電子工程 96 年半導體製程考古題
民國 96 年（2007）電子工程「半導體製程」考試題目，共 5 題 | 資料來源：考選部
0 題選擇題 + 5 題申論題
一般光微影（photo-lithography）製程主要包含那些步驟？每個步驟的功能為何？
光微影（photo-lithography）製程實驗室環境有那些重要因素須控制？（20 分）
在矽晶圓（Si wafer）上形成二氧化矽（SiO2）膜之製程方式一般有那些？各製程形成
之二氧化矽（SiO2）膜品質有何不同？各應用在矽半導體元件之何處？（20 分）
二氧化矽（SiO2）膜蝕刻（etching）製程方式一般有那些？其特性與優缺點各為何？
（20 分）
金屬化（metalization）製程方式一般有那些？其特性有何不同？各適用在何處？
（20 分）
請以剖面圖（cross section）敘述在矽晶圓（Si wafer）上製作CMOS 元件之基本
製程步驟。（20 分）
電子工程 96 年其他科目
半導體工程國文工程數學法學知識與英文計算機概論電子學電磁學電路學公民與英文基本電學大意電子學大意原住民族行政及法規計算機概要電子儀表概要電子學概要憲法與英文積體電路技術通訊系統電子元件電子計算機原理電磁學與電磁波電路分析高等電子電路學法學知識基礎能力測驗基本電學中華民國憲法與英文積體電路技術研究策略規劃與問題解決高等電子電路學研究原住民族行政及法規大意與英文半導體元件固態物理專利法規積體電路製程技術原住民族行政及法規大意半導體元件物理法學知識(包括中華民 國憲法、法學緒論))國 文(作文、公文與測驗)綜合知識測驗(中華民國憲法概要、原住民族行政概及法規概要)綜合知識測驗(中華民國憲法概要、原住民族行政及法規概要)綜合知識測驗(中華民國憲法、原住民族行政及法規)中華民國憲法世界地理大意公民與本國史地大意中華民國憲法概要本國歷史與地理概要物理數位信號處理數位系統設計專業知識測驗(基本電學)綜合知識測驗(一)(中華民國憲法概要、本國歷史、地球科學)綜合知識測驗(二)(法學緒論、數的推理)民用航空法無線電助導航設備航空通信設備電子計算機大意電路學大意專業知識測驗(工程數學、電路學)綜合知識測驗(一)(中華民國憲法、法學緒論、數的推理)綜合知識測驗(二)(本國歷史、地球科學、英文)中外地理中外地理大意公路法數位通信計算機結構高等電子學高等電磁學電信工程電子計算機原理及應用電子電路