
資料來源:司法院裁判書系統
最高行政法院(含改制前行政法院)107年度判字第36號
最 高 行 政 法 院 判 決
107年度判字第36號
- 上訴人
- 尼康股份有限公司
- 代表人
- 牛田一雄
- 訴訟代理人
- 桂齊恒 律師
- 訴訟代理人
- 江郁仁 律師
- 上訴人
- 經濟部智慧財產局
- 代表人
- 洪淑敏
- 被上訴人
- 黃慶賢
- 訴訟代理人
- 蔡清福 律師
蔡律 律師
蔡馭理 專利師
上列當事人間發明專利舉發事件,上訴人對於中華民國106年4月20日智慧財產法院105年度行專訴字第60號行政判決,提起上訴,本院判決如下:
主文
上訴駁回。
上訴審訴訟費用由上訴人負擔。
理由
一、緣上訴人尼康股份有限公司(下稱尼康公司)於民國89年11月22日以「曝光裝置及曝光方法」向上訴人經濟部智慧財產局(下稱智慧局)申請發明專利(申請專利範圍共11項,第1、7項為獨立項,其餘為附屬項),並以西元1999年11月26日申請之日本第11-336472號專利案及西元2000年10月17日申請之日本第2000-316451號專利案主張優先權,經上訴人智慧局編為第089124732號審查後,於90年10月26日核准專利,嗣公告期滿後,於90年12月1日公告發給第146977號專利證書(下稱系爭專利)。其後,被上訴人於103年10月15日以系爭專利違反90年10月24日修正公布、90年10月26日施行之專利法(下稱核准時專利法)第20條第2項規定,對之提起舉發,上訴人尼康公司旋於104年1月9日提出申請專利範圍更正本,經上訴人智慧局合併審查後,於105年1月20日為「104年1月9日之更正事項,准予更正。請求項1至11舉發不成立。」之處分(下稱原處分)。被上訴人不服原處分關於「請求項1至11舉發不成立」部分,提起訴願,經決定駁回,被上訴人仍未甘服,遂向智慧財產法院(下稱原審)提起行政訴訟。經原審依職權命上訴人尼康公司獨立參加本件上訴人智慧局之訴訟後,判決撤銷訴願決定及原處分,並命上訴人智慧局應就系爭專利為舉發成立應予撤銷之處分,上訴人尼康公司不服,遂提起本件上訴。
二、被上訴人起訴主張:㈠系爭專利的掃描方向調整機構120同時包括「位移調整機構」及「倍率調整機構」之功能,原證6對應元件應為平行平板玻璃4a~4e(位移調整機構)及投影光學系統3a~3e(倍率調整機構)內的倍率調整光學元件(例如:凹透鏡及凸透鏡模組30a~30c)。系爭專利的掃描方向調整機構(例如:平行平板玻璃41、42與倍率調整機構內的第一組戴桑型光學系統31~33與變焦距光學系統45等倍率調整光學元件之組合),直接對應原證6掃描方向調整機構(即平行平板玻璃4a~4e與投影光學系統3a~3e內的倍率調整光學元件之組合)。利用原證6的(Dx11-Dx21)與(Dx12-Dx22)轉換成感光基板在掃描方向(X方向)的膨脹量及收縮量,該膨脹量及收縮量係用於位移校正,而決定如何調整前述投影像之掃描方向之位置。原證6第7欄第17至21行明確揭露標記Dyl、Dy2是沿掃描方向X形成之複數對準標記,原證6第7欄第22至25行明確揭露標記Dx11、Dx12、Dx21及Dx22是沿非掃描方向形成之複數對準標記。原證6第8欄第29至33行揭露掃描方向X形成之複數對準標記(即Dy1及Dy2)係用以計測非掃描方向Y的膨脹量及收縮量Dy1-Dy2,原證6圖6已揭露(Dx11-Dx21)與(Dx12-Dx22)的計測結果係用於調整影像在基板上的X方向(掃描方向)位置。