光電材料及元件製造業空氣污染管制及排放標準 第 7 條

排放管道之空氣污染物監測及檢測作業應符合下列規定： 一、揮發性有機物單位小時許可排放量達一．三公斤以上者，其揮發性有機物污染防制設備之廢氣導入處及排放口應設置連續自動監測設施。但同一公私場所排放之單一空氣污染物經二個以上排放管道排放時，排放量較小或僅含模組（module）製程廢氣之排放管道，經地方主管機關核可者，得免予設置。 二、非前款規定之揮發性有機物排放管道者，其揮發性有機物之非甲烷碳氫化合物（NMHC）濃度及排放量每半年應檢測一次。檢測時需記錄當時製程及污染防制設備之操作條件，每次檢測應達四小時，檢測報告應含所測得濃度之測值、小時平均值及總平均值，處理效率及排放量應採濃度總平均值計算之。但已自行設置連續自動監測設施且符合固定污染源空氣污染物連續自動監測設施管理辦法規定者，不在此限。 三、無機酸排放管道之氫氟酸及鹽酸排放濃度及排放量每年應檢測一次，檢測時需記錄當時製程及污染防制設備之操作條件；每次採樣應達三十分鐘，採樣及測定應達三次以上。檢測報告應含所測得各次濃度之測值及總平均值，處理效率及排放量應採濃度總平均值計算之。