根據法規特定工廠申請變更編定為特定目的事業用地審查辦法第11條，該條規定了經核定用地計畫的土地，直轄市、縣（市）主管機關應該檢查土地的使用情形。如果土地出現以下情況之一，除非第8條和第9條另有規定，應以書面通知限期改善，屆期未改善者，得廢止其用地計畫之核定： 1. 未依核定的用地計畫使用。 2. 未於辦理工廠登記時一併檢附能源主管機關發給的太陽光電發電設備完成設置之證明文件。但經中央主管機關同意免予設置者，不在此限。 3. 違反用地計畫核定函的附款。 而第2項規定，如果申請人辦理工廠登記前有以下情況之一者，直轄市、縣（市）主管機關應廢止其用地計畫之核定： 1. 經直轄市、縣（市）主管機關依特定工廠登記辦法第23條廢止或撤銷其特定工廠登記。 2. 因違反環保法規，經環境保護主管機關認定情節重大命令其停工或停業。 最後，第3項規定，如果出現第2項中提到的用地計畫核定失效或前2項的廢止用地計畫核定情形，直轄市、縣（市）主管機關應該註銷其特定工廠使用地證明書並通知直轄市、縣（市）地政主管機關依據管制規則第37條規定辦理。但如果第8條和第9條有另外規定，則依照其規定辦理。
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