原證6已完全揭露系爭專利「沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向(Y方向)形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像之前述掃描方向之位置」。原證2及6在投影光學系統的結構上並無實質差異,僅兩者透過位移量來調整的計算方式有所不同,俾分別適用於投影光學系統本身誤差的校正以及感光基板變形的校正,故原證2及6組合足以證明系爭專利請求項1、7不具進步性。㈡上訴人智慧局及訴願決定均承認原證5及6之組合已揭示系爭專利請求項2所進一步界定之技術特徵,故原證2、5及6之組合足以證明系爭專利請求項2不具進步性。原證2及6均揭露系爭專利請求項3、8進一步之界定之技術特徵,故原證2及6之組合足以證明系爭專利請求項3、8不具進步性。原證6已揭露系爭專利請求項4、9進一步之界定之技術特徵,故原證2、3及6之組合足以證明系爭專利請求項4、9不具進步性。㈢系爭專利請求項5、10分別為請求項1至4、7及8之附屬項,其包括請求項1、7之全部技術特徵,而再做進一步之界定。由於原證2及6之組合或原證2、3及6之組合或原證2、5及6之組合已揭露請求項1至4、7及8所有技術特徵,原證6已揭露系爭專利請求項5、10進一步之界定之技術特徵,故原證2、6及7之組合或原證2、3、6及7之組合或原證2、5、6及7之組合均足以證明系爭專利請求項5、10不具進步性。㈣原證6已揭露系爭專利請求項6、11進一步之界定之技術特徵,故原證2、4及6之組合足以證明系爭專利請求項6及11不具進步性等語,求為判決訴願決定及原處分均撤銷,上訴人智慧局應做成舉發成立之審定。
三、上訴人智慧局則以:㈠系爭專利的投影光學系統12a已包含掃描方向調整機構120,而掃描方向調整機構120又包含多個透鏡與反射鏡組。原證6之掃描方向調整機構(又稱平行玻璃片元件,元件4a~4e)確實未被包含於投影光學系統(元件3a~3e)。原證6之掃描方向是X方向,調整機構(元件4a~4e)調整的是影像在基板上的Y方向(非掃描方向)位置,而系爭專利請求項1僅限定「具有掃描方向調整機構,以調整投影於前述基板之投影像在前述掃描方向之位置」,故系爭專利請求項1「調整」影像投影位置的方式,與原證6有所不同。原證2圖1之掃描方向調整機構(元件17~21)是被包含於投影光學系統(元件5~9),元件17~21可利用Δx1、Δx2、Δy1、Δy2等位移量來調整水平方向的位置與旋轉量,顯然原證2與原證6對位移量來調整計算方式完全不同,無法證實兩者組合後的計算方式為何,即便組合亦欠缺「前述投影光學系統具有掃描方向調整機構,以調整投影於前述基板之投影像在前述掃描方向之位置」,故原證2及6之組合不足以證明系爭專利請求項l、7違反核准時專利法第20條第2項規定,原證6亦不足以證明系爭專利請求項l、7違反核准時專利法第20條第1項規定。㈡原證5及6雖已揭示系爭專利請求項2之附屬技術特徵,惟因熟習該項技術者無法組合原證2及6的內容,已如前述,且原證5並未揭露原證2及6與系爭專利請求項1之間具差異之技術特徵,是由原證2、5及6所揭露內容之組合,熟習該項技術者仍無法輕易完成系爭專利請求項2之發明。㈢原證2及6之內容,皆與系爭專利請求項3、8之「前述投影光學系統,係具有沿與前述掃描方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組;前述掃描方向調整機構,係調整前述複數投影光學系統模組之各模組在前述掃描方向之投影像位置。」技術特徵無關,且原證2及6無法輕易組合,已如前述,故熟習該項技術者仍無法依原證2及6所揭露內容之組合而輕易完成系爭專利請求項3、8之發明。