智慧財產及商業法院民事判決

原告

Entegris,Inc.（美國安堤格里斯公司）

法定代理人

Joseph Colella

原告

台灣英特格科技股份有限公司

法定代理人

謝俊安

共同訴訟代理人

張哲倫律師（兼送達代收人）

共同訴訟代理人

羅秀培律師

共同訴訟代理人

陳初梅律師

共同訴訟代理人

謝祥遇

共同訴訟代理人

蕭詠翰

被告

家登精密工業股份有限公司

法定代理人

邱銘乾

訴訟代理人

郭雨嵐律師

訴訟代理人

汪家倩律師

訴訟代理人

潘皇維律師

訴訟代理人

李佶穎律師

訴訟代理人

黃秀禎律師

訴訟代理人

蔡祁芳律師

輔佐人

陳建銘

上列當事人間請求確認請求權不存在事件，本院於民國112年5月12日言詞辯論終結，判決如下：

主文

事實及理由

壹、程序方面：

一、按民事事件涉及外國人或外國地者，為涉外民事事件，內國法院應先確定有國際管轄權，始得受理，次依內國法之規定或概念，就爭執之法律關係予以定性後，決定應適用之法律（即準據法），而涉外民事法律適用法並無明文規定國際管轄權，應類推適用民事訴訟法之規定（最高法院98年度台上字第2259號判決意旨參照）。本件原告Entegris,Inc.為依外國法設立之外國法人，具有涉外因素，為涉外民事事件；被告之主營業所在我國境內，應類推民事訴訟法第2條第2項規定，以被告之主營業所所在地之我國法院有國際管轄權。又依專利法所保護之智慧財產權益所生之第一、二審民事訴訟事件，智慧財產及商業法院有管轄權，智慧財產及商業法院組織法第3條第1款、智慧財產案件審理法第7條定有明文。是以，本院就本件確認請求權不存在事件具有管轄權，並適用涉外民事法律適用法以定本件涉外事件之準據法。

二、按以智慧財產為標的之權利，依該權利應受保護地之法律。涉外民事法律適用法第42條第1項定有明文。本件涉訟權利為被告於我國申請且受專利法所保護之中華民國發明第I238804號「傳送盒之填充裝置改良」專利（下稱系爭專利）之專利權，故本件準據法應依中華民國法律。

三、按分別提起之數宗訴訟，其訴訟標的相牽連或得以一訴主張者，法院得命合併辯論。民事訴訟法第205條第1項定有明文。查本件原告Entegris,Inc先於民國110年11月5日，請求確認被告基於系爭專利，對於本件原告型號A300之晶圓傳送盒（FOUP）（下稱系爭產品1）、型號EUV 1010系列之極紫外光光罩盒（EUV POD）（下稱系爭產品2）之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在，向本院提起本件訴訟；被告復於110年11月30日以台灣英特格科技股份有限公司（下稱台灣英特格公司）、謝俊安、Bertrand Loy及Entegris,Inc.侵害系爭專利之專利權向本院提起侵害專利權有關財產權爭議等訴訟，經本院以111年度民專訴字第1號請求侵害專利權有關財產權爭議等事件（下稱另案）受理在案，經核上開二訴訟，訴訟標的部分相牽連，並均涉及系爭專利等情，爰依前揭規定，命關於系爭專利之申請專利範圍解釋部分為合併辯論（見本院卷二第309頁至第333頁）。另命合併辯論之數宗訴訟，並非必為合併裁判，本件訴訟與另案之當事人與涉訟產品非完全相同，爰為分別裁判。

四、按公司法於107年8月1日修正、同年11月1日公布施行之第4條規定：「本法所稱外國公司，謂以營利為目的，依照外國法律組織登記之公司。外國公司，於法令限制內，與中華民國公司有同一之權利能力。」即廢除外國公司認許制度，尊重依外國法設立之外國公司於其本國取得法人格之既存事實，而認與我國公司具有相同權利能力。又按有權利能力者，有當事人能力，民事訴訟法第40條第1項定有明文。查原告Entegris,Inc.為依外國法律設立之外國法人，與我國公司有同一之權利能力，即有當事人能力，自得為本件原告。

五、按訴狀送達後，原告不得將原訴變更或追加他訴。但請求之基礎事實同一、不甚礙被告防禦及訴訟之終結者，不在此限，民事訴訟法第255條第1項第2款、第7款定有明文。查本件原告起訴時，原以Entegris,Inc.為原告，嗣於110年12月10日具狀追加台灣英特格公司為原告（見本院卷一第279至282頁），核其所為，係本於確認被告基於系爭專利之專利權對其等就系爭產品1、2之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在之同一基礎事實，且不甚礙被告之防禦及訴訟之終結，於法並無不合，應予准許。

六、按當事人法定代理人之代理權消滅者，訴訟程序在有法定代理人承受其訴訟以前當然停止，民事訴訟法第170條所定之承受訴訟人，於得為承受時，應即為承受訴訟，民事訴訟法第170條、第175條分別明文規定。次按解散之公司除因合併、分割或破產而解散外，應行清算；解散之公司，於清算範圍內，視為尚未解散；前條解散之公司，在清算時期中，得為了結現務及便利清算之目的，暫時經營業務，公司法第24條至第26條定有明文。股份有限公司之清算，原則上以董事為清算人，但公司法或章程另有規定或股東會另選清算人時，不在此限，並為公司法第322條第1項所明定。查本件原告Entegris,Inc.之法定代理人原為Arlene Hornilla，嗣於訴訟進行中變更為Joseph Colella，並經Joseph Colella於111年7月25日具狀聲明承受訴訟（見本院卷三第61頁）；又原告台灣英特格公司經主管機關經濟部中部辦公室以111年3月1日經授中字第11133118170號函核准解散登記在案等情，有經濟部商工登記公示資料查詢服務、被告台灣英特格公司之公司變更登記表在卷可稽（見本院卷一第421頁至第442頁），應行清算程序，而謝俊安陳報其為該公司唯一法人股東即美商英特格有限公司（下稱美商英特格公司）指定清算人為謝俊安等情，有台灣英特格公司董事同意書在卷可考（見本院卷一第419頁），揆諸前開規定，被告謝俊安為原告台灣英特格公司之清算人，則原告台灣英特格公司於本件訴訟中以清算人謝俊安為其法定代理人，並經謝俊安具狀聲明承受訴訟（見本院卷一第417頁），均核符規定，應予准許。

貳、實體方面：

一、原告主張：

㈠被告發函與原告主張系爭產品1、2侵害其系爭專利請求項1、4、5、8、9，惟系爭產品1、2並未落入系爭專利前揭請求項之文義及均等範圍。又系爭專利請求項1、9所對應之說明書內容，未明確且充分揭露技術特徵，使該所屬技術領域中具有通常知識者不能瞭解及據以實現，系爭專利請求項1、4、5、8、9亦無法為說明書所支持，再依附表三所示證據得以證明系爭專利有得撤銷事由，其中甲證35足以證明系爭專利請求項1、4、5、8不具新穎性；甲證9，或甲證9、10組合，或甲證9、11組合，或甲證9、13組合，或甲證9、14組合，或甲證9、21組合，或甲證9、34組合，或甲證9、10、11組合，或甲證9、10、13組合，或甲證9、10、14組合，或甲證9、10、21組合，或甲證9、10、34組合，各足以證明系爭專利請求項1、4、5、8不具進步性；甲證35，或甲證35、9組合，或甲證35、10組合，或甲證35、11組合，或甲證35、13組合，或甲證35、14組合，或甲證35、21組合，或甲證35、34組合，各足以證明系爭專利請求項1、4、5、8、9不具進步性；甲證10，或甲證10、9組合，或甲證10、9、11組合，或甲證10、9、13組合，或甲證10、9、14組合，或甲證10、9、21組合，或甲證10、9、34組合，或甲證10、11組合，或甲證10、13組合，或甲證10、14組合，或甲證10、21組合，或甲證35、10、9組合，或甲證35、10、11組合，或甲證35、10、13組合，或甲證35、10、14組合，或甲證35、10、21組合，或甲證35、10、34組合，各足以證明系爭專利請求項9不具進步性。是兩造對於系爭產品1、2是否侵害系爭專利、系爭專利是否有得撤銷事由既有爭執，該法律關係之不明確將造成原告於私法上之地位有受侵害之危險，且得以確認判決除去之，爰依民事訴訟法第247條第1項前段之規定提起本件訴訟。

