編定工業用地，由工業區主管機關會同公有土地管理機關及當地地政機關勘選後，繪具工業用地平面圖 (比例尺與地籍圖同) ，位置圖及土地清冊各六份，層送經濟部複勘報請行政院核定後，由省 (市) 政府轉知當地縣(市) 政府於廿日內公告及通知所有權人。經編定之工業用地得規劃設計主要道路系統，一併公告之。公告日期連同圖冊應分送經濟部、內政部及財政部。 第一項所定複勘，得成立複勘小組辦理之。
根據獎勵投資條例施行細則第73條，編定工業用地的程序如下：首先，由工業區主管機關、公有土地管理機關和當地地政機關共同選擇後，繪製工業用地平面圖、位置圖和土地清冊各六份，比例尺與地籍圖相同，並提交經濟部進行複勘。之後，經經濟部複核報請行政院核定後，由省(市)政府轉知當地縣(市)政府，在二十日內公告並通知所有權人。公告的同時，應一併公告工業用地規劃設計的主要道路系統。公告日期及圖冊應分送經濟部、內政部及財政部。根據這項規定，可以成立複勘小組進行複勘工作。 這些資訊是根據《獎勵投資條例施行細則》最新版本以及相關法規提供的。
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