㈣原證3雖揭示系爭專利請求項4之附屬技術特徵,惟原證2及6無法輕易組合,已如前述,且原證2、3及6仍未揭示系爭專利請求項1的部分技術特徵,故原證2、3及6之組合、修飾及置換仍不足以證明系爭專利請求項4違反核准時專利法第20條第2項規定。㈤原證7雖揭示系爭專利請求項5之附屬技術特徵,惟原證2及6無法輕易組合,已如前述,且原證2、6所未揭示系爭專利請求項1的部分技術特徵,亦未於原證3、5或7揭示,原證2、6及7之組合或原證2、3、6及7之組合或原證2、5、6及7之組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專利請求項5違反核准時專利法第20條第2項規定。㈥原證4雖揭示系爭專利請求項6之附屬技術特徵,惟原證2及6無法輕易組合,已如前述,且原證2、6及4均未能揭示系爭專利請求項1的部分技術特徵,故原證2、6及4之組合與修飾、置換仍不足以證明系爭專利請求項6違反核准時專利法第20條第2項之規定等語,資為抗辯,求為判決駁回被上訴人在原審之訴。
四、上訴人尼康公司則以:㈠原證6圖6之發明不調整投影像在掃描方向(X方向)之位置,僅調整投影像在非掃描方向(Y方向)之位置,故原證6並未揭示系爭專利請求項1「前述掃描方向調整機構是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃描方向之位置」之技術特徵,原證6無法證明系爭專利請求項1、7不具新穎性。原證2及6除「修正值和平形玻璃鏡片傾斜角度量的計算公式」外,沒有任何交集,故原證2及6不具組合動機,無法組合證明系爭專利請求項1、7不具進步性。㈡原證6無法否定系爭專利請求項1、7之新穎性,原證2及6之組合亦無法否定系爭專利請求項1、7之進步性,故原證2、5及6之組合無法證明系爭專利請求項2不具進步性,原證2及6之組合無法證明系爭專利請求項3、8不具進步性,原證2、3及6之組合無法證明系爭專利請求項4、9不具進步性,原證2、6及7之組合或原證2、3、6及7之組合或原證2、5、6及7之組合均無法證明系爭專利請求項5、10不具進步性,原證2、4及6之組合亦無法證明系爭專利請求項6、11不具進步性等語,資為抗辯,求為判決駁回被上訴人在原審之訴。
五、原審斟酌全辯論意旨及調查證據之結果,以:㈠原證6足以證明系爭專利請求項1、7不具新穎性:⒈參酌系爭專利圖1至4及專利說明書之記載,投影光學系統具有成像特性調整裝置,其包含:位移機構、旋轉校正機構及倍率調整機構。原證6揭示一種曝光裝置,具有配置多個對應於相應的照明光學系統的投影光學系統,該等投影光學系統有一倍率改變裝置,用於根據所述基板的形狀變化改變至少一投影光學系統的放大率;以及成像位置改變裝置,根據倍率的變化改變通過所述至少一投影光學系統投影所述圖像所投射的位置。而各個投影光學系統3a至3e設置有倍率控制裝置20,通過調整各投影光學系統的光學元件之間的空氣壓力,改變投影光學系統的放大倍率。各個倍率控制裝置20是由兩個具有較大的曲率半徑的平凹鏡片30a和30b和雙凸透鏡30所組成。旋轉校正機構,用以校正光罩或感光基板之旋轉。另由原證6說明書已揭示「成像位置改變裝置為多個相同厚度設置在相對於所述投影光學系統各自的光軸,按照基板形狀的變化,多個平面平行鏡片分別根據其各自的光軸分別位移不同的角度」,「依據形狀的變化,隨著在移動方向(X方向)之變化,至少一個投影光學系統在所述之掃描方向之圖像位置亦會跟著改變」,其揭示在掃描方向之影像的位置會依據基板形狀變化作調整,故原證6揭示系爭專利請求項1、7之「投影光學系統具有掃描方向調整機構」。