㈡並聲明：

⒈確認被告基於系爭專利，對於原告系爭產品1、2之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在。

⒉訴訟費用由被告負擔。

二、被告則以：

㈠系爭專利之關鍵技術特徵為「橡膠製成的填充裝置」，具有保持氣密性、充氣管與填充裝置呈密合狀態、減少先前技術之彈簧與透孔、填充裝置之側壁產生摩擦、降低成本、降低組裝工時加快生產速度等目的、作用、功效。且經被告進行比對發現系爭產品1已落入系爭專利請求項1、4、5、8、9之文義及均等範圍，並依原告Entegris,Inc.官網所示產品資料，可知系爭產品1、2使用相同之Entegris標準填充裝置，是系爭產品2亦落入系爭專利請求項1、4、5、8、9之文義及均等範圍。又系爭專利請求項1、9所對應之說明書內容明確並充分揭露，系爭專利請求項1、4、5、8、9亦為說明書所支持，且在晶圓或光罩傳送盒領域，在系爭專利申請前，無任何先前技術揭露或教示系爭專利之技術特徵，亦無人在晶圓或光罩傳送盒之填充裝置使用橡膠材料製成，如附表三所示證據或其等組合均不足以證明系爭專利請求項1、4、5、8、9不具新穎性或進步性，再者，於系爭專利申請日後，原告亦以與系爭專利具相同之「橡膠製成的填充裝置」技術概念向經濟部智慧財產局（下稱智慧局）申請並取得中華民國發明第I423451號「具有流體密封流動通道之基板容器」專利，其說明書實施例及圖式與系爭產品1結構完全相同，益見原告認為先前技術無以橡膠作為填充裝置之設計，以橡膠作為填充裝置具新穎性及進步性，原告於本件訴訟為與其專利申請時相反之意思，更係為規避侵權責任，亦有自我矛盾之情形。

㈢並聲明：

⒈原告之訴駁回。

⒉訴訟費用由原告負擔。

三、得心證之理由：原告主張：系爭產品1、2並無侵害系爭專利之專利權，且系爭專利有應撤銷事由，是被告基於系爭專利對原告之系爭產品1、2不存有排除侵害請求權、防止侵害請求權及損害賠償請求權，又被告發函向原告表示其所生產製造、銷售之系爭產品1、2侵害系爭專利請求項1、9，是原告自有訴請確認之必要等節，為被告所否認，並以：系爭產品1、2均侵害系爭專利請求項1、4、5、8、9之文義及均等範圍，且系爭專利並無應撤銷事由，是其基於系爭專利對於系爭產品1、2存有排除侵害請求權、防止侵害請求權及損害賠償請求權等語置辯。茲查：

㈠確認法律關係之訴，非原告有即受確認判決之法律上利益者，不得提起之，民事訴訟法第247條第1項前段定有明文。所謂即受確認判決之法律上利益，係指法律關係之存否不明確，原告主觀上認其在法律上之地位有不安之狀態存在，且此種不安之狀態，能以確認判決將之除去者而言（最高法院52年台上字第1240號判決意旨參照）。本件原告以被告發函表示系爭產品1、2侵害系爭專利請求項1、9之情形，然系爭產品1、2並無侵害系爭專利，且系爭專利有應撤銷事由，而提起本件訴訟等情，業據其提出前述函文在卷為憑（見本院卷一第73頁至第80頁、第291頁至第293頁），經被告否認原告主張之內容，且以前詞置辯，顯見原告就系爭產品1、2是否有侵害系爭專利之專利權，即有主觀之不明確，又被告認其基於系爭專利對原告之系爭產品1、2有防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權存在（見本院卷四第213頁），足致原告身為系爭產品1、2之生產製造、銷售者就該等產品是否侵害系爭專利此法律上地位有受侵害之危險，得以提起本件確認訴訟，除去此種不安之狀態。揆諸上開說明，原告訴請確認被告基於系爭專利對於原告系爭產品1、2之防止侵害請求權、排除侵害請求權不存在，有即受確認判決之法律上利益。至被告雖稱原告Entegris,Inc.曾與其在109年間簽訂保密授權協議，且就系爭專利約定於110年11月12日進行協商，該次協商未果，原告Entegris,Inc.仍於110年11月22日通知被告擬進行二次協商，被告並有意持續進行協商，基於誠信，被告自不會於協商期間對原告起訴專利侵權訴訟，原告從未處於不確定是否被訴致私法上地位不安定，又被告已於110年11月30日向包含本件原告提起另案，是原告提起本件訴訟應無確認利益云云，惟查，原告Entegris,Inc.與被告在109年間之保密授權協議，所涉專利權為中華民國發明第I391304號「光罩盒 RETICLE POD」專利，有被告109年12月24日重大訊息公告網頁資料在卷可考（見本院卷一第327頁），顯與本件系爭專利為不同專利權，又確認利益要件是否具備，需以事實審言詞辯論終結前之事實狀態為認定之基準，則兩造間先前協商程序進行如何或被告當時主觀意願如何，均無礙於本件確認利益之認定；再者，原告係於110年11月5日提起本件訴訟，此觀諸民事起訴狀上收狀章即明（見本院卷一第13頁），被告則於110年11月30日基於系爭專利之專利權向包含本件原告等人提起另案，有另案之民事起訴狀可證（見另案卷一第15頁），核其內容確屬給付之訴，蓋前者確認訴訟之請求，尚非可代替後者給付訴訟之請求，且本件確認之訴與另案給付之訴之當事人並非完全相同，另案涉訟產品亦未包含系爭產品2，是其權利保護利益仍有不同，是被告據此否認原告提起本件訴訟之確認利益云云，並非可取。

㈡系爭專利技術分析：

⒈系爭專利所欲解決的問題：依系爭專利說明書【先前技術】所載（見本院卷一第85頁至第87頁），習用之光罩盒為設置有透孔，並於透孔內穿設有一填充裝置，而填充裝置為設置有一凹槽及缺槽，且填充裝置為套設有一彈簧，當對傳送盒充氣時，為先將充氣管推入填充裝置所設之凹槽內，並推動填充裝置使缺槽移動，且使彈簧產生彈性變形而具有回復力，再將氣體藉由缺槽充填至傳送盒內，當充填完畢時抽出充氣管，而填充裝置會藉由彈簧之回復力而恢復為充氣前之位置並成一閉合狀態，然上述填充裝置於使用時係利用彈簧及充氣管來產生移動，而將氣體充填至光罩內，但彈簧會與透孔及填充裝置產生極大的摩擦，容易在摩擦接觸過程產生細屑，而細屑會隨著充氣動作而破壞了傳送盒內的潔淨度，並因此污染傳送盒內的光罩而危害到整個晶圓生產中的品質和良率，且此種作法於組裝時相當的繁雜，使加工成本大幅上升。

⒉解決問題之技術手段及對照先前技術之功效：依系爭專利說明書發明摘要、【發明內容】所載（見本院卷一第83頁、第87頁），系爭專利之填充裝置內係設置有中空通道，而中空通道的一端為設置有開合部，且開合部為由複數具彈性位移的活頁所組成，並於遠離開合部之另一端設置有導引斜面，而填充裝置之外緣為具有卡摯部。又系爭專利所使用之充氣管之端部為可使用其外形相同於導引斜面，而欲作充氣動作時為利用充氣管所設之端部貼平導引斜面，使端部與導引斜面呈密合狀態，再利用氣體的正壓力來打開開合部所設置活頁達到充填的效果。其主要目的在於利用填充裝置所設置之中空通道及開合部，使充氣管可藉由開合部而伸入傳送盒內充填氣體，且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合，以減少摩擦的產生，進而有效的防止細屑的產生；次要目的在於利用橡膠或塑膠一體成形製成，可有效的降低成本並利於加工，使加工成本下降。

⒊系爭專利主要圖式（見本院卷一第95頁至第101頁）：

⑴第一圖（立體外觀圖）

⑵第二圖（剖面圖）

⑶第三圖（組裝於傳送盒前之立體分解圖）

⑷第四圖（組裝於傳送盒之立體外觀圖）

⑸第五圖（於充填氣體時之動作剖面圖1）

⑹第六圖（於充填氣體時之動作剖面圖2）

⑺第七圖（於充填氣體時之動作剖面圖3）

⑻第八圖（再一實施例之剖面圖）

⒋系爭專利申請專利範圍及解釋：

⑴系爭專利核准公告之申請專利範圍共計9項，其中請求項1、3、6、7、9為獨立項，其餘均為附屬項。本件被告主張系爭專利請求項1、4、5、8、9受侵害，則就前開請求項內容分述如下：

