交付給被徵收土地的所有權人。被徵收土地承租人的損失補償，則需要由地政機關依據第六十五條的規定進行處理。補償地價及補償費發給完竣後，地政機關可以進行土地權利的變更登記。根據最新修正的土地徵收條例施行細則第十八條，政府計畫開發工業用地時的徵收程序需要遵守獎勵投資條例第 55 條的規定。
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