⒉原證6說明書揭示對準標記D係形成於基板(5)之曝光區域(5a)之外側,其是由標記Dy1、Dy2(沿掃描方向設置之對準標記),及Dx11、Dx12、Dx21、Dx22(沿非掃描方向設置之對準標記)組成,且(Dx11,Dx12)與(Dx21,Dx22)對準標記係與掃描方向(X方向)交叉形成,而利用該對準標記作為對準校正,透過至少(Dx11-Dx21)與(Dx12-Dx22)轉換成感光基板在掃描方向(X)的膨脹量及收縮量之計測結果,並藉由將標記Dy1、Dy2的檢測信號與Y方向的距離之間的差值轉換來連續地獲得由於其在X方向上的位置而得到在Y方向上的感光基板的膨脹量及收縮量,故原證6已揭露利用Dx(非掃描方向),Dy(掃描方向)標記作X方向(掃描方向)及Y方向(非掃描方向)之連續校正,故原證6亦揭示系爭專利請求項1、7之「掃描方向調整機構是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃描方向之位置」之技術特徵。⒊原證6已揭示系爭專利請求項1、7所有技術特徵,故原證6足以證明系爭專利請求項1、7不具新穎性,原證2及6之組合亦可證明系爭專利請求項1、7不具進步性。㈡原證5揭示一種投影光學系統及具有該投影系統之曝光裝置,其中該投影光學系統(22),係組合2組具備反射稜鏡(31、42)、驅動前述反射稜鏡之驅動部(300)、透鏡(32、44)、及凹面鏡(33、45)之戴桑型光學系統而構成,已揭示系爭專利請求項2之附屬技術特徵,原證5及6均為相同技術領域,且所欲解決及達成之功效相同,故發明所屬技術領域中具通常知識者在參酌原證6所揭示之光學系統,即有合理動機組合原證5所揭示之戴桑型光學系統而完成系爭專利請求項2之發明,故原證5及6之組合足以證明系爭專利請求項2不具進步性,原證2、5及6之組合亦足以證明系爭專利請求項2不具進步性。㈢原證6揭示投影光學系統(元件3a~3e與4a~4e之組合),係具有沿與前述掃描方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組;掃描方向調整機構(元件4a~4e與3a~3e內部倍率調整光學元件之組合),係調整前述複數投影光學系統模組(3a~3e、30a~30c)之各模組在前述掃描方向之投影像位置,故原證6已揭示系爭專利請求項3、8所有技術特徵,原證2及6之組合足以證明系爭專利請求項3、8不具進步性。㈣原證6揭示投影光學系統(元件3a~3e與4a~4e之組合),係具有複數投影光學系統模組;將該投影光學系統之投影像(P1~P5)之一部分重疊後,於前述基板上(5)進行前述圖案之曝光,故原證6已揭示系爭專利請求項4、9之所有技術特徵,原證2、3及6之組合亦可證明系爭專利請求項4、9不具進步性。㈤原證6揭示「隨著在移動方向(X方向)之形狀的變化,至少一個投影光學系統在所述之掃描方向之圖像位置亦會跟著改變」,故原證6已揭示系爭專利請求項5(依附於系爭專利請求項1、3及4)及請求項10之整體技術特徵,另原證5已揭示系爭專利請求項2之附屬技術特徵,故原證2、6及7之組合或原證2、3、6及7之組合或原證2、5、6及7之組合均足以證明系爭專利請求項5、10不具進步性。㈥原證6揭示投影光學系統(元件3a~3e與4a~4e之組合),係具有沿與前述掃描方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組;其中,倍率控制裝置20是由兩個具有較大的曲率半徑的平凹鏡片30a和30b和雙凸透鏡30所組成,可知原證6已揭示系爭專利請求項6、11之全部技術特徵,故原證2、4及6足以證明系爭專利請求項6、11不具進步性。準此,系爭專利請求項1至11有得撤銷之原因,因將原決定及原處分均予撤銷,並命上訴人智慧局應就系爭專利為舉發成立應予撤銷之處分。