①請求項1：一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之傳送盒內的填充裝置，該傳送盒係具有座體，而座體上方為覆蓋有蓋體，且蓋體內為具有可容置光罩或晶圓之容置空間，其特徵在於：該座體內為設置有透孔，並於透孔內穿設有具有一導引斜面之填充裝置，而填充裝置內為具有中空通道，且中空通道的一端為設置有開合部，俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體，且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合；其中，該填充裝置為橡膠所製成，且該填充裝置的外徑大於該透孔的內徑。

②請求項4：如申請專利範圍第1項所述之傳送盒之填充裝置改良，其中該填充裝置為可進一步於外緣設置卡摯部，使卡摯部可卡持於透孔內緣。

③請求項5：如申請專利範圍第1項所述之傳送盒之填充裝置改良，其中該填充裝置可為一個或一個以上。

④請求項8：如申請專利範圍第1項所述之傳送盒之填充裝置改良，其中該填充裝置可為一體成形所製成。

⑤請求項9：一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之傳送盒內的填充裝置，該傳送盒係具有座體，而座體上方為覆蓋有蓋體，且蓋體內為具有可容置光罩或晶圓之容置空間，其特徵在於：該座體內為設置有透孔，並於透孔內穿設有填充裝置，而填充裝置內為具有中空通道，且中空通道的一端為設置有開合部，且遠離開合部之另一端可抵持充氣管，而充氣管為可抵持於中空通道之另一端使中空通道呈密閉狀態，俾讓充氣管可藉氣體的正壓力來打開開合部進而達到充填的效果；其中，該填充裝置為橡膠所製成，且該填充裝置的外徑大於該透孔的內徑。

⑵按發明專利權範圍，以申請專利範圍為準，於解釋申請專利範圍時，並得審酌說明書及圖式，專利法第58條第4項定有明文。又解釋申請專利範圍既在探知申請人於申請當時記載於申請專利範圍之客觀意義，應以該發明所屬技術領域中具有通常知識者，就該文字於系爭專利申請時於相關技術領域中所被認知或瞭解之範圍予以解釋，除非申請人於說明書中賦予該文字特定之定義，否則應以該發明領域中之通常知識者通常習慣之意義作為申請專利範圍中之文字意義，並應以內部證據為優先適用，就其專利說明書整體觀察，以瞭解其目的、作用及效果等理解該用語之意義，當內部證據無法清楚顯示其意義時，始參酌外部證據解釋之（最高行政法院104年度判字第214號、106年度判字第351號判決意旨可資參照）。查兩造對於系爭專利請求項1、9之「開合部」、「蓋體」、「該填充裝置為橡膠所製成」、「充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內填充氣體」、「中空通道的一端為設置有開合部，且遠離開合部之另一端可抵持充氣管」及請求項8之「該填充裝置可為一體成形所製成」用語等解釋有所爭執，茲就本院之認定析述如下：

①「開合部」應解釋為「不使用彈簧進行作動，具備開啟或閉合之二種狀態，且為填充裝置之一部分的物件」：⓵依系爭專利說明書【發明所屬之技術領域】、【先前技術】分別所載「本發明為提供一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之傳送盒內的填充裝置，係於填充裝置內設置有中空通道，且中空通道的一端為設置有開合部，使充氣管於充氣過程中，可有效的減少摩擦的產生，進而有效的防止細屑的產生」、「然上述填充裝置B於使用時係利用彈簧C及充氣管D來產生移動，而將氣體充填至光罩A內，但彈簧B（應為彈簧C之誤載）會與透孔A1及填充裝置B產生極大的摩擦，容易在摩擦接觸過程產生細屑，而細屑會隨著充氣動作而破壞了傳送盒A內的潔淨度，並因此污染傳送盒A內的光罩而危害到整個晶圓生產中的品質和良率，且此種作法於組裝時相當的繁雜，使加工成本大幅上升」等語（見本院卷一第85頁至第87頁），及參酌該說明書所載前述先前技術即習用傳送盒於充填氣體時之動作圖（見本院卷一第102頁至第103頁）：互核其內容，可知系爭專利欲改良先前技術之填充裝置既有之彈簧作動結構，以減少彈簧與透孔及填充裝置摩擦產生之細屑。⓶再者，觀諸系爭專利說明書全文內容，並未說明開合部之具體結構，是該發明所屬技術領域中具有通常知識者，僅得依該說明書【實施方式】所提供第一、第二實施例說明（見本院卷一第87頁至第90頁），及相對應之第一圖至第八圖之圖式即前揭主要圖式⑴至⑻，進而獲悉系爭專利開合部之實質技術內容。查依系爭專利說明書【實施方式】所載「請參閱第

一、二圖所示，係為本發明之立體外觀圖及剖面圖，由圖中可清楚看出本發明之填充裝置3內係設置有中空通道31，而中空通道31的一端為設置有開合部32，且開合部32為由複數具彈性位移的活頁321所組成，並於遠離開合部32之另一端設置有導引斜面34，而填充裝置3之外緣為具有卡摯部33」、「請參閱第八圖所示，係為本發明再一實施例之剖面圖，由圖中可清楚看出，本發明所使用之充氣管4之端部41為可使用其外形相同於導引斜面34，而欲作充氣動作時為利用充氣管4所設之端部41貼平導引斜面34，使端部41與導引斜面34呈密合狀態，再利用氣體的正壓力來打開開合部32所設置活頁321達到充填的效果」等語，及參酌前揭主要圖式⑵、⑻，可知系爭專利所揭露之第一、第二實施例，該等填充裝置為元件符號「3」，中空通道、開合部，卡摯部、導引斜面依序為元件符號「31」、「32」、「33」、「34」，活頁則為元件符號「321」，並由系爭專利所使用的元件命名及元件符號標註方式，應可理解開合部32係由複數活頁321所組成，填充裝置3則由中空通道31、開合部32、卡摯部33、導引斜面34所組成，又開合部32及卡摯部33分別為填充裝置3之局部技術特徵。因此，該發明所屬技術領域中具通常知識者，在參酌系爭專利說明書【實施方式】所提供第一、第二實施例及主要圖式⑴至⑻，應可認系爭專利請求項1、9「開合部」之客觀合理解釋為「由複數活頁所組成，且開合部為填充裝置之一部分」。⓷綜上，系爭專利欲改良先前技術之填充裝置以彈簧作動之結構，以減少彈簧與透孔及填充裝置摩擦產生之細屑，又依系爭專利說明書【實施方式】所揭示二種由複數活頁所組成之開合部之實施例，該發明所屬技術領域中具有通常知識者完整理解系爭專利說明書全文所載內容後，可知系爭專利解決先前技術問題之技術手段即在於去除先前技術以彈簧作動結構之填充裝置，改採諸如活頁等其他開合結構而取代之，以避免彈簧與填充裝置其他零件產生摩擦。再者，系爭專利請求項1、9「開合部」雖未必僅限於前述實施例所揭示之活頁結構，然由該等實施例中元件之命名及元件符號編號方式，已可確認系爭專利請求項1、9所稱「開合部」係與其他結構即導引斜面、中空通道等共同組成填充裝置，而為填充裝置之一部分。故系爭專利請求項1、9所載「開合部」應解釋為「不使用彈簧進行作動，具備開啟或閉合之二種狀態，且為填充裝置之一部分的物件」。⓸被告雖辯稱：系爭專利並無一概排除彈簧類型之閥，該開合部之意涵不限於活頁或非彈簧之實施例，系爭專利請求項1、9僅界定開合部係設置於中空通道的一端，並未限定開合部為填充裝置的一部分，是「開合部」應解釋為「開合中空通道，且不會與透孔及填充裝置產生極大摩擦之元件，未限定為填充裝置之一部分」云云。惟依系爭專利說明書【先前技術】所載「請參閱第九、十圖所示，係為習用傳送盒於充填氣體時之動作圖㈠及動作圖㈡，由圖中可清楚看出，習用之光罩盒A為設置有透孔A1，並於透孔A1內穿設有一填充裝置B，而填充裝置B為設置有一凹槽B1及缺槽B2，且填充裝置B為套設有一彈簧C，當對傳送盒A充氣時，為先將充氣管D推入填充裝置B所設之凹槽B1內，並推動填充裝置B使缺槽B2移動，且使彈簧C產生彈性變形而具有回復力，再將氣體藉由缺槽B2充填至傳送盒A內，當充填完畢時抽出充氣管D，而填充裝置B會藉由彈簧C之回復力而恢復為充氣前之位置並成一閉合狀態，然上述填充裝置B於使用時係利用彈簧C及充氣管D來產生移動，而將氣體充填至光罩A內，但彈簧B（應為彈簧C之誤載）會與透孔A1及填充裝置B產生極大的摩擦，容易在摩擦接觸過程產生細屑，而細屑會隨著充氣動作而破壞了傳送盒A內的潔淨度，並因此污染傳送盒A內的光罩而危害到整個晶圓生產中的品質和良率，且此種作法於組裝時相當的繁雜，使加工成本大幅上升」等語（見本院卷一第86頁至第87頁），可知先前技術之填充裝置具有一彈簧，且該彈簧於充氣時，彈簧會產生彈性變形，併參酌上開先前技術即習用傳送盒於充填氣體時之動作圖，彈簧位於填充裝置內，上端位於透孔上端，下端位於透孔下端，彈簧兩側為填充裝置之凹槽及透孔，故整體觀諸系爭專利說明書內容，即得知悉只要接觸彈簧之元件，均會於彈簧產生彈性形變時而與彈簧產生摩擦，甚而彈簧自身產生形變時，其金屬結構之材質亦會自身摩擦，是使用彈簧作動結構之先前技術容易於在前述摩擦接觸過程中產生細屑，進而由透孔進入傳送盒，因此破壞了傳送盒內之潔淨度；復依系爭專利說明書發明摘要、【發明內容】所載內容（見本院卷一第83頁、第87頁），益見系爭專利為一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之傳送盒內的填充裝置，其主要目的在於利用填充裝置所設置之中空通道及開合部，使充氣管可藉由開合部而伸入傳送盒內充填氣體，且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合，以減少摩擦的產生，進而有效的防止細屑的產生；又觀諸系爭專利說明書全文內容，並無任何系爭專利實施方式以彈簧為作動結構之技術揭示，且於其【實施方式】中提供二種使用活頁結構之實施例，是該發明所屬技術領域中具有通常知識者依系爭專利說明書整體內容觀之，應得理解系爭專利之技術手段係在於以活頁等其他作動結構取代彈簧結構，藉以減少摩擦並防止產生細屑。況按照一般彈簧的基本特性，彈簧為一具有彈性且會彈性形變之硬件，如欲作用彈簧，彈簧兩端須接觸於硬件，當彈簧兩端受拉力則會伸長形變，受壓力則會壓縮形變，於形變過程，必定會與彈簧兩端之硬件或彈簧自己本身摩擦產生碎屑；再者，當彈簧受力時，除了縱向形變，亦會有橫向形變，當產生橫向形變時亦有可能接觸彈簧兩側或彈簧中心於形變前未接觸之硬件，進而摩擦產生碎屑之情形，故該發明所屬技術領域中具有通常知識者自難以得知如何在使用彈簧為作動結構情況下避免摩擦之發生。另依前述，「開合部」雖未必僅限於系爭專利說明書【實施方式】所提供前述實施例揭示之活頁結構，然由該等實施例中元件之命名及元件符號編號方式，已可確認系爭專利所揭示之「開合部」係與其他結構即導引斜面、中空通道等共同組成填充裝置，而為填充裝置之一部分。基此，「開合部」仍應解釋為「不使用彈簧進行作動，具備開啟或閉合之二種狀態，且為填充裝置之一部分的物件」，被告上開辯稱，洵非可採。

