本標準適用於半導體製造業。但半導體製造業原（物）料年用量小於下表所列者，該項物質不適用本標準之規定：

本標準適用於光電業之煙道排氣，管制空氣污染物項目為揮發性有機物、氫氟酸及鹽酸。

本標準適用於膠帶製造業，且其揮發性有機物原（物）料年用量達二十五公噸以上者。但膠帶製造業之單一製程有下列情形之一，檢具佐證資料，報經直轄市、縣（市）主管機關認可…

本標準管制空氣污染物項目為揮發性有機物、氯乙烯單體及二氯乙烷，其適用對象為具有下列情形之一者，但用於研究與開發中之設備且氯乙烯單體聚合之反應器容量○．二五立方公…

本標準除另定施行日期者外，自發布日施行。