六、本院按:
㈠本件上訴人尼康公司係原審依行政訴訟法第42條規定參加訴訟之獨立參加人,因不服原審所為對其不利之判決,提起上訴,其利害關係與原審被告即智慧局一致,依本院97年5月份第2次庭長法官聯席會議決議意旨,本件應併列智慧局為上訴人。
㈡按「發明專利權得提起舉發之情事,依其核准審定時之規定。」為專利法第71條第3項本文所明定。查系爭專利申請日為89年11月22日,經上訴人智慧局審查後於90年10月26日核准專利,並於90年12月1日公告。嗣被上訴人於103年10月15日提出舉發,經上訴人智慧局審查,於105年1月20日為「104年1月9日之更正事項,准予更正。請求項1至11舉發不成立。」之處分,故系爭專利有無撤銷之原因,應以核准審定時所適用之90年10月4日修正、90年10月24日公布施行之專利法(即核准時專利法)規定為斷。
㈢凡利用自然法則之技術思想之高度創作,而可供產業上利用,且無申請前已見於刊物或已公開使用等情形者,得依法申請取得發明專利。但發明係運用申請前既有之技術或知識,而為熟習該項技術者所能輕易完成時,仍不得依法申請取得發明專利,核准時專利法第19條、第20條第1項、第2項定有明文。而對於獲准專利權之發明,任何人認有違反前揭專利法之規定者,得檢附證據,向專利專責機關提起舉發。
㈣查更正公告後系爭專利請求項共計11項,第1、7項為獨立項,其餘為附屬項,茲分述其內容如下:第1項:一種曝光裝置,其係沿既定方向同步掃瞄具有圖案之光罩與基板,透過投影光學系統於前述基板上進行前述光罩圖案之曝光者,其特徵在於:前述投影光學系統具有掃瞄方向調整機構,以調整投影於前述基板之投影像在前述掃瞄方向之位置,前述掃瞄方向調整機構是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃瞄方向交叉之非掃瞄方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃瞄方向之位置。第2項:如申請專利範圍第1項之曝光裝置,其中前述投影光學系統,係組合2組具備反射稜鏡、驅動前述反射稜鏡之驅動部、透鏡、及凹面鏡之戴桑型光學系統而構成,並於一方之戴桑型光學系統之前述反射稜鏡與前述透鏡間之光程上設置倍率調整光學系統。第3項:如申請專利範圍第1項之曝光裝置,其中前述投影光學系統,係具有沿與前述掃瞄方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組;前述掃瞄方向調整機構,係調整前述複數投影光學系統模組之各模組在前述掃瞄方向之投影像位置。第4項:如申請專利範圍第1項之曝光裝置,其中前述投影光學系統,係具有複數投影光學系統模組;將該投影光學系統模組之投影像之一部份重疊後,於前述基板上進行前述圖案之曝光。第5項:如申請專利範圍第1至4項中任一項之曝光裝置,其中前述掃瞄方向調整機構隨著在前述掃瞄方向之前述基板之形狀變化,調整前述投影像之位置。第6項:如申請專利範圍第1項之曝光裝置,其具備進行前述投影光學系統之倍率調整之倍率調整機構、及旋轉前述投影光學系統之投影像之影像旋轉機構中之至少一機構。第7項:一種曝光方法,其係沿既定掃瞄方向同步掃瞄具有圖案之光罩與基板,透過投影光學系統於前述基板上進行前述光罩圖案之曝光者,其特徵在於:前述投影光學系統,包含調整投影於前述基板之投影像在前述掃瞄方向之位置之步驟。