②「蓋體」應解釋為「開口向下覆蓋於座體上方，並與座體共同形成一可容置光罩或晶圓之容置空間的物件」：⓵依系爭專利說明書之發明摘要所載（見本院卷一第83頁），可知系爭專利所揭示之傳送盒，係藉由蓋體與座體共同形成具有氣密效果的容置空間以供容置光罩或晶圓。又系爭專利請求項1、9所載「該傳送盒係具有座體，而座體上方為覆蓋有蓋體，且蓋體內為具有可容置光罩或晶圓之容置空間」等技術特徵，亦見蓋體與座體為上與下之相對位置關係，即蓋體開口向下覆蓋於座體上方共同形成具有氣密效果之容置空間，是其文義已明確排除蓋體之開口在側面，並於側面結合座體之情形，則縱先前技術之傳送盒包含有側蓋形式，其結構與系爭專利請求項1、9前述技術內容已有扞格，而無從認系爭專利請求項1、9文義範圍包含前述側蓋之傳送盒。又系爭專利說明書及前揭主要圖式，均未見傳送盒之座體由側面結合蓋體之相關內容或實施例，是系爭專利請求項1、9所載「蓋體」應解釋為「開口向下覆蓋於座體上方，並與座體共同形成一可容置光罩或晶圓之容置空間的物件」。⓶被告雖辯稱「蓋體」應解釋為「覆蓋座體且與座體形成可容置光罩或晶圓之容置空間之元件」，系爭專利請求項1、9為二段式撰寫，該等請求項所揭示傳送盒之蓋體及座體應涵蓋系爭專利申請前之先前技術態樣云云。按所謂二段撰寫形式的請求項，係以「其特徵在於」之用語，將請求項內容在形式上區分為前言部分與特徵部分，前言部分包含申請專利之標的名稱及與先前技術共有之必要技術特徵，特徵部分則包含有別於先前技術之必要技術特徵，惟判斷請求項之權利範圍仍應以整體記載之文字內容為準據。查系爭專利請求項1、9在二段撰寫形式之前言部分明確記載「座體上方為覆蓋有蓋體」之技術特徵，已屬該等請求項技術內容之一部分，是系爭專利所揭示傳送盒之蓋體與座體，依其文義解釋為上與下的相對位置關係，而不包含座體位於蓋體側面之情形，原告所稱前揭蓋體及座體應包含傳送盒之蓋體於側面之先前技術態樣，顯忽略該等請求項所限定「座體上方為覆蓋有蓋體」之技術特徵，是被告此部分所辯，並非可採。

③「該填充裝置為橡膠所製成」、「該填充裝置可為一體成形所製成」，應分別解釋為「包含開合部之填充裝置整體為橡膠所製成」、「包含開合部之填充裝置整體可為一體成形所製成」：兩造均對於「該填充裝置為橡膠所製成」、「該填充裝置可為一體成形所製成」之文義內容並無疑義，僅爭執該填充裝置是否包含「開合部」乙節，被告並辯稱系爭專利請求項1、9未限定開合部為填充裝置之一部分云云，然查，本院既已認定系爭專利請求項1、9所載「開合部」應解釋為「不使用彈簧進行作動，具備開啟或閉合之二種狀態，且為填充裝置之一部分的物件」，且詳述理由如前，則系爭專利請求項1、9所載「該填充裝置為橡膠所製成」、請求項8所載「該填充裝置可為一體成形所製成」，自得分別解釋為「包含開合部之填充裝置整體為橡膠所製成」、「包含開合部之填充裝置整體可為一體成形所製成」。是以，被告仍執前詞置辯，即無足取。

