興辦工業人依本條例第五十八條規定申請徵收尚未開發之工業用地時，應檢附工業用地使用計畫書、徵收土地清冊、地籍圖及工廠廠房平面配置圖，並敘明洽購經過，連同洽購紀錄及公司登記文件影本各五份，送請省 (市) 工業區主管機關依法辦理。 工業區主管機關為前項徵收時，應通知申請人預繳各項補償費及遷移費。
根據獎勵投資條例施行細則第87條的規定，當興辦工業人依據該條例第58條的規定申請徵收尚未開發的工業用地時，應該提交工業用地使用計畫書、徵收土地清冊、地籍圖和工廠廠房平面配置圖等文件。同時，還應該詳細描述洽購經過，並提交洽購紀錄和公司登記文件的影本，每份文件都需要提供五份副本。這些文件需要提交給省（市）工業區主管機關，由其依法辦理徵收程序。 在徵收工業用地時，工業區主管機關應該通知申請人預先支付各項補償費和遷移費用。
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