前述步驟是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃瞄方向交叉之非掃瞄方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃瞄方向之位置。第8項:如申請專利範圍第7項之曝光方法,其中前述投影光學系統,具有沿與前述掃瞄方向交叉之方向配設之複數投影光學系統模組;前述掃瞄方向之位置調整,係調整前述複數投影光學系統模組之各個模組在前述掃瞄方向之投影像位置。第9項:如申請專利範圍第7項之曝光方法,其中前述投影光學系統,具有複數投影光學系統模組;將該投影光學系統模組之投影像之一部份重疊後,於前述基板上進行前述圖案之曝光。第10項:如申請專利範圍第7或8項之曝光方法,其中前述掃瞄方向之位置調整隨著在前述掃瞄方向之前述基板形狀之變化而進行。第11項:如申請專利範圍第7項之曝光方法,其包括進行前述投影光學系統之倍率調整之步驟、及旋轉前述投影光學系統之投影像之步驟中至少一步驟。
㈤本件關於原證2及6之組合足以證明系爭專利請求項1、3、7及8不具進步性,原證2、5及6之組合足以證明系爭專利請求項2不具進步性,原證2、3及6之組合足以證明系爭專利請求項4及9不具進步性,原證2、6及7之組合、原證2、3、6及7之組合、原證2、5、6及7之組合均足以證明系爭專利請求項5、10不具進步性,且原證2、4及6之組合足以證明系爭專利請求項6、11不具進步性等情,業據原審依調查證據之辯論結果,詳細敘明其得心證之理由,經核其認事用法並無違經驗或論理法則,原判決所適用之法規與該案應適用之法規並無違背,與解釋判例亦無牴觸,並無判決違背法令之情形。
㈥經查,投影曝光裝置之感光基板在製程中須經加熱處理,因此感光基板會有伸縮或形狀變化,例如:成曲線狀彎曲或平行四邊形形狀變形,為該技術領域習知之問題(見系爭專利說明書第7頁)。而原證6圖4B已揭示DY1、DY2(即DY)係為沿著X向形成之對準標記,DX11、DX12、DX21、DX22(即DX)係為沿著Y方向形成之對準標記,而由原證6圖4A、4B可知X方向為「掃描方向」,則與X方向垂直之Y方向,即為「非掃描方向」,是以原證6已揭示「DX是沿著Y方向(非掃描方向)形成之複數對準標記」。此外,原證6圖6為依據感光基板之膨脹量及收縮量來校正光軸示意圖,DY1-DY2呈現感光基板在Y方向的膨脹量及收縮量,以作為Y方向之校正,而調整投影像在Y方向之位置。原證6說明書另揭示「(2)通過相對地掃描標記和光束來測量標記DX11,DX12在X方向上的位置。步驟(3)移動台6之位置進行移動,直到標記DX21,DX22位於對準傳感器PM的檢測範圍內,即可偵測到標記DX21,DX22在X方向的位置。因此,各別位置之(DX11-DX21)及(DX12-DX22)之差異平均值變為感光基板在X方向上的膨脹量及收縮量,並且(DX11-DX12)及(DX21-DX22)差異的平均值,表示基板繞光軸的旋轉量」,係透過至少(DX11-DX21)與(DX12-DX22)轉換成感光基板在掃描方向(X)的膨脹量及收縮量之計測結果(見該說明書第7欄第65行至第8欄第10行)。再者,原證6亦揭示「成像位置改變裝置為多個相同厚度設置在相對於所述投影光學系統各自的光軸,按照基板形狀的變化,多個平面平行鏡片分別根據其各自的光軸分別位移不同的角度」(見該說明書第2欄第64行至第3欄第2行),而包含掃描方向與非掃描方向之位移,且由DY1-DY2呈現於感光基板在Y方向的膨脹量及收縮量,既可作為調整投影像在Y方向(即非掃瞄方向)之位置,則依上述原證6所明確記載之技術內容,即已隱含由(DX11-DX21)及(DX12-DX22)之差異平均值變為感光基板在X方向上的膨脹量及收縮量,亦可作為調整投影像在X方向(即掃瞄方向)之位置。