④「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體」應解釋為「使充氣管先經過該導引斜面所在部位後，再插入傳送盒的中空通道內，而可藉由開合部充填氣體」：⓵依系爭專利請求項1所載「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體」之技術特徵，可知充氣管插入傳送盒之中空通道內，並藉由開合部以充填氣體。觀諸系爭專利說明書全文內容，均未說明導引斜面之具體結構、作用方式，及充氣管係如何經該導引斜面及相關記載，其餘請求項亦無相對應之內容，故該發明所屬技術領域中具有通常知識者，自有參酌系爭專利說明書及圖式之整體內容，以解釋「經該導引斜面」之必要。查依系爭專利說明書【實施方式】所提供第一、第二實施例說明（見本院卷第一第87頁至第90頁），及相對應之前揭主要圖式⑴至⑻，其中依該說明書所載「本發明於充填氣體時係先將充氣管4置入填充裝置3所設置之中空通道31內，且因導引斜面34之設置可使充氣管4可更加順利的插入」等語，及參酌主要圖式⑸、⑹、⑺之連續動作剖面圖後，可知系爭專利所揭露之第一實施例中，其開合部之打開或閉合係由充氣管插入或抽出所控制，導引斜面則藉由位於中空通道開口處的斜面，使充氣管於插入中空通道開口時產生導引對正而易於插入的功效，是充氣管係先經過導引斜面所在部位後再插入中空通道。至系爭專利所揭露之第二實施例，依該說明書所載「請參閱第八圖所示，係為本發明再一實施例之剖面圖，由圖中可清楚看出，本發明所使用之充氣管4之端部41為可使用其外形相同於導引斜面34，而欲作充氣動作時為利用充氣管4所設之端部41貼平導引斜面34，使端部41與導引斜面34呈密合狀態，再利用氣體的正壓力來打開開合部32所設置活頁321達到充填的效果」等語，及參酌主要圖式⑻後，可知第二實施例所示開合部之打開或閉合係由氣體的正壓力所控制，與充氣管是否插入中空通道無關，明顯不同於系爭專利請求項1「且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合」之技術內容，而係對應於系爭專利請求項9「充氣管可藉氣體的正壓力來打開開合部進而達到充填的效果」之技術特徵，故此部分說明書內容及主要圖式⑻自無從作為系爭專利請求項1所載「經該導引斜面」文義之解釋依據。因此，該發明所屬技術領域中具通常知識者，在參酌系爭專利說明書【實施方式】所提供第一實施例及相對應圖式後，即知在充氣管插入中空通道之情況下，充氣管須先經過導引斜面所在部位後，再插入中空通道內，才能產生導引對正而易於插入之功效，應可認系爭專利請求項1「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體」之客觀合理解釋為「使充氣管先經過該導引斜面所在部位後，再插入傳送盒的中空通道內，而可藉由開合部充填氣體」。⓶被告復辯稱：系爭專利主要圖式⑻所揭露之實施例，其充氣管之端部與導引斜面呈密合狀態，再利用氣體之正壓力打開開合部達到充填效果，是系爭專利請求項1「經該導引斜面」不應限縮於「經過該導引斜面」云云，然觀諸系爭專利說明書【實施方式】內容（見本院卷一第87頁至第90頁），可知系爭專利先以主要圖式⑸、⑹、⑺作為第一實施例之連續動作剖面圖，再以主要圖式⑻作為再一實施例（即第二實施例）之剖面圖；復對照系爭專利申請專利範圍即前揭各請求項內容，其中系爭專利請求項1所載「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體，且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合」之技術特徵，已揭露其開合部之打開或閉合，係由充氣管插入或抽出所控制，而得以對應於系爭專利說明書【實施方式】所載第一實施例之作動方式；而其中系爭專利請求項9所載「充氣管可藉氣體的正壓力來打開開合部進而達到充填的效果」之技術特徵，則與系爭專利說明書【實施方式】所載第二實施例所揭示該開合部之打開或閉合係由氣體的正壓力所控制之技術內容完全相符，是被告所援引前述系爭專利第二實施例之主要圖式⑻，此部分揭露之實施態樣與系爭專利請求項1「且當充氣管抽出時該開合部會自行閉合」所限定之技術內容顯屬不同，而無從作為系爭專利請求項1所載「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體」之解釋依據。是以，被告前開所辯，即屬無據。

⑤「中空通道的一端為設置有開合部，且遠離開合部之另一端可抵持充氣管」應解釋為「中空通道的出氣端為設置有開合部，且中空通道的進氣端可抵持充氣管，進氣端與出氣端分別位於中空通道的起點及終點」：⓵查依系爭專利說明書【實施方式】所揭露第一、第二實施例及相關圖式內容，其中該說明書所載「請參閱第八圖所示，係為本發明再一實施例之剖面圖，由圖中可清楚看出，本發明所使用之充氣管4之端部41為可使用其外形相同於導引斜面34，而欲作充氣動作時為利用充氣管4所設之端部41貼平導引斜面34，使端部41與導引斜面34呈密合狀態，再利用氣體的正壓力來打開開合部32所設置活頁321達到充填的效果」等語（見本院卷一第89頁），及參酌前揭主要圖式⑻即系爭專利所揭露之第二實施例剖面圖，可知充氣管係抵持中空通道以對中空通道充填氣體，中空通道則係供充填的氣體流通，以藉由氣體的正壓力打開開合部，因此中空通道係具有分別位於氣體流通起點及終點，亦即進氣端及出氣端，且充氣管所抵持者為進氣端，遠離進氣端的相對端則為出氣端。至系爭專利所揭露之第一實施例，依該說明書所載「本發明於充填氣體時係先將充氣管4置入填充裝置3所設置之中空通道31內，且因導引斜面34之設置可使充氣管4可更加順利的插入」等語（見本院卷一第88頁），及所憑前揭主要圖式⑸、⑹、⑺之連續動作剖面圖，可知第一實施例所揭示之開合部之打開或閉合係由充氣管插入或抽出所控制，充氣管未抵持於中空通道，並不同於系爭專利請求項9所載「而充氣管為可抵持於中空通道之另一端使中空通道呈密閉狀態」之技術內容，而無從作為系爭專利請求項9所載「中空通道的一端」及「遠離開合部之另一端」文義解釋之依據。故而，該發明所屬技術領域中具通常知識者，在參酌系爭專利說明書【實施方式】所提供第二實施例及相對應圖式後，即知在充氣管抵持中空通道的情況下，中空通道係具有分別位於氣體流通起點及終點的進氣端及出氣端，且充氣管所抵持者為進氣端，遠離進氣端的相對端則為出氣端，是系爭專利請求項9所載「中空通道的一端為設置有開合部，且遠離開合部之另一端可抵持充氣管」應解釋為「中空通道的出氣端為設置有開合部，且中空通道的進氣端可抵持充氣管，進氣端與出氣端分別位於中空通道的起點及終點」。⓶被告又主張：系爭專利請求項9所載「遠離開合部」在強調抵持充氣管之位置與設置開合部之位置不在同一位置，而不限於頭部或尾部，故系爭專利請求項9所載「中空通道的一端為設置有開合部，且遠離開合部之另一端可抵持充氣管」應解釋為「中空通道的一處為設置有開合部，且遠離開合部之另一處可抵持充氣管」云云。惟遍觀系爭專利說明書全文，均未具體說明「中空通道的一端」及「遠離開合部之另一端」之文義內容，該發明所屬技術領域具有通常知識者僅得藉由系爭專利說明書【實施方式】所提供第二實施例及相對應圖式，獲悉系爭專利所揭示之前述技術內容，則無論開合部採用何種結構，為藉由氣體的正壓力打開開合部，充氣管、中空通道、開合部須依序構成一連貫的氣體流路，是充氣管抵持處與開合部僅得分別位於氣體流路的上游及下游，又系爭專利請求項9 既已明載前述充氣管抵持處與開合部位置為中空通道之「一端」、「另一端」等語，益徵開合部、底持充氣管之位置應分屬相對之兩端部，本院即無將其解釋為相異任意之二處，故被告所辯前情，洵無可採。

㈢系爭產品1技術分析：

⒈依系爭產品1實物照片、系爭產品與充氣管噴嘴實物作動之整體檢測方案模擬動畫、影片及相關截圖資料（見附表四、秘保限閱卷第51頁至第62頁），可知系爭產品1為一種SMIF系統所使用之晶圓傳送盒的填充裝置，該傳送盒具有一側蓋，而側蓋之側面覆蓋有殼體，且殼體內具有可容置晶圓之容置空間，該殼體底部設置有透孔，並於透孔內穿設有填充裝置，填充裝置內具有中空通道，且中空通道的一端為設置有使用彈簧進行作動的閥○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○；該填充裝置由數個以不同材料製成之零件組成，且該填充裝置的外徑大於該透孔內的內徑。

⒉系爭產品1主要圖式：如附表四所示。

㈣系爭專利請求項1、4、5、8、9與系爭產品1之文義比對分析：

⒈查專利侵權分析應用全要件原則，須先解析系爭專利請求項及被控侵權物以確認其等技術特徵，則關於系爭專利請求項1、9及系爭產品1，解析其等技術特徵各如附表一、二所示要件。以下進一步判斷系爭產品1是否落入系爭專利請求項1、9各要件之文義範圍。

⑴系爭專利請求項1要件編號1A：查系爭產品1要件編號1a所揭露「一種SMIF系統所使用之晶圓傳送盒的填充裝置，具有可容置晶圓之容置空間」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項1要件編號1A「一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之晶圓傳送盒內之填充裝置」、「且蓋體內為具有可容置光罩或晶圓之容置空間」等技術特徵，惟系爭產品1所揭示傳送盒係「具有一側蓋，而側蓋之側面覆蓋有殼體以形成容置晶圓的空間」，而與系爭專利請求項1要件編號1A所揭示「蓋體」，其係「覆蓋於座體上方」之技術特徵，兩者並非實質相同，故系爭產品1無法為系爭專利請求項1要件編號1A所文義讀取。

⑵系爭專利請求項1要件編號1B：查系爭產品1要件編號1b所揭露「透孔內穿設有填充裝置」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項1要件編號1B「透孔內穿設有一填充裝置」之技術特徵，然系爭產品1之透孔係設置於側面具有開口的殼體底部，其與系爭專利請求項1要件編號1B所界定「設於座體的透孔」之技術特徵，兩者實質內容不同；且依原告所提出系爭產品與充氣管噴嘴實物作動之整體檢測方案模擬動畫、影片及相關截圖（見秘保限閱卷第51頁至第62頁），○○○○○○○○○○○○○O○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○，亦即填充裝置並未具有導引斜面，而與系爭專利請求項1要件編號1B所界定「具有一導引斜面之填充裝置」之技術特徵不同。綜此，系爭產品1無法為系爭專利請求項1要件編號1B所文義讀取。

