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司法院
函釋命中
函
一、依半導體製造業空氣污染管制及排放標準第5條第1項第2款規定,揮發性有機物年用量大於50噸之工廠,其揮發性有機物防制設備之廢氣排放口應設置濃度監測器,管制重點主要在規範公私場所使用揮發性有機物(含溶劑及溶質)之原物料年用量超過50噸者,則應於廢氣排放口設置濃度監測器,以有效監控其污染排放
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發文 97.06.19
函
一、查半導體製造業空氣污染管制及排放標準之適用對象,係指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者,且其揮發性有機物、三氯乙烯、硝酸、硫酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸等原物料年用量高於標準第3條規定之年用量者,則該項物質應符合該標準之規定
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發文 95.08.11
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