是以依原證6說明書整體所揭示之內容,原證6已揭示系爭專利請求項1、7之「掃描方向調整機構是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃描方向交叉之非掃描方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃描方向之位置」、「前述步驟是基於前述基板中之曝光區域之外側中沿與前述掃瞄方向交叉之非掃瞄方向形成之複數對準標記之計測結果,調整前述投影像在前述掃瞄方向之位置」之技術特徵。上訴意旨主張:原證6只有揭示「利用Dx標記,藉由速度之變更來進行X方向(掃描方向)之校正」,並沒有揭示「Dx是沿著Y方向(非掃描方向)形成之標記」、「以掃描方向調整機構調整投影像在掃描方向之位置」,故原審認定原證6已揭示系爭專利請求項1、7之上開技術特徵,顯然與原證6之揭示內容矛盾,原判決有理由矛盾之違背法令,即非可採。
㈦上訴意旨另主張:由上訴理由狀之參考圖3至5可知,從Y方向之調整直接推知X方向之調整,只能得到錯誤的曝光結果云云。惟查,原判決係認定依原證6說明書及圖式,其已揭示感光基板在Y方向變形時,由形成於掃瞄方向(即X方向)之標記DY1-DY2呈現之膨脹量及收縮量,作為調整投影像在Y方向之位置,感光基板在X方向變形時,亦可由形成於非掃瞄方向(即Y方向)之標記(DX11-DX21)及(DX12-DX22)呈現之膨脹量及收縮量,作為調整投影像在X方向之位置,而上訴理由狀之參考圖3及4雖係針對感光基板於Y方向變形時,說明倍率調整機構之倍率調整及光軸位置進行Y方向之校正調整,惟參考圖5則係針對感光基板於X方向變形時,光軸位置僅進行Y方向之校正調整,故而導致錯誤曝光結果,是上訴人據此主張原判決有理由不備或理由矛盾之違背法令,亦非可採。
㈧按「關於撤銷、廢止商標註冊或撤銷專利權之行政訴訟中,當事人於言詞辯論終結前,就同一撤銷或廢止理由提出之新證據,智慧財產法院仍應審酌之。」智慧財產案件審理法(下稱審理法)第33條第1項定有明文。是當事人於言詞辯論終結前向智慧財產法院提出之新證據,應限於「同一撤銷或廢止理由」,法院始應加以審酌。又上開規定之立法理由為「一、現行專利法(指92年專利法)第67條第3項規定舉發人補提理由及證據,應自舉發之日起1個月內為之,但在舉發審定前提出者,仍應審酌之。依此規定,舉發人就關於專利權應撤銷之證據,如未於舉發審定前提出,縱於行政訴訟中補提,行政法院亦不予審酌。惟依專利法第67條第4項之規定,於行政訴訟判決確定後,舉發人仍得以前行政訴訟中未能提出之新證據,就同一專利權,再為舉發,並因之衍生另一行政爭訟程序。又關於撤銷或廢止商標註冊之行政爭訟程序,實務上亦同此處理。惟上述情形,致使同一商標或專利權之有效性爭議,得發生多次之行政爭訟,難以終局確定,甚而影響其他相關民刑事訴訟之終結,自有不宜。……爰設本條規定,容許在行政訴訟中,仍得補提關於撤銷、廢止理由之新證據,以期減少就同一商標或專利權有效性之爭執,因循環發生行政爭訟,而拖延未決之情形。……」而92年專利法第67條第3項及4項分別規定:「(第3項)舉發人補提理由及證據,應自舉發之日起1個月內為之。但在舉發審定前提出者,仍應審酌之。(第4項)舉發案經審查不成立者,任何人不得以同一事實及同一證據,再為舉發。」