⑶系爭專利請求項1要件編號1C：查系爭產品1要件編號1c所揭露「填充裝置內具有中空通道」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項1要件編號1C「填充裝置內為具有中空通道」之技術特徵，惟系爭產品1所揭示中空通道之一端為設置有使用彈簧進行作動的閥，而與系爭專利請求項1要件編號1C所揭示前述不使用彈簧進行作動之「開合部」之技術特徵並不相同，是系爭產品1無法為系爭專利請求項1要件編號1C所文義讀取。

⑷系爭專利請求項1要件編號1D：依前所述，系爭產品1之填充裝置並未具有導引斜面，即無從對應於系爭專利請求項1要件編號1D所界定「俾使充氣管可藉由開合部而經該導引斜面插入傳送盒的該中空通道內充填氣體」之技術特徵。又依原告所提出系爭產品1與充氣管噴嘴實物作動之整體檢測方案模擬動畫、影片及相關截圖（見秘保限閱卷第51頁至第62頁），○○○○○○○○○○○○○O○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○O○○○○○○○○○○○○○○○○故與系爭專利請求項1要件編號1D所揭示之充氣管先經過導引斜面所在部位後，再插入中空通道內充填氣體，充氣管抽出時開合部會自行閉合等技術特徵不同，二者關於傳送盒與充氣管之作動方式顯有差異，是系爭產品1未為系爭專利請求項1要件編號1D所文義讀取。

⑸系爭專利請求項1要件編號1E：依系爭產品1所揭露之填充裝置係塞入透孔而為固定，是其要件編號1e已揭露「填充裝置之外徑大於該透孔之內徑」之技術內容，而可對應於系爭專利請求項1要件編號1E「該填充裝置之外徑大於該透孔之內徑」之技術特徵。然觀諸系爭產品1實物照片（如附表四所示），該填充裝置由數個以不同材料製成之零件組成，其中包含非橡膠材質之開合部、彈簧等，實與系爭專利請求項1要件編號1E所揭示「填充裝置為橡膠所製成」之技術特徵不同，故系爭產品1無法為系爭專利請求項1要件編號1E所文義讀取。

⑹系爭專利請求項9要件編號9A：查系爭產品1要件編號9a所揭露「一種SMIF系統所使用之晶圓傳送盒的填充裝置，具有可容置晶圓之容置空間」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項9要件編號9A「一種傳送盒之填充裝置改良，尤指SMIF系統所使用之晶圓傳送盒內之填充裝置」、「且蓋體內為具有可容置光罩或晶圓之容置空間」等技術特徵，惟系爭產品1前述揭示傳送盒係「具有一側蓋，而側蓋之側面覆蓋有殼體以形成容置晶圓的空間」，已與系爭專利請求項9要件編號9A所揭示「蓋體」，其係「覆蓋於座體上方」之技術特徵非實質相同，故系爭產品1無法為系爭專利請求項9要件編號9A所文義讀取。

⑺系爭專利請求項9要件編號9B：查系爭產品1要件編號9b所揭露「透孔內穿設有填充裝置」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項9要件編號9B「透孔內穿設有填充裝置」之技術特徵，然系爭產品1之透孔係設置於側面具有開口的殼體底部，此與系爭專利請求項9要件編號9B所界定「設於座體的透孔」之技術特徵，二者實質內容不同，是系爭產品1無法為系爭專利請求項9要件編號9B所文義讀取。

⑻系爭專利請求項9要件編號9C：查系爭產品1要件編號9c所揭露「填充裝置內具有中空通道」之技術內容，雖可對應於系爭專利請求項9要件編號9C「填充裝置內為具有中空通道」之技術特徵，惟系爭產品1所揭示中空通道之一端為設置有使用彈簧進行作動的閥，○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○顯與系爭專利請求項9要件編號9C中不使用彈簧進行作動之「開合部」，及前述中空通道起點即進氣端可抵持充氣管，另一終點即出氣端則設置有開合部等技術內容不同，是系爭產品1無法為系爭專利請求項9要件編號9C所文義讀取。

⑼系爭專利請求項9要件編號9D：依原告所提出系爭產品1與充氣管噴嘴實物作動之整體檢測方案模擬動畫、影片及相關截圖（見秘保限閱卷第53頁至第64頁），○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○，此可對應於系爭專利請求項9要件編號9D「俾讓氣體的正壓力，進而達到充填之效果」之技術特徵，惟系爭產品1係裝置使用彈簧進行作動之閥，進而達到充填效果，而系爭專利請求項9要件編號9D則係藉由氣體的正壓力打開不使用彈簧進行作動之開合部，而達到充填效果，二者技術內容實質不同，故系爭產品1無法為系爭專利請求項9要件編號9D所文義讀取。

⑽系爭專利請求項9要件編號9E：依系爭產品1所揭露之填充裝置係塞入透孔而為固定，是其要件編號9e已揭露「填充裝置之外徑大於該透孔之內徑」之技術內容，可對應於系爭專利請求項9要件編號9E「該填充裝置之外徑大於該透孔之內徑」之技術特徵。然觀諸系爭產品1實物照片（如附表四所示），該填充裝置由數個以不同材料製成之零件組成，其中包含非橡膠材質之開合部、彈簧等，實與系爭專利請求項9要件編號9E所揭示「填充裝置為橡膠所製成」之技術特徵不同，故系爭產品1無法為系爭專利請求項9要件編號9E所文義讀取。

⑾基上所述，系爭產品1無法為系爭專利請求項1要件編號1A、1B、1C、1D、1E所文義讀取，亦無法為系爭專利請求項9要件編號9A、9B、9C、9D、9E所文義讀取，故系爭產品1未落入系爭專利請求項1、9之文義範圍。

⒉系爭專利請求項4、5、8均為依附於請求項1之附屬項，包含系爭請求項1之全部技術特徵。系爭產品既未落入系爭專利請求項1之文義範圍，如前所述，則系爭產品自無落入系爭專利請求項4、5、8之文義範圍。

⒊基此，系爭產品無法為系爭專利請求項1、9之各要件文義讀取，是系爭產品未落入系爭專利請求項1、9之文義範圍，亦未落入系爭專利請求項4、5、8之文義範圍，以下續為均等論分析。

㈤系爭專利請求項1、4、5、8、9與系爭產品1之均等比對分析：按「均等論」係基於保障專利權人之利益的立場，避免他人僅就系爭專利之請求項的技術手段做非實質之改變，即規避專利侵權的責任，有關均等論之判斷原則，系爭專利之請求項與被控侵權物是否為均等之判斷，不得採用「整體(as a whole)比對」之方式，而應採用「技術特徵逐一(element by element) 比對」之方式，亦即針對系爭專利請求項之技術特徵與被控侵權物之技術內容不相同的部分，進行逐一比對，判斷該等對應技術特徵是否為均等。又均等論三部測試法須以被控侵權對象對應之技術內容與系爭專利請求項之技術特徵係以實質相同的方式（way），執行實質相同的功能（function），而得到實質相同的結果（result）時，始能判斷兩者構成均等。經查：

⒈系爭產品1並未落入系爭專利請求項1之文義範圍，就系爭產品1如附表一所載各要件編號之技術內容，與系爭專利請求項1如附表一所載各要件編號為均等比對：

⑴系爭產品1要件編號1a技術內容與系爭專利請求項1要件編號1A構成均等：系爭專利請求項1要件編號1A所揭示之蓋體，係覆蓋於座體上方以形成光罩或晶圓的容置空間，對照系爭產品1之殼體覆蓋於側蓋之側面以形成晶圓的容置空間，雖略有差異，惟其等所運用之技術手段，均係以二物件相互蓋合以共同形成密閉空間，差別僅為相互蓋合之方向不同，就該發明所屬技術領域中具有通常知識者而言，僅為習用光罩盒或晶圓盒蓋合方式之簡單改變且能輕易完成，是二者技術方式應屬實質相同，又二者均係藉由上開技術手段，形成一密閉之容置空間之功能，而可使系爭專利、系爭產品1達成防止晶圓受到灰塵汙染之效果。是以，二者均以實質相同的方式，執行實質相同的功能，並得到實質相同的結果，故系爭產品1要件編號1a技術內容落入系爭專利請求項1要件編號1A之均等範圍。

