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半導體製造業空氣污染管制及排放標準 第 5 條

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  1. 1.依前條規定收集之廢氣，於污染防制設備之廢氣導入處或排放管道排放口應設置流量計及濃度監測器，其設置規定如下： 一、適用本標準之半導體製造業均應設置流量計。 二、揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤者，屬既存製程其揮發性有機物排放大於十四ppm或屬新設製程其揮發性有機物排放大於十ppm之排放管道，應設置揮發性有機物濃度監測器證明符合本標準排放削減率。既存製程與新設製程合併設置排放管道者，以新設製程之設置規定認定之。 三、流量計及濃度監測器之有效每季監測率應大於八十％，每年至少以標準檢測方法比測一次，比測時間每次至少二小時，所設置之流量計及濃度監測器所得之結果應以上次比測結果修正之。
  2. 2.未能依前項規定設置流量計及濃度監測器之排放管道，公私場所得提出其他可證明其排放污染物符合前條排放標準規定之替代方案，報請直轄市、縣（市）主管機關同意後，不在此限。
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白話與解析 AI 輔助整理，以原文為準

白話解讀

對於半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 5 條，本法令規定了廢氣收集後的排放標準，並要求設置流量計及濃度監測器。其中，對於揮發性有機物原（物）料年用量大於二十五噸或工廠總排放量大於每小時零點六公斤的情況，則要求設置揮發性有機物濃度監測器，並達到有效每季監測率大於八十％，且至少每年比測一次。 參考資料是環境保護署最新公告的「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」中的相關規定，例如《半導體製造業空氣污染管制及排放標準第5條詳細解釋》。

相關函釋 4 則

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事實摘要

以下各句為自含語境之客觀事實描述；引用請以全國法規資料庫為準。

  1. 半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 5 條規定：「依前條規定收集之廢氣，於污染防制設備之廢氣導入處或排放管道排放口應設置流量計及濃度監測器，其設置…」（全文完整收錄於法律人 LawPlayer，條文以全國法規資料庫為準）。
  2. 半導體製造業空氣污染管制及排放標準第 5 條的白話解說與適用重點整理收錄於法律人 LawPlayer 本頁解說區，條文原文以全國法規資料庫為準。