上開規定所稱「理由」係指系爭專利有應撤銷專利權之舉發事由,例如:違反新穎性或進步性等事由,以及請求項與證據間之關係,「同一事實」係指上開舉發理由,「同一證據」則係指實質內容相同之證據。上開92年專利法第67條第3項及4項規定,已於100年12月21日修正為專利法第73條第4項及第81條第1款規定。是依92年及現行專利法之規定,舉發理由及證據均應於舉發審定前提出,且舉發案經審查不成立者,任何人不得以同一舉發理由及同一實質內容相同之證據再行舉發,如舉發理由不同,抑或證據之實質內容不同,即不受上開一事不再理之限制。審理法第33條第1項規定之目的雖在於減少同一專利權有效性之爭執發生多次爭訟,而容許在行政訴訟中仍得補提新證據,因而放寬上開專利法有關「舉發證據」提出時點之限制。然該規定仍明文限於「同一撤銷理由」,而所稱「同一撤銷理由」,依上開立法目的觀之,應係指同一舉發理由,是以於行政訴訟中仍不得提出新理由,而應受專利法有關「舉發理由」提出時點之限制。又新穎性及進步性分別為不同之專利要件,專利法亦分別為不同之規定,核准專利究係違反新穎性或進步性,自非同一舉發理由。查本件被上訴人於提起舉發時原係主張舉發證據2(即原證2)足以證明系爭專利請求項1、7違反核准時專利法第20條第1項而不具新穎性(見原處分卷㈠第198、199頁),嗣於104年2月9日變更舉發理由主張舉發證據2(即原證2)及舉發證據6(即原證6)之組合足以證明系爭專利請求項1、7違反核准時專利法第20條第2項而不具進步性(見原處分卷㈡第47、48頁),其後於行政訴訟階段提出原證6足以證明系爭專利請求項1、7違反核准時專利法第20條第1項而不具新穎性之主張,顯非基於同一撤銷理由,且原判決亦認定原證6(即舉發證據6)並非新證據(見原判決第3頁),與審理法第33條第1項之規定無涉,而被上訴人於行政訴訟中以同一證據補提不同舉發理由,依上開說明及規定,即不應准許,是原判決以被上訴人之上開主張符合審理法第33條第1項規定而納入審理範圍,並進而為系爭專利請求項1、7不具新穎性之判斷,即非適法。從而,上訴意旨指摘原判決就此部分適用法規不當而違背法令,即屬有據。
㈨上訴意旨復主張:原判決係採用被上訴人所提出行政訴訟補充理由狀㈢之內容而作成判斷,惟原審並未送達該書狀予上訴人,違反奇襲裁判(surprising judgement)禁止原則云云。經查,被上訴人係於原審言詞辯論終結後之106年4月7日下午14:09以司法院電子訴訟文書(含線上起訴)服務平台向原審提出行政訴訟補充理由狀㈢(見原審卷㈡第571頁),因本件上訴人尼康公司並未同意使用上開平台傳送書狀,原審應列印上開書狀之影本送達上訴人尼康公司,惟原審疏未送達上開書狀影本予上訴人尼康公司,是原審就此部分訴訟程序之踐行,固非妥適。惟經核行政訴訟補充理由狀㈢內容,係就原證6說明書及圖6所揭示內容予以補充說明,而此部分內容,業經當事人於原審準備程序及言詞辯論程序進行攻防,自無對上訴人造成突襲之情事,併此敘明。
㈩綜上,原判決以系爭專利請求項1至11有不具進步性之情事,違反核准時專利法第20條第2項之規定,而撤銷訴願決定及原處分,並命上訴人智慧局應就系爭專利為舉發成立應予撤銷之處分,於法並無不合。原判決就不具新穎性部分,理由雖有不當,惟尚不影響系爭專利權應予撤銷之結論,而不影響判決結果,不得據以廢棄原判決(行政訴訟法第258條)。上訴論旨,仍執前詞,指摘原判決違背法令,求予廢棄改判,為無理由,應予駁回。
七、據上論結,本件上訴為無理由,依智慧財產案件審理法第1條及行政訴訟法第255條第2項、第98條第1項前段、第104條,民事訴訟法第85條第1項前段,判決如主文。
最高行政法院第三庭
以 上 正 本 證 明 與 原 本 無 異