⑵系爭產品1要件編號1b、1c、1d、1e技術內容，與系爭專利請求項1要件編號1B、1C、1D、1E不成立均等：

①技術方式實質不同：系爭專利所揭示之填充裝置具有一導引斜面，且其中空通道之一端設置有不使用彈簧進行作動之開合部，又系爭專利所揭示之充氣管係先經過導引斜面所在位置後，在插入傳送盒之中空通道內，並藉由前述開合部充填氣體，充氣管抽出時開合部自行閉合，另系爭專利之整體為橡膠所製成之填充裝置塞設固定於透孔；系爭產品1之填充裝置則未設有導引斜面，且其中空通道之一端設置有使用彈簧作動之閥，○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○，另系爭產品1係以數個不同材料製成之零件組成之填充裝置塞設固定於透孔。因系爭產品1之填充裝置並未具有系爭專利前述之導引斜面要件，且其設有使用彈簧作動之閥，並據此進行充填氣體之作動方式，又該填充裝置並非整體使用橡膠所製成，而與系爭專利上開技術特徵顯不相同，此等技術方式之欠缺、差異亦非該技術領域具有通常知識者所得輕易思及而為置換或變更，是二者技術手段並非實質相同。

②功能、效果實質不同：系爭專利之填充裝置設有導引斜面，具有引導充氣管插入中空通道之功能，並得以達成使充氣管易於插入中空通道之效果，而其中空通道之一端裝設不使用彈簧進行作動之開合部，及以該開合部與充氣管進行充填氣體之作動，則具有減少開合部作動時之摩擦，防止產生細屑之功能，可達到維持傳送盒內潔淨度之效果，又整體由橡膠所製成之填充裝置塞設固定於透孔，亦具有有效降低成本且利於加工之功能及效果；系爭產品1之填充裝置不具有導引斜面、未裝設不使用彈簧進行作動之開合部，且非整體由橡膠所製成，自無從達到前述技術內容所得對應之功能、效果。因此，二者功能、效果上均非實質相同。

③基此，系爭專利請求項1要件編號1B、1C、1D、1E之技術方式、功能與效果，與系爭產品1前述技術內容有前揭實質上差異，即非以實質相同之方式，執行實質相同之功能，而得到實質相同之結果，故不適用均等論。

⑶綜上所述，系爭產品1要件編號1a與系爭專利請求項1要件編號1A雖構成均等，然因系爭產品1要件編號1b、1c、1d、1e技術內容，與系爭專利請求項1要件編號1B、1C、1D、1E相較，二者就技術方式、功能及效果均有前揭實質上差異，而不構成均等，基於全要件原則，系爭產品1未落入系爭專利請求項1之均等範圍。

⒉系爭產品1並未落入系爭專利請求項9之文義範圍，就系爭產品1如附表二所載各要件編號之技術內容，與系爭專利請求項9如附表二所載各要件編號為均等比對：

⑴系爭產品1要件編號9a、9b技術內容與系爭專利請求項9要件編號9A、9B構成均等：系爭專利請求項9要件編號9A所揭示之蓋體，係覆蓋於座體上方以形成光罩或晶圓的容置空間，對照系爭產品1之殼體覆蓋於側蓋之側面以形成晶圓的容置空間，雖略有差異，惟其等所運用之技術手段，均係以二物件相互蓋合以共同形成密閉空間，差別僅為相互蓋合之方向不同，就該發明所屬技術領域中具有通常知識者而言，僅為習用光罩盒或晶圓盒蓋合方式之簡單改變且能輕易完成，是二者技術方式應屬實質相同，又二者均係藉由上開技術手段，形成一密閉之容置空間之功能，而可使系爭專利、系爭產品1達成防止晶圓受到灰塵汙染之效果；系爭專利請求項9要件編號9B所揭示之填充裝置係穿設於座體之透孔內，系爭產品1之填充裝置則是穿設於殼體底部之透孔內，二者均係藉由開設一透孔以容設填充裝置，其等差異僅為透孔設置對象之簡單變更，亦屬實質相同之技術方式，且二者均係藉由上開技術手段，達成填充裝置容設於透孔及固定於傳送盒上之功能、效果。是以，二者均以實質相同的方式，執行實質相同的功能，並得到實質相同的結果，故系爭產品1要件編號9a、9b技術內容落入系爭專利請求項9要件編號9A、9B之均等範圍。

⑵系爭產品1要件編號9c、9d、9e技術內容，與系爭專利請求項9要件編號9C、9D、9E不成立均等：

①技術方式實質不同：系爭專利所揭示填充裝置之中空通道之出氣端設置有不使用彈簧進行作動之開合部，另一進氣端則抵持充氣管，藉由氣體之正壓力打開該開合部以充填氣體，又系爭專利之整體為橡膠所製成之填充裝置塞設固定於透孔；系爭產品1所揭示填充裝置之中空通道之進氣端則為設置有使用彈簧作動之閥，○○○○○○○○○○○○○○○，且系爭產品1係以數個不同材料製成之零件組成之填充裝置塞設固定於透孔。因系爭產品1之填充裝置設有使用彈簧作動之閥，並據此進行充填氣體之作動方式，且該填充裝置並非整體使用橡膠所製成，而與系爭專利上開技術特徵顯不相同，此等技術方式之欠缺、差異亦非該技術領域具有通常知識者所得輕易思及而為置換或變更，是二者技術手段並非實質相同。

②功能、效果實質不同：系爭專利所揭示中空通道之出氣端裝設不使用彈簧進行作動之開合部，且由另一進氣端抵持充氣管以為充填氣體之作動，具有減少開合部作動時之摩擦，防止產生細屑之功能，可達到維持傳送盒內潔淨度之效果，又整體由橡膠所製成之填充裝置塞設固定於透孔，亦具有有效降低成本且利於加工之功能及效果；系爭產品1之填充裝置不具有導引斜面、未裝設不使用彈簧進行作動之開合部，且非整體由橡膠所製成，自無從達到前述技術內容所得對應之功能、效果。因此，二者功能、效果上均非實質相同。

③綜前所述，系爭專利請求項9 要件編號9C、9D、9E之技術方式、功能與效果，與系爭產品1前述技術內容有前揭實質上差異，即非以實質相同之方式，執行實質相同之功能，而得到實質相同之結果，故不適用均等論。

⑶從而，系爭產品1要件編號9a、9b與系爭專利請求項9要件編號9A、9B雖構成均等，然因系爭產品1要件編號9c、9d、9e技術內容，與系爭專利請求項9要件編號9C、9D、9E相較，二者就技術方式、功能及效果均有前揭實質上差異，而不構成均等，基於全要件原則，系爭產品1未落入系爭專利請求項9之均等範圍。

⒊又系爭專利請求項4、5、8均為依附於請求項1之附屬項，即應包含請求項1之全部技術特徵，並對於被依附請求項1技術內容為進一步限定。系爭產品1既未落入系爭專利請求項1之均等範圍，已如前述，故系爭產品1自未落入系爭專利請求項4、5、8之均等範圍。

㈥被告各項抗辯，逐一論駁如下：

⒈被告雖辯稱：「雖有彈簧，但彈簧之設置位置與方式不會與其他元件產生摩擦，不會容易產生細屑」之態樣，非系爭專利先前技術所欲解決之問題，是系爭產品1雖設有彈簧，然不應排除於系爭專利申請專利範圍外云云，除與本院前揭認定不符外，復未經其提出具體「雖有彈簧，但彈簧之設置位置與方式不會與其他元件產生摩擦」實施態樣以證其所辯，又系爭產品1之填充裝置內既於透孔中設置有彈簧，則與系爭專利先前技術填充裝置套設有一彈簧之態樣相同，二者彈簧之元件所在位置亦相似。再者，系爭產品1填充裝置內之彈簧外側縱未設置於側壁，惟該彈簧套設於一中柱，在彈簧外側仍設有四根白色立柱，且與填充裝置之上下端仍有抵觸，可知系爭產品1之彈簧於彈性形變時仍會與所在之填充裝置其他構件產生摩擦，並於彈簧自身產生形變時，亦會產生自身摩擦，該等摩擦所生之細屑皆會於充氣過程中經過透孔進入系爭產品1之傳送盒中，自難認系爭產品1不會產生系爭專利所載先前技術所欲解決問題，是被告此部分所辯，自無足採。

⒉至被告辯稱：系爭產品1係實施原告Entegris,Inc.第I423451號專利技術，該專利之圖六為系爭產品1，又前述專利技術與系爭專利顯係以相同之技術手段解決相同的問題，並得到相同發明功效，可證系爭產品1落入系爭專利申請專利範圍，而侵害系爭專利之專利權云云。按判斷被控侵權物是否侵害發明或新型專利權，首先必須解釋專利權人所主張被侵害之專利的請求項，以確定專利權之文義範圍，其次比對解釋後之請求項與被控侵權對象，以判斷被控侵權物是否符合文義讀取而構成文義侵權。若未構成文義侵權，再判斷被控侵權物是否適用均等論而構成均等侵權。於判斷是否適用均等論時，必須同時考量是否有限制事項之適用。又專利侵權之判斷，應將被控侵權物與系爭專利之請求項進行比對，不得將被控侵權物與系爭專利之物直接進行比對；即使被控侵權物本身亦有專利權，亦不得直接將雙方專利之物進行比對，或將雙方之專利請求項進行比對（105年版專利侵權判斷要點第一篇第一章發明、新型專利侵權判斷流程可資參照）。本件被告既已取得系爭產品1，並提出公證書在卷可參（見本院卷二第25頁至第53頁），且兩造於本件訴訟核發秘密保持命令之調查程序中，被告陳明其所提出之實物即為前經公證之系爭產品1，原告則當庭持該型號晶圓盒鑰匙開啟系爭產品1，經其確認無誤後聲請取回所自行提出之該型號產品實物，被告亦當庭表示目前已有系爭產品1實物可供法院判斷是否侵權等語，有本院111年度民秘聲字第19號111年5月24日調查筆錄1紙為憑（見本院111年度民秘聲字第19號卷第111頁至第113頁），可徵兩造均已確認系爭產品1為本件訴訟之被控侵權物，依前揭說明，自應將系爭產品1與系爭專利請求項1、4、5、8、9所揭示之技術內容為專利侵權比對。又被告以第I423451號專利圖式直接標示為系爭產品1，除為原告否認外，亦無提出相關證據以佐其說，況不論系爭產品1是否實施前述第I423451號專利之技術內容，被告逕行以前述第I423451號專利之技術內容比對系爭專利，顯已違反被控侵權物與系爭專利之請求項直接進行比對之專利侵權基本原則，是本件仍應以系爭產品1作為是否落入侵害系爭專利請求項之申請專利範圍之判斷依據，被告此部分抗辯，亦非可採。

㈦原告主張被告基於系爭專利對於系爭產品2之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在乙節，按當事人主張有利於己之事實者，就其事實有舉證之責任。但法律別有規定，或依其情形顯失公平者，不在此限，民事訴訟法第277條定有明文。在消極確認之訴主張權利存在者，就權利發生之要件事實，應負舉證之責任（最高法院91年度台上字第1410號裁判意旨參照）。至在具體個案是否適用民事訴訟法第277條但書所定之公平原則，應視各該訴訟事件類型之特性及待證事實之性質，審酌兩造舉證之難易、距離證據之遠近、經驗法則所具蓋然性之高低等因素，並依誠信原則予以斟酌。經查：

⒈本件原告所提起者乃消極確認之訴，依前揭說明，原應由被告就其利己之請求權存在之積極事實負舉證之責。被告係以系爭產品2具有與系爭產品1相同之Entegris標準填充裝置，而認系爭產品2侵害系爭專利上開請求項（見本院卷四第239頁），並以經公證之系爭產品1、2於原告網站上之產品資料為憑（見本院卷四第323頁至第369頁），惟觀諸該等產品網頁資料，系爭產品1係於Configuration Options之Purge options項次載有「standard purge」；系爭產品2則係於Product Documentation檔案內之Standard product features項下列有「purge ports」，此二者於「purge」潔淨功能上所使用之設備名稱並未相同，是否得以認定屬於相同之標準填充裝置，尚非無疑，且該等網頁資料並無將填充裝置之構件自傳送盒予以拆解，而無從得知其潔淨構件實品為何，亦無提供該等構件之詳細內容及相關照片，本院自難僅憑前述證據資料而認系爭產品2使用與系爭產品1相同之Entegris標準填充裝置。此外，被告並無提出其他證據資料證明系爭產品2侵害系爭專利之申請專利範圍之情事，自無法證明系爭產品2與系爭產品1為相同填充裝置之技術內容，是被告所稱系爭產品2具有與系爭產品1相同之Entegris標準填充裝置乙節，實屬無據。

⒉被告既未能證明系爭產品2與系爭產品1具有相同之Entegris標準填充裝置，自無從認定系爭產品2之技術內容落入系爭專利申請專利範圍；復審酌系爭產品2並○○市場上得以任意購得，且卷內亦無系爭產品2與系爭專利申請專利範圍之侵權分析比對資料，又衡以專利案件之侵權判斷需透過解析被控侵權物之技術內容，並與系爭專利請求項逐一比對是否落入文義、均等範圍等情，依前開說明，認原告就其主張系爭產品2未落入系爭專利之申請專利範圍，亦應負舉證之責，惟原告除多次以書狀表明其無提出系爭產品2之義務外，業已於本院當庭詢問後陳明不同意提出系爭產品2之實品到院（見本院卷四第241頁），是本院依全案證據資料無從判斷系爭產品2是否落入系爭專利之申請專利範圍，而有構成侵害系爭專利之專利權等情。基此，原告訴請確認被告基於系爭專利，對於其系爭產品2之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在，難認正當，不應准許。

⒊至原告訴訟代理人雖於本院審理時陳稱：系爭產品2與系爭產品1大體上所使用之填充裝置之技術內容沒有差異，更精確地說，原告意思是若從系爭專利所主張侵權請求項之技術特徵，去比對系爭產品1、2是否構成侵權時，填充裝置於該二產品上沒有差異等語（見本院卷四第239頁至第240頁），惟按當事人於自認有所附加或限制者，應否視有自認，由法院審酌情形斷定之，民事訴訟法第279條第2項定有明文。查被告於另案起訴時即係以前揭公證書所顯示產品資訊，認系爭產品2因與系爭產品1均具有Entegris標準填充裝置，而落入系爭專利請求項1、9之申請專利範圍，此觀諸之另案民事起訴狀即明（見另案卷一第18頁至第19頁），原告則於另案所提民事答辯一狀、民事答辯四狀均稱「被告所稱公證書所附系爭產品1之產品資訊與系爭產品2完全無關；公證書所附系爭產品2之網頁資訊，僅顯示一般EUV光罩盒外觀，並無任何與系爭專利相關之結構特徵」等語（見另案卷一第489頁卷二第174頁），可徵原告前已否認系爭產品2具有與系爭產品1相同之Entegris標準填充裝置，而有落入系爭專利請求項1、9之申請專利範圍之情形，則原告於111年6月21日本院就系爭專利之專利申請範圍解釋部分進行言詞辯論後，並於111年7月1日通知兩造關於本件申請專利範圍解釋內容及理由，及於111年12月9日發函就被告認解釋內容有誤繕應更正情形為說明回覆在案後，始於112年3月25日當庭陳稱系爭產品1、2在比對本件系爭專利請求項之侵權分析時，其等填充裝置之技術特徵沒有差異等語，是其所為先後不一致之陳述內容，已難認屬實。再依原告前揭所述，其並非表示系爭產品1、2所使用相同之填充裝置，亦非二者關於填充裝置之全部技術特徵完全一致，益徵原告對於被告所稱系爭產品2與系爭產品1均具有Entegris標準填充裝置等事實並未自認，應不生自認之效力。況縱認原告有所自認，其亦係對於該自認內容加以限制，本院審酌前述專利侵權之判斷基準，需將被控侵權物與系爭專利請求項直接進行比對，又依卷內證據資料無從證明系爭產品2所具有之填充裝置實質技術內容究竟為何，亦無任何關於系爭產品2之證據資料可為專利侵權分析比對，揆諸前揭規定，仍認無自認之適用。

四、從而，系爭產品1既未落入系爭專利請求項1、4、5、8、9之申請專利範圍，即無侵害系爭專利之專利權或侵害專利權之虞等情，是原告訴請確認被告基於系爭專利，對於原告系爭產品1之防止侵害請求權、排除侵害請求權及損害賠償請求權均不存在，洵屬有據，應予准許；逾此範圍之請求，為無理由，應予駁回。

五、本件事證已臻明確，至於未論述之爭點、兩造其餘之攻擊或防禦方法、未經援用之證據，經本院斟酌後，認為均不足以影響本判決之結果，自無一一詳予論駁之必要，併此敘明。

六、結論：原告之訴為一部有理由、一部無理由，依智慧財產案件審理法第1條，民事訴訟法第79條，判決如主